JP5474948B2 - 被加工物搬送台 - Google Patents

被加工物搬送台 Download PDF

Info

Publication number
JP5474948B2
JP5474948B2 JP2011512874A JP2011512874A JP5474948B2 JP 5474948 B2 JP5474948 B2 JP 5474948B2 JP 2011512874 A JP2011512874 A JP 2011512874A JP 2011512874 A JP2011512874 A JP 2011512874A JP 5474948 B2 JP5474948 B2 JP 5474948B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece carrier
disc
workpiece
ring
shaft
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2011512874A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2011523895A (ja
Inventor
エッサー,シュテファン
Original Assignee
エルリコン トレーディング アクチェンゲゼルシャフト,トリューブバハ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by エルリコン トレーディング アクチェンゲゼルシャフト,トリューブバハ filed Critical エルリコン トレーディング アクチェンゲゼルシャフト,トリューブバハ
Publication of JP2011523895A publication Critical patent/JP2011523895A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5474948B2 publication Critical patent/JP5474948B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C13/00Means for manipulating or holding work, e.g. for separate articles
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/50Substrate holders
    • C23C14/505Substrate holders for rotation of the substrates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/564Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Rolling Contact Bearings (AREA)
  • Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
  • Snaps, Bayonet Connections, Set Pins, And Snap Rings (AREA)
  • Chain Conveyers (AREA)
  • Gear Processing (AREA)
  • Packaging For Recording Disks (AREA)
  • Jigs For Machine Tools (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Spray Control Apparatus (AREA)

Description

本発明は、請求項第1項の予特徴付け条項による塗装システムのための被加工物搬送台に関する。このタイプの被加工物搬送台は、一般的に、可能な限り均等である塗装を確実なものにするために数回にわたって塗装供給源を通過させられる比較的多数の工作物を、対応するホルダ内において搬送する
特許文献1が、汎用タイプの被加工物搬送台を開示している。特に、この被加工物搬送台は、軸から外向きに離れるように傾斜する形で傾いているホルダを有し、このことが、被加工物の非常に近接した配置を可能にし、および、さらには、被加工物の端面に向かう塗装の厚さの一般的に求められる増大を生じさせ、かつ、特に端面上における被覆の均等性を改善する。
しかし、欠点は、ホルダを保持する円板と他の部品も必然的に塗装されるということである。このために定期的なクリーニングが必要であり、この定期的なクリーニングは、取り扱いに慎重を要する構成要素に対する損傷を回避するために非常に注意深く行われなければならず、かつ、これに対応したコストと、使用時間の減少と、摩耗の増大とを伴う。
同様の被加工物搬送台が特許文献2に開示されている。この特許文献では、ホルダが、円板を駆動する回転中心軸に対して平行に位置合わせされている。ホルダ自体の回転を各々の場合に生じさせる円板と回転中心軸とさらに別の部品とのどれもが、塗装から保護されていない。
独国特許発明第10 2004 027 989 A1号明細書 欧州特許第1 256 637 A1号明細書
ホルダを保持する円板が不要な塗装から保護される汎用タイプの被加工物搬送台を提供することが、本発明の目的である。この目的は、請求項第1項の特徴付け条項の特徴によって実現される。
本発明による被加工物搬送台では、軸と、円板と、ホルダの下部部品とが、非常に単純な設計を有し、かつ、取り付けおよび取り外しが容易であり、かつ、損傷の危険性なしに容易にクリーニングが可能である、被覆金属板によって覆われている。この金属被覆板は、さらに、直接的に連続している円板の間隔保持の確保のようなさらに別の目的を実現することも可能である。
以下では、本発明を、単に具体例を示すにすぎない図面に参照しながら、さらに詳細に説明する。
図1は、第1の実施形態における本発明による被加工物搬送台の軸方向縦断面図を概略的に示す。 図2は、図1の本発明による被加工物搬送台の部分側面図を示す。 図3は、第2の実施形態における本発明による被加工物搬送台の部分分解組立図を示す。
説明の単純化のために、図1および図2による被加工物搬送台は、幾分か概略的に示されており、および、一般的に備えられる被加工物用ホルダよりも少ない数の被加工物用ホルダを備えている。
この被加工物搬送台は、基部2に連結されている非回転対称な(好ましくは正方形の)横断面の中央垂直軸1を有する。この中央垂直軸1は、基部2に対して相対的に回転不可能であるように、または、軸1の中心に一致する軸線を中心として回転可能でありかつ駆動可能であるように、軸1の中心に一致する軸線上に取り付けられることが可能である。上記の軸線を中心として回転可能であるように取り付けられている歯車リング3が、駆動可能ピニオン4に係合し、および、歯車リング3が軸1に対して相対的な回転移動を行うように歯車リング3の回転速度が軸1の回転速度とは異なるように、駆動可能ピニオン4によって駆動される。各々の場合に実質的に円筒形の形状でありかつ一体となって円筒形の金属被覆板を形成する、例えばシート金属のような薄い硬質材料のリング5が、歯車リング3上に軸方向において回転不可能な形で連続的に存在している。リング5の下部末端では、軸1を取り囲む環状円板7が同様に回転不可能な形で上に支持されている環状支持リング6が、各々の場合に内側に締め付け固定されている。
各々の円板7は等しい個数(この例では6つであるが、普通はより多数であることが好ましい)の、軸1から外向きに離れるように傾斜する形で傾いている互いに同一のホルダを保持する。ホルダ8の各々は、円板7内の傾斜穴10の中に固定されているボルト9と、ボルト9上に回転可能な形で取り付けられておりかつ被加工物13(図2では省略されている)を受け入れるための穴12を有するスリーブ11とを備える。
ホルダ8は、各々の場合に、互いに隣接するホルダが各々の場合に同一の角度ピッチ(この例では60°)だけ互いに対して相対的にずれているように、円板7の周縁部全体にわたって均等に分布している。リング5は、図示されていない最上のリングを例外として、その周縁部全体にわたって均等に分布している幾つかの上部凹み14を各々に上部端縁に有し、この上部凹みの個数はホルダ8の個数に一致しており、および、リング5は、最下のリングを例外として、同様に、下部端縁において、しかし、上部凹み14の1つが各々の場合に2つの下部凹み15の間の中央に位置しているように、および、これとは逆に、各々の場合に上部凹み14に対して角度ピッチの半分だけ角度をなしている均等に分布している下部凹み15を有する。
上部リング5の下部凹み15が各々の場合に下部リング5の上部凹み14に隣接しているように、特に、上部凹み14の端縁が下部凹み15の端縁の滑らかな延長部分を形成するように、連続したリング5が方向配置されている。下部凹み15と、これに隣接した上部凹み14は、各々の場合に、ホルダ8の1つが中を通って突き出る金属被覆板内の開口部を一体になって形成し、および、さらには、各々の場合に凹み16が上部リング5の支持リング6の外側端縁に備えられることも必要である。2つのリングの間にこのような形に形成されたグループに属する開口部は互いに同一の高さにあり、かつ、金属被覆板の周縁部全体にわたって均等に分布している。あらゆる点で同一であることが好ましいこれらの開口部は、細長い長円形の形状またはこれに類似した形状を各々が有するだろうし、例えば、長方形の中央部品によって連結されている同一のまたは異なる長さの半長円形の形状であってもよい。リング5は、互いに隣接する開口部を各々の場合に連結するように円周方向に引かれている境界線17に沿って互いに隣接し、すなわち、それらを分離するウェブを横切り、および、上記開口部の間の最も狭い箇所の付近で、好ましくは上記箇所の幾分か下方で、それらが開始するように横切り、および、上部凹み14の幅が、下部末端においてさえ、ホルダ8の直径、すなわち、ホルダ8のスリーブ11の直径に比べて少なくともわずかに大きいだけであるように、上部凹み14が狭まることを確実にすることが必要である。
互いに隣接するリング5が、角度ピッチの倍数にわたる回転を別として、それらの互いの角度位置に関して所要の位置に固定されているように、境界線17が形成されている。これに加えて、上部リングが角度ピッチの半分よりも小さく回転させられるように上部リングが取り付けられる場合に、上記角度位置が自動的に所要の固定位置をとるように、境界線17が選択される。これは、この具体例においては、境界線17が、それが連結する互いに隣接する開口部の間の中間に最下点を有する好ましくは対称的なV字形の線にしたがうことによって実現される。この結果として、互いに隣接する下部凹み15を分離するウェブ部分が、ウェブ部分が凹み8のスリーブ11上に乗る時にそのリングが自動的に所要の位置に向かって回転させられるように、各々の場合に上記スリーブ上をスライドする。これに対して横断方向に、連続したリング5の相対的位置が、例えば境界線17のわずかに上方でリングの内側上において突き出しかつそこで後続のリングの内側と協働する止め具によって調整されることが可能である。この止め具(図3を参照されたい)は、例えば、支持リング6の部品によって形成されることが可能である。しかし、周縁部全体にわたる境界線17の効果的な形成がリング5が各方向において所要の位置をとるように強制するので、この止め具は無くてもよい。
各々のホルダ8自体の回転を生じさせるために、伝動部品18が円板7の各々と調和して働かされ、この伝動部品18は、金属シートから打ち出されて曲げられておりかつ例えば上記軸1が中を通って突き出す正方形の凹みを有することによって移動可能であるが回転不可能である形で軸1に係合する部品であることが好ましく、および、この部品は、上記円板に対して相対的に回転可能であるが移動不可能であるか、または、軸1に対して軸方向に平行な制限された移動可能性をせいぜい有するだけであるように、それぞれの円板7に対して連結されている。この伝動部品18は、半径方向に外向きに突き出しかつホルダ8上の回転止め具に係合する突起19を有し、この回転止め具の各々はスリーブ11内のノッチ20の形状である。
被加工物搬送台は、最初に、最下のリング5を歯車リング3の上に取り付け、その次に、最下の円板7を、対応する伝動部品18とホルダ8と共に、その支持リング6の上に取り付け、その後に、その次のリング5を取り付ける等によってアセンブリされることが可能である。境界線17の位置と属性とのせいで、これは、上部凹み14がその下部末端においてさえホルダ8のスリーブ11を受け入れるのに十分なだけ幅広であり、かつ、下部凹み15が各々に端縁に向かって広がるので、まったく問題を生じさせない。軸1の方向における円板7の位置が、対応するリング5の位置によって各々の場合に完全に固定されている。一方、各々のリング5の位置は、その次の下部リング上または歯車リング3上のその支持によって結果的に生じる。リング5の適切な方向配置が、その次の下部円板のホルダ8との接触によって、および、最終的には、境界線17のV字形によって自動的に生じさせられるので、リング5の回転位置は各々の場合に概ねアセンブリ中にだけ検査されればよい。
図3は、18個のホルダ8を有する円板7と、円板7と調和的に働かされかつ支持リング6上の対応する個数の上部凹み14と下部凹み15と凹み16とを有するリング5との実際的な構成を示す。円板7が支持リング6上に置かれる時にその円板7がリング5に対して相対的に回転することを防止する回転防止装置21も、同じ側に見えている。図から明らかであるように、互いに隣接する開口部の間のウェブは非常に幅が狭く、および、一方、上部凹み14は、角度ピッチの半分だけ下部凹み14に対して相対的にずれている。このことが、被加工物搬送台上のホルダ8の全体的に非常に緻密な配置を可能にする。互いに隣接する開口部の間の境界線17は、この場合も同様に、中間に最下点を有するV字形である。
最上のリングにおける最下の凹みと上部凹みとの場合の下部凹みの不在と、これら2つのリングのさらに別のあらゆる特性は別として、すべてのリングと円板は、すべての開口部も同一であるように各々の場合に同一の形に形成されている。これらのリングは、各々の場合に、角度ピッチの概ね倍数の回転において変化しない。これらのリングの各々は円板の1つと共に調和して働かされ、および、上記円板と後続の円板との間の距離を決定する。
しかし、この点に関して、および、さらには別の点に関して、説明されている実施形態からの大きな変更が、本発明に範囲からの逸脱なしに可能である。したがって、被覆金属板とリングとが、実質的に円筒形である形状とは別の形状を有することも可能である。さらに、円板のホルダの個数に対応するこれらのグループの開口部の個数が変化することが可能である。軸は、互いに回転不可能な形で連結されておりかつ各々の場合に1つの伝動手段が堅固に連結されることが可能な複数のセクションから成ってもよい。この被加工物搬送台は、さらに、上述の設計よりも複雑な設計を有してもよく、例えば、上述の設計を有しかつ軸線を中心として回転可能な基部上に存在する複数のユニットを有してもよい。
1 軸
2 基部
3 歯車リング
4 ピニオン
5 リング
6 支持リング
7 円板
8 ホルダ
9 ボルト
10 穴
11 スリーブ
12 穴
13 被加工物
14 上部凹み
15 下部凹み
16 凹み
17 境界線
18 伝動部品
19 突起
20 ノッチ
21 回転防止装置

Claims (15)

  1. 基部(2)と、その中に固定または取り付けられている軸(1)と、前記軸(1)に沿って互いに連続しかつ前記基部(2)に対して相対的に回転可能である複数の円板(7)とを備え、および、前記円板(7)は、前記軸(1)から外向きに斜めに離れるように傾斜しておりかつ被加工物(13)のために備えられている、前記円板(7)の周縁部全体にわたって分布している複数のホルダ(8)を備えている塗装システムのための被加工物搬送台において、前記被加工物搬送台は、前記軸(1)と前記円板(7)とを取り囲む被覆金属板であって、前記周縁部全体にわたって分布しておりかつウェブによって隔てられている自由なグループの開口部を残す被覆金属板を有し、および、前記円板(7)の1つに属する前記ホルダ(8)は前記開口部を通って突き出し、および、前記被覆金属板は、前記軸(1)に沿って互いに連続しかつ互いに対して直接的に隣接している複数のリング(5)によって構成されており、および、前記複数のリング(5)は、1つのグループの互いに隣接する開口部の間に存在している前記ウェブの1つを区分する境界線(17)において突き当たることを特徴とする被加工物搬送台。
  2. 記互いに隣接するリング(5)の相互回転位置が所要の固定位置に必ず一致するように、少なくとも1つの境界線(17)が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の被加工物搬送台。
  3. 前記少なくとも1つの境界線(17)は、少なくとも部分的に概ねV字形であることを特徴とする請求項2に記載の被加工物搬送台。
  4. グループの前記開口部は同一のサイズであり、同一の高さに位置しており、および、互いに隣接する開口部が互いに対して固定した角度ピッチだけ相対的にずれているように、前記周縁部の全体にわたって均等に分布していることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の被加工物搬送台。
  5. 各グループは同一の個数の開口部を有することを特徴とする請求項4に記載の被加工物搬送台。
  6. 前記軸(1)に沿って直接的に互いに連続するグループの前記開口部は、前記角度ピッチの半分だけ互いに対して相対的にずれていることを特徴とする請求項5に記載の被加工物搬送台。
  7. 前記リング(5)は、前記角度ピッチにわたる回転に関して不変であるように形成されていることを特徴とする請求項5または6に記載の被加工物搬送台。
  8. 前記リング(5)は、末端位置のリング(5)は別として、互いに同一であることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の被加工物搬送台。
  9. 前記金属被覆板は実質的に円筒形の形状を有することを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の被加工物搬送台。
  10. 各々の円板(7)はリング(5)上に支持されていることを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載の被加工物搬送台。
  11. 前記円板(7)は各々に環状の形で前記軸(1)を取り囲むことを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載の被加工物搬送台。
  12. 前記リング(5)は、前記円板(7)の1つが上に支持される止め具を各々に内側に備えることを特徴とする請求項1から11のいずれか一項に記載の被加工物搬送台。
  13. 前記止め具は、環状支持リング(6)の形状であることを特徴とする請求項12に記載の被加工物搬送台。
  14. 前記ホルダ(8)は各々に前記円板(7)上に回転可能な形で取り付けられており、および、前記ホルダ(8)上の回転止め具に作用しかつ前記軸(1)に回転不可能な形で係合する伝動部品(18)が、各々の円板(7)のために備えられていることを特徴とする請求項1から13のいずれか一項に記載の被加工物搬送台。
  15. 前記伝動部品(18)は、前記軸(1)上で軸方向に移動可能であり、かつ、前記円板(7)に対して相対的に軸方向に移動不可能であることを特徴とする請求項14に記載の被加工物搬送台。
JP2011512874A 2008-06-11 2009-06-04 被加工物搬送台 Active JP5474948B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH8842008 2008-06-11
CH884/08 2008-06-11
PCT/EP2009/003998 WO2009149864A1 (en) 2008-06-11 2009-06-04 Workpiece carrier

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011523895A JP2011523895A (ja) 2011-08-25
JP5474948B2 true JP5474948B2 (ja) 2014-04-16

Family

ID=40220250

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011512874A Active JP5474948B2 (ja) 2008-06-11 2009-06-04 被加工物搬送台

Country Status (15)

Country Link
US (2) US20110083604A1 (ja)
EP (1) EP2297375B1 (ja)
JP (1) JP5474948B2 (ja)
KR (1) KR101598645B1 (ja)
CN (1) CN102057075B (ja)
AU (1) AU2009256934B2 (ja)
BR (1) BRPI0913321B1 (ja)
CA (1) CA2724917C (ja)
ES (1) ES2541466T3 (ja)
MX (1) MX2010013449A (ja)
PL (1) PL2297375T3 (ja)
PT (1) PT2297375E (ja)
RU (1) RU2499080C2 (ja)
TW (1) TWI484058B (ja)
WO (1) WO2009149864A1 (ja)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SG11201402975SA (en) 2011-12-08 2014-10-30 Praxair Technology Inc Multifuntion tooling fixture assembly for use in a coating related operations
EP2788525B1 (en) * 2011-12-08 2016-02-24 Praxair S.T. Technology, Inc. Tooling fixture assembly for use in a coating operation
RU2507306C1 (ru) * 2012-09-04 2014-02-20 Открытое акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" Установка для напыления покрытий на прецизионные детали узлов гироприборов
DE102013007454A1 (de) * 2013-05-02 2014-11-06 Oerlikon Trading Ag, Trübbach Vielseitige Haltevorrichtung zur Oberflächenbehandlung von stangenförmigen Substraten
HK1215127A2 (zh) 2015-06-17 2016-08-12 Master Dynamic Ltd 製品塗層的設備、儀器和工藝
CN105728643B (zh) * 2016-03-18 2018-07-03 湖州南丰机械制造有限公司 一种用于熔模铸造的蜡模安置架
WO2018149548A1 (en) 2017-02-16 2018-08-23 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon Tool fixture for multiple process steps
KR102079778B1 (ko) * 2017-12-14 2020-02-21 한국생산기술연구원 스퍼터링 지그
KR102090277B1 (ko) 2018-09-11 2020-04-23 구한모 스크린골프장용 스크린원단 및 제조방법
DE102018126862A1 (de) * 2018-10-26 2020-04-30 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon Werkstückträgereinrichtung und Beschichtungsanordnung
DE102019110158A1 (de) * 2019-04-17 2020-10-22 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon Werkstückträgereinrichtung

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1391063A (en) * 1971-03-02 1975-04-16 Dobson C D Apparatus for vacuum deposition
JPS5371390U (ja) * 1976-11-18 1978-06-15
JPS60155009A (ja) * 1984-01-20 1985-08-14 Nippon Cable Syst Inc ケ−ブル式ウインドレギユレ−タ用張力自動調整機構
JPS6131252U (ja) * 1984-07-31 1986-02-25 株式会社 松下 絵葉書類の陳列器
JPS6147855U (ja) * 1984-08-31 1986-03-31 秀雄 増淵 種販売用スタンド
FR2594102B1 (fr) * 1986-02-12 1991-04-19 Stein Heurtey Installation flexible automatisee de traitement thermochimique rapide
SU1824458A1 (en) * 1991-05-06 1993-06-30 Nii Vychislitelnoj Tekhn Apparatus for application of coatings
UA10775A (uk) * 1996-04-19 1996-12-25 Валерій Федорович Семенюк Спосіб вакуумhо-дугового hаhесеhhя покриттів та пристрій для його здійсhеhhя
US6077572A (en) * 1997-06-18 2000-06-20 Northeastern University Method of coating edges with diamond-like carbon
CN2428490Y (zh) * 2000-06-27 2001-05-02 复旦大学 一种用于真空蒸镀的样品支架
US20020062791A1 (en) * 2000-10-11 2002-05-30 Andrey Ginovker Table
ATE311482T1 (de) * 2001-05-08 2005-12-15 Werkstückträger
DE102004027989B4 (de) * 2004-06-09 2007-05-10 Esser, Stefan, Dr.-Ing. Werkstückträgervorrichtung zum Halten von Werkstücken
JP2006255648A (ja) * 2005-03-18 2006-09-28 Ga-Rew:Kk コーティング装置
TWI331635B (en) * 2005-04-22 2010-10-11 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Substrate holder
US20070004577A1 (en) * 2005-06-29 2007-01-04 Gabor Lederer Centrifuge assembly

Also Published As

Publication number Publication date
AU2009256934B2 (en) 2014-06-26
TWI484058B (zh) 2015-05-11
WO2009149864A1 (en) 2009-12-17
US20110083604A1 (en) 2011-04-14
KR101598645B1 (ko) 2016-02-29
RU2010145987A (ru) 2012-07-20
KR20110015595A (ko) 2011-02-16
BRPI0913321A2 (pt) 2015-11-17
PT2297375E (pt) 2015-06-29
US8944000B2 (en) 2015-02-03
JP2011523895A (ja) 2011-08-25
AU2009256934A1 (en) 2009-12-17
PL2297375T3 (pl) 2015-09-30
CN102057075A (zh) 2011-05-11
CN102057075B (zh) 2013-01-02
BRPI0913321B1 (pt) 2021-03-02
US20140109827A1 (en) 2014-04-24
RU2499080C2 (ru) 2013-11-20
ES2541466T3 (es) 2015-07-20
EP2297375A1 (en) 2011-03-23
CA2724917A1 (en) 2009-12-17
CA2724917C (en) 2016-03-29
TW201006948A (en) 2010-02-16
MX2010013449A (es) 2011-01-21
EP2297375B1 (en) 2015-04-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5474948B2 (ja) 被加工物搬送台
AU2009288911B2 (en) Double row abrasive disc
US20210010659A1 (en) Combined-Type Dynamic Effect Wheel And Stage Light Provided With Same
MX2008002382A (es) Dispositivo portador de piezas de trabajo.
JP4156264B2 (ja) コーティング装置用加工品支持体
JP4594307B2 (ja) 様々な大きさの金属蓋に封止剤を塗布するための磁気封止剤ライナ塗布機
RU2005123970A (ru) Опорный узел формного цилиндра, установочный элемент, формный цилиндр, снабженный установочным элементом, печатная машина, снабженная опорным узлом формного цилиндра и ее применение
CN211005595U (zh) 一种镀膜治具
US8534935B2 (en) Device for synchronizing shutter blades
US20150360266A1 (en) Container Cleaning Device
CN207791882U (zh) 一种转盘
US20140061227A1 (en) Vending machine with goods driving mechanism
JP6029463B2 (ja) 眼鏡レンズ基材用保持装置および塗布液塗布装置
JP2017052990A (ja) 表面処理機及びそれを複数組み合せた表面処理装置
CN111020517B (zh) 一种基板承托架
CN210731605U (zh) 储货机构组装用工装
KR20090098130A (ko) 스프레이 도장용 지그
HUE025344T2 (en) Workpiece carrier
JPH05212630A (ja) インデックステーブルシステム
JP2011067906A (ja) 板状ワーク研磨装置および板状ワーク研磨方法
JP2003117840A (ja) 平面研削用セグメント砥石
US20040232269A1 (en) Friction roller for the driving of a bobbin and support
GB1588232A (en) Wire-drawing cones
CH710993A2 (fr) Support pour assemblage de mouvements horlogers.

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20120517

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130830

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130903

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20131202

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140107

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140205

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5474948

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250