JP5539113B2 - インプリント装置及び物品の製造方法 - Google Patents

インプリント装置及び物品の製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5539113B2
JP5539113B2 JP2010192701A JP2010192701A JP5539113B2 JP 5539113 B2 JP5539113 B2 JP 5539113B2 JP 2010192701 A JP2010192701 A JP 2010192701A JP 2010192701 A JP2010192701 A JP 2010192701A JP 5539113 B2 JP5539113 B2 JP 5539113B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
space
imprint apparatus
imprint
pressure
resin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2010192701A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2012049471A (ja
JP2012049471A5 (enrdf_load_stackoverflow
Inventor
剛 新井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2010192701A priority Critical patent/JP5539113B2/ja
Publication of JP2012049471A publication Critical patent/JP2012049471A/ja
Publication of JP2012049471A5 publication Critical patent/JP2012049471A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5539113B2 publication Critical patent/JP5539113B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
JP2010192701A 2010-08-30 2010-08-30 インプリント装置及び物品の製造方法 Active JP5539113B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010192701A JP5539113B2 (ja) 2010-08-30 2010-08-30 インプリント装置及び物品の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010192701A JP5539113B2 (ja) 2010-08-30 2010-08-30 インプリント装置及び物品の製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2012049471A JP2012049471A (ja) 2012-03-08
JP2012049471A5 JP2012049471A5 (enrdf_load_stackoverflow) 2013-10-10
JP5539113B2 true JP5539113B2 (ja) 2014-07-02

Family

ID=45903974

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010192701A Active JP5539113B2 (ja) 2010-08-30 2010-08-30 インプリント装置及び物品の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5539113B2 (enrdf_load_stackoverflow)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013026474A (ja) * 2011-07-21 2013-02-04 Canon Inc インプリントシステム及び物品の製造方法
US10423064B2 (en) 2014-12-02 2019-09-24 Canon Kabushiki Kaisha Imprint apparatus and method of manufacturing article

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6018405B2 (ja) * 2012-04-25 2016-11-02 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法
JP2014041861A (ja) * 2012-08-21 2014-03-06 Dainippon Printing Co Ltd インプリント装置およびインプリント方法
JP6071330B2 (ja) * 2012-08-27 2017-02-01 川崎重工業株式会社 熱回収用熱交換器、熱回収ユニットおよび燃焼プラント
JP5716876B2 (ja) * 2012-10-04 2015-05-13 大日本印刷株式会社 インプリント方法およびインプリント装置
JP6139434B2 (ja) 2013-12-13 2017-05-31 株式会社東芝 インプリント方法
JP6313591B2 (ja) * 2013-12-20 2018-04-18 キヤノン株式会社 インプリント装置、異物除去方法及び物品の製造方法
JP6429573B2 (ja) * 2014-10-03 2018-11-28 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法
JP6025079B2 (ja) * 2014-10-07 2016-11-16 大日本印刷株式会社 インプリント装置およびその制御方法
JP6702672B2 (ja) 2015-09-03 2020-06-03 キヤノン株式会社 インプリント装置、物品の製造方法及び供給装置
KR20240076849A (ko) 2016-08-26 2024-05-30 몰레큘러 임프린츠 인코퍼레이티드 모놀리식 고굴절률 광자 디바이스들
JP2017120928A (ja) * 2017-03-13 2017-07-06 大日本印刷株式会社 インプリント装置およびインプリント方法
CN114074092B (zh) * 2020-08-21 2023-09-12 深圳中科飞测科技股份有限公司 一种检测设备及检测系统

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6482742B1 (en) * 2000-07-18 2002-11-19 Stephen Y. Chou Fluid pressure imprint lithography
JP4335495B2 (ja) * 2002-03-27 2009-09-30 株式会社日立ハイテクノロジーズ 定圧チャンバ、それを用いた照射装置及び回路パターンの検査装置
JP2006013401A (ja) * 2004-06-29 2006-01-12 Canon Inc 微細加工装置
JP2006116602A (ja) * 2004-09-24 2006-05-11 Bondotekku:Kk 加圧装置の平行調整方法及び装置
JP2007181938A (ja) * 2006-01-04 2007-07-19 Sumitomo Electric Ind Ltd 微細構造転写装置および微細構造転写方法
JP2008091782A (ja) * 2006-10-04 2008-04-17 Toshiba Corp パターン形成用テンプレート、パターン形成方法、及びナノインプリント装置
JP5137635B2 (ja) * 2007-03-16 2013-02-06 キヤノン株式会社 インプリント方法、チップの製造方法及びインプリント装置
NL1036596A1 (nl) * 2008-02-21 2009-08-24 Asml Holding Nv Re-flow and buffer system for immersion lithography.
JP5121549B2 (ja) * 2008-04-21 2013-01-16 株式会社東芝 ナノインプリント方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013026474A (ja) * 2011-07-21 2013-02-04 Canon Inc インプリントシステム及び物品の製造方法
US10423064B2 (en) 2014-12-02 2019-09-24 Canon Kabushiki Kaisha Imprint apparatus and method of manufacturing article

Also Published As

Publication number Publication date
JP2012049471A (ja) 2012-03-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5539113B2 (ja) インプリント装置及び物品の製造方法
JP5268524B2 (ja) 加工装置
JP5864934B2 (ja) インプリントシステム及び物品の製造方法
JP6313591B2 (ja) インプリント装置、異物除去方法及び物品の製造方法
JP6184538B2 (ja) インプリント方法、およびインプリント装置
JP5421378B2 (ja) インプリント・リソグラフィ・ツールのその場クリーニング
US11648712B2 (en) Imprint apparatus, imprint method, and method of manufacturing article
JP5364533B2 (ja) インプリントシステムおよびインプリント方法
KR20150065685A (ko) 임프린트 방법 및 임프린트 장치
JP6525572B2 (ja) インプリント装置、および物品の製造方法
JP2014212206A (ja) インプリント装置、それを用いた物品の製造方法
JP2015233100A (ja) インプリント装置、および物品製造方法
TWI645955B (zh) 壓印設備、製造物品的方法及供給設備
JP6445772B2 (ja) インプリント装置及び物品の製造方法
KR102604061B1 (ko) 성형 장치, 성형 방법, 및 물품의 제조 방법
JP2017208424A (ja) インプリント装置、及び物品の製造方法
JP2016092198A (ja) インプリント装置および方法、ならびに物品製造方法
KR102643548B1 (ko) 임프린트 장치 및 물품 제조방법
JP2014007260A (ja) インプリント装置、収納ケース及び物品の製造方法
JP6921690B2 (ja) 集塵装置、基板処理システム、および物品の製造方法
JP2019125745A (ja) モールドを用いて基板上の組成物を成形する成形装置及び物品の製造方法
JP7410616B2 (ja) 平坦化装置、物品の製造方法、平坦化方法及びインプリント装置
JP5611399B2 (ja) 加工装置
JP2017147277A (ja) インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法
JP2015023151A (ja) インプリント装置、インプリント方法、プログラム、インプリントシステム、それらを用いた物品の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130823

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20130823

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20140219

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140404

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 5539113

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140430