JP5543300B2 - タッチスクリーンパネル及びその製造方法 - Google Patents
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Description
12a センシングパターン
12b センシングパターン
12a1 連結パターン
12b1 連結パターン
13 絶縁膜、
15 位置検出ライン
Claims (8)
- 透明基板の一面に透明電極膜、及び絶縁膜を順次成膜する段階と、 前記透明電極膜及び絶縁膜をハーフトーンマスクを利用して同伴パターニングすることによって、第1方向に沿って連結される複数の第1センシングパターン、及び前記第1センシングパターンの間にそれぞれが分離されたパターンを持つ複数の第2センシングパターンとともに、前記第1及び第2センシングパターン上に位置されるが、前記第2センシングパターンの一領域を露出する絶縁膜を形成する段階と、
前記第1及び第2センシングパターンと絶縁膜が形成された前記透明基板上に導電膜を成膜する段階と、
前記導電膜をパターニングすることによって、前記第2センシングパターンの露出された領域を介して前記第2センシングパターンを第2方向に沿って連結する第2連結パターンを形成する段階と、を含むことを特徴とするタッチスクリーンパネルの製造方法。 - 前記透明電極膜及び絶縁膜をハーフトーンマスクを利用して同伴パターニングする段階は、
前記ハーフトーンマスクを利用して前記絶縁膜上に第1高さと前記第1高さより低い第2高さを持つフォトレジストを形成する段階と、
前記フォトレジストの下部を除いた残りの領域の透明電極膜及び絶縁膜をエッチング工程によって除去する段階と、
前記第2高さを持つフォトレジストと、その下部の絶縁膜をアッシング及びエッチング工程によって除去し、前記第2センシングパターンの一領域を露出する段階と、
前記絶縁膜上に残されているフォトレジストをアッシング工程によって除去する段階と、を含むことを特徴とする請求項1に記載のタッチスクリーンパネルの製造方法。 - 前記フォトレジストの下部を除いた残りの領域の透明電極膜及び絶縁膜を、エッチング工程によって除去する段階は、
乾式エッチング工程によって前記絶縁膜を除去した後、湿式エッチング工程によって前記透明電極膜を除去するが、前記透明電極膜が前記絶縁膜より内側に位置するように前記透明電極膜をオーバーエッチングする段階と、を含むことを特徴とする請求項2に記載のタッチスクリーンパネルの製造方法。 - 前記透明電極膜及び絶縁膜をハーフトーンマスクを利用して同伴パターニングする段階で、
前記第1センシングパターンを前記第1方向に沿って連結する第1連結パターンを前記第1センシングパターンと一体に形成することを特徴とする請求項1に記載のタッチスクリーンパネルの製造方法。 - 前記導電膜をパターニングする段階で、
前記第1センシングパターン及び第2センシングパターンを外部の駆動回路と連結するための位置検出ラインを前記第2連結パターンと同時に形成することを特徴とする請求項1に記載のタッチスクリーンパネルの製造方法。 - 透明基板と、前記透明基板の一面に形成されて、第1連結パターンによって第1方向に沿って連結されるようにパターニングされた複数の第1センシングパターンと、
前記第1センシングパターンの間にそれぞれが分離されたパターンを持つようにパターニングされた複数の第2センシングパターンと、
前記第1及び第2センシングパターンと前記第1連結パターン上に形成され、前記第2センシングパターンの一領域を露出する絶縁膜と、
前記絶縁膜上に形成されて、前記第2センシングパターンの露出された領域を介して前記第2センシングパターンを第2方向に沿って連結する第2連結パターンとを含み、
前記第1連結パターンは、上部の絶縁膜より内側に位置されるようにオーバーエッチングされたパターンを持つことを特徴とするタッチスクリーンパネル。 - 前記第2連結パターンは、前記第2センシングパターンとの直接的な接触によって、前記第2センシングパターンを第2方向に沿って連結することを特徴とする請求項6に記載のタッチスクリーンパネル。
- 前記第1センシングパターン及び第2センシングパターンを外部の駆動回路と連結するための位置検出ラインをさらに含み、
前記位置検出ラインは、前記第2連結パターンと同一の物質で構成することを特徴とする請求項6に記載のタッチスクリーンパネル。
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