JP5534599B2 - 位置決め装置 - Google Patents

Description

本発明は、精密な位置決めが可能な位置決め装置に関する。

研究開発や多品種少量生産の現場では、顕微鏡下で、微少な部品等に対する様々な作業が行われている。この場合、微少な部品等に対して、作業を行う部分を精密に位置決めすることが必要になることがある。

例えば、微少な部品等の２点間の電気的特性（例えば、抵抗値）を測定する場合、一対のプローブを、電気的特性の測定対象となる２点に接触させる必要があるが、この際、各プローブの精密な位置決めが必要となる。

このような場合、従来は、各プローブをそれぞれ、例えば、ＸＹＺステージに適宜取り付けて、任意の方向に移動できるようにしておき、各プローブをそれぞれ精密に位置決めするようにしてした。

しかしながら、このような従来の方法では、ＸＹＺステージを２セット用意しなければならず、位置決めのための機構が占めるスペースが大きくなっていた。

なお、特開２０１０−１４５９７号公報には、プリント基板上の各ネットの接触点に直接接触するための４個の可動プローブと、各可動プローブを支持して任意の位置に移動させ、各可動プローブの先端をネットの接触点に正確に位置決めして接触させるための４つのＸＹＺ駆動部とを備えた可動式コンタクト検査装置（フライングプローバ）が記載されている。

特開２０１０−１４５９７号公報

本発明の目的は、位置決めのための機構が占めるスペースを小さくすることが可能な位置決め装置を提供することにある。

本発明に係る位置決め装置は、先端に位置決め対象物が取り付けられる可動部と、前記可動部の先端の上下方向の位置を調節する高さ調節部と、前記可動部の先端の前後方向の位置を調節する前後調節部と、前記可動部の先端の左右方向の位置を調節する左右調節部とを備え、前記高さ調節部は、前記可動部の一部を撓ませることによって、前記可動部の先端の上下方向の位置を調節し、前記前後調節部は、前記可動部の一部を撓ませることによって、前記可動部の先端の前後方向の位置を調節し、前記左右調節部は、前記可動部の一部を撓ませることによって、前記可動部の先端の左右方向の位置を調節することを特徴とする。

この場合において、前記高さ調節部は、前記可動部を下方へ押すことによって、前記可動部の一部を撓ませるようにしてもよい。また、前記前後調節部は、前記可動部を後方へ引っ張ることによって、前記可動部の一部を撓ませるようにしてもよい。また、前記左右調節部は、前記可動部を左右いずれか一方へ押すことによって、前記可動部の一部を撓ませるようにしてもよい。

また、以上の場合において、前記可動部は、先端に位置決め対象物が取り付けられる一対のフィンガー部を備えるようにしてもよい。

この場合において、前記前後調節部は、前記一対のフィンガー部を後方へ引っ張ることによって、前記一対のフィンガー部を、先端が閉じる方向に付勢するようにしてもよい。また、前記左右調節部は、前記一対のフィンガー部の間に配置された回転部を備え、当該回転部は、前記一対のフィンガー部のそれぞれを外側に押すための一対の当接部を備えるようにしてもよい。この場合、前記回転部を回転させるための操作レバーを更に備えるようにしてもよい。更に、この場合、前記左右調節部は、前記一対のフィンガー部の先端が最も閉じた状態における操作レバーの位置を調節するようにしてもよい。また、前記一対のフィンガー部の先端が最も開いた状態における前記操作レバーの位置を調節するための最大開度調節部を更に備えるようにしてもよい。

本発明によれば、位置決めのための機構が占めるスペースを小さくすることが可能な位置決め装置が提供される。

本発明による位置決め装置１００の使用状態を示す図である。 本発明による位置決め装置１００の構造を説明するための斜視図である。 本発明による位置決め装置１００の構造を説明するための正面図である。 本発明による位置決め装置１００の構造を説明するための底面図である。 本発明による位置決め装置１００の構造を説明するための背面図である。 本発明による位置決め装置１００の構造を説明するための側面図である。 一対のフィンガー部１２２の先端を開いた状態を示す正面図である。 一対のフィンガー部１２２の先端を開いた状態を示す底面図である。 一対のフィンガー部１２２の先端を開いた状態を示す背面図である。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。

