JP2002350283A

JP2002350283A - 検査装置

Info

Publication number: JP2002350283A
Application number: JP2001161727A
Authority: JP
Inventors: Hayato Kimura; 隼人木村; Sadaichi Ariga; 貞一有賀; Haruhiko Tsuchiya; 晴彦土屋
Original assignee: TB Optical Co Ltd
Current assignee: TB Optical Co Ltd
Priority date: 2001-05-30
Filing date: 2001-05-30
Publication date: 2002-12-04

Abstract

(57)【要約】【課題】被検査レンズの表面に存在する微細な欠陥部
を高い処理能力で、高精度に検出できるようにする。【解決手段】Ｘ軸スライダ１４とＹ軸スライダ１９と
の動作により、Ｙ軸スライダ１９から延出するアーム２
０を、回転テーブル７に載置されて回転する被検査レン
ズ１０に対し、回転テーブル７の回転軸を通る垂直平面
に沿って移動させると共に、アーム２０の先端部に固設
されている回転盤２１を揺動揺動させて、回転盤２１に
保持されているファイバセンサの先端部２３ａを、被検
査レンズ１０の表面に対して常に直角になるように指向
させながら、先端部２３ａを被検査レンズ１０の表面に
沿って外縁から中心軸方向へ低速で移動させる。その間
ファイバセンサの先端部から出射する検査光を被検査レ
ンズ１０の表面に照射し、その反射光をファイバセンサ
で受光し、受光した反射光量の変化から被検査レンズ１
０の表面に存在する欠陥部を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レンズ等の被検査
物の表面或いは内部に欠陥部があるか否かを検査する検
査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、レンズの表面或いは内部に存在す
る微細な傷や亀裂等の欠陥部を検査する場合、検査ライ
ンにおいて、検査員が搬送されてくるレンズを、１つず
つ取り上げて、目視により検査する場合が多かった。

【０００３】しかし、検査員による人為的な検査では、
人件費が嵩むばかりでなく、検査員の疲労度やその日の
体調、或いは個人差等により検査精度にばらつきが生じ
易い。更に、人為的な検査であるため、処理能力に個人
差が出てしまう。

【０００４】そのため、レンズの欠陥部を自動検出する
検査装置が種々提案されている。例えば特開平８−３３
８８１０号公報には、光源から出射される照明光をレン
ズ表面に照射し、このレンズ表面からの散乱光を受光素
子で受光し、受光した散乱光の強度からレンズ表面に欠
陥部が存在するか否かを検出する検査装置が開示されて
いる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した公報
に開示されている技術では、レンズの表面全体に亘って
照明光を走査させる機構と、レンズ表面からの散乱光を
受光する受光素子を照明光の移動に同期させて移動させ
る機構とを必要とし、構造が複雑化しコスト高となって
しまう不都合がある。

【０００６】従って、本発明の目的は、人為的手段によ
らず、低コストで、レンズの表面或いは内部に存在する
微細な欠陥部を、高い処理能力でしかも高精度に検出す
ることが可能な検査装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、被検査物の凸面又は凹面状に形成された
表面或いは内部に検査光を照射し、その反射光量の変化
に基づいて該被検査物の表面或いは内部の状態を検査す
る検査装置において、上記被検査物を載置する回転テー
ブルと、上記被検査物の表面に対設するファイバセンサ
の先端部と、上記ファイバセンサの先端部を上記被検査
物の表面に対し法線方向に指向させながら、上記被検査
物の表面に対して一定の距離を保持した状態で移動させ
る移動手段と、上記ファイバセンサの先端部に検査光を
上記被検査物表面或いは内部に照射する投光ファイバと
該被検査物の表面或いは内部からの反射光を受光する受
光ファイバとを設けたことを特徴とする。

【０００８】この様な構成では、回転テーブルに載置さ
れて回転している被検査物に対し、この被検査物の凸面
又は凹面状に形成された表面に対設するファイバセンサ
の先端部が、被検査物の表面に対し法線方向に指向しな
がら、被検査物の表面に対して一定の距離を保持した状
態で移動し、その際、ファイバセンサの先端部に設けら
れている投光ファイバから検査光を検査物の表面或いは
内面に照射すると、この検査光は被検査物の表面に対し
てほぼ垂直に照射され、その反射光を受光ファイバで受
光し、受光した反射光量の変化から、被検査物の表面或
いは内面状態を検査することができる。そして、回転す
る被検査物に対してファイバセンサの先端部を半径方向
に移動させることで、この被検査物の凸面又は凹面状に
形成された表面或いは内面のほぼ全域を検査することが
できる。

【０００９】この場合、上記被検査物を上記回転テーブ
ルに対し、該被検査物を水平方向へ移動自在な検査ステ
ージを介して保持し、上記ファイバセンサの先端部が上
記回転テーブルの回転軸上に臨まされたとき該検査ステ
ージを上記回転テーブルに対して水平方向へ移動させる
ように構成することにより、回転テーブルの回転軸上に
あって回転移動量の少ない領域においては、検査ステー
ジを回転テーブルに対して水平方向へ移動させて、回転
中心をずらした状態で再検査することができ、被検査物
の表面或いは内面の全域を確実に検査することができ
る。

【００１０】又、上記移動手段が、上記ファイバセンサ
の先端部を上記回転テーブルの回転軸を通る垂直平面に
沿い、上記被検査物の表面に対して一定の距離を保持し
た状態で移動させる垂直平面移動手段と、上記ファイバ
センサの先端部を上記被検査物の表面に対し法線方向に
指向させる揺動手段とで構成されている場合には、垂直
平面移動手段によって、被検査物の表面に対して一定の
距離を保持した状態で回転テーブルの回転軸を通る垂直
平面に沿って移動させることができると共に、揺動手段
によって、ファイバセンサの先端部を被検査物の表面に
対し常に法線方向に指向させることができる。

【００１１】更に、上記被検査物をレンズ基材とするこ
とで、これまで目視によってしか検査が困難であったレ
ンズ基材表面の検査を自動化することができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の一
実施の形態を説明する。図１に検査装置本体の概略側面
図、図２に同平面図を示す。同図に示す検査装置本体１
の基台２上には、ベッド３が載置固定されていると共
に、このベッド３に隣接して検査スタンド４が立設され
ている。

【００１３】この検査スタンド４の下面にレンズ用モー
タ５が固設され、又、この検査スタンド４の上面に出力
切換え装置６を介して回転テーブル７が載置されてい
る。更に、この回転テーブル７上に検査ステージ８が載
置され、この検査ステージ８にコレットチャック９が固
設されている。なお、本装置で使用する各モータは、回
転角を制御できるようなパルスモータや、サーボモータ
が好ましく使用される。

【００１４】検査ステージ８は、回転テーブル７に載置
されて、この回転テーブル７と一体回転自在にされてい
ると共に、図３(ｂ)に示すように、回転テーブル７に対
して一方へ水平移動自在にされている。又、コレットチ
ャック９は、検査ステージ８の中心軸Ｏ’を中心に等間
隔に配設されたコレット爪９ａを有しており、検査ステ
ージ８に載置される被検査物の一例である被検査レンズ
１０の中心を、検査ステージ８の中心軸Ｏ’に一致させ
た状態で保持する。尚、本実施の形態で採用する被検査
レンズ１０は、例えば眼鏡レンズ、光学レンズ等のレン
ズ基材、好ましくは表面コーティング前のレンズ基材を
対象としている。

【００１５】又、回転テーブル７、検査ステージ８、及
びコレットチャック９は、本実施の形態では１つのレン
ズ用モータ５を共通の駆動源としており、このレンズ用
モータ５からの駆動力は、出力切換え装置６によって、
回転テーブル７、検査ステージ８、或いはコレットチャ
ック９へ選択的に出力される。出力切換え装置６は、検
査装置本体１に併設されている制御ユニット４０から出
力される切換え信号により切換え動作される。ところ
で、出力切換え装置６には変速機構が内蔵されており、
回転テーブル７は高速回転するように設定されている。
尚、回転テーブル７、検査ステージ８、及びコレットチ
ャック９は、独立のモータにより個別に動作されるよう
にしても良い。

【００１６】又、ベッド３には、回転テーブル７の回転
軸Ｏから放射方向へ水平に延在する一対のＸ軸ガイドレ
ール１１が配設されている。更に、この両Ｘ軸ガイドレ
ール１１と平行にＸ軸ボール送りねじ１２が配設されて
おり、このＸ軸ボール送りねじ１２がＸ軸モータ１３に
固設されている。

【００１７】両Ｘ軸ガイドレール１１には、垂直平面移
動手段としてのＸ軸スライダ１４が移動自在に支持され
ており、Ｘ軸スライダ１４はＸ軸ボール送りねじ１２の
正転或いは逆転により、Ｘ軸ガイドレール１１に沿って
往復動作される。

【００１８】又、Ｘ軸スライダ１４に、回転テーブル７
の回転軸方向へ指向するコラム１５が立設され、このコ
ラム１５に、鉛直方向へ平行に延在する一対のＹ軸ガイ
ドレール１６が配設されていると共に、この両Ｙ軸ガイ
ドレール１６と平行にＹ軸ボール送りねじ１７が配設さ
れている。更に、コラム１５の下端にＹ軸ボール送りね
じ１７を回転駆動させるＹ軸モータ１８が固設されてい
る。この両Ｙ軸ガイドレール１６に、垂直平面移動手段
としてのＹ軸スライダ１９が移動自在支持されていると
共に、Ｙ軸ボール送りねじ１７が螺装されており、Ｙ軸
スライダ１９はＹ軸ボール送りねじ１７の正転或いは逆
転より、Ｙ軸ガイドレール１６に沿って昇降動作され
る。

【００１９】このＹ軸スライダ１９に回転テーブル７の
回転軸Ｏの方向へ延出するアーム２０が突設されてい
る。このアーム２０の先端部は、Ｘ軸スライダ１４とＹ
軸スライダ１９との相対移動により回転テーブル７の回
転軸Ｏを通る垂直平面に沿って移動自在にされている。
更に、このアーム２０の先端部に、垂直平面に沿って回
動自在な揺動手段としての揺動盤２１が支持されている
と共に、揺動盤２１を回動させる揺動盤用モータ２２が
固設されている。

【００２０】この揺動盤２１にファイバセンサ２３の先
端部２３ａが固設されている。図６、図７に示すよう
に、ファイバセンサ２３の先端部２３ａは、センサ先端
部２４と、このセンサ先端部２４に装着されたレンズ鏡
筒２５とを有し、更に、図８に示すように、センサ先端
部２４に、投光ファイバ２６の先端部と受光ファイバ２
７の先端部とが結束された状態で保持されている。又、
レンズ鏡筒２５に対物光学系２８が保持されている。

【００２１】又、図９に示すように、両ファイバ２６，
２７の基部側は結束された状態で駆動ユニット２９へ延
出され、投光ファイバ２６の入射端、及び受光ファイバ
２７の出射端が、駆動ユニット２９に設けられている半
導体レーザ発振器等のレーザ光源３０、及びフォトセン
サ３１に対設されている。尚、投光ファイバ２６とレー
ザ光源３０との間、及び受光ファイバ２７とフォトセン
サ３１との間はフェルール（図示せず）を介して接続さ
れている。

【００２２】レーザ光源３０は所定入力インピーダンス
のヘッドアンプ３２に接続され、このヘッドアンプ３２
が定電圧回路３３に接続されている。又、フォトセンサ
３１が増幅回路３４に接続されており、この増幅回路３
４がＡ／Ｄ変換器３５に接続されている。

【００２３】更に、駆動ユニット２９には、各レンズ用
モータ５，１３，１８，２２に対して駆動信号を出力す
るモータ駆動回路３６〜３９が設けられている。この各
モータ駆動回路３６〜３９が、制御ユニット４０の出力
側に接続され、又、Ａ／Ｄ変換器３５が制御ユニット４
０の入力側に接続されている。尚、符号４１はモニタで
あり、制御ユニット４０で処理した各種画像データが表
示される。

