JP6150651B2 - タッチパネル、それを備えた表示装置およびタッチパネルの製造方法 - Google Patents
タッチパネル、それを備えた表示装置およびタッチパネルの製造方法 Download PDFInfo
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本発明の実施の形態1について、図面を用いて以下に説明する。図1は、実施の形態1に係るタッチパネル1の構成を示す平面図である。図1に示すように、タッチパネル1は、透明なガラスまたは樹脂を用いて形成された透明基板2と、検出用列配線3(第2配線)と、検出用行配線4(第1配線)と、接続用配線5a,5bと、引き出し配線16と、端子17とを備えている。なお、検出用列配線3、検出用行配線4、接続用配線5a,5b、引き出し配線16、および端子17は、透明基板2上に積層されて形成されている。この積層構造については後述することとする。
次に、実施の形態2に係るタッチパネル1について説明する。図10(a)は、露光操作の種類を説明するためのタッチパネル1の平面図であり、図10(b)は、検出領域を2分割した場合の露光操作の種類とグレイトーン露光の実施領域の配分比率との関係を示すグラフを図示した図である。なお、実施の形態2において、実施の形態1で説明したものと同一の構成要素については同一符号を付して説明は省略する。
Claims (8)
- 透明基板と、
前記透明基板上に形成され、かつ、行方向に延伸し当該行方向に交差する列方向に間隔をおいて配列された複数の第1配線を含む行方向束配線と、
前記透明基板と前記行方向束配線とを覆うように形成された第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜上に形成され、かつ、前記列方向に延伸し前記行方向に間隔をおいて配列された複数の第2配線を含む列方向束配線と、
前記第1絶縁膜と、前記列方向束配線とを覆うように形成された第2絶縁膜と、
を備え、
前記行および列方向束配線の交差領域において、前記第1配線上の前記第1および第2絶縁膜の合計膜厚および前記第2配線上の前記第2絶縁膜の膜厚を、複数の局所部位において薄くすることで、当該局所部位の透過率を変化させた、タッチパネル。 - 隣接する複数の前記交差領域に渡って、前記行方向または前記列方向に、各前記交差領域における前記複数の局所部位の数を変化させた、請求項1記載のタッチパネル。
- 各前記交差領域における前記複数の局所部位について、それぞれの面積および形状、ならびにパターンレイアウトの少なくとも1つをも変化させた、請求項2記載のタッチパネル。
- 各前記交差領域における前記複数の局所部位について、それぞれの面積および形状、ならびにそれらの数およびパターンレイアウトの少なくとも1つは、前記交差領域の前記行および列方向のアドレスに応じて変更された、請求項1記載のタッチパネル。
- 前記タッチパネルの検出領域を複数に分割した分割領域ごとの、各前記交差領域における前記複数の局所部位について、それぞれの面積および形状、ならびにそれらの数およびパターンレイアウトの少なくとも1つは、前記交差領域の前記行および列方向のアドレスに応じて変更された、請求項1記載のタッチパネル。
- 前記複数の局所部位に対してグレイトーン露光を行うことで、当該複数の局所部位の膜厚を薄くした、請求項1〜5のいずれか1つに記載のタッチパネル。
- 請求項1〜6のいずれか1つに記載のタッチパネルを備えた、表示装置。
- 請求項4または請求項5記載のタッチパネルの製造方法であって、
(a)各前記交差領域に前記複数の局所部位をグレイトーン露光により形成するための露光用マスクパターンを、前記交差領域の前記行および列方向のアドレスに応じて、かつ、露光操作の種類ごとに用意する工程と、
(b)前記露光操作の種類に応じかつ前記アドレスに応じた前記露光用マスクパターンを用いてグレイトーン露光を行う工程と、
を備えた、タッチパネルの製造方法。
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