JP5515531B2 - 孔内検査方法 - Google Patents
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Description
なお、傾動リング昇降機構42はマイクロメーターヘッドを用い、ミラー部16(ミラー片30)の傾斜角度(照射光の反射角度)を手動で微細に調節できるように構成してもよい。
Claims (3)
- 検査対象物に形成した孔の内周面に付着した異物を検査する孔内検査方法であって、
前記検査対象物の表面位置にフォーカスした状態で、前記孔を画像認識する撮像カメラと、
撮像カメラに周設され前記孔を照明するリング照明と、
前記リング照明の照射光を、前記撮像カメラの光軸上における所定の深度範囲に集光し、前記光軸を中心に周方向にコーン状に並べた扇状の複数のミラー片を有し、前記照射光を反射するミラー部と、前記複数のミラー片の反射角度を可変する反射角度可変機構と、を備えたミラーユニットと、
を用い、
前記反射角度可変機構を操作して前記反射角度を段階的に可変させると共に、前記撮像カメラにより前記反射角度毎に前記孔を撮像する撮像工程と、
撮像した前記反射角度毎の前記孔の画像を画像処理して、前記孔の輪郭および異物を強調した複数の前記孔の処理画像を生成する画像処理工程と、
複数の前記孔の処理画像を合成して、検体画像を生成する画像合成工程と、を備えたことを特徴とする孔内検査方法。 - 前記反射角度可変機構は、
前記複数のミラー片の遠位端側を基点とし、近位端側を拡開および狭窄させて前記反射
角度を可変することを特徴とする請求項1に記載の孔内検査方法。 - 前記反射角度可変機構は、
前記複数のミラー片の遠位端側をそれぞれ回動自在に支持する基点部材と、
前記光軸と同軸上に配設され、前記複数のミラー片を外側から囲繞すると共に、前記光
軸方向に進退自在に構成されたリング状のミラー片作動部材と、
前記ミラー片作動部材を前記光軸方向に進退させる進退動機構と、を有していることを
特徴とする請求項2に記載の孔内検査方法。
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