【００２４】制御ユニット４０には、検査ステージ８に
載置される被検査レンズ１０の表面形状データが入力さ
れる。制御ユニット４０に入力される表面形状データ
は、例えばレンズ表面が球面の場合は、この球面の曲率
を示す曲率データであり、又レンズ表面が非球面の場合
は、この非球面を示す二次曲線データである。

【００２５】そして、制御ユニット４０では、入力され
た表面形状データに基づき、駆動ユニット２９に設けら
れている各モータ駆動回路３７〜３９を介して、各モー
タ１３，１８，２２の回転角を制御し、Ｘ軸スライダ１
４、Ｙ軸スライダ１９、揺動盤２１を連係動作させて、
ファイバセンサ２３の先端部２３ａが、被検査レンズ１
０表面に対して、法線方向に一定間隔を開けた姿勢で対
設させると共に、この姿勢を保持したまま被検査レンズ
の表面上を走査するように制御する。尚、このとき、フ
ァイバセンサ２３の先端部２３ａと被検査レンズ１０と
の位置関係を、各スライダ１４，１９の移動量及び揺動
盤２１の回転角度を検出するロータリエンコーダ等の移
動量検出手段で検出した位置データに基づいてフィード
バック制御するようにしても良い。

【００２６】更に、制御ユニット４０では、駆動ユニッ
ト２９に設けられている、切換え駆動回路４２に対し、
予め設定されている一連の切換え動作に従い切換え駆動
信号を出力し、この切換え駆動回路４２を介してコレッ
トチャック９、回転テーブル７、及び検査ステージ８を
順次動作させる。

【００２７】次に、制御ユニット４０による被検査レン
ズ１０の表面検査を行なう制御シーケンスについて説明
する。例えば、検査装置本体１が、生産ラインに設けた
検査ステーションに配設され、ライン上を移送される表
面コーティング前の被検査レンズ１０を自動的に検査す
る場合、先ず、移送されて来た被検査レンズ１０を、図
示しないハンドラにて吸引し、検査ステージ８上に載置
する。

【００２８】この検査ステージ８は回転テーブル７の上
面に同軸状に配設されており、検査ステージ８に被検査
レンズ１０が載置されたことを検知すると、出力切換え
装置６を切換え動作させる切換え駆動回路４２に対し
て、一連の切換え信号を出力する。

【００２９】すなわち、先ず、切換え駆動回路４２に対
し、レンズ用モータ５の出力をコレットチャック９側へ
伝達する信号を出力する。すると、この切換え駆動回路
４２がレンズ用モータ５とコレットチャック９とを連動
させ、コレットチャック９を正転させることで、このコ
レットチャック９を構成する各コレット爪９ａを縮径方
向へ移動させ、図３（ａ）に示すように検査ステージ８
の回転軸Ｏと被検査レンズ１０の中心とを一致させた状
態で保持する。

【００３０】次いで、制御ユニット４０から切換え駆動
回路４２に対し、レンズ用モータ５の出力を回転テーブ
ル７側へ伝達する信号を出力する。すると、回転テーブ
ル７、及びこの回転テーブル７に載置されている検査ス
テージ８が、図３(ａ)に示すように、反時計回り方向へ
高速回転する。

【００３１】その後、Ｘ軸モータ１３とＹ軸モータ１８
と揺動盤用モータ２２とを駆動させるモータ駆動回路３
７〜３９に初期位置セット用の駆動信号を出力し、Ｘ軸
モータ１３とＹ軸モータ１８との回転駆動によりＸ軸ボ
ール送りねじ１２、Ｙ軸ボール送りねじ１７を介して、
Ｘ軸スライダ１４とＹ軸スライダ１９とを動作させて、
Ｙ軸スライダ１９から延出するアーム２０の先端に支持
されているファイバセンサ２３の先端部２３ａを被検査
レンズ１０の端縁に近接させると共に、揺動盤用モータ
２２により揺動盤２１を回転駆動させて、図４(ａ)に示
すように、ファイバセンサ２３の先端部２３ａを、被検
査レンズ１０の縁部に対し、その法線方向で、レンズ表
面(本実施の形態では、凸面)に焦点距離を合わせた位置
で対設させる。尚、ファイバセンサ２３の先端部２３ａ
の初期位置は予めティーチングさせておくようにしても
良い。

