JP5496002B2 - ファンフィルタユニット - Google Patents
ファンフィルタユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP5496002B2 JP5496002B2 JP2010168121A JP2010168121A JP5496002B2 JP 5496002 B2 JP5496002 B2 JP 5496002B2 JP 2010168121 A JP2010168121 A JP 2010168121A JP 2010168121 A JP2010168121 A JP 2010168121A JP 5496002 B2 JP5496002 B2 JP 5496002B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter unit
- housing
- fan
- partition plate
- fan filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
従来のファンケーシングは複雑な形状を有している。すなわち、遠心ファンに対応するファンケーシングの中央部がファンケーシングの端縁部に比べて窪んだ凹部となっており、その凹部の周囲には4つの斜面部が形成され、しかもこれらの斜面部の外側には4つの水平部を有する複雑な構造を有している。しかもファンフィルタユニットの筐体は気流の流路を形成するためにガイド板を備えている。このため、従来のファンフィルタユニットの構造は複雑であり、部品点数が多い。
従来のファンフィルタユニットでは、複雑なファンケーシングが筐体内に配置されており、空気の流路が狭く、空気の気流方向は急激に2回反転されるので、気流を通す際に従来のファンフィルタユニットの構造抵抗が大きい。 そこで、本発明は、上記課題を解消するために、単純な構造でありながら空気が流れる流路抵抗を小さくして構造抵抗を小さく抑えかつ騒音を低減できるファンフィルタユニットを提供することを目的とする。
前記遠心ファンの前記ファンフィルタユニット側に仕切板を設置し、前記遠心ファンと前記仕切板で形成される空気の吹き出し直後の水平方向の気流が流れる第1開口部面積と、前記筐体の壁面に前記気流を当てることで前記筐体の壁面と前記仕切板の縁部分との間において前記気流が垂直方向に向きを変えて流れる第2開口部面積とをほぼ等しくした構成であることを特徴とする。
上記構成によれば、単純な構造でありながら空気が流れる流路抵抗を小さくして構造抵抗を小さく抑えて騒音を低減できる。すなわち、単純な構造の仕切板を用いており、空気の流路が広く取れ、すでに述べたように空気の気流は1回90度曲げれば良いだけであるので、従来のファンフィルタユニットに比べて構造抵抗が小さく、単純な構造でありながら空気が流れる流路抵抗を小さくして構造抵抗を小さく抑えかつ騒音を低減できる。
上記構成によれば、筐体の容積を小さくでき、ファンフィルタユニットの厚みを小さくできる。
尚、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。 図1は、本発明のファンフィルタユニットの実施形態を示す斜視図である。図2(A)は、図1のファンフィルタユニットを示す平面図であり、図2(B)は、図2(A)のファンフィルタユニットをC方向から見た側面図である。
図1と図2に示すファンフィルタユニット1は、好ましくはクリーンルーム等に用いられ、例えば、半導体製造装置用の高性能フィルタ及び中性能フィルタを有する装置である。ファンフィルタユニット1は、直方体形状を有する筐体2と、フィルタ3と、送風機4を有している。筐体2は、ファンボックスともいう。フィルタ3は、例えば正方形状の板状の部材であり、筐体2に対して着脱可能に固定され、筐体2は、送風機4を収容し、このフィルタ3以外には筐体2内を通す気流が逃げないような箱体構造である。
その他に、側面部2Bには、風量調整ツマミ7が設けられている。図2(A)に示す筐体2の幅Dは、例えば610mmであるが、この値に限定されるものではない。
フィルタ3の金属製のフィルタ枠3B内にはフィルタ部材が配置されており、このフィルタ部材は、例えばUPLA(高性能)フィルタである。
図2(B)に示すベルマウス台5は、筐体2と同じ材質で作られており、筐体2の上面部2Aの上部開口部9から突出長さRだけ突出するようにして、筐体2の上面部2Aの上部開口部9の周縁部上に固定されている。ベルマウス台5は、筐体2内において、送風機4の上部を保持している。
図3(A)は、仕切板10を示す斜視図であり、図3(B)は、この仕切板10の平面図であり、図3(C)は、仕切板10の側面図である。
仕切板10は、例えば正方形の平面部11と4つの支持アーム部12を有する。各支持アーム部12は、平面部11の各縁部分13の中央位置からZ2方向に突出して垂直に立てて形成されている。各支持アーム部12は、ほぼL字型に形成され、支持アーム部12は、垂直に立てて形成された開口部形成部分12Aと、水平に形成された取付用部分12Bを有している。
図3(B)に示すように平面部11の幅Tは例えば450mm(45cm)であり、図3(C)に示すように支持アーム部12の開口部形成部分12Aの高さSは例えば70mm(7cm)である。図3(B)に示すように支持アーム部12の幅Kは、例えば25mm(2.5cm)である。
図3(A)と図3(B)に示すように、平面部11の中央位置には、4つのネジ穴12Tが形成されている。図3(A)に示すネジ12Fは、これらのネジ穴12Tに通して送風機4の下部にねじ込むことで、仕切板10は送風機4の下部を取付て保持している。
さらに、図4(A)において、斜線で示す四角枠状の第2気流形成領域M2は、平面部11の4つの縁部分13と筐体2の4つの側面部2B〜2Eの壁面の内側の間に形成されている。この斜線で示す四角枠状の第2気流形成領域M2は、筐体2の側面部2B〜2Eの壁面の内側に気流が当たって、筐体2の側面部2B〜2Eの壁面の内側と仕切板10の各縁部分13との間で形成される壁面気流が垂直方向(Z1方向、下方向)に向きを変えて流れる第2開口部通路断面積C2を有している。
そして、第1開口部通路断面積C1と第2開口部通路断面積C2は、ほぼ等しいかあるいは等しくなるように設定されている。
(2)第1開口部通路断面積C1と第2開口部通路断面積C2が等しい場合の例としては、次の通りである。
平面部11の各縁部分13の幅TのXcmを450mm(45cm)と設定した場合に、第1開口部通路断面積C1と第2開口部通路断面積C2を等しくするには、次の計算による。
すなわち、第1開口部通路断面積C1は、Xcm×7cm×4−2.5cm×7cm×4=28X−70cm2・・・式1
により求めることができる。
により求めることができる。
第1開口部通路断面積C1と第2開口部通路断面積C2を完全に等しくするには,式1=式2とすれば良いので、X2+28X−3294=0から、X=45.1cmが得られるので、X=45.1cmとすれば、第1開口部通路断面積C1と第2開口部通路断面積C2を等しくすることができる。
図2に示す送風機4が動作すると、空気はフィンガーガード6を通じてベルマウス台5の開口部と筐体2の上面部2Aの上部開口部9から筐体2内に供給される。遠心ファンである送風機4と、仕切板10の平面部11とにより形成される空気の吹き出し直後の矢印Wで示す水平方向の空気の気流が、図4(A)に示すように平面部11に沿って第1気流形成領域M1の第1開口部通路断面積C1を通過する。その後、筐体2の側面部2B〜2Eの壁面の内側と、仕切板10の各縁部分13に気流が当たって、空気の気流が垂直下方向(Z1方向)に向きを変えて、斜線で示す四角枠状の第2気流形成領域M2の第2開口部通路断面積C2を通って流れる。
本発明の実施形態のファンフィルタユニット1では、単純な構造の仕切板10を用いており、空気の流路が広く取れ、すでに述べたように空気の気流は1回90度曲げれば良いだけであるので、従来のファンフィルタユニットに比べて構造抵抗が小さい。
以上のことから、本発明の実施形態のファンフィルタユニット1では、単純な構造でありながら空気が流れる流路抵抗を小さくして構造抵抗を小さく抑えかつ騒音を低減できる。
図5(A)に示す本発明の実施形態のファンフィルタユニット1では、仕切板10は、送風機4を取付て固定するだけでなく、送風機4が作り出す空気の吹出流を仕切って空気の吹出流を第1開口部通路断面積C1と第2開口部通路断面積C2に通す役割を有する。従って、仕切板10を用いることにより、空気の気流の風向の変化が1回であり必要最小限にでき、風速が一定で安定する。このため、本発明の実施形態のファンフィルタユニット1は、単純な構造でありながら空気が流れる流路抵抗を小さくして構造抵抗を小さく抑えかつ騒音を低減できる。
これに対して、図5(B)の比較例では、送風機104が仕切板10とは全く異なる構造の取付具110により取付られているが、この取付具110は、4つの支持アーム部112を有しているだけで空気の気流を導くための平面部は有しておらず、空気の気流を仕切る効果は無い。
本発明は、使用材料に特徴があるわけではないので、記載していないものでも使用することができる。
Claims (2)
- フィルタの上流側に筐体を有し、前記筐体内に遠心ファンを設けてなるファンフィルタユニットであって、
前記遠心ファンの前記ファンフィルタユニット側に仕切板を設置し、前記遠心ファンと前記仕切板で形成される空気の吹き出し直後の水平方向の気流が流れる第1開口部面積と、前記筐体の壁面に前記気流を当てることで前記筐体の壁面と前記仕切板の縁部分との間において前記気流が垂直方向に向きを変えて流れる第2開口部面積とをほぼ等しくした構成であることを特徴とするファンフィルタユニット。 - 前記遠心ファンを固定するベルマウス台を、前記筐体の上部開口部から突出して設けたことを特徴とする請求項1に記載のファンフィルタユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010168121A JP5496002B2 (ja) | 2010-07-27 | 2010-07-27 | ファンフィルタユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010168121A JP5496002B2 (ja) | 2010-07-27 | 2010-07-27 | ファンフィルタユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012026696A JP2012026696A (ja) | 2012-02-09 |
JP5496002B2 true JP5496002B2 (ja) | 2014-05-21 |
Family
ID=45779837