図１は、本発明による位置決め装置の使用状態を示す図である。同図は、顕微鏡下での作業に、本発明による位置決め装置を使用する場合を示すものである。

ここでは、ワークの２点間の電気的特性（例えば、抵抗値）を測定するための一対のプローブの精密位置決めに、本発明による位置決め装置を利用した例について説明する。

同図に示すように、本発明による位置決め装置１００は、その先端部に一対のプローブ（測定ピン）１０１が取り付けられており、当該一対のプローブ１０１の精密位置決めを行うものである。なお、同図（以下の図でも同様）では、簡単のため、プローブ１０１に接続される配線等については省略してある。また、位置決め装置１００の後端部は、アーム部１０の先端に取り付けられている。アーム部１０の後端は、載置台２０上に固定されたＸＹＺステージ３０に固定されており、ＸＹＺステージ３０を適宜操作することで、一定の範囲内において、位置決め装置１００を任意の位置に移動させることが可能となっている。一方、電気的特性の測定対象となるワーク４０は、ＸＹステージ５０上に載置されている。

同図に示した状態において、作業者は、例えば、位置決め装置１００を操作することで、一対のプローブ１０１の位置合わせ（一方のプローブ１０１に対する他方のプローブ１０１の位置決め）を行うと共に、ＸＹＺステージ３０を操作することで、一対のプローブ１０１全体（位置決め装置１００）の位置決めを行う。

本発明による位置決め装置１００によれば、一対のプローブ１０１の精密な位置合わせ（一方のプローブ１０１に対する他方のプローブ１０１の精密位置決め）が可能なので、図１に示した例では、ＸＹＺステージは、一対のプローブ１０１全体（位置決め装置１００）の位置決め用のＸＹＺステージ３０一つだけとなっており、一対のプローブ１０１の位置決めのための機構が占めるスペースが従来と比べて小さくなっている。

次に、位置決め装置１００の構造の詳細について説明する。

図２〜図６は、位置決め装置１００の構造を説明するための図である。図２は斜視図を示し、図３は正面図を示し、図４は底面図を示し、図５は背面図を示し、図６は側面図を示している。

図２〜図６に示すように、位置決め装置１００は、ベース部１１０と、可動部１２０とを備える。

ベース部１１０は、位置決め装置１００のベースとなる部材であって、当該ベース部１１０に対して、他の構成要素が取り付けられることになる。また、ベース部１１０は、その一端が、アーム部１０の先端に固定されて、アーム部１０と一体になって移動するものである。

可動部１２０は、その先端に、一対のプローブ１０１が取り付けられる部材であって、弾性変形することで、一対のプローブ１０１の位置を移動させるものである。

図４に示すように、可動部１２０は、中間ベース部１２１と、一対のフィンガー部１２２と、一対の可撓部１２３とを備える。

中間ベース部１２１は、一対のフィンガー部１２２及び一対の可撓部１２３の間に配置されて、ベース部１１０に固定される部分である。

一対のフィンガー部１２２は、その先端に、一対のプローブ１０１が取り付けられる部分であって、顕微鏡の対物レンズとワーク４０との間等に、一対のプローブ１０１を位置させることができるように、水平方向に長い形状になっている。また、図４に示すように、各フィンガー部１２２の先端部は、内側に向かってＬ字状に折り曲げられており、一対のプローブ１０１は、当該内側に折り曲げられた部分に、図３に示すように、先端が内側に向くように斜めに取り付けられている。一方、図４に示すように、各フィンガー部１２２の後端部は、先端部とは逆に外側に張り出すように、Ｌ字状に折り曲げられており、当該外側に折り曲げられた部分の外側後端部分において、対応する可撓部１２３と連結されている。

また、図６に示すように、各フィンガー部１２２の上面には、側面視において三角形状の突出部１２２１が設けられており、当該突出部１２２１に対して、後述する高さ調節部及び前後調節部が作用して、各フィンガー部１２２が連結された可撓部１２３が撓むことになる。また、本実施形態においては、一対のフィンガー部１２２は、各フィンガー部１２２が連結された可撓部１２３が撓むことによって、その先端が開閉できるように構成されている。一対のフィンガー部１２２の開閉動作の詳細については後述する。

