KR102338748B1 - 터치 스크린 패널 및 이의 제조 방법 - Google Patents

터치 스크린 패널 및 이의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

터치 스크린 패널은 감지 영역에서 기판 상에 배치되고, 서로 교차하는 방향으로 배열된 복수의 제1 감지 패턴들 및 복수의 제2 감지 패턴들; 상기 제1 감지 패턴들 및 상기 제2 감지 패턴들과 동일층 상에 배치되고, 서로 이웃하는 상기 제1 감지 패턴들을 연결하는 제1 패턴 연결 라인; 상기 제1 패턴 연결 라인에 절연되게 교차하고, 서로 이웃하는 상기 제2 감지 패턴들을 전기적으로 연결하는 제2 패턴 연결 라인; 주변 영역에서, 상기 기판 상에 배치되고, 복수의 패드들을 포함하는 패드부; 및 상기 패드들, 상기 제1 감지 패턴들 및 상기 제2 감지 패턴들을 연결하는 복수의 배선들을 포함한다. 상기 제1 감지 패턴들, 상기 제2 감지 패턴들, 및 상기 제1 패턴 연결 라인들은 제1 도전층을 포함하고, 상기 패드들 및 상기 배선들은 도전성 나노 와이어를 포함하는 제2 도전층을 포함할 수 있다. 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층은 도전성 나노 와이어를 포함하고, 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도는 서로 다를 수 있다.

Description

터치 스크린 패널 및 이의 제조 방법{TOUCH SCREEN PANEL AND FABRICATION METHOD OF THE SAME}
본 발명은 터치 스크린 패널 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
터치 스크린 패널은 단독으로 사용되기 보다는 영상을 구현하는 표시 패널과 결합된다. 상기 터치 스크린 패널은 사용자가 영상을 시청하면서 상기 터치 스크린 패널을 누르거나 터치하여 미리 정해진 정보를 입력한다.
상기 표시 패널이 가용성을 가질 경우, 상기 터치 스크린 패널도 가요성을 가져야 한다. 따라서, 최근에는 가요성을 가지는 터치 스크린 패널이 개발되고 있다.
본 발명의 일 목적은 가요성을 가지는 터치 스크린 패널을 제공하는 데에 있다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 상기 터치 스크린 패널의 제조 방법을 제공하는 데에 있다.
본 발명의 일 목적을 달성하기 위한 터치 스크린 패널은 감지 영역 및 주변 영역을 포함하는 기판; 상기 감지 영역에서 상기 기판 상에 배치되고, 서로 교차하는 방향으로 배열된 복수의 제1 감지 패턴들 및 복수의 제2 감지 패턴들; 상기 제1 감지 패턴들 및 상기 제2 감지 패턴들과 동일층 상에 배치되고, 서로 인접하는 웃하는 상기 제1 감지 패턴들을 연결하는 제1 패턴 연결 라인; 상기 제1 패턴 연결 라인에 절연되게 교차하고, 서로 인접하는 상기 제2 감지 패턴들을 전기적으로 연결하는 제2 패턴 연결 라인; 상기 주변 영역에서, 상기 기판 상에 배치되고, 복수의 패드들을 포함하는 패드부; 및 상기 패드들, 상기 제1 감지 패턴들 및 상기 제2 감지 패턴들을 연결하는 복수의 배선들을 포함한다. 상기 제1 감지 패턴들, 상기 제2 감지 패턴들, 및 상기 제1 패턴 연결 라인들은 제1 도전층을 포함하고, 상기 패드들 및 상기 배선들은 도전성 나노 와이어를 포함하는 제2 도전층을 포함할 수 있다. 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층은 도전성 나노 와이어를 포함하고, 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도는 서로 다를 수 있다.
상기 제2 도전층의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도는 상기 제1 도전층의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도보다 높을 수 있다. 상기 제2 도전층의 저항은 상기 제1 도전층의 저항보다 낮을 수 있다.
상기 도전성 나노 와이어는 은(Ag) 나노 와이어, 금(Au) 나노 와이어, 백금(Pt) 나노 와이어, 구리(Cu) 나노 와이어 및 니켈(Ni) 나노 와이어 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층 상에 배치된 제3 도전층을 더 포함할 수 있다. 상기 제3 도전층은 투명 도전성 산화물을 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 목적을 달성하기 위한 터치 스크린 패널의 제조 방법은 전사 기판 상에 제1 도전층 및 상기 제1 도전층의 외부에 배치된 제2 도전층을 형성하는 단계; 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층을 기판 상의 감지 영역 및 주변 영역으로 각각 전사하는 단계; 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층을 패터닝하여, 상기 감지 영역에서 서로 교차하는 방향으로 배열된 복수의 제1 감지 패턴들과 복수의 제2 감지 패턴들, 서로 인접하는 상기 제1 감지 패턴들을 연결하는 제1 패턴 연결 라인, 상기 주변 영역에 배치되는 복수의 패드들을 포함하는 패드부 및 상기 주변 영역에서 상기 패드들과 상기 제1 감지 패턴들 및 상기 제2 감지 패턴들을 연결하는 복수의 배선들을 형성하는 단계; 및 서로 인접하는 상기 제2 감지 패턴들을 연결하는 제2 패턴 연결 라인을 형성하는 단계를 포함한다. 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층은 도전성 나노 와이어를 포함하고, 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도는 서로 다를 수 있다.
상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층을 형성하는 단계는 제1 노즐 및 상기 제1 노즐의 양측에 배치되는 제2 노즐들을 포함하는 노즐 유닛을 이용하며, 상기 제2 노즐들의 개구된 면적은 상기 제1 노즐의 개구된 면적보다 클 수 있다.
상기 제1 도전층은 상기 전사 기판이 제1 기간에 제1 속도로 이송되는 동안 상기 제1 노즐에서 토출된 상기 도전성 나노 와이어가 퇴적되어 형성된 도전층일 수 있다. 상기 제2 도전층은 상기 전사 기판이 상기 제1 기간에 상기 제1 속도로 이송되는 동안 상기 제2 노즐들에서 토출된 상기 도전성 나노 와이어가 퇴적되어 형성된 도전층 및 상기 제1 기간보다 짧은 제2 기간에 상기 제1 속도와 다른 제2 속도로 상기 전사 기판이 이송되는 동안 상기 제1 노즐 및 상기 제2 노즐들에서 토출된 상기 도전성 나노 와이어가 퇴적되어 형성된 도전층을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제2 속도는 상기 제1 속도보다 느리다.
상기 제2 패턴 연결 라인을 형성하는 단계는 상기 제1 감지 패턴들, 상기 제2 감지 패턴들, 상기 제1 패턴 연결 라인을 커버하는 절연막을 형성하는 단계; 상기 절연막을 패터닝하여, 각 제2 감지 패턴의 이웃하는 상기 제2 감지 패턴들에 인접한 영역을 노출시키는 단계; 및 상기 절연막 상에 도전막을 형성하고 상기 도전막을 패터닝하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층 상에 제3 도전층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상술한 바와 같은 터치 스크린 패널은 가요성 기판을 사용하고, 상기 기판 상에 배치되는 도전 패턴들이 도전성 나노 와이어를 포함한다. 따라서, 상기 터치 스크린 패널은 가요성을 가질 수 있으며, 반복적인 휨 또는 벤딩에 의한 상기 도전 패턴들의 손상을 방지할 수 있다.
또한, 상기 터치 스크린 패널의 제조 방법은 패터닝 공정을 감소시킬 수 있다. 따라서, 상기 터치 스크린 패널의 제조 방법은 패터닝 공정에 의한 환경 오염의 우려를 감소시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 터치 스크린 패널을 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는 도 1의 A 영역의 확대도이다.
도 3은 도 1의 I-I' 라인에 따른 단면도이다.
도 4 내지 도 10은 도 1 내지 도 3에 도시된 터치 스크린 패널의 제조 방법을 설명하기 위한 공정 도면이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 터치 스크린 패널을 설명하기 위한 평면도이며, 도 2는 도 1의 A 영역의 확대도이며, 도 3은 도 1의 I-I' 라인에 따른 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 터치 스크린 패널은 사용자의 터치 위치를 감지할 수 있는 감지 영역(SA) 및 상기 감지 영역(SA)에 인접하여 배치되는 상기 주변 영역(PA)을 포함할 수 있다.
상기 터치 스크린 패널은 기판(100), 상기 감지 영역(SA)에서 상기 기판(100) 상에 배치되는 복수의 감지 전극(110)들, 및 상기 주변 영역(PA)에서 상기 감지 전극(110)들을 패드부(140)에 연결하는 배선(130)들을 포함할 수 있다.
상기 기판(100)은 상기 감지 영역(SA) 및 상기 주변 영역(PA)을 포함할 수 있다. 상기 기판(100)은 가요성 기판일 수 있다. 또한, 상기 기판(100)은 투명 절연 물질, 예를 들면, 폴리에테르술폰(PES, polyethersulfone), 폴리아크릴레이트(polyacrylate), 폴리에테르이미드(PEI, polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN, polyethyelenen naphthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이드(PET, polyethylene terephthalate), 폴리페닐렌 설파이드(PPS, polyphenylene sulfide), 폴리아릴레이트(PAR, polyarylate), 폴리이미드(PI, polyimide), 폴리카보네이트(PC, Polycarbonate), 트리아세테이트 셀룰로오스(TAC, Triacetate Cellulose), 및 셀룰로오스아세테이트 프로피오네이트(CAP, cellulose acetate propionate) 중 하나를 포함할 수 있다.
상기 감지 영역(SA)에서, 상기 감지 전극(110)들은 상기 기판(100) 상에 배치될 수 있다. 또한, 상기 감지 전극(110)들은 일 방향으로 서로 연결되는 복수의 제1 감지 패턴(114)들, 및 상기 제1 감지 패턴(114)들과 교차하는 방향으로 서로 연결되는 복수의 제2 감지 패턴(112)들을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 감지 패턴(114)들은 종 방향으로 배열되고, 서로 인접하는 상기 제1 감지 패턴(114)들은 제1 패턴 연결 라인(114a)을 통하여 연결될 수 있다. 상기 제2 감지 패턴(112)들은 횡 방향으로 배열되고, 서로 인접하는 상기 제2 감지 패턴(112)들은 제2 패턴 연결 라인(112a)을 통하여 연결될 수 있다.
상기 제1 패턴 연결 라인(114a) 및 상기 제2 패턴 연결 라인(112a) 중 하나, 예를 들면, 상기 제1 패턴 연결 라인(114a), 상기 제1 감지 패턴(114)들 및 상기 제2 감지 패턴(112)들은 동일한 층, 예를 들면, 상기 기판(100) 상에 배치될 수 있다.
상기 제1 패턴 연결 라인(114a), 상기 제1 감지 패턴(114)들 및 상기 제2 감지 패턴(112)들은 적어도 하나의 도전층을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 패턴 연결 라인(114a), 상기 제1 감지 패턴(114)들 및 상기 제2 감지 패턴(112)들은 상기 기판(100) 상에 배치된 제1 도전층(CL1) 및 상기 제1 도전층(CL1) 상에 배치된 제3 도전층(CL3)을 포함할 수 있다.
상기 제1 도전층(CL1)은 도전성 나노 와이어를 포함할 수 있다. 상기 도전성 나노 와이어는 은(Ag) 나노 와이어, 금(Au) 나노 와이어, 백금(Pt) 나노 와이어, 구리(Cu) 나노 와이어 및 니켈(Ni) 나노 와이어 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기 주변 영역(PA)에는 복수의 패드(141)들을 구비하는 상기 패드부(140) 및 상기 패드(141)들 및 상기 제1 감지 패턴(114)들과 상기 제2 감지 패턴(112)들을 연결하는 상기 배선(130)들이 배치될 수 있다.
상기 패드부(140)는 상기 터치 스크린 패널을 구동하기 위한 구동 회로부(미도시)와 연결될 수 있다.
상기 배선(130)들은 상기 제1 감지 패턴(114)들 및 상기 패드(141)들을 각각 연결하는 제1 배선(134)들 및 상기 제2 감지 패턴(112)들 및 상기 패드(141)들을 각각 연결하는 제2 배선(132)들을 포함할 수 있다.
상기 패드(141)들, 상기 제1 배선(134)들 및 상기 제2 배선(132)들은 상기 기판(100) 상에 배치된 제2 도전층(CL2) 및 상기 제2 도전층(CL2) 상에 배치된 상기 제3 도전층(CL3)을 포함할 수 있다. 상기 제2 도전층(CL2)은 상기 제1 도전층(CL1)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 즉, 상기 제2 도전층(CL2)은 도전성 나노 와이어를 포함할 수 있다. 다만, 상기 제2 도전층(CL2) 내의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도가 상기 제1 도전층(CL1) 내의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도보다 클 수 있다. 따라서, 상기 제2 도전층(CL2)의 저항이 상기 제1 도전층(CL1)의 저항보다 낮을 수 있다.
상기 제3 도전층(CL3)은 투명 도전성 산화물을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제3 도전층(CL3)은 ITO(Indium Tin Oxide) 및 IZO(Indium Zinc Oxide) 중 하나를 포함할 수 있다. 상기 제3 도전층(CL3)은 상기 제1 도전층(CL1) 및 상기 제2 도전층(CL2)의 전압 강하(IR drop) 현상을 방지할 수 있다.
상기 제1 감지 패턴(114)들, 상기 제2 감지 패턴(112)들, 상기 제1 패턴 연결 라인(114a), 상기 패드(141)들, 및 상기 배선(130)들이 배치된 상기 기판(100) 상에는 절연막(120)이 배치될 수 있다. 상기 절연막(120)은 광을 투과시킬 수 있는 유기 절연 물질을 포함할 수 있다. 또한, 상기 절연막(120)은 상기 제2 감지 패턴(112)들의 일부를 노출시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 절연막(120)은 각 제2 감지 패턴(112)의 이웃하는 상기 제2 감지 패턴에 인접한 영역을 노출시킬 수 있다.
상기 절연막(120) 상에는 상기 제2 감지 패턴(112)들을 연결할 수 있는 제2 패턴 연결 라인(112a)이 배치될 수 있다. 상기 제2 패턴 연결 라인(112a)은 상기 제1 패턴 연결 라인(114a)과 교차할 수 있다.
상기 제2 패턴 연결 라인(112a)은 도전성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제2 패턴 연결 라인(112a)은 몰리브덴(Mo), 은(Ag), 티타늄(Ti), 알루미늄(Al), 구리(Cu) 및 이들의 합금 중 하나를 포함할 수 있다. 또한, 상기 제2 패턴 연결 라인(112a)은 ITO(Indium Tin Oxide) 및 IZO(Indium Zinc Oxide) 중 하나를 포함할 수 있다. 상기 제2 패턴 연결 라인(112a)은 도전성 폴리머를 포함할 수도 있다.
상기 터치 스크린 패널은 가요성 기판인 상기 기판(100) 상에 배치된 상기 제1 감지 패턴(114), 상기 제2 감지 패턴(112), 상기 패드(141)들, 및 상기 배선(130)들 모두 도전성 나노 와이어를 포함할 수 있다. 일반적으로 상기 도전성 나노 와이어를 포함하는 도전 패턴 또는 도전층은 순수 금속 또는 합금을 포함하는 도전 패턴 또는 도전층에 비하여 가요성이 우수하다. 따라서, 상기 터치 스크린 패널은 가요성을 가질 수 있으며, 반복적인 휨 또는 벤딩에 의한 상기 제1 감지 패턴(114), 상기 제2 감지 패턴(112), 상기 패드(141)들, 및 상기 배선(130)들의 손상을 방지할 수 있다.
도 4 내지 도 10은 도 1 내지 도 3에 도시된 터치 스크린 패널의 제조 방법을 설명하기 위한 공정 도면이다.
도 4는 전사 기판 상에 도전 패턴을 형성하는 공정을 설명하기 위한 단면도이며, 도 5는 도 4의 평면도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 전사 기판(TS) 상에 도전성 나노 와이어를 도포하여 도전층(CP)을 형성한다. 상기 도전층(CP)은 상기 전사 기판(TS) 상에 배치된 제1 도전층(CL1), 및 상기 상기 제1 도전층(CL1) 외부에 배치된 제2 도전층(CL2)을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제1 도전층(CL1)의 도전성 나노 와이어의 밀도는 상기 제2 도전층(CL2)의 도전성 나노 와이어의 밀도와 서로 다를 수 있다. 상기 도전성 물질은 도전성 나노 와이어를 포함할 수 있다. 상기 도전성 나노 와이어는 은(Ag) 나노 와이어, 금(Au) 나노 와이어, 백금(Pt) 나노 와이어, 구리(Cu) 나노 와이어 및 니켈(Ni) 나노 와이어 중 적어도 하나일 수 있다.
상기 제1 도전층(CL1) 및 상기 제2 도전층(CL2)은 상기 전사 기판(TS) 상에 배치된 노즐 유닛(NU)을 이용하여 형성될 수 있다. 상기 노즐 유닛(NU)은 복수의 노즐(NU1)들을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 노즐 유닛(NU)은 제1 노즐(NU1a) 및 상기 제1 노즐(NU1a)의 양측에 배치되고 상기 제1 노즐(NU1a)의 개구 면적과 다른 개구 면적을 가지는 제2 노즐(NU1b)들을 포함할 수 있다. 상기 제2 노즐(NU1b)들의 개구된 면적은 각 제1 노즐(NU1a)의 개구된 면적보다 클 수 있다. 따라서, 상기 제2 노즐(NU1b)들에서 토출되어 단위 면적당 퇴적되는 상기 도전성 나노 와이어의 양이 상기 제1 노즐(NU1a)에서 토출되어 단위 면적당 퇴적되는 상기 도전성 나노 와이어의 양보다 클 수 있다. 즉, 상기 제2 노즐(NU1b)들에 의해 퇴적된 상기 도전성 나노 와이어의 밀도가 상기 제1 노즐(NU1a)에 의해 퇴적된 상기 도전성 나노 와이어의 밀도보다 클 수 있다.
또한, 상기 전사 기판(TS)의 이송 속도는 일정 주기로 변경될 수 있다. 예를 들면, 상기 전사 기판(TS)은 제1 기간에는 제1 속도로 이송될 수 있으며, 상기 제1 기간보다 짧은 제2 기간에는 상기 제1 속도와 다른 제2 속도로 이송될 수 있다. 여기서, 상기 제2 속도는 상기 제1 속도보다 느릴 수 있다. 상기 전사 기판(TS)의 이송 속도가 상기 제2 속도인 경우, 상기 전사 기판(TS) 상에 퇴적되는 단위 면적당 상기 도전성 나노 와이어의 양은 상기 제1 속도에서 상기 전사 기판(TS) 상에 퇴적되는 단위 면적당 상기 나노 와이어의 양보다 클 수 있다. 즉, 상기 제2 속도에서 상기 전사 기판(TS) 상에 퇴적된 상기 도전성 나노 와이어의 밀도가 상기 제1 속도에서 상기 전사 기판(TS) 상에 퇴적된 상기 도전성 나노 와이어의 밀도보다 클 수 있다.
상기 제1 도전층(CL1)은 상기 제1 속도에서 상기 제1 노즐(NU1a)에 의해 토출된 상기 도전성 나노 와이어가 퇴적된 도전층일 수 있다. 또한, 상기 제2 도전층(CL2)은 상기 제2 노즐(NU1b)들에 의해 토출된 상기 도전성 나노 와이어가 퇴적된 도전층 및 상기 제2 속도에서 상기 도전성 나노 와이어가 퇴적된 도전층을 포함할 수 있다.
따라서, 상기 제2 도전층(CL2)의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도가 상기 제1 도전층(CL1)의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도보다 클 수 있다. 그러므로, 상기 제2 도전층(CL2)의 저항이 상기 제1 도전층(CL1)의 저항보다 낮을 수 있다.
도 6은 전사 기판 상의 제1 및 제2 도전층을 전사시키는 공정을 설명하기 위한 단면도이다.
도 6를 참조하면, 상기 전사 기판(TS) 상에 상기 도전층(CP)을 형성한 후, 상기 제1 도전층(CL1) 및 상기 제2 도전층(CL2)을 감지 영역(SA) 및 주변 영역(PA)을 포함하는 기판(100) 상으로 전사시킨다. 여기서, 상기 제1 도전층(CL1)은 상기 감지 영역(SA)으로 전사되고, 상기 제2 도전층(CL2)은 상기 주변 영역(PA)으로 전사될 수 있다.
상기 도전층(CP)의 전사는 롤투롤(Roll-to-Roll) 공법을 이용하여 진행할 수 있다.
이를 보다 상세히 설명하면, 상기 도전층(CP)이 형성된 상기 전사 기판(TS)을 전사 롤(RU)로 공급한다. 여기서, 상기 도전층(CP)은 상기 기판(100)에 마주하도록 배치될 수 있다.
상기 전사 롤(RU)은 회전과 동시에, 상기 기판(100) 방향으로 상기 전사 기판(TS)에 압력을 가할 수 있다. 따라서, 상기 전사 기판(TS) 상의 상기 도전층(CP)은 상기 기판(100) 상으로 전사될 수 있다.
도 7은 제1 및 제2 도전층 상에 제3 도전층을 형성시키는 공정을 설명하기 위한 단면도이다.
도 7을 참조하면, 상기 제1 도전층(CL1) 및 상기 제2 도전층(CL2)을 포함하는 상기 도전층(CP)을 상기 기판(100)으로 전사한 후, 상기 기판(100) 상의 상기 도전층(CP) 상에 제3 도전층(CL3)을 형성한다.
상기 제3 도전층(CL3)은 투명 도전성 산화물을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제3 도전층(CL3)은 ITO(Indium Tin Oxide) 및 IZO(Indium Zinc Oxide) 중 하나를 포함할 수 있다. 상기 제3 도전층(CL3)은 상기 제1 도전층(CL1) 및 상기 제2 도전층(CL2)의 전압 강하(IR drop) 현상을 방지할 수 있다.
도 8은 제1 도전층, 제2 도전층 및 제3 도전층을 패터닝하는 공정을 설명하기 위한 단면도이다.
도 8을 참조하면, 상기 제3 도전층(CL3)을 형성한 후, 상기 제1 도전층(CL1), 상기 제2 도전층(CL2), 및 상기 제3 도전층(CL3)을 패터닝한다. 상기 패터닝은 습식 식각 공정을 통하여 수행될 수 있으며, 상기 제1 도전층(CL1), 상기 제2 도전층(CL2), 및 상기 제3 도전층(CL3)은 동시에 식각될 수 있다.
상기 패터닝에 의하여, 상기 감지 영역(SA)에는 일방향으로 배열된 제1 감지 패턴(114)들, 상기 제1 감지 패턴(114)들에 교차하는 방향으로 배열된 제2 감지 패턴(112)들, 서로 인접하는 상기 제1 감지 패턴(114)들을 연결하는 제1 패턴 연결 라인(114a)이 형성된다. 따라서, 상기 제1 감지 패턴(114)들, 상기 제2 감지 패턴(112)들 및 상기 제1 패턴 연결 라인(114a)은 상기 기판(100) 상에 배치된 상기 제1 도전층(CL1) 및 상기 제1 도전층(CL1) 상에 배치된 상기 제3 도전층(CL3)을 포함할 수 있다.
또한, 상기 패터닝에 의하여, 상기 주변 영역(PA)에는 복수의 패드(141)들을 포함하는 패드부(140), 상기 제1 감지 패턴(114)들을 상기 패드부(140)에 연결하는 제1 배선(134)들, 및 상기 제2 감지 패턴(112)들을 패드부(140)에 연결하는 제2 배선(132)들이 형성된다.
따라서, 상기 패드(141)들, 상기 제1 배선(134)들 및 상기 제2 배선(132)들은 상기 기판(100) 상에 배치된 상기 제2 도전층(CL2) 및 상기 제2 도전층(CL2) 상에 배치된 제3 도전층(CL3)을 포함할 수 있다.
도 9는 절연막을 형성하는 공정을 설명하기 위한 단면도이다.
도 9를 참조하면, 상기 제1 도전층(CL1), 상기 제2 도전층(CL2), 상기 제3 도전층(CL3)을 패터닝한 후, 상기 제1 감지 패턴(114)들, 상기 제2 감지 패턴(112)들, 상기 제2 패턴 연결 라인(112a), 상기 패드부(140), 상기 제1 배선(134)들 및 상기 제2 배선(132)들을 커버하는 상에 절연막(120)을 형성한다. 상기 절연막(120)은 광을 투과시킬 수 있는 유기 절연 물질을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 절연막(120)은 스핀 코팅을 통해 형성될 수 있다.
도 10은 제2 패턴 연결 라인을 형성하는 공정을 설명하기 위한 단면도이다.
도 10을 참조하면, 상기 절연막(120)을 형성한 후, 상기 절연막(120)을 패터닝한다. 상기 절연막(120)은 패터닝되어, 상기 제2 감지 패턴(112)들의 일부를 노출시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 절연막(120)은 각 제2 감지 패턴(112)의 이웃하는 상기 제2 감지 패턴(112)들에 인접한 영역을 노출시킬 수 있다.
상기 절연막(120)을 패터닝한 후, 상기 절연막(120) 상에 서로 인접하는 상기 제2 감지 패턴(112)들을 전기적으로 연결하는 제2 패턴 연결 라인(112a)을 형성한다. 상기 제2 패턴 연결 라인(112a)은 상기 절연막(120) 상에 도전막을 형성하고, 상기 도전막을 패터닝하여 형성될 수 있다. 상기 도전막은 몰리브덴(Mo), 은(Ag), 티타늄(Ti), 알루미늄(Al), 구리(Cu) 및 이들의 합금 중 하나를 포함할 수 있다. 또한, 상기 도전막은 ITO(Indium Tin Oxide) 및 IZO(Indium Zinc Oxide) 중 하나를 포함할 수 있다. 상기 도전막은 도전성 폴리머를 포함할 수도 있다.
상술한 바와 같은 터치 스크린 패널의 제조 방법은 상기 제1 감지 패턴(114), 상기 제2 감지 패턴(112), 상기 패드(141)들, 및 상기 배선(130)들을 동시에 형성할 수 있다. 즉, 패터닝 공정이 최소한으로 사용될 수 있다. 일반적인 패터닝 공정은 포토리소그래피 공정을 이용한다. 상기 포토리소그래피 공정은 반복적인 노광 및 현상 공정을 이용하여 환경 오염에 대한 우려가 있다. 따라서, 본 발명의 실시예에 따른 터치 스크린 패널의 제조 방법은 환경 오염의 우려를 감소시킬 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하고 설명하는 것이다. 또한, 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 전술한 바와 같이 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있으며, 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한, 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
100 : 기판 110 : 감지 전극
120 : 절연막 130 : 배선
140 : 패드부 CL1 : 제1 도전층
CL2 : 제2 도전층 CL3 : 제3 도전층
TS : 전사 기판 NU : 노즐 유닛
RU : 전사 롤

Claims (16)

  1. 감지 영역 및 주변 영역을 포함하는 기판;
    상기 감지 영역에서 상기 기판 상에 배치되고, 서로 교차하는 방향으로 배열된 복수의 제1 감지 패턴들 및 복수의 제2 감지 패턴들;
    상기 제1 감지 패턴들 및 상기 제2 감지 패턴들과 동일층 상에 배치되고, 서로 인접하는 상기 제1 감지 패턴들을 연결하는 제1 패턴 연결 라인;
    상기 제1 패턴 연결 라인에 절연되게 교차하고, 서로 인접하는 상기 제2 감지 패턴들을 전기적으로 연결하는 제2 패턴 연결 라인;
    상기 주변 영역에서, 상기 기판 상에 배치되고, 복수의 패드들을 포함하는 패드부; 및
    상기 패드들, 상기 제1 감지 패턴들 및 상기 제2 감지 패턴들을 연결하는 복수의 배선들을 포함하며,
    상기 제1 감지 패턴들, 상기 제2 감지 패턴들, 및 상기 제1 패턴 연결 라인들은 제1 도전층을 포함하고, 상기 패드들 및 상기 배선들은 제2 도전층을 포함하며,
    상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층은 각각 도전성 나노 와이어를 포함하고, 상기 제1 도전층의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도는 상기 제2 도전층의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도와 다르고,
    상기 제1 도전층과 상기 제2 도전층은 동일한 층에 배치되는 터치 스크린 패널.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 도전층의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도는 상기 제1 도전층의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도보다 높은 터치 스크린 패널.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 제2 도전층의 저항은 상기 제1 도전층의 저항보다 낮은 터치 스크린 패널.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 도전성 나노 와이어는 은(Ag) 나노 와이어, 금(Au) 나노 와이어, 백금(Pt) 나노 와이어, 구리(Cu) 나노 와이어 및 니켈(Ni) 나노 와이어 중 적어도 하나를 포함하는 터치 스크린 패널.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층 상에 배치된 제3 도전층을 더 포함하는 터치 스크린 패널.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 제3 도전층은 투명 도전성 산화물을 포함하는 터치 스크린 패널.
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