【００３２】次いで、被検査レンズ１０の表面検査を開
始する。被検査レンズ１０の表面検査は、制御ユニット
４０に予め記憶されている、被検査レンズ１０の表面形
状データに従い、各モータ１３，１８，２２を駆動させ
て、ファイバセンサ２３の先端部２３ａが、常に、被検
査レンズ１０の表面に対し法線方向に、焦点距離を合わ
せた状態で対設する姿勢を維持したまま、外縁側から被
検査レンズ１０の中心である回転軸Ｏの方向へ低速で移
動させる。尚、制御ユニット４０に記憶されている表面
形状データは、例えば被検査レンズ１０のレンズ表面が
球面の場合は、この球面の曲率を示す曲率データであ
り、又、レンズ表面が非球面の場合は、この非球面を示
す二次曲線データである。

【００３３】ファイバセンサ２３の先端部２３ａが被検
査レンズ１０の外縁から中心軸(回転軸Ｏ）の方向へ移
動している間、駆動ユニット２９に設けられている定電
圧回路３３からヘッドアンプ３２を介して、レーザ光源
３０に対して駆動電圧が供給され、このレーザ光源３０
から検査光が出射される。この検査光はファイバセンサ
２３に設けられている投光ファイバ２６を経て先端部２
３ａ方向へ導かれ、対物光学系２８により所定に集光さ
れて、被検査レンズ１０の表面に対してほぼ垂直に照射
される。

【００３４】そして、被検査レンズ１０の表面からの反
射光が、対物光学系２８を経て、投光ファイバ２６と共
に結束されている受光ファィバ２７に導かれて、駆動ユ
ニット２９に設けられているフォトセンサ３１で受光さ
れ、反射光量が光電変換されて所定電圧値が出力され
る。この電圧値は、増幅回路３４で所定に増幅された
後、Ａ／Ｄ変換器３５で、アナログ信号をデジタル信号
に変換した後、制御ユニット４０へ出力される。

【００３５】制御ユニット４０では、図１０に示すよう
に、入力された電圧値ＶＥと、予め設定されている欠陥
判定用閾値ＳＬとを比較し、被検査レンズ１０の表面の
傷、亀裂等の欠陥部の有無を検査する。すなわち、被検
査レンズ１０の表面に欠陥部がある場合、反射光は散乱
されるため、フォトセンサ３１で受光する反射光量が減
少され、増幅回路３４から出力される電圧値ＶＥは、欠
陥判定用閾値ＳＬ以下の値となる。この欠陥判定用閾値
ＳＬは、被検査レンズ１０の表面からの反射光量に基づ
き、レンズ表面に欠陥部が存在することを示す電圧値を
予め実験等から予測して設定した値である。

【００３６】そして、制御ユニット４０では、図１０
(ｂ)に示すように、電圧値ＶＥが欠陥判定用閾値ＳＬ以
上のときはＯＫと判定し、又、電圧値ＶＥが欠陥判定用
閾値ＳＬ未満のときはＮＧと判定する。そして、その結
果を、他の必要な情報と共に、モニタ４１に表示する。

【００３７】ところで、被検査レンズ１０が高速回転し
ている間、ファイバセンサ２３の先端部２３ａが、被検
査レンズ１０の回転方向にほぼ直行する方向へ低速で移
動しているため、図４に示すように、ファイバセンサ２
３から出射された検査光は、被検査レンズ１０の表面に
対して緩やかな傾斜で螺旋状に照射されることになり、
ファイバセンサ２３の先端部２３ａを外周から被検査レ
ンズ１０の中心である回転軸Ｏの方向へ直線的に移動さ
せるだけで、検査レンズ１０の表面のほぼ全域に亘って
微細な傷、亀裂等の欠陥部の有無を検査することができ
る。

