JP5469843B2 - レーザ測量装置及び距離測定方法 - Google Patents

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Description

本発明は、レーザ光線を測定対象物に照射し、測定対象物からの反射光を受光して距離測定を行うレーザ測量装置及び距離測定方法に関するものである。
光波距離測定装置として、測距光としてレーザ光線を測定対象物に照射し、測定対象物からの反射光を用いて測定対象物迄の距離を測定するレーザ測量装置がある。
レーザ光線を測定対象物に照射して光波距離測定を行う場合、測定対象物のレーザ光線が照射される点は、必ずしも平面であるとは限らず、又平面が交差するエッジであったりする。又、レーザ光線は所要の広がりを持っていることから、ビーム光束は面積を有しており、測定結果には測定対象物の被照射面の状態が影響を及す。
この為、光波距離測定で測距精度を向上させるには、レーザ光線のビーム径(スポットサイズ)ができるだけ小さいことが望まれる。
測距光としてのレーザ光線は、1.4μm〜2.6μmの波長を有する近赤外光が用いられることが好ましく、近赤外光は、不可視光でありレーザ光線が人の目に入射した場合でも、不快感を与えることなく、又近赤外光は目に損傷を与え難い。一方で、近赤外光は波長が長い為、干渉の影響を受易く、広がり角が大きくなり、測定対象物に照射されたレーザ光線のスポットサイズが大きくなり、測定精度は低下するという問題があった。
従来、ビーム径は、レーザ測量装置の測距能力に対応し、標準の測距距離、例えば平均的な測距距離に合せて適正となる様に設定され、測定精度が平均的に向上する様になっている。
この為、従来のレーザ測量装置では、実際の測距距離が標準の測距距離から離れると、誤差が大きくなる傾向を有し、特に測距光として近赤外光を使用した場合、広がり角が大きいので、測距距離が標準の測距距離から離れると誤差が更に大きくなる傾向を有していた。
本発明は斯かる実情に鑑み、測距距離に対応してビーム径を変更可能とし、測距距離の大小に拘らず、測定精度を向上し得るレーザ測量装置及び距離測定方法を提供しようとするものである。
本発明は、レーザ光線を射出する光源と、該光源からのレーザ光線を平行光束とする射出光学系と、射出されるレーザ光線の光束を走査させる走査部と、走査方向を検出する走査方向検出部と、照射したレーザ光線の測定対象物からの反射光を受光する受光光学系と、該受光光学系を介して受光した反射光を光電変換する受光素子と、該受光素子からの信号に基づき距離を測定する距離測定部とを具備し、前記射出光学系は光束径可変手段を有し、射出されるレーザ光線の光束径を変更可能としたレーザ測量装置に係り、又前記光束径可変手段は、前記射出光学系の開口径を変更するレーザ測量装置に係り、又前記光束径可変手段は、前記射出光学系の焦点距離を変更するレーザ測量装置に係り、又前記光束径可変手段を駆動制御する制御部を有し、該制御部は測定対象物迄の距離に適する光束径となる様に前記光束径可変手段を制御するレーザ測量装置に係り、更に又前記光束径可変手段を駆動制御する制御部を有し、任意の光束径で測定対象物迄の予備測距を行って得られた概略距離に応じて前記光束径可変手段を制御するレーザ測量装置に係るものである。
又本発明は、測定対象物迄の概略距離に合せて射出するレーザ光線のビーム径を設定するステップと、レーザ光線を測定対処物に向け射出するステップと、照射したレーザ光線の測定対象物からの反射光を受光するステップと、受光した反射光に基づき測定対象物迄の距離を測定するステップとを有する距離測定方法に係り、又レーザ光線を走査して測定対象物迄の概略距離を予備測定するステップを有し、得られた概略距離に合せてビーム径を設定する距離測定方法に係り、更に又測定対象物を視準して合焦機構により合焦するステップと、合焦機構の合焦位置に基づき測定対象物迄の概略距離を予備測定するステップとを有し、得られた概略距離に合せてビーム径を設定する距離測定方法に係るものである。
本発明によれば、レーザ光線を射出する光源と、該光源からのレーザ光線を平行光束とする射出光学系と、射出されるレーザ光線の光束を走査させる走査部と、走査方向を検出する走査方向検出部と、照射したレーザ光線の測定対象物からの反射光を受光する受光光学系と、該受光光学系を介して受光した反射光を光電変換する受光素子と、該受光素子からの信号に基づき距離を測定する距離測定部を具備し、前記射出光学系は光束径可変手段を有し、射出されるレーザ光線の光束径を変更可能としたので、又本発明によれば、測定対象物迄の概略距離に合せて射出するレーザ光線のビーム径を設定するステップと、レーザ光線を測定対処物に向け射出するステップと、照射したレーザ光線の測定対象物からの反射光を受光するステップと、受光した反射光に基づき測定対象物迄の距離を測定するステップとを有するので、測距距離に対応したビーム径とすることができ、測定精度の向上が図れるという優れた効果を発揮する。
以下、図面を参照しつつ本発明を実施する為の最良の形態を説明する。
レーザ測量装置の1つとして測定対象物に向けて測定パルスビームを照射・走査し、測定対象物からの反射光に基づき測距を行い、その測距値と照射角度値から測定対象物の3次元測定を行い、点群データを得る、所謂レーザスキャナと言われる3次元測定装置が知られている。
図1〜図2は、本発明がレーザスキャナ1に実施された場合を示している。
レーザスキャナ1は主に、整準部2、該整準部2に設置された回転機構部3、該回転機構部3に回転可能に支持された測定装置本体部4、該測定装置本体部4の上部に設けられた走査部5から構成されている。又、前記測定装置本体部4は、測距部6、射出光学系7、受光光学系8、制御部9等を収納している。尚、図2は便宜上、図1に対して前記走査部5のみ側方から見た状態を示している。
前記整準部2について説明する。
台盤11にピン12が立設され、該ピン12の上端は曲面に形成され、下部ケーシング13の底面に形成された凹部に傾動自在に嵌合している。又、前記底面の他の2カ所には、調整螺子14が螺合貫通しており、該調整螺子14の下端部には脚部材15が固着されており、該脚部材15の下端は、尖端又は曲面に形成され、前記台盤11に当接している。前記調整螺子14の上端には整準従動ギア16が嵌着されている。前記下部ケーシング13は前記ピン12と2つの前記調整螺子14により3点で前記台盤11に支持され、前記ピン12の先端を中心に傾動可能となっている。尚、前記台盤11と前記下部ケーシング13とは離反しない様に、前記台盤11と前記下部ケーシング13との間にはスプリング19が設けられている。
前記下部ケーシング13の内部には、2個の整準モータ17が設けられ、該整準モータ17の出力軸に整準駆動ギア18が嵌着され、該整準駆動ギア18は前記整準従動ギア16に噛合している。前記整準モータ17は前記制御部9によって独立して駆動され、前記整準モータ17の駆動により前記整準駆動ギア18、前記整準従動ギア16を介して前記調整螺子14が回転され、該調整螺子14の下方への突出量が調整される様になっている。又、前記下部ケーシング13の内部には傾斜センサ56(図3参照)が設けられており、該傾斜センサ56の検出信号に基づき2個の前記整準モータ17が駆動されることで、前記整準部2の整準がなされる。
前記回転機構部3について説明する。
前記下部ケーシング13は、前記回転機構部3のケーシングを兼ねており、内部には水平回動モータ20が設けられ、該水平回動モータ20の出力軸には水平回動駆動ギア21が嵌着されている。
前記下部ケーシング13の上端には、軸受22を介して回転基盤23が設けられ、該回転基盤23の中心には、下方に突出する回転軸24が設けられ、該回転軸24には水平回動ギア25が設けられ、該水平回動ギア25に前記水平回動駆動ギア21が噛合されている。
又、前記回転軸24には水平角検出器26、例えばエンコーダが設けられ、該水平角検出器26により、前記下部ケーシング13に対する前記回転軸24の相対回転角が検出され、検出結果(水平角)は前記制御部9に入力され、該検出結果に基づき前記制御部9により前記水平回動モータ20の駆動が制御される様になっている。
前記測定装置本体部4について説明する。
前記回転基盤23に本体部ケーシング27が固着され、該本体部ケーシング27の内部に鏡筒28が設けられる。該鏡筒28は、前記本体部ケーシング27の回転中心と同心の中心線を有し、該本体部ケーシング27に所要の手段で取付けられる。例えば、前記鏡筒28の上端にフランジ29が形成され、該フランジ29が前記本体部ケーシング27の天井部に固着される。
前記鏡筒28は軸心と合致する光軸30を有し、該光軸30上に光学的分離手段である孔明きミラー31が設けられる。該孔明きミラー31により、前記光軸30から反射光軸32が分離されている。
該反射光軸32上に反射ミラー33、集光レンズ34、フォトダイオード等の受光素子35が設けられる。又、前記光軸30上に発光源である発光素子36、及び光束径可変手段37、及び対物レンズ38、高低回動ミラー39が設けられている。
該対物レンズ38、前記光束径可変手段37等は前記射出光学系7を構成し、前記対物レンズ38、前記孔明きミラー31、前記反射ミラー33、前記集光レンズ34等は前記受光光学系8を構成する。
前記発光素子36からはパルスビームが発せられる。該発光素子36は、例えば半導体レーザ等であり、測距光40としての近赤外光のパルスレーザ光線を発し、前記制御部9によって所要の光強度、所要のパルス間隔等、所要の状態でパルスレーザ光線が発光される様に制御される。該パルスレーザ光線は前記孔明きミラー31を通過し前記高低回動ミラー39によって反射され、測定対象物に照射される様になっている。
前記高低回動ミラー39は偏向光学部材であり、該高低回動ミラー39は鉛直方向の前記光軸30を水平方向の投光光軸41に偏向する。
前記受光素子35には測定対象物からの反射測距光が前記高低回動ミラー39、前記受光光学系8を経て入射され、反射光は前記受光素子35によって検出される。該受光素子35には、前記測距光40から分割された一部の光束が内部参照光(図示せず)として入射する様になっており、反射測距光と内部参照光とに基づき測定対象物迄の距離を測定する様になっている。
前記反射光軸32、前記反射ミラー33、前記集光レンズ34、前記受光素子35等は前記測距部6を構成する。
尚、前記反射ミラー33を可視光を透過、赤外光を反射のダイクロイックミラーとし、透過した可視光を画像受光部(図示せず)で受光し、画像を取得する様にしてもよい。画像受光部は、多数の画素(ピクセル)の集合体であり、例えばCCDとし、前記画像受光部に入射する光線の角度は前記画像受光部中の画素の位置によって特定され、画素の位置は画角として表される。
前記高低回動ミラー39、前記集光レンズ34、前記画像受光部等は、撮像部10を構成する。測定対象物からの撮像光は、前記投光光軸41と一致する撮像光軸42に沿って前記高低回動ミラー39に入射され、前記高低回動ミラー39により反射された後、前記対物レンズ38、前記孔明きミラー31を透過し前記画像受光部(図示せず)に受光され、画像が取得される。従って、距離測定を行う為の、測距光軸と測定対象物方向の画像を取得する撮像光軸が同軸となっている。
前記走査部5について説明する。
前記本体部ケーシング27の上側に上部ケーシング43が設けられ、該上部ケーシング43の側壁、好ましくは側壁の全周及び天井は、投光窓44となっている。前記走査部5は前記上部ケーシング43の内部に収納される。以下、前記走査部5について説明する。
前記フランジ29の上端にミラーホルダ45が設けられ、該ミラーホルダ45に回動軸46を介して前記高低回動ミラー39が回転自在に設けられ、該高低回動ミラー39の一方の軸端に高低回動ギア51が嵌着され、前記高低回動ミラー39の他方の軸端には高低角検出器52が設けられている。該高低角検出器52は前記高低回動ミラー39の回動角(回動位置)を検出し、前記制御部9に検出結果を送出する様になっている。
前記ミラーホルダ45には高低回動モータ53が取付けられ、該高低回動モータ53の出力軸に高低回動駆動ギア54が嵌着され、該高低回動駆動ギア54は前記高低回動ギア51に噛合している。前記高低回動モータ53は、前記高低角検出器52の検出結果に基づき前記制御部9により駆動が制御される様になっている。又、該制御部9は、前記水平回動モータ20及び前記高低回動モータ53を独立して駆動、或は同期して駆動制御可能となっている。
