JP5487647B2 - 圧力センサーおよびその製造方法ならびにステアリング装置 - Google Patents
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Description
前記基板上と前記圧力検知膜上を覆い、前記圧力検知膜の厚みによる前記基板との段差をなくすなじみ層を形成する段階と、を有する。
次に本実施形態による圧力センサー1の利用形態について説明する。
さらに他の利用形態について説明する。
この利用形態3も、利用形態2と同様に自動車の衝突時におけるステアリングに加わる衝撃荷重(三軸荷重)を計測するために圧力センサーをステアリングコラムの部分に一体的に取り付けたステアリング装置である。
11 基板、
12 絶縁層、
13 密着層、
14 圧力検知膜、
15 保護層、
19 穴、
20 剛体部品、
50 配線部、
100 ステアリングコラム、
101 ステアリングボス、
115、116 穴、
118 鏡面圧子、
119 ネジ。
Claims (13)
- 2つの剛体間の圧力を測定するリング形状の圧力センサーであって、
前記2つの剛体のうち一方の剛体となるリング形状の基板と、
前記基板上に、線形状のパターンとして形成されている圧力検知膜と、
前記基板上の前記圧力検知膜を覆うとともに、前記基板上の前記圧力検知膜の存在しない部分を充填して前記圧力検知膜の厚みによる前記基板との段差をなくすなじみ層と、を有することを特徴とする圧力センサー。 - 前記圧力検知膜と前記なじみ層の間に、絶縁性の保護層をさらに有することを特徴とする請求項1に記載の圧力センサー。
- 前記基板と、前記圧力検知膜の前記なじみ層で覆われていない側の面との間に絶縁層をさらに有することを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサー。
- 前記絶縁層の前記圧力検知膜側の面は、面粗度の最大高さが0.2μm以下であることを特徴とする請求項3記載の圧力センサー。
- 前記絶縁層と前記圧力検知膜の間に、前記絶縁層に前記圧力検知膜を密着させる密着層をさらに有することを特徴とする請求項3または4記載の圧力センサー。
- 前記圧力検知膜は、前記基板の面積の50%以上を占めるように配置されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の圧力センサー。
- 2つの剛体間の圧力を測定するリング形状の圧力センサーの製造方法であって、
前記2つの剛体のうちの一方の剛体となるリング形状の基板上に線形状のパターンで圧力検知膜を形成する段階と、
前記基板上と前記圧力検知膜上を覆い、前記圧力検知膜の厚みによる前記基板との段差をなくすなじみ層を形成する段階と、を有することを特徴とする圧力センサーの製造方法。 - 前記基板上に前記圧力検知膜を設置する前に、
前記基板上に絶縁層を形成する段階と、
前記絶縁層面上を化学機械研磨によって平坦化する段階と、
を有することを特徴とする請求項7記載の圧力センサーの製造方法。 - 前記絶縁層の面上に密着層を形成後、前記圧力検知膜を形成することを特徴とする請求項8記載の圧力センサーの製造方法。
- 前記なじみ層を形成する前に、
前記圧力検知膜を覆う保護層を形成する段階と、
を有することを特徴とする請求項7〜9のいずれか一つに記載の圧力センサーの製造方法。 - ステアリングコラムにはめ込まれたステアリングボスに穿たれた第1穴部内に設けられており、前記ステアリングコラム外周と当該第1穴部を埋める埋め込み部材との間に配置された第1圧力センサーと、
ステアリングコラムにはめ込まれたステアリングボスの前記第1圧力センサーと直交する方向に穿たれた第2穴部内に設けられており、前記ステアリングコラム外周と当該第2穴部を埋める埋め込み部材との間に配置された第2圧力センサーと、
前記ステアリングボスの前記ステアリングコラム軸方向の切断面に挟み込んだ第3圧力センサーと、を有し、
前記第1〜第3圧力センサーが請求項1〜6のいずれか一つからなる圧力センサーであることを特徴とするステアリング装置。 - 前記第1圧力センサーは、2個の圧力センサーがそれぞれに対応した2つの第1穴部に設けられており、
前記第2圧力センサーは、2個の圧力センサーがそれぞれに対応した2つの第2穴部に設けられており、
前記第3圧力センサーは、ステアリングコラムの軸を取り囲むリング形状であることを特徴とする請求項11に記載のステアリング装置。 - ステアリングコラムと当該ステアリングコラムにはめ込まれたステアリングボスの間に配置された第1圧力センサーと、
前記ステアリングコラムとステアリングボスの間であって前記第1圧力センサーに対して直交する位置に配置された第2圧力センサーと、
前記ステアリングボスの前記ステアリングコラム軸方向の切断面に挟み込んだ第3圧力センサーと、を有し、
前記第1〜第3圧力センサーが請求項1〜6のいずれか一つからなる圧力センサーであることを特徴とするステアリング装置。
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