【００３８】しかし、ファイバセンサ２３の先端部２３
ａが被検査レンズ１０の回転中心に近接するに従い、フ
ォトセンサ３１で受光する反射光量は同一の位置、すな
わち中心軸付近からの反射光に基づいて計測されている
ため、反射光量が殆ど変化しなくなってしまうため、中
心軸Ｏ付近の被検査レンズ１０の表面状態を正確に検出
することが困難となる。そのため、本実施の形態では、
ファイバセンサ２３の先端部２３ａが被検査レンズ１０
の回転中心に達したときは、図３(ｂ）、図４(ｂ)に示
すように、検査ステージ８をスライドさせて、この検査
ステージ８の中心軸Ｏ’を回転テーブル７の回転軸Ｏに
対し、２〜３ｍｍ程度移動させると共に、ファイバセン
サ２３の先端部２３ａを同方向へ同じ量だけ移動させ
る。

【００３９】すると、被検査レンズ１０の中心軸Ｏ’が
回転軸Ｏの周囲を回転し、ファイバセンサ２３の先端部
２３ａを通過するため、そのときの反射光量の変化から
被検査レンズ１０の中心軸Ｏ’周辺の検査を行なうこと
ができ、その結果、本実施の形態では、被検査レンズ１
０の表面の全域を検査することができる。

【００４０】そして、被検査レンズ１０の表面の検査が
終了した後は、検査ステージ８、及びＸ軸スライダ１
４、Ｙ軸スライダ１９等を初期位置に戻し、コレットチ
ャック９のコレット爪９ａを開放する。

【００４１】その後、被検査レンズ１０の凹面側の表面
検査を行なう場合は、同一の検査装置本体１の検査ステ
ージ８に、或いは次の検査ラインに設置されている検査
装置本体１の検査ステージ８に、被検査レンズ１０を、
図５に示すように、凹面側を上方に指向させた状態で載
置し、コレットチャック９のコレット爪９ａにて、被検
査レンズ１０を把持し、上述と同様、被検査レンズ１０
を回転させた状態で、ファイバセンサ２３の先端部２３
ａを、凹面に対し焦点距離を合わせた状態で外縁から回
転軸Ｏの方向へ走査し、ファイバセンサ２３の先端部２
３ａが、回転軸Ｏに達したときは、検査ステージ８をス
ライドさせて、被検査レンズ１０の中心軸Ｏ’を回転軸
Ｏから所定にずらすと共に、中心軸Ｏ上にファイバセン
サ２３の先端部２３ａを対設させ、凹面の中心軸Ｏ’の
周辺を検査する。

【００４２】このように、本実施の形態によれば、被検
査レンズ１０を高速で回転させている間、この回転方向
にほぼ直行する方向へファィバセンサ２３の先端部２３
を低速で回動させることで、被検査レンズ１０の表面の
全域を連続的に検査するようにしたので、作業性が良
い。この場合、被検査レンズ１０の回転速度に対してフ
ァィバセンサ２３の先端部２３の移動速度をより低速に
設定すれば、被検査レンズ１０の表面をより細密に検査
することが可能となる。

【００４３】又、表面コーティング前のレンズ基材を被
検査レンズ１０とした場合には、被検査レンズ１０が不
良と判定された場合でも、少なくともコーティング材分
の材料費が無駄にならず、経済的である。

【００４４】尚、本発明は上述した実施の形態に限るも
のではなく、例えばファイバセンサ２３の先端部２３ａ
は、被検査レンズ１０の中心軸から外縁方向へ移動させ
るようにしても良い。又、被検査物は、被検査レンズに
限らず、凸面鏡や凹面鏡であっても良い。

【００４５】更に、本発明による検査装置は、表面コー
ティング後の被検査レンズに対しても採用可能である。
この場合、表面コーティングの種類に応じ、例えば紫外
線或いは赤外線対策のために表面コーティングが施され
ている場合は、紫外線或いは赤外線をファイバセンサ２
３の先端部２３ａから検査光として照射することで、よ
り細密な表面検査を行なうことができる。

【００４６】又、例えばファイバセンサ２３の焦点深度
を調整することでレンズ内部の気泡、異物等を検出する
ことも可能である。更に、１つのファイバセンサ２３に
複数の投光ファイバ２６及び受光ファイバ２７を設ける
ようにしても良く、当然、この場合、フォトセンサ３１
は受光ファイバ２７に対応して配設する。又、光源はレ
ーザ光源３０に限らず、超高輝度ＬＥＤを用いても良
い。

【００４７】なお、Ｘ軸スライダ１４、Ｙ軸スライダ１
９、アーム２０、及び揺動盤２１と、これらに支持され
たファイバセンサ２３とからなるセンサユニットが、１
つの回転テーブル７に対して複数組設置されていて、複
数のファイバセンサ２３で１つの被検査レンズ１０を同
時に検査することにより、検査速度を高めることもでき
る。その場合、上記複数組のセンサユニットを回転テー
ブルに対して放射状に設けることが好ましい。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
人為的手段によらず、低コストで、レンズの表面或いは
内部に存在する微細な欠陥部を、高い処理能力でしかも
高精度に検出することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】検査装置本体の概略側面図

【図２】検査装置本体の平面図

【図３】被検査レンズの凸面側を上方にした状態で載置
する検査ステージの平面図

【図４】図３の側面図

【図５】被検査レンズの凹面側を上方にした状態で載置
する検査ステージの側面図

【図６】揺動盤に保持されたファイバセンサの先端部の
部分断面図

【図７】ファイバセンサの先端部の断面図

【図８】図７のVIII−VIII断面図

【図９】検査装置の回路図

【図１０】フォトセンサで検出した電圧値と欠陥判定用
閾値との関係を示す説明図

【符号の説明】

１検査装置本体７回転テーブル８検査ステージ１０被検査レンズ（被検査物）１４Ｘ軸スライダ（垂直平面移動手段）１９Ｙ軸スライダ（垂直平面移動手段）２１揺動盤（揺動手段）２３ファイバセンサ２３ａ先端部２６投光ファイバ２７受光ファイバＯ回転軸Ｏ’ 中心軸

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者土屋晴彦東京都町田市成瀬2116番地ティービーオプティカル株式会社内Ｆターム(参考） 2F065 AA49 AA60 BB03 BB22 CC22 DD03 DD06 FF10 FF41 GG06 GG07 HH04 HH13 JJ01 JJ05 JJ18 LL02 LL04 MM04 MM06 PP03 PP13 PP22 QQ03 RR06 SS02 SS04 2G051 AA90 AB06 AB07 BA10 BB03 BB17 CA01 CB01 CC17 CD05 CD07 DA08 EA11 EB01 2G086 FF05

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査物の凸面又は凹面状に形成された
表面或いは内部に検査光を照射し、その反射光量の変化
に基づいて該被検査物の表面或いは内部の状態を検査す
る検査装置において、上記被検査物を載置する回転テーブルと、上記被検査物の表面に対設するファイバセンサの先端部
と、上記ファイバセンサの先端部を上記被検査物の表面に対
し法線方向に指向させながら、上記被検査物の表面に対
して一定の距離を保持した状態で移動させる移動手段
と、上記ファイバセンサの先端部に検査光を上記被検査物表
面或いは内部に照射する投光ファイバと該被検査物の表
面或いは内部からの反射光を受光する受光ファイバとを
設けたことを特徴とする検査装置。
【請求項２】上記被検査物を上記回転テーブルに対
し、該被検査物を水平方向へ移動自在な検査ステージを
介して保持し、上記ファイバセンサの先端部が上記回転テーブルの回転
軸上に臨まされたとき該検査ステージを上記回転テーブ
ルに対して水平方向へ移動させるように構成されている
請求項１記載の検査装置。
【請求項３】上記移動手段は、上記ファイバセンサの
先端部を上記回転テーブルの回転軸を通る垂直平面に沿
い、上記被検査物の表面に対して一定の距離を保持した
状態で移動させる垂直平面移動手段と、上記ファイバセ
ンサの先端部を上記被検査物の表面に対し法線方向に指
向させる揺動手段とで構成されている請求項１又は２記
載の検査装置。
【請求項４】上記被検査物はレンズ基材である請求項
１〜３のいずれか１つに記載の検査装置。