JP5537460B2 - 荷電粒子線顕微鏡及びそれを用いた計測画像の補正方法 - Google Patents
荷電粒子線顕微鏡及びそれを用いた計測画像の補正方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5537460B2 JP5537460B2 JP2011031516A JP2011031516A JP5537460B2 JP 5537460 B2 JP5537460 B2 JP 5537460B2 JP 2011031516 A JP2011031516 A JP 2011031516A JP 2011031516 A JP2011031516 A JP 2011031516A JP 5537460 B2 JP5537460 B2 JP 5537460B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- drift
- scanning electron
- correction
- electron microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 21
- 239000002245 particle Substances 0.000 title description 13
- 238000003702 image correction Methods 0.000 title description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 54
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical or photographic arrangements associated with the tube
- H01J37/222—Image processing arrangements associated with the tube
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/80—Camera processing pipelines; Components thereof
- H04N23/81—Camera processing pipelines; Components thereof for suppressing or minimising disturbance in the image signal generation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/153—Correcting image defects, e.g. stigmators
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Description
以下に、本発明の実施形態を図を用いて説明する。
本発明の第2の実施例について図9を用いて説明する。以上の説明で述べた手法に加えて、操作画面上でもユーザにサポートすることが可能となる。警告画面901は、警告用文字列904,第1のボタン902と第2のボタン903から構成される。画像のドリフトが検出された際に、ユーザに警告画面901を表示させて、撮像された画像にドリフトが含まれていることを示す。それと同時に、警告画面901上に撮像された画像のドリフトを補正するかに関して、ユーザがドリフトの実行可否を選択する。選択する際に、第1のボタン902か、第2のボタン903をクリックし、ドリフトの補正可否を確定する。
102 画像入力装置
103 補正条件入力装置
104 演算装置
105 記憶装置
106 画像出力装置
201 観察用画像
202 補正用参照画像
203 補正後観察用画像
301 観察用画像プロファイル位置
302 補正用参照画像プロファイル位置
303 観察用画像プロファイル
304 補正用参照画像プロファイル
401 横方向ドリフト量グラフ
402 横方向ドリフト量計測量
403 横方向ドリフト量近似曲線
501 横方向ドリフト量補正後画像
601 参照用領域
602 補正位置検索領域
603 縦方向ドリフト量グラフ
801 参照用画像取得
802 観測用画像取得
803 横方向ドリフト量算出
804 横方向ドリフト量近似
805 横方向ドリフト補正
806 縦方向ドリフト量算出
807 縦方向ドリフト量近似
808 縦方向ドリフト補正
901 警告画面
902 第1のボタン
903 第2のボタン
904 文字列
Claims (6)
- 観察するための試料を搭載し、移動して試料の観察位置を変更することのできる試料台を備えた走査型電子顕微鏡と、当該走査型電子顕微鏡で計測した信号を画像として取得する画像入力装置と、入力した画像を保存するための記憶装置と、画像に処理を施し種々の補正を行うための演算装置と、補正を行う条件を入力するための入力装置と、補正を行った画像を出力するための出力装置を備えた走査型電子顕微鏡システムにおいて、
観察画像より短時間で補正用参照画像を計測し、
前記観察画像と前記補正用参照画像との比較により、前記観察画像の計測中に発生する前記試料台のドリフトに起因する前記観察画像の歪を当該観察画像のライン単位で検出し、検出した前記歪をライン単位で補正して、前記歪を軽減した画像を出力することを特徴とする走査型電子顕微鏡システム。 - 請求項1に記載の走査型電子顕微鏡システムにおいて、
1枚の前記観察画像の歪を補正するために、前記補正用参照画像を1枚取得することを特徴とする走査型電子顕微鏡システム。 - 請求項1に記載の走査型電子顕微鏡システムにおいて、
前記観察画像の横方向の歪を前記補正用参照画像との比較により、前記観察画像の横方向のラインのドリフト量として検出し、前記観察画像の歪を補正することを特徴とする走査型電子顕微鏡システム。 - 請求項1に記載の走査型電子顕微鏡システムにおいて、
前記観察画像の縦方向の歪を前記補正用参照画像との比較により、前記観察画像の縦方向のラインのドリフト量として検出し、前記観察画像の歪を補正することを特徴とする走査型電子顕微鏡システム。 - 請求項1に記載の走査型電子顕微鏡システムにおいて、
前記観察画像の横方向および縦方向のドリフト量において、当該ドリフト量より近似曲線を求め、当該近似曲線から求められたドリフト量を補正量として前記観察画像の歪を補正することを特徴とする走査型電子顕微鏡システム。 - 請求項1に記載の走査型電子顕微鏡システムにおいて、
前記観察画像のドリフトの有無を操作画面上に表示させることを特徴とする走査型電子顕微鏡システム。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011031516A JP5537460B2 (ja) | 2011-02-17 | 2011-02-17 | 荷電粒子線顕微鏡及びそれを用いた計測画像の補正方法 |
DE112011104912.9T DE112011104912B4 (de) | 2011-02-17 | 2011-11-02 | Rasterelektronenmikroskop |
PCT/JP2011/006128 WO2012111054A1 (ja) | 2011-02-17 | 2011-11-02 | 荷電粒子線顕微鏡及びそれを用いた計測画像の補正方法 |
US13/981,326 US8957959B2 (en) | 2011-02-17 | 2011-11-02 | Charged particle microscope and measurement image correction method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011031516A JP5537460B2 (ja) | 2011-02-17 | 2011-02-17 | 荷電粒子線顕微鏡及びそれを用いた計測画像の補正方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012169233A JP2012169233A (ja) | 2012-09-06 |
JP2012169233A5 JP2012169233A5 (ja) | 2013-03-14 |
JP5537460B2 true JP5537460B2 (ja) | 2014-07-02 |
Family
ID=46672020
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011031516A Expired - Fee Related JP5537460B2 (ja) | 2011-02-17 | 2011-02-17 | 荷電粒子線顕微鏡及びそれを用いた計測画像の補正方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8957959B2 (ja) |
JP (1) | JP5537460B2 (ja) |
DE (1) | DE112011104912B4 (ja) |
WO (1) | WO2012111054A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6130120B2 (ja) * | 2012-10-02 | 2017-05-17 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 画像処理装置、画像処理方法、及びコンピュータ読取可能な記憶媒体 |
JP6190768B2 (ja) * | 2014-07-02 | 2017-08-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡装置およびそれを用いた撮像方法 |
JP6468160B2 (ja) * | 2015-10-16 | 2019-02-13 | 株式会社島津製作所 | 走査型荷電粒子顕微鏡 |
US9957805B2 (en) | 2015-12-18 | 2018-05-01 | General Electric Company | Turbomachine and turbine blade therefor |
JP7171010B2 (ja) * | 2018-03-07 | 2022-11-15 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 断面加工観察装置、断面加工観察方法及びプログラム |
JP7077260B2 (ja) * | 2019-03-22 | 2022-05-30 | 株式会社日立ハイテク | 電子ビーム装置及び画像処理方法 |
JP7428578B2 (ja) | 2020-04-22 | 2024-02-06 | 株式会社ホロン | マルチビーム画像生成装置およびマルチビーム画像生成方法 |
JP7144485B2 (ja) * | 2020-07-15 | 2022-09-29 | 日本電子株式会社 | 像取得方法および電子顕微鏡 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07272665A (ja) * | 1994-03-31 | 1995-10-20 | Hitachi Ltd | 透過形電子顕微鏡 |
US20060060781A1 (en) * | 1997-08-11 | 2006-03-23 | Masahiro Watanabe | Charged-particle beam apparatus and method for automatically correcting astigmatism and for height detection |
JP4277334B2 (ja) * | 1998-11-06 | 2009-06-10 | 株式会社ニコン | 観察装置およびその調整方法 |
JP4069545B2 (ja) * | 1999-05-19 | 2008-04-02 | 株式会社日立製作所 | 電子顕微方法及びそれを用いた電子顕微鏡並び生体試料検査方法及び生体検査装置 |
JP4003423B2 (ja) * | 2001-09-07 | 2007-11-07 | 株式会社日立製作所 | 荷電粒子線顕微鏡および荷電粒子線顕微方法 |
ATE484840T1 (de) * | 2001-10-10 | 2010-10-15 | Applied Materials Israel Ltd | Verfahren und vorrichtung zur ausrichtung einer säule für strahlen geladener teilchen |
JP2007200784A (ja) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | Osaka Industrial Promotion Organization | 試料ドリフト補正装置、これを備えた結像光学システム、及び試料ドリフト補正方法 |
JP4801518B2 (ja) * | 2006-07-07 | 2011-10-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線顕微方法および荷電粒子線装置 |
JP5268324B2 (ja) * | 2007-10-29 | 2013-08-21 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線顕微装置及び顕微方法 |
JP5462875B2 (ja) * | 2009-07-16 | 2014-04-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線顕微鏡及びそれを用いた測定方法 |
WO2011089911A1 (ja) * | 2010-01-25 | 2011-07-28 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線顕微鏡及びそれを用いた測定方法 |
-
2011
- 2011-02-17 JP JP2011031516A patent/JP5537460B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2011-11-02 DE DE112011104912.9T patent/DE112011104912B4/de active Active
- 2011-11-02 US US13/981,326 patent/US8957959B2/en active Active
- 2011-11-02 WO PCT/JP2011/006128 patent/WO2012111054A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012169233A (ja) | 2012-09-06 |
WO2012111054A1 (ja) | 2012-08-23 |
DE112011104912T5 (de) | 2014-01-23 |
US8957959B2 (en) | 2015-02-17 |
DE112011104912B4 (de) | 2022-03-31 |
US20130300854A1 (en) | 2013-11-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5537460B2 (ja) | 荷電粒子線顕微鏡及びそれを用いた計測画像の補正方法 | |
JP6668278B2 (ja) | 試料観察装置および試料観察方法 | |
JP5544344B2 (ja) | 欠陥観察方法及び欠陥観察装置 | |
JP2007067130A (ja) | 回路パターン検査方法及びその装置 | |
JP5255319B2 (ja) | 欠陥観察装置、および欠陥観察方法 | |
WO2010044433A1 (ja) | 画像処理方法、画像処理装置及び該画像処理装置を用いた表面検査装置 | |
WO2015158024A1 (zh) | 图像处理方法、装置和自动光学检测机 | |
JP6909886B2 (ja) | 画像推定方法およびシステム | |
WO2014208193A1 (ja) | ウエハ外観検査装置 | |
JP5576469B2 (ja) | パターン検査装置及びパターン検査方法 | |
JP6468160B2 (ja) | 走査型荷電粒子顕微鏡 | |
JP6199799B2 (ja) | 自発光材料画像処理装置及び自発光材料画像処理方法 | |
JP2017049036A (ja) | 画像測定装置及びその制御プログラム | |
EP3015850B1 (en) | Image acquiring method and image acquiring apparatus using same | |
JP4415285B1 (ja) | ワイヤ検査装置、ワイヤ検査方法及びワイヤ検査用プログラム | |
JP5547942B2 (ja) | 欠陥観察方法及びその装置 | |
JP2009258187A (ja) | 光学顕微鏡装置及び光学顕微鏡用データ処理装置 | |
JP5491817B2 (ja) | 電子顕微鏡における薄膜試料位置認識装置 | |
JP2016217913A (ja) | X線検査装置 | |
JP2006073286A (ja) | パターン検査装置 | |
JP2011185715A (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
JP2006125896A (ja) | フラットパネルディスプレイ検査装置 | |
JP2010243214A (ja) | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 | |
JP5087165B1 (ja) | 表面検査装置を調整するためのデータを出力する調整装置、調整データ出力方法及びプログラム | |
JP5761061B2 (ja) | 撮像装置及び顕微鏡、並びに、これらに用いられるプログラム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130130 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130130 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131112 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131227 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140401 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140425 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5537460 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |