JP5507175B2 - 液晶表示装置およびその製造方法 - Google Patents
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- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims description 56
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 37
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 36
- 239000000049 pigment Substances 0.000 claims description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 43
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 22
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 16
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 11
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 11
- 101100016388 Arabidopsis thaliana PAS2 gene Proteins 0.000 description 9
- 101100297150 Komagataella pastoris PEX3 gene Proteins 0.000 description 9
- 101100315760 Saccharomyces cerevisiae (strain ATCC 204508 / S288c) PEX4 gene Proteins 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 102100036464 Activated RNA polymerase II transcriptional coactivator p15 Human genes 0.000 description 5
- 101000713904 Homo sapiens Activated RNA polymerase II transcriptional coactivator p15 Proteins 0.000 description 5
- 229910004444 SUB1 Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 101100060179 Drosophila melanogaster Clk gene Proteins 0.000 description 3
- 101150038023 PEX1 gene Proteins 0.000 description 3
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 101150014555 pas-1 gene Proteins 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- 229910004438 SUB2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 101100311330 Schizosaccharomyces pombe (strain 972 / ATCC 24843) uap56 gene Proteins 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000001151 other effect Effects 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 101150018444 sub2 gene Proteins 0.000 description 1
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- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Description
前記カラーフィルタは、隣接する一方のカラーフィルタと、前記一方のカラーフィルタの後に形成され、前記一方のカラーフィルタと色重ね部を有して形成される他方のカラーフィルタとを有し、
前記一方のカラーフィルタと前記他方のカラーフィルタには、前記画素電極と前記薄膜トランジスタを電気的に接続させるためのコンタクトホールが形成され、
前記カラーフィルタをフォトリソグラフィ技術によって形成する際に、前記カラーフィルタのコンタクトホール部と色重ね部のいずれか一方あるいは双方をハーフトーン露光することによって、前記色重ね部における一方のカラーフィルタのテーパ角と前記他方のカラーフィルタのテーパ角が30°以上75°以下であり、且つ、前記少なくとも一方のカラーフィルタの前記コンタクトホール部のテーパ角は45°以上90°以下であると共に、前記色重ね部のテーパ角を前記コンタクトホールのテーパ角よりも小さく形成する工程を備えることを特徴とする。
前記カラーフィルタは、隣接する一方のカラーフィルタと、前記一方のカラーフィルタの後に形成され、前記一方のカラーフィルタと色重ね部を有して形成される他方のカラーフィルタとを有し、
前記一方のカラーフィルタと前記他方のカラーフィルタに、それぞれ前記画素電極と前記薄膜トランジスタを電気的に接続させるためのコンタクトホールが形成され、
前記色重ね部における前記一方のカラーフィルタ及び前記他方のカラーフィルタの前記一方の基板表面に対するテーパ角が、前記コンタクトホール部における前記少なくとも一方のカラーフィルタの前記一方の基板表面に対するテーパ角よりも小さく形成されると共に、
前記色重ね部における前記一方のカラーフィルタの前記一方の基板表面に対するテーパ角と前記他方のカラーフィルタの前記一方の基板表面に対するテーパ角とがそれぞれ30°以上75°以下に形成され、前記コンタクトホール部における前記少なくとも一方のカラーフィルタの前記一方の基板表面に対するテーパ角が45°以上90°以下に形成され、
且つ、前記カラーフィルタの前記色重ね部における色重ね量が1μm以上7μm以下に形成されていることを特徴とする。
図2は、本発明の液晶表示装置の画素の一実施例を示した平面図である。図2に示す画素はマトリックス状に配置された複数の画素のうちの一つを示している。このため、図示の画素に対して上下左右には同じ構成の画素が形成されている。また、図2のIII−III線における断面図を図3に、図2のIV−IV線における断面図を図4に示している。図3、図4は、いずれも、液晶を挟持して対向配置される一対の基板のうちいわゆるTFT基板と称される基板側に形成された画素を示している。
次に、上述したカラーフィルタCFの製造方法について説明する。ここで、カラーフィルタCFの製造方法の説明に先立ち、カラーフィルタCFのフォトリソグラフィ技術による形成の際の露光、カラーフィルタCFに含有させる顔料濃度、カラーフィルタCFの端辺に形成されるテーパ角、さらに、カラーフィルタCF同士のテーパ角の部分における色重ね段差、および色重ね量において一定の相関があることについて説明する。
Claims (10)
- 液晶を挟持して対向配置される一対の基板のうち一方の基板の前記液晶側の面に、第1方向に延在され前記第1方向と交差する第2方向に並設されるゲート信号線と、前記第2方向に延在され前記第1方向に並設されるドレイン信号線と、
前記ゲート信号線からの走査信号によって駆動する薄膜トランジスタと、
前記ゲート信号線、前記ドレイン信号線、前記薄膜トランジスタを被って形成されたカラーフィルタと、このカラーフィルタの上方の層に形成された画素電極と、を備えた液晶表示装置の製造方法にあって、
前記カラーフィルタは、隣接する一方のカラーフィルタと、前記一方のカラーフィルタの後に形成され、前記一方のカラーフィルタと色重ね部を有して形成される他方のカラーフィルタとを有し、
前記一方のカラーフィルタと前記他方のカラーフィルタに、それぞれ前記画素電極と前記薄膜トランジスタを電気的に接続させるためのコンタクトホールが形成され、
前記カラーフィルタをフォトリソグラフィ技術によって形成する際に、
前記カラーフィルタのコンタクトホール部と前記色重ね部のいずれか一方あるいは双方をハーフトーン露光することによって、前記色重ね部における前記一方のカラーフィルタ及び前記他方のカラーフィルタの前記一方の基板表面に対するテーパ角を、前記コンタクトホール部における前記少なくとも一方のカラーフィルタの前記一方の基板表面に対するテーパ角よりも小さく形成すると共に、
前記色重ね部における前記一方のカラーフィルタの前記一方の基板表面に対するテーパ角と前記他方のカラーフィルタの前記一方の基板表面に対するテーパ角とをそれぞれ30°以上75°以下に形成し、前記コンタクトホール部における前記少なくとも一方のカラーフィルタの前記一方の基板表面に対するテーパ角を45°以上90°以下に形成し、
且つ、前記カラーフィルタの前記色重ね部における色重ね量を1μm以上7μm以下に形成する工程を備えることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 前記色重ね部の段差が1.0μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記一方のカラーフィルタと前記他方のカラーフィルタとの上面に跨がって対向電極が形成されることを特徴とする請求項1又は2に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記カラーフィルタは顔料が含有されて構成され、その顔料濃度が10%以上60%以下であることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記カラーフィルタの前記色重ね部における前記ハーフトーン露光は前記カラーフィタルの端辺から内側へ1μm以上5μm以下の範囲で行うことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記カラーフィルタの前記コンタクトホール部における前記ハーフトーン露光は、前記コンタクトホール部の外輪郭から内側へ1μm以上5μm以下の範囲で行うことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 液晶を挟持して対向配置される一対の基板のうち一方の基板の前記液晶側の面に、第1方向に延在され前記第1方向と交差する第2方向に並設されるゲート信号線と、前記第2方向に延在され前記第1方向に並設されるドレイン信号線と、
前記ゲート信号線からの走査信号によって駆動する薄膜トランジスタと、
前記ゲート信号線、前記ドレイン信号線、前記薄膜トランジスタを被って形成されたカラーフィルタと、このカラーフィルタの上方の層に形成された画素電極と、を備えた液晶表示装置にあって、
前記カラーフィルタは、隣接する一方のカラーフィルタと、前記一方のカラーフィルタの後に形成され、前記一方のカラーフィルタと色重ね部を有して形成される他方のカラーフィルタとを有し、
前記一方のカラーフィルタと前記他方のカラーフィルタに、それぞれ前記画素電極と前記薄膜トランジスタを電気的に接続させるためのコンタクトホールが形成され、
前記色重ね部における前記一方のカラーフィルタ及び前記他方のカラーフィルタの前記一方の基板表面に対するテーパ角が、前記コンタクトホール部における前記少なくとも一方のカラーフィルタの前記一方の基板表面に対するテーパ角よりも小さく形成されると共に、
前記色重ね部における前記一方のカラーフィルタの前記一方の基板表面に対するテーパ角と前記他方のカラーフィルタの前記一方の基板表面に対するテーパ角とがそれぞれ30°以上75°以下に形成され、前記コンタクトホール部における前記少なくとも一方のカラーフィルタの前記一方の基板表面に対するテーパ角が45°以上90°以下に形成され、
且つ、前記カラーフィルタの前記色重ね部における色重ね量が1μm以上7μm以下に形成されていることを特徴とする液晶表示装置。 - 前記色重ね部の段差が1.0μm以下であることを特徴とする請求項7に記載の液晶表示装置。
- 前記一方のカラーフィルタと前記他方のカラーフィルタとの上面に跨がって対向電極が形成されることを特徴とする請求項7又は8に記載の液晶表示装置。
- 前記カラーフィルタは顔料が含有されて構成され、その顔料濃度が10%以上60%以下であることを特徴とする請求項7に記載の液晶表示装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009220215A JP5507175B2 (ja) | 2009-09-25 | 2009-09-25 | 液晶表示装置およびその製造方法 |
US12/816,554 US8953122B2 (en) | 2009-06-18 | 2010-06-16 | Liquid crystal display device and manufacturing method for same |
US14/575,581 US9274367B2 (en) | 2009-06-18 | 2014-12-18 | Liquid crystal display device and manufacturing method for same |
US14/985,348 US9933668B2 (en) | 2009-06-18 | 2015-12-30 | Liquid crystal display device and manufacturing method for same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009220215A JP5507175B2 (ja) | 2009-09-25 | 2009-09-25 | 液晶表示装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011069950A JP2011069950A (ja) | 2011-04-07 |
JP5507175B2 true JP5507175B2 (ja) | 2014-05-28 |
Family
ID=44015311
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009220215A Active JP5507175B2 (ja) | 2009-06-18 | 2009-09-25 | 液晶表示装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5507175B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102294835B1 (ko) * | 2015-01-13 | 2021-08-27 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 및 그 제조 방법 |
CN106773554B (zh) * | 2017-03-13 | 2018-08-14 | 武汉华星光电技术有限公司 | 光罩结构及coa型阵列基板 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003050387A (ja) * | 2001-05-29 | 2003-02-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶パネル及び液晶パネルの製造方法 |
KR100816333B1 (ko) * | 2001-08-30 | 2008-03-24 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치용 색 필터 기판 및 박막 트랜지스터 기판및 이들의 제조 방법 |
US6876416B2 (en) * | 2002-04-30 | 2005-04-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Liquid crystal display apparatus having alignment film and method of manufacturing the same |
-
2009
- 2009-09-25 JP JP2009220215A patent/JP5507175B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011069950A (ja) | 2011-04-07 |
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Date | Code | Title | Description |
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