JP5542103B2 - 気化器 - Google Patents
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Description
沸点(℃)/圧力(mmHg)
融点(℃)
Sr(DPM)2 242/14 78
Bi(C6H5)3 270〜280/1 201
Ta(OC2H5)5 146/0.15 22
THF 67 −109
請求項2に係る発明は、ガス通路が形成されている分散部本体に、冷却水を流す空間が形成されている請求項1記載の気化器である。
請求項3に係る発明は、ガス通路が形成されている分散部本体と気化部との接続部が冷却されるようにした請求項1又は2記載の気化器である。
請求項4に係る発明は、前記キャリアガスは窒素ガスである請求項1ないし3いずれか1項記載の気化器である。
請求項5に係る発明は、前記原料溶液としてSr(DPM)2、Bi(C6H5)3、Ta(OC2H5)5を導入した請求項1ないし4いずれか1項記載の気化器である。
図1に実施例1に係るMOCVD用気化器を示す。
ガス通路2に加圧されたキャリアガス3を導入するためのガス導入口4と、
ガス通路2を通過するキャリアガスに原料溶液5を供給するための手段(原料供給孔)
6と、
分散された原料溶液5を含むキャリアガスを気化部22に送るためのガス出口7と、
ガス通路2内を流れるキャリアガスを冷却するための手段(冷却水)18と、
を有する分散部8と、
一端がMOCVD装置の反応管に接続され、他端が分散部8のガス出口7に接続された気化管20と、
気化管20を加熱するための加熱手段(ヒータ)21と、
を有し、前記分散部8から送られてきた、原料溶液が分散されたキャリアガスを加熱して気化させるための気化部22と、
を有する。
本例では、図1に示す装置において、冷却手段を取り除いた装置を用いて実施例1と同様の実験を行った。
図5に実施例2に係るMOCVD用気化器を示す。
図6に実施例3に係るMOCVD用気化器を示す。
図7にガス通路の変形実施例を示す。
図8に基づき実施例5を説明する。
内部に形成されたガス通路と、
ガス通路に加圧されたキャリアガス3を導入するためのガス導入口4と、
ガス通路に原料溶液5a,5bを供給するための手段と、
原料溶液5a、5bを含むキャリアガスを気化部22に送るためのガス出口7と、
を有する分散部8と、
一端がMOCVD装置の反応管に接続され、他端が前ガス出口7に接続された気化管20と、
気化管20を加熱するための加熱手段と、
を有し、
分散部8から送られてきた、原料溶液を含むキャリアガスを加熱して気化させるための気化部22と、
を有し、
分散部8は、円筒状中空部を有する分散部本体1と、円筒状中空部の内径より小さな外径を有するロッド10とを有し、
ロッド10の外周の気化器22側に1又は2以上の螺旋状の溝60を有し、
ロッド10は該円筒状中空部に挿入されている。
図8に示す装置を用い、次ぎなる条件で原料溶液及びキャリアガスの供給を行い、原料ガスにおける均一性を調べた。
Bi(C6H5)3 0.08cc/min
Ta(OC2H5)5 0.08cc/min
THF 0.2cc/min
キャリアガス:窒素ガス
10〜350m/s
本例では、ロッドとして螺旋溝を形成したロッドを使用した。
2 ガス通路、
3 キャリアガス、
4 ガス導入口、
5 原料溶液、
6 原料供給孔、
7 ガス出口、
8 分散部、
9a,9b,9c,9d ビス、
10 ロッド、
18 冷却するための手段(冷却水)、
20 気化管、
21 加熱手段(ヒータ)、
22 気化部、
23 接続部、
24 継手、
25 酸素導入手段(酸素供給口)、
29 原料供給入口、
30a,30b,30c,30d マスフローコントローラ、
31a,31b,31c,31d バルブ、
32a,32b,32c,32d リザーブタンク、
33 キャリアガスボンベ、
42 排気口、
40 バルブ、
44 反応管、
46 ガスパック、
51 テーパー、
70 溝。
Claims (5)
- 原料溶液が分散したキャリアガスを、分散部のガス通路に通し、該ガス通路のガス出口において連通する気化部に導入して気化を行う気化器において、該ガス通路に連通するように原料溶液を供給するための原料供給孔を設けてあり、該原料供給孔の下流から該ガス通路の該ガス出口まで冷却されるようにしたことを特徴とする気化器。
- ガス通路が形成されている分散部本体に、冷却水を流す空間が形成されている請求項1記載の気化器。
- ガス通路が形成されている分散部本体と気化部との接続部が冷却されるようにした請求項1又は2記載の気化器。
- 前記キャリアガスは窒素ガスである請求項1ないし3いずれか1項記載の気化器。
- 前記原料溶液としてSr(DPM)2、Bi(C6H5)3、Ta(OC2H5)5を導入した請求項1ないし4いずれか1項記載の気化器。
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