JP5476742B2 - スイッチング素子、スイッチング素子の製造方法、電子デバイス、論理集積回路及びメモリ素子 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係るスイッチング素子の概略構成例を示す。以下に、本実施形態に係る3端子スイッチング素子の構成について説明する。尚、本実施形態では、3端子スイッチング素子について例を挙げて説明するが、これに限定されるものではない。
本実施形態では、上記実施形態1の3端子スイッチング素子をプログラマブルロジックに適用した例について説明する。
本実施形態では、上記実施形態1の3端子スイッチング素子を適用したメモリ素子の例について説明する。
12 第2電極
13 第3電極
14 イオン伝導層
15 微結晶酸化物イオン伝導層
16 金属イオン
17 金属架橋
18 微結晶
19 結晶粒界
20 上部電極
21 酸化物イオン伝導層
22 下部電極
23 低抵抗シリコン基板
101 第2電極
102 シリコン酸化膜
103 低抵抗シリコン基板
104 酸化物イオン伝導層
105 微結晶酸化物イオン伝導層
106 絶縁層
107 第1電極
108 第3電極
111 ロジックセル
112 スイッチング素子
113 信号線
114 プログラマブルロジック
121 トランジスタ素子
122 スイッチング素子
123、124 ビット線
125、126 ワード線
Claims (16)
- 第1の電極と、第2の電極と、第3の電極と、酸化物を含有するイオン伝導層と、を有し、
前記第1の電極は、前記イオン伝導層に電子を供給し、
前記第1の電極及び前記第3の電極の少なくとも1以上の電極は、前記イオン伝導層に金属イオンを供給し、
前記金属イオンは、前記電子を受け取って前記イオン伝導層中で金属を形成し、
前記金属は、前記第1の電極と前記第2の電極間を接続し、
前記第3の電極は、前記第1の電極及び前記第2の電極間を接続する前記金属の形成及び消去を制御し、
前記イオン伝導層は、前記第1の電極と前記第2の電極と前記第3の電極とに接して設けられ、電極前記酸化物の結晶化温度で結晶化した前記酸化物の結晶である酸化物結晶よりも小さい前記酸化物の結晶である微結晶を含有し、
前記微結晶は、結晶粒界を形成することを特徴とするスイッチング素子。 - 前記微結晶は、前記酸化物の結晶化温度よりも低い温度で前記イオン伝導層を加熱することにより形成されることを特徴とする請求項1記載のスイッチング素子。
- 前記イオン伝導層は、前記酸化物結晶と前記微結晶とを含有することを特徴とする請求項1又は2記載のスイッチング素子。
- 前記酸化物は、酸化タンタル、酸化シリコン、酸化チタン、酸化ニッケル、酸化ニオブ、酸化タングステン、酸化モリブデン、酸化銅、酸化ジルコニウム、酸化ハフニウム及びその組み合わせの何れかであることを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載のスイッチング素子。
- 前記第1の電極及び第3の電極の少なくとも1つは、銅で形成されることを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載のスイッチング素子。
- 前記第2の電極は、少なくとも前記イオン伝導層との接面が、前記金属イオンを供給しない材料で形成されることを特徴とする請求項1から5の何れか1項に記載のスイッチング素子。
- 第2の電極を形成する第2電極形成ステップと、
酸化物を含有するイオン伝導層を前記第2の電極に接するように形成するイオン伝導層形成ステップと、
前記イオン伝導層を、前記イオン伝導層が含有する酸化物の結晶化温度より低い温度で加熱し前記酸化物を微結晶とする加熱ステップと、
前記イオン伝導層表面の一部であって、前記第2の電極との接面と対向する面に、前記イオン伝導層に電子を供給する第1の電極を形成する第1電極形成ステップと、
前記イオン伝導層表面の一部であって、前記第2の電極との接面と対向する面に第3の電極を形成する第3電極形成ステップと、を有し、
前記第1電極形成ステップ及び前記第3電極形成ステップで形成された第1の電極及び第3の電極の少なくとも1以上の電極は、前記イオン伝導層に金属イオンを供給し、該金属イオンが前記電子を受け取って前記イオン伝導層中に金属を形成することを特徴とするスイッチング素子の製造方法。 - 前記加熱ステップは、前記酸化物の結晶化温度で結晶化する前記酸化物の結晶である酸化物結晶よりも小さい前記微結晶を前記イオン伝導層に形成し、前記微結晶により形成される結晶粒界を前記イオン伝導層に含有させることを特徴とする請求項7記載のスイッチング素子の製造方法。
- 前記加熱ステップは、前記酸化物結晶と前記微結晶とを前記イオン伝導層に形成することを特徴とする請求項8記載のスイッチング素子の製造方法。
- 前記酸化物は、酸化タンタル、酸化シリコン、酸化チタン、酸化ニッケル、酸化ニオブ、酸化タングステン、酸化モリブデン、酸化銅、酸化ジルコニウム、酸化ハフニウム及びその組み合わせの何れかであることを特徴とする請求項7から9の何れか1項に記載のスイッチング素子の製造方法。
- 前記第1電極形成ステップは、前記第1の電極を銅で形成することを特徴とする請求項7から10の何れか1項に記載のスイッチング素子の製造方法。
- 前記第3電極形成ステップは、前記第3の電極を銅で形成することを特徴とする請求項7から11の何れか1項に記載のスイッチング素子の製造方法。
- 前記第2電極形成ステップは、前記第2の電極のうち少なくとも前記イオン伝導層との接面を、前記金属イオンを供給しない材料で形成することを特徴とする請求項7から12の何れか1項に記載のスイッチング素子の製造方法。
- 請求項1から6の何れか1項に記載のスイッチング素子を有することを特徴とする電子デバイス。
- 請求項1から6の何れか1項に記載のスイッチング素子を有することを特徴とする論理集積回路。
- 請求項1から6の何れか1項に記載のスイッチング素子と、
前記スイッチング素子がオン状態及びオフ状態の何れの状態であるかを読み出すトランジスタ素子と、を有することを特徴とするメモリ素子。
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