一対の可撓部１２３は、中央ベース部１２１と一対のフィンガー部１２２とを連結する部分であって、一対のフィンガー部１２２に一定以上の外力が作用した場合に、撓むことができるよう他の部分に比べて肉薄に形成されている。

図２に示すように、位置決め装置１００は、更に、高さ調節部１３０と、前後調節部１４０と、開閉操作部１５０とを備える。

高さ調節部１３０は、一対のフィンガー部１２２の先端に取り付けられた一対のプローブ１０１の高さ方向（上下方向）の位置を調節するためのものである。前後調節部１４０は、一対のフィンガー部１２２の先端に取り付けられた一対のプローブ１０１の前後方向（フィンガー部１２２の長手方向）の位置を調節するためのものである。開閉操作部１５０は、一対のフィンガー部１２２の先端を開閉させると共に、（一対のフィンガー部１２２の先端が最も閉じた状態における）一対のフィンガー部１２２の先端に取り付けられた一対のプローブ１０１の左右方向（フィンガー部１２２の長手方向に垂直な方向）の位置を調節するためのものである。

以下、各部１３０，１４０，１５０の詳細について説明する。まず、高さ調節部１３０の詳細について説明する。

図３及び図６に示すように、高さ調節部１３０は、水平板１３１と、変形板１３２と、一対の高さ調節ねじ１３３と、一対の回転ベアリング１３４とを備える。

水平板１３１は、ベース部１１０から水平方向前方に張り出すように、ベース部１１０に取り付けられる部材であって、ベース部１１０から張り出した部分に、一対の高さ調節ねじ１３３が螺合する一対のねじ孔が形成されている。一対の高さ調節ねじ１３３は、水平板１３１に形成された一対のねじ孔に螺合して、その先端が変形板１３２と当接するようになっている。一対の高さ調節ねじ１３３はそれぞれ、正又は逆方向に適宜回転させることで、水平板１３１に対して上下動し、その先端の高さ方向の位置が変更できるようになっている。

変形板１３２は、その後端部が、水平板１３１と共に、ベース部１１０に固定される部材であって、ベース部１１０から張り出した先端部分が二股状に形成されており、二股のそれぞれが、図６に示すように、第一垂直部１３２１と、水平部１３２２と、第二垂直部１３２３とを有している。すなわち、まず、垂直になるよう下向きに折り曲げられ、次に、水平になるように上向きに折り曲げられ、更に、垂直になるよう上向きに折り曲げられている。そして、水平部１３２２の上面に、各高さ調節ねじ１３３の先端が当接するようになっている。また、第二垂直部１３２３の前面には、回転ベアリング１３４が軸部材を構成するねじ１３５を介して取り付けられている。第二垂直部１３２３の前面に取り付けられた回転ベアリング１３４は、対応するフィンガー部１２２の突出部１２２１と当接するようになっている。本実施形態においては、前述したように、一対のフィンガー部１２２の先端が開閉できるように構成されており、回転ベアリング１３４は、高さ調節部１３０とフィンガー部１２２（突出部１２２１）との接触を、すべり接触ではなく、転がり接触として、フィンガー部１２２の左右方向の移動（開閉動作）を容易にするためのものである。

高さ調節部１３０において、高さ調節ねじ１３３を一方方向に回転させると、高さ調節ねじ１３３は、例えば、水平板１３１に対して下方へ移動し、その先端で変形板１３２の水平部１３２２の上面を下方に向けて押す。その結果、変形板１３２が撓み、変形板１３２の第二垂直部１３２３に取り付けられた回転ベアリング１３４が下方へ移動する。その結果、当該回転ベアリング１３４と当接するフィンガー部１２２（突出部１２２１）が下方へと押され、当該フィンガー部１２２が連結された可撓部１２３が下方に向けて撓むことによって、当該フィンガー部１２２の先端に取り付けられたプローブ１０１の位置が下方へ移動されることになる。