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010168121A Expired - Fee Related JP5496002B2 (ja) | 2010-07-27 | 2010-07-27 | ファンフィルタユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5496002B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101785523B1 (ko) * | 2017-03-21 | 2017-10-17 | 주식회사 신성이엔지 | 멀티 팬 필터유닛 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102316708B1 (ko) * | 2020-06-26 | 2021-10-22 | 이철희 | 공기조화유닛 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0147143B1 (en) * | 1983-12-16 | 1991-04-17 | Nitta Co., Ltd. | Air cleaner |
JPH06159752A (ja) * | 1992-11-27 | 1994-06-07 | Shinko Kogyo Co Ltd | クリーンルーム用ファンフィルターユニット |
JP3820610B2 (ja) * | 1994-11-29 | 2006-09-13 | 三機工業株式会社 | トンネル式クリーンルーム空調システムのフィルタダクト形成方法 |
JP3505066B2 (ja) * | 1997-06-20 | 2004-03-08 | 株式会社日立産機システム | 空気清浄装置 |
JP2009210180A (ja) * | 2008-03-04 | 2009-09-17 | Panasonic Corp | ファンフィルタユニット |
JP4612084B2 (ja) * | 2008-08-29 | 2011-01-12 | 株式会社日立産機システム | 遠心ファン、及び、それを用いた空気流体機械 |
-
2010
- 2010-07-27 JP JP2010168121A patent/JP5496002B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101785523B1 (ko) * | 2017-03-21 | 2017-10-17 | 주식회사 신성이엔지 | 멀티 팬 필터유닛 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012026696A (ja) | 2012-02-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3971991B2 (ja) | エアシャワ装置 | |
JP5496002B2 (ja) | ファンフィルタユニット | |
US10197302B2 (en) | Local air cleaning apparatus | |
JP2008241141A (ja) | 空気調和機 | |
JP2015014433A (ja) | ファンフィルターユニット | |
JP2002349944A (ja) | 一様流吹き出し装置 | |
JP4867271B2 (ja) | ダクトファン | |
JP6078777B2 (ja) | 空気清浄装置 | |
JP5589405B2 (ja) | 送風装置 | |
JP2019011875A (ja) | 加湿空気清浄装置 | |
JPH06159752A (ja) | クリーンルーム用ファンフィルターユニット | |
WO2013051311A1 (ja) | 清浄空気吹出装置 | |
JP2018054192A (ja) | 空気清浄装置 | |
JP2006275311A (ja) | ファンフィルターユニット | |
JP5995683B2 (ja) | エアーカーテン装置 | |
JPH06331169A (ja) | 送風装置 | |
JP6027835B2 (ja) | 空気清浄機 | |
JP4604058B2 (ja) | エアシャワ装置 | |
JP2002243233A (ja) | 空気清浄化装置 | |
JP4123463B2 (ja) | 一様流吹き出し装置 | |
JP6421324B2 (ja) | 空気清浄装置 | |
JP4905033B2 (ja) | ファンフィルターユニット | |
JP3297127B2 (ja) | ファン付きフィルタユニット | |
JP2014042885A (ja) | ファンフィルターユニット | |
JP2015021703A (ja) | 空気清浄機 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20121004 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20121005 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130722 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140213 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140219 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140304 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5496002 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |