CN102057075B - 工件托架 - Google Patents
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Abstract
在所有情况下在围绕圆盘(7)的环(5)上支撑有沿中心轴布置并具有保持器(8)的多个圆盘(7),所述保持器(8)均匀地分布在圆周上方、斜地向外倾斜并用于工件。连续的环(5)形成防止圆盘(7)不期望涂层的大致圆柱形的包层。该包层具有用于圆盘(7)的保持器(8)的开口组,所述开口在相同的高度处均匀地分布在圆周上方,并且每个开口由承载圆盘(7)的环(5)中的上凹槽(14)和随后的环的相邻的下凹槽(15)形成。在连续的环(5)之间的边界线(17)在所有情况下稍低于将相邻开口分开的腹板的最狭窄点,使得下凹槽(15)在所有情况下不会朝向环(5)的边缘变窄,而上凹槽(14)至多稍微变窄,以此方式使得能自下而上容易地装配工件托架。
Description
【技术领域】
本发明涉及一种根据权利要求1的前序分句的用于涂层系统的工件托架。该类型的工件托架通常在相应的保持器中承载较大数量的工件,这些工件被多次输送通过涂层源以确保尽可能均匀的涂层。
【背景技术】
DE 10 2004 027 989 A1公开了一种一般类型的工件托架。尤其,该工件托架具有斜地远离轴向外倾斜的保持器,这允许工件非常紧密的布置,并且还导致朝向工件端面的涂层厚度上的普遍期望的增加并改善了涂层尤其在端面上的均匀性。
然而,缺点是承载保持器的圆盘、以及其他零件也不可避免地被涂层(coat)。这需要定期清洁,该定期清洁以具有相应的成本、使用时间减少以及磨损增大的方式,必须被非常小心地实现以免损伤到敏感性部件。
在EP 1 256 637 A1中公开了类似的工件托架。此时,保持器被对准平行于旋转中心轴,该旋转中心轴驱动圆盘。在所有情况下产生保持器自身旋转的不论是圆盘、还是轴、还是另外的零件都没有免于被涂层。
【发明内容】
本发明的目的是提供一种一般类型的工件托架,在该工件托架中保护承载保持器的圆盘免于被不期望地进行涂层。该目的通过权利要求1的特征分句中的特征实现。
在根据本发明的工件托架中,轴、圆盘和保持器的下部由包层覆盖,该包层具有非常简单的设计且易于安装和去除,并且能容易地无损伤危险地进行清洁。该包层还可用于另外的用途,诸如建立直接连续的圆盘的间隔。
【附图说明】
以下参考仅代表实施例的附图来更详细地说明本发明。
图1示意性地示出在第一实施例中贯穿根据本发明的工件托架的轴向纵截面;
图2示出图1的根据本发明的工件托架的局部侧视图;以及
图3示出在第二实施例中根据本发明的工件托架的局部分解图。
【具体实施方式】
为了简化展示,稍微示意性地示出根据图1、2的工件托架,并且该工件托架还设置有比通常所提供的要少的用于工件的保持器。
该工件托架具有非旋转对称的(优选地为方形)横截面的中心垂直轴1,该中心垂直轴1连接至基部2。该工件托架可安装在与轴1的中心重合的轴线上以便相对于基部2不可旋转或者可绕所述轴线旋转,并且可被驱动。安装成以便可绕所述轴线旋转的齿圈3啮合可驱动的小齿轮4,并由后者以该齿圈3的旋转速度不同于轴1的旋转速度的方式驱动,使得齿圈3相对于轴1执行旋转运动。薄刚性材料(例如片状金属)的环5在所有情况下具有大致圆柱形的形状并一起形成圆柱形包层,环5在齿圈3上沿轴向是不可连续地旋转的。在环5的下端处,环形支撑环6在所有情况下被同样不可旋转地紧固至内部,在该环形支撑环6上支撑有围绕轴1的环形圆盘7。
各圆盘7承载相等数量的(在示例中为六个,通常优选地更多)斜地远离轴1向外倾斜的相同的保持器。每一个保持器8包括螺栓9和套筒11,螺栓9锚固在圆盘7中的斜孔10中,套筒11可旋转地安装在螺栓9上并具有用于接纳工件13的孔12(在图2中被省略)。
保持器8在所有情况下被均匀地分布在圆盘7的圆周上方,使得相邻的保持器在所有情况下相对于彼此以相同的角节距(在该示例中为60°)偏移。除未示出的最上面的环之外,环5在上边缘处均具有均匀地分布在圆周上方的多个上凹槽14,上凹槽14的数量对应于保持器8的数量;而同样地除最下面的环之外,环5在下边缘处均具有均匀分布的下凹槽15,然而下凹槽15在所有情况下相对于上凹槽14是以角节距的一半进行偏移,使得上凹槽14中的一个上凹槽在所有情况下在两个下凹槽15之间居中,并且反之亦然。
连续的环5被定向成使得上环5的下凹槽15在所有情况下邻近于下环5的上凹槽14,尤其使得下环5的边缘构成上环5的边缘的平滑连续。下凹槽15和邻近于其的上凹槽14在所有情况下一起形成在包层中的开口,保持器8中的一个保持器通过该开口突出,在所有情况下还需要在上环5的支撑环6的外边缘处设置凹槽16。属于在两个环之间以此方式形成的一组开口处于相同的高度,并且被均匀地分布在包层的圆周上方。优选地始终相同的开口可以都具有拉长的椭圆形状或类似的形状,例如可采用由矩形中心件(rectangularcentral piece)连接的相同或不同长度的半椭圆的形式。环5沿着沿圆周方向导入的边界线17彼此邻接,以此方式使得边界线17在所有情况下连接相邻的开口,即与将它们分开的腹板相交,并且以此方式使得分界线17开始于所述开口之间最狭窄的点附近,并且优选地稍低于所述点,有必要确保上凹槽14仅变窄至它们的宽度即使在下端处也至少稍大于保持器8(即它们的套筒11)的直径的程度。
除通过角节距的倍数的旋转之外,将边界线17形成为使得相邻的环5相对于它们相互的角位置被固定在所需位置。另外,将边界线17选择成使得如果上环被安装成使得该上环被旋转少于角节距的一半,则所述角位置自动地采用固定的所需位置。由于边界线17遵从优选对称的V形线(该V形线具有在其连接的相邻开口中间的最低点)的事实,这在示例中被实现。结果,将相邻的下凹槽15分开的腹板部分在它们搁置在凹槽8的套筒11上、在所有情况下搁置在所述套筒上时滑动,以此方式使得环自动地朝向所需位置旋转。通过止动件可以与连续的环5的相对位置横向地控制该相对位置,所述止动件例如在边界线17上方于环的内部稍微突出,并在那里与随后的环的内部配合。止动件(参考图3)例如可由支撑环6的零件形成。然而,由于边界线17在整个圆周上方的有效形式迫使环5沿各个方向采用所需位置,所以也可以没有止动件。
为了产生各保持器8本身的旋转,使传动零件18与圆盘7中的每个圆盘协调,传动零件18优选地是由金属片材冲压成并弯曲的零件,且传动零件18例如通过具有轴1穿过其突出的方形凹槽以可移置但不可旋转的方式啮合所述轴,并且传动零件18连接至相应的圆盘7,以此方式使得其可相对于所述圆盘旋转但平行于轴1不可移置或至多具有有限的轴向移置性。传动零件18具有径向向外突出并啮合在保持器8上的旋转止动件的突出部(lug)19,所述旋转止动件均采用套筒11中的切口20的形式。
可通过首先将最下面的环5安装在齿圈3上、然后将最下面的圆盘7与相应的传动零件18和保持器8一起安装在其支撑环6上、然后安装下一个环5等等来装配工件托架。由于边界线17的位置和特性,这不会造成任何困难,因为上凹槽14甚至在它们的下端处正好宽到足以能够接纳保持器8的套筒11,而下凹槽15均朝向边缘变宽。圆盘7沿轴1的方向的位置在所有情况下完全由相应的环5的位置来固定。各环5的位置依次由其在下一个下环上的支撑或在齿圈3上的支撑产生。由于环5的相关定向是通过与下一个下圆盘的保持器8的接触并最终通过边界线17的V形自动地实现,所以在装配期间在所有情况下仅需要大致检查环5的旋转位置。
图3示出圆盘7和环5的实际形式,该圆盘7具有十八个保持器8,而该环5与圆盘7协调并具有相应数量的上凹槽14、下凹槽15和在支撑环6上的凹槽16。在支撑环6上还可见到防旋转装置21,该防旋转装置21在圆盘7搁置于支撑环6上时防止该圆盘7相对于环5的旋转。显然,在相邻开口之间的腹板是非常窄的,并且上凹槽14依次相对于下凹槽15偏移角节距的一半。这允许保持器8在工件托架上总体上非常密集的布置。在相邻开口之间的边界线17再一次为具有在中间的最低点的V形。
除在最下面的环没有下凹槽和最上面的环没有上凹槽的情况下以及这两个环任何另外的特性之外,在所有情况下相同地形成所有的环以及所有的圆盘,使得所有的开口也相同。环在所有情况下不随与角节距的倍数有关的旋转变化。每一个环与圆盘中的一个圆盘协调,并确定所述圆盘与随后的圆盘之间的距离。
然而,在这方面以及还有其他方面,在不偏离本发明的范围的情况下有可能大致偏离于所描述的示例。因此,包层和环也可具有不同于大致圆柱形的形状。此外,可以改变对应于圆盘的保持器的数量的开口组的数量。轴可由多个部分构成,所述多个部分不可旋转地连接于彼此,并且在所有情况下可将一个传动装置然后也固定地连接至所述多个部分。工件托架还可以具有比所描述的更复杂的设计,例如具有多个单元,所述多个单元具有所描述的设计并存在于可绕轴线旋转的基部上。
附图标记列表
1 轴
2 基部
3 齿圈
4 小齿轮
5 环
6 支撑环
7 圆盘
8 保持器
9 螺栓
10 孔
11 套筒
12 孔
13 工件
14 上凹槽
15 下凹槽
16 凹槽
17 边界线
18 传动零件
19 突出部
20 切口
21 防旋转装置
Claims (15)
1.一种用于涂层系统的工件托架,其包括基部(2)和锚固或安装在所述基部(2)中的轴(1)、以及多个圆盘(7),所述多个圆盘(7)沿所述轴(1)彼此跟随且可相对于所述基部(2)旋转,并且所述多个圆盘(7)在所有情况下设置有分布在所述圆盘(7)的圆周上方、远离所述轴(1)斜地向外倾斜并用于工件(13)的多个保持器(8),其特征在于,所述工件托架具有围绕所述轴(1)和所述圆盘(7)的包层,并留有分布在所述圆周上方且在所有情况下由腹板分开的自由开口组,属于所述圆盘(7)之一的所述保持器(8)在所有情况下通过所述开口突出,并且所述开口由多个环(5)组成,所述多个环(5)沿所述轴(1)彼此跟随且彼此直接邻近,并且所述多个环(5)在边界线(17)处邻接,所述边界线(17)在所有情况下将存在于一组相邻开口之间的所述腹板中的一块腹板分开。
2.根据权利要求1所述的工件托架,其特征在于,至少一条边界线(17)形成为使得所述相邻的环(5)相互的旋转位置不可避免地对应于固定的所需位置。
3.根据权利要求2所述的工件托架,其特征在于,所述至少一条边界线(17)为至少部分地大致V形。
4.根据权利要求1所述的工件托架,其特征在于,一组所述开口在所有情况下具有相同的尺寸,位于相同的高度并且均匀地分布在所述圆周上方,使得相邻的开口在所有情况下相对于彼此以固定的角节距偏移。
5.根据权利要求4所述的工件托架,其特征在于,每一组具有相同数量的开口。
6.根据权利要求5所述的工件托架,其特征在于,沿所述轴(1)直接彼此跟随的多组所述开口在所有情况下相对于彼此以所述角节距的一半偏移。
7.根据权利要求5或6所述的工件托架,其特征在于,所述环(5)在所有情况下被形成为以使其不随通过所述角节距的旋转变化。
8.根据权利要求1、2或3所述的工件托架,其特征在于,除在端部位置的环(5)以外,所述环(5)是相同的。
9.根据权利要求1、2或3所述的工件托架,其特征在于,所述包层具有大致圆柱形的形状。
10.根据权利要求1、2或3所述的工件托架,其特征在于,各圆盘(7)被支撑在环(5)上。
11.根据权利要求1、2或3所述的工件托架,其特征在于,所述圆盘(7)均以环形方式围绕所述轴(1)。
12.根据权利要求1、2或3所述的工件托架,其特征在于,所述环(5)在内部均具有止动件,所述圆盘(7)中的一个圆盘在所有情况下被支撑在所述止动件上。
13.根据权利要求12所述的工件托架,其特征在于,所述止动件是采用全方向支撑环(6)的形式。
14.根据权利要求1、2或3所述的工件托架,其特征在于,所述保持器(8)均可旋转地安装在所述圆盘(7)上,并且为各圆盘(7)设置传动零件(18),所述传动零件(18)对所述保持器(8)上的旋转止动件起作用并且在所有情况下不可旋转地啮合所述轴(1)。
15.根据权利要求14所述的工件托架,其特征在于,所述传动零件(18)在所有情况下在所述轴(1)上可轴向移置并且相对于所述圆盘(7)不可轴向移置。
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Families Citing this family (11)
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---|---|---|---|---|
WO2013086286A2 (en) * | 2011-12-08 | 2013-06-13 | Prexair S. T. Technology, Inc. | Tooling fixture assembly for use in a coating operation |
US9381537B2 (en) * | 2011-12-08 | 2016-07-05 | Praxair Technology, Inc. | Multifunction tooling fixture assembly for use in a coating related operations |
RU2507306C1 (ru) * | 2012-09-04 | 2014-02-20 | Открытое акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" | Установка для напыления покрытий на прецизионные детали узлов гироприборов |
DE102013007454A1 (de) * | 2013-05-02 | 2014-11-06 | Oerlikon Trading Ag, Trübbach | Vielseitige Haltevorrichtung zur Oberflächenbehandlung von stangenförmigen Substraten |
HK1215127A2 (zh) | 2015-06-17 | 2016-08-12 | Master Dynamic Ltd | 製品塗層的設備、儀器和工藝 |
CN105728643B (zh) * | 2016-03-18 | 2018-07-03 | 湖州南丰机械制造有限公司 | 一种用于熔模铸造的蜡模安置架 |
SG11201906439PA (en) | 2017-02-16 | 2019-08-27 | Oerlikon Surface Solutions Ag Pfaeffikon | Tool fixture for multiple process steps |
KR102079778B1 (ko) * | 2017-12-14 | 2020-02-21 | 한국생산기술연구원 | 스퍼터링 지그 |
KR102090277B1 (ko) | 2018-09-11 | 2020-04-23 | 구한모 | 스크린골프장용 스크린원단 및 제조방법 |
DE102018126862A1 (de) * | 2018-10-26 | 2020-04-30 | Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon | Werkstückträgereinrichtung und Beschichtungsanordnung |
DE102019110158A1 (de) * | 2019-04-17 | 2020-10-22 | Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon | Werkstückträgereinrichtung |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN2428490Y (zh) * | 2000-06-27 | 2001-05-02 | 复旦大学 | 一种用于真空蒸镀的样品支架 |
DE102004027989A1 (de) * | 2004-06-09 | 2006-03-02 | Esser, Stefan, Dr.-Ing. | Werkstückträgervorrichtung zum Halten von Werkstücken und Behandlungsvorrichtung |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1391063A (en) * | 1971-03-02 | 1975-04-16 | Dobson C D | Apparatus for vacuum deposition |
JPS5371390U (zh) * | 1976-11-18 | 1978-06-15 | ||
JPS60155009A (ja) * | 1984-01-20 | 1985-08-14 | Nippon Cable Syst Inc | ケ−ブル式ウインドレギユレ−タ用張力自動調整機構 |
JPS6131252U (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-25 | 株式会社 松下 | 絵葉書類の陳列器 |
JPS6147855U (ja) * | 1984-08-31 | 1986-03-31 | 秀雄 増淵 | 種販売用スタンド |
FR2594102B1 (fr) * | 1986-02-12 | 1991-04-19 | Stein Heurtey | Installation flexible automatisee de traitement thermochimique rapide |
SU1824458A1 (en) * | 1991-05-06 | 1993-06-30 | Nii Vychislitelnoj Tekhn | Apparatus for application of coatings |
UA10775A (uk) * | 1996-04-19 | 1996-12-25 | Валерій Федорович Семенюк | Спосіб вакуумhо-дугового hаhесеhhя покриттів та пристрій для його здійсhеhhя |
US6077572A (en) * | 1997-06-18 | 2000-06-20 | Northeastern University | Method of coating edges with diamond-like carbon |
US20020062791A1 (en) * | 2000-10-11 | 2002-05-30 | Andrey Ginovker | Table |
DE50205082D1 (de) * | 2001-05-08 | 2006-01-05 | Unaxis Balzers Ag | Werkstückträger |
JP2006255648A (ja) | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Ga-Rew:Kk | コーティング装置 |
TWI331635B (en) * | 2005-04-22 | 2010-10-11 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | Substrate holder |
US20070004577A1 (en) * | 2005-06-29 | 2007-01-04 | Gabor Lederer | Centrifuge assembly |
-
2009
- 2009-06-04 RU RU2010145987/02A patent/RU2499080C2/ru active
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-
2013
- 2013-12-27 US US14/142,462 patent/US8944000B2/en active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN2428490Y (zh) * | 2000-06-27 | 2001-05-02 | 复旦大学 | 一种用于真空蒸镀的样品支架 |
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