一方、このようにフィンガー部１２２が一定量下方へ移動させられた状態において、高さ調節ねじ１３３を他方方向に回転させると、高さ調節ねじ１３３は、水平板１３１に対して上方へ移動し、その結果、下方へ押す力がなくなると、変形板１３２の弾性により、回転ベアリング１３４が上方へ移動する。その結果、当該回転ベアリング１３４によって下方へ押されていたフィンガー部１２２が、対応する可撓部１２３の弾性により、上方へ移動することによって、フィンガー部１２２の先端に取り付けられたプローブ１０１の位置が上方へ移動されることになる。本実施形態においては、変形板１３２及び可撓部１２３が一定量だけ下方へ撓んだ状態におけるプローブ１０１の位置を（上下方向の）原点位置として、当該原点位置から上下両方へプローブ１０１の位置を調節できるようにしている。すなわち、可撓部１２３の下方へのたわみ量を調節することによって、プローブ１０１の上下方向の位置を調節できるようにしている。

位置決め装置１００は、以上のような構成を有する高さ調節部１３０を備えているので、一対の高さ調節ねじ１３３をそれぞれ適宜回転させることで、対応するフィンガー部１２２の先端に取り付けられたプローブ１０１の位置を上下方向に微動させる（微調整する）ことができる。

次に、前後調節部１４０の詳細について説明する。

図５及び図６に示すように、前後調節部１４０は、一対の前後調節ねじ１４１を備える。一対の前後調節ねじ１４１は、前後方向に延びるようにベース部１１０に形成された一対の貫通孔に挿入されると共に、その先端が一対のフィンガー部１２２の突出部１２２１にねじ込まれるようになっている。すなわち、各前後調節ねじ１４１の先端部分に形成されたねじ山が、各突出部１２２１に形成されたねじ孔に螺合するようになっている。そのため、一対の前後調節ねじ１４１をそれぞれ、正又は逆方向に適宜回転させることで、各前後調節ねじ１４１を、対応する突出部１２２１に対して前後方向（図６における左右方向）に移動させることができる。但し、本実施形態においては、前後調節ねじ１４１の頭部（大径部）がベース部１１０に当接し、前後調節ねじ１４１の前方への動きが規制された状態が常に維持されることになるので、実際は、前後調節ねじ１４１を正又は逆方向に回転させると、前後調節ねじ１４１に対して、突出部１２２１が前後方向に移動することになる。

前後調節部１４０において、前後調節ねじ１４１を一方方向に回転させると、当該前後調節ねじ１４１が螺合する突出部１２２１が、例えば、当該前後調節ねじ１４１に対して後方（図６における左方）へ移動する。その結果、対応するフィンガー部１２２が後方へ引っ張られ、当該フィンガー部１２２が連結された可撓部１２３が後方に向けて撓むことによって、当該フィンガー部１２２の先端に取り付けられたプローブ１０１の位置が後方へ移動されることになる。

一方、このようにフィンガー部１２２が一定量後方へ移動させられた状態において、前後調節ねじ１４１を他方方向に回転させると、突出部１２２１に対して、前後調節ねじ１４１が後方に移動することになるが、前後調節ねじ１４１は、フィンガー部１２２が連結された可撓部１２３の弾性により前方に付勢されているので、実際は、前後調節ねじ１４１の頭部がベース部１１０に当接した状態が維持され、当該前後調節ねじ１４１が螺合する突出部１２２１の方が、当該前後調節ねじ１４１（ベース部１１０）に対して前方へ移動することになる。その結果、対応するフィンガー部１２２の先端に取り付けられたプローブ１０１の位置が前方へ移動されることになる。本実施形態においては、可撓部１２３が後方へ撓んで、フィンガー部１２２が一定量だけ後方へ移動した状態におけるプローブ１０１の位置を（前後方向の）原点位置として、当該原点位置から前後両方へプローブ１０１の位置を調節できるようにしている。すなわち、可撓部１２３の後方へのたわみ量を調節することによって、プローブ１０１の前後方向の位置を調節できるようにしている。

位置決め装置１００は、以上のような構成を有する前後調節部１４０を備えているので、一対の前後調節ねじ１４１をそれぞれ適宜回転させることで、対応するフィンガー部１２２の先端に取り付けられたプローブ１０１の位置を前後方向に微動させる（微調整する）ことができる。

次に、開閉操作部１５０の詳細について説明する。開閉操作部１５０は、一対のフィンガー部１２２の先端を手動で開閉できるようにすると共に、一対のフィンガー部１２２の先端が最も閉じた状態における、一対のフィンガー部１２２の先端に取り付けられた一対のプローブ１０１の間隔の調節（一方のプローブ１０１に対する他方のプローブ１０１の左右方向の位置決め）をできるようにするものである。

図３〜図５に示すように、開閉操作部１５０は、回転板１５１と、回転シャフト１５２と、開閉レバー１５３と、左右調節ねじ１５４と、最大開度調節ねじ１５５とを備える。

回転板１５１は、一対のフィンガー部１２２の間に配置される部材であって、回転シャフト１５２の先端に連結されて、回転シャフト１５２と一体になって回転する部材である。回転板１５１の前面には、一対の回転ベアリング１５６が軸部材１５７を介して取り付けられている。一対の回転ベアリング１５６は、一対のフィンガー部１２２の側面に当接して、一対のフィンガー部１２２を押し広げるための当接部を構成する。

回転シャフト１５２は、前後方向に延びるように中間ベース部１２１に形成された貫通孔に挿入されると共に、当該貫通孔内に設けられた一対の回転ベアリングに回転可能に支持される部材である。前述したように、回転シャフト１５２の先端には、回転板１５１が連結されている。一方、回転シャフト１５２の後端には、開閉レバー１５３が取り付けられている。

開閉レバー１５３は、回転シャフト１５２を回転させることで、回転板１５１を回転させて、一対のフィンガー部１２２の先端を開閉させるためのものである。作業者は、開閉レバー１５３を操作することで、一対のフィンガー部１２２の先端を開閉させることができる。開閉レバー１５３の操作によって、一対のフィンガー部１２２の先端を開くことができるようにすることにより、一対のフィンガー部１２２を、作業途中において一時的に作業領域から待避（移動）させることが可能となり、例えば、一対のフィンガー部１２２の先端が閉じた状態において一対のフィンガー部１２２の下に位置するワーク４０の状態を、作業途中において、上方から顕微鏡等で確認することが可能となる。

左右調節ねじ１５４は、一対のフィンガー部１２２の先端が最も閉じた状態における開閉レバー１５３の位置を調節するためのものである。左右調節ねじ１５４は、ベース部１１０に形成されたねじ孔に螺合して、その先端が開閉レバー１５３と当接するようになっている。

前述したように、一対のフィンガー部１２２は、前後調節部１４０の一対の前後調節ねじ１４１によって後方に引っ張られている。そして、一対の前後調節ねじ１４１は、可撓部１２３より内側よりの位置において、一対のフィンガー部１２２を後方に引っ張っている。そのため、一対のフィンガー部１２２は、その先端が閉じる方向に付勢されることになり、一対のフィンガー部１２２の間に配置された回転板１５１には、一対のフィンガー部１２２の内側側面に当接する回転ベアリング１５６を介して、正面視（図３）において時計回りに回転させようとする力が作用することになる。従って、当該回転板１５１と、回転シャフト１５２を介して連結されている開閉レバー１５３には、背面視（図５）において反時計回りに回転させようとする力が作用することになる。左右調節ねじ１５４は、このように背面視において反時計回りに回転しようする開閉レバー１５３と当接して、開閉レバー１５３の回転を規制するものである。つまり、左右調節ねじ１５４と開閉レバー１５３とが当接した状態が、一対のフィンガー部１２２の先端が最も閉じた状態（以下、閉状態という）ということになる。従って、左右調節ねじ１５４と開閉レバー１５３とが当接する位置、すなわち、左右調節ねじ１５４の先端の位置を可変とすることによって、閉状態における一対のフィンガー部１２２の先端の間隔、すなわち、一対のフィンガー部１２２の先端に取り付けられた一対のプローブ１０１の間隔を調節することが可能となる。左右調節ねじ１５４は、正又は逆方向に適宜回転させることで、ベース部１１０に対して正又は負方向に移動し、その先端の位置を変更できるようになっている。

最大開度調節ねじ１５５は、開閉レバー１５３を手動で操作した際の最大回転度、すなわち、一対のフィンガー部１２２の先端の最大開度を規定するためのものである。最大開度調節ねじ１５５は、ベース部１１０に形成された貫通孔を通って、その先端が、開閉レバー１５３にねじ留めされている。開閉レバー１５３を回転させていくと、当該開閉レバー１５３にねじ留めされた最大開度調節ねじ１５５も同時に動いていくが、最大開度調節ねじ１５５の頭部（大径部）が、ベース部１１０に当接した時点で、その動きが止められることになる。本実施形態においては、最大開度調節ねじ１５５の頭部がベース部１１０に当接した状態が、一対のフィンガー部１２２が先端が最も開いた状態（開状態）ということになる。従って、最大開度調節ねじ１５５の頭部と開閉レバー１５３と間の距離によって、一対のフィンガー部１２２の最大開度が決まることになる。最大開度調節ねじ１５５は、正又は逆方向に適宜回転させることで、開閉レバー１５３に対して正又は負方向に移動し、その頭部の位置を変更できるようになっている。

次に、一対のフィンガー部１２２の開閉動作について説明する。

図３〜図５に示した状態において、作業者が、開閉操作部１５０の開閉レバー１５３を一方方向（図５における時計回り）に回転させると、それと共に、回転シャフト１５２、及び、当該回転シャフト１５２の先端に連結された回転板１５１が同方向に回転する。回転板１５１の回転に伴い、回転板１５１の前面に取り付けられた一対の回転ベアリング１５４が円弧を描くように移動し、一対のフィンガー部１２２の内側側面が外側に向けて押されることになる。そして、一対のフィンガー部１２２の内側側面が一定以上の力によって外側に向けて押されると、一対のフィンガー部１２２が連結された一対の可撓部１２３がそれぞれ外側に向かって撓み、一対のフィンガー部１２２の先端が開くことになる。

図７〜図９は、開閉レバー１５３を操作してフィンガー部１２２の先端を開いた状態を示す図である。図７は正面図を示し、図８は底面図を示し、図９は背面図を示している。図７〜図９は、フィンガー部１２２の先端を最大限開いた状態、すなわち、最大開度調節ねじ１５５の頭部がベース部１１０に当接するまで、開閉レバー１５３を回転させた状態を示している。

一方、このように一対のフィンガー部１２２の先端が開いた状態において、開閉レバー１５３を他方方向（図９における反時計回り）に回転させると、それと共に、回転シャフト１５２及び回転板１５１が同方向に回転する。回転板１５１の回転に伴い、回転板１５１の前面に取り付けられた一対の回転ベアリング１５４が円弧を描くように移動すると、一対のフィンガー部１２２の内側側面を外側に向けて押す力がなくなる一方で、前述したように、前後調節ねじ１４１によって後方に引っ張られていることから生じる、一対のフィンガー部１２２をその先端が閉じる方向に付勢する力だけが残ることになる。その結果、回転板１５１の回転に伴い円弧を描くように移動する一対の回転ベアリング１５６に追従して、一対のフィンガー部１２２の先端が閉じていくことになる。そして、開閉レバー１５３が左右調節ねじ１５４に当接した時点で、開閉レバー１５３、回転シャフト１５２、回転板１５１の回転は止まり、閉状態に戻ることになる。

位置決め装置１００は、以上のような構成を有する開閉操作部１５０を備えているので、左右調節ねじ１５４の適宜回転させることで、閉状態における一対のフィンガー部１２２の先端に取り付けられたプローブ１０１の位置を左右方向に微動させる（微調整する）ことができる。また、開閉レバー１５３を適宜操作することで、一対のフィンガー部１２２の先端を適宜開閉させることができる。開閉操作部１５０では、可撓部１２３の左右方向のたわみ量を調節することによって、プローブ１０１及びフィンガー部１２２の先端の左右方向の位置を調節するようにしている。

以上、本発明の実施の形態について説明したが、当然のことながら、本発明の実施の形態は上記のものに限られない。例えば、前述した位置決め装置１００においては、一対のフィンガー部１２２の先端に取り付けられた位置決め対象物（本実施形態では、一対のプローブ）の位置決めを行うようにしていたが、一対のフィンガー部１２２の一方だけを用意して、一つの位置決め対象物の精密位置決めに、本発明を適用することも考えられる。更に、この場合、前述した開閉操作部１５０の代わりに、一方のフィンガー部１２２の側面に当接する左右調節ねじを設けて、当該左右調節ねじを移動させることで、フィンガー部１２２の先端の左右方向の位置を調節するようにすることも考えられる。

また、前述した実施形態では、ワークの２点間の電気的特性（例えば、抵抗値）を測定するための一対のプローブの精密位置決めに、本発明による位置決め装置を利用した例について説明したが、もちろん、他のものの精密位置決めに本発明を適用することもできる。

また、前述した実施形態では、一対のフィンガー部１２２の先端の開閉動作を、一対のフィンガー部１２２の一時的な移動のために利用していたが、一対のフィンガー部１２２の先端の開閉動作を、微少部品等の把持に利用することも考えられる。

１０ アーム部
２０ 載置台
３０ ＸＹＺステージ
４０ ワーク
５０ ＸＹステージ
１００ 位置決め装置
１０１ プローブ
１１０ ベース部
１２０ 可動部
１２１ 中央ベース部
１２２ フィンガー部
１２３ 可撓部
１３０ 高さ調節部
１３１ 水平板
１３２ 変形板
１３３ 高さ調節ねじ
１３４ 回転ベアリング
１３５ ねじ（軸部材）
１４０ 前後調節部
１４１ 前後調節ねじ
１５０ 開閉操作部
１５１ 回転板
１５２ 回転シャフト
１５３ 開閉レバー
１５４ 左右調節ねじ
１５５ 最大開度調節ねじ
１５６ 回転ベアリング
１５７ 軸部材
１２２１ 突出部
１３２１ 第一垂直部
１３２２ 水平部
１３２３ 第二垂直部

Claims (10)

1. 先端に位置決め対象物が取り付けられる可動部と、
   前記可動部の先端の上下方向の位置を調節する高さ調節部と、
   前記可動部の先端の前後方向の位置を調節する前後調節部と、
   前記可動部の先端の左右方向の位置を調節する左右調節部と
   を備え、
   前記高さ調節部は、前記可動部の一部を撓ませることによって、前記可動部の先端の上下方向の位置を調節し、
   前記前後調節部は、前記可動部の一部を撓ませることによって、前記可動部の先端の前後方向の位置を調節し、
   前記左右調節部は、前記可動部の一部を撓ませることによって、前記可動部の先端の左右方向の位置を調節する
   ことを特徴とする位置決め装置。
2. 前記高さ調節部は、前記可動部を下方へ押すことによって、前記可動部の一部を撓ませる
   ことを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
3. 前記前後調節部は、前記可動部を後方へ引っ張ることによって、前記可動部の一部を撓ませる
   ことを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
4. 前記左右調節部は、前記可動部を左右いずれか一方に押すことによって、前記可動部の一部を撓ませる
   ことを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
5. 前記可動部は、先端に位置決め対象物が取り付けられる一対のフィンガー部を備える
   ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の位置決め装置。
6. 前記前後調節部は、前記一対のフィンガー部を後方へ引っ張ることによって、前記一対のフィンガー部を、先端が閉じる方向に付勢する
   ことを特徴とする請求項５に記載の位置決め装置。
7. 前記左右調節部は、前記一対のフィンガー部の間に配置された回転部を備え、
   当該回転部は、前記一対のフィンガー部のそれぞれを外側に押すための一対の当接部を備える
   ことを特徴とする請求項５又は６に記載の位置決め装置。
8. 前記回転部を回転させるための操作レバーを更に備えた
   ことを特徴とする請求項７に記載の位置決め装置。
9. 前記左右調節部は、前記一対のフィンガー部の先端が最も閉じた状態における操作レバーの位置を調節する
   ことを特徴とする請求項８に記載の位置決め装置。
10. 前記一対のフィンガー部の先端が最も開いた状態における前記操作レバーの位置を調節するための最大開度調節部
    を更に備えたことを特徴とする請求項８又は９に記載の位置決め装置。

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