尚、前記上部ケーシング43の上面には照星照門47が設けられ、該照星照門47の視準方向は前記光軸30と直交すると共に前記回動軸46に対しても直交している。
前記射出光学系7は、前記発光素子36から発せられた測距光40を所要のビーム径にして射出するものであり、前記光束径可変手段37を具備している。
図4は、前記光束径可変手段37を具備した前記射出光学系7を示している。
該光束径可変手段37は、例えば前記射出光学系7の焦点距離を変更するズーム機能を有する。前記光軸30上を移動可能なレンズ48,49を具備し、該レンズ48,49はズーム機構50によって近接離反され、前記レンズ48,49の近接離反によって前記射出光学系7の焦点距離が変更される様になっている。
前記走査部5から照射された測距光40は、ビーム径が最小となる部分(ビームウェスト)を有しており、該ビームウェストは前記射出光学系7の焦点距離によって位置が変動する。
図6は、前記射出光学系7の焦点距離とビームウェストが形成される位置(ビーム径が極小となる位置)との関係を示すものであり、焦点距離f=200mm、f=150mm、f=110mmの場合を示しており、又この時の射出ビーム径φは、焦点距離f=200mmでφ=3.0mm、f=150mmでφ=2.5mm、f=110mmでφ=2.0mmであった。
焦点距離を大きくすると、ビームウェストの位置と前記レーザスキャナ1との間の距離は大きくなり、又、焦点距離を小さくすると、ビームウェストの位置と前記レーザスキャナ1との間の距離は小さくなる。又、ビーム径はビームウェストの位置から離れるに従って大きくなり、その変化の様子は、略放物線に近似され、変化率は焦点距離が大きい程小さく、又焦点距離が小さい程変化率は大きくなる。
前記光束径可変手段37は、前記走査部5から照射された測距光40のビームウェストの位置が、測定対象物と合致、或は略合致するか、或は測定対象物の近傍の距離となる様に前記射出光学系7の焦点距離を調整するものである。
尚、前記射出光学系7の複数の代表的な焦点距離と、ビームウェストの位置、前記代表的な焦点距離でのビーム径の変化曲線を予め取得し、後述する外部記憶装置59或は記憶部62に格納しておく。
図3に於いて、前記レーザスキャナ1の制御系の構成について説明する。
前記制御部9には前記水平角検出器26、前記高低角検出器52、前記傾斜センサ56からの検出信号が入力されると共に操作部57から作業者が前記レーザスキャナ1の測定を開始するのに必要な条件、測定開始の指令等を入力できる様になっている。尚、前記操作部57は前記本体部ケーシング27等の筐体に設けられてもよく、或は別途独立して設けられ、無線、赤外線等の信号伝達媒体により遠隔操作可能としてもよい。
前記制御部9は前記水平回動モータ20、前記高低回動モータ53、前記整準モータ17、及び前記ズーム機構50を駆動すると共に作業状況、測定結果等を表示する表示部58を駆動する。又、前記制御部9には、メモリカード、HDD等の前記外部記憶装置59が設けられ、或は着脱可能に設けられている。
前記制御部9の概略を説明する。
該制御部9は、CPUで代表される演算部61と、測距、高低角の検出、水平角の検出をする為に必要な、シーケンスプログラム、演算プログラム、測定データの処理を実行する測定データ処理プログラム、画像処理をする画像処理プログラム、データを前記表示部58に表示させる為の画像表示プログラム等のプログラム、或はこれらプログラムを統合管理するプログラム等を格納し、測定データ、画像データ等のデータを格納する前記記憶部62と、前記ズーム機構50を駆動制御する為のズーム駆動部60と、前記水平回動モータ20を駆動制御する為の水平駆動部63と、前記高低回動モータ53を駆動制御する為の高低駆動部64と、前記整準モータ17を駆動制御する為の整準駆動部65、及び前記測距部6により得られた距離データを処理する為の距離データ処理部66と、前記撮像部10により得られた画像データを処理する画像データ処理部67等を具備している。
尚、前記距離データ処理部66、前記画像データ処理部67の機能を前記演算部61に実行させてもよく、この場合前記距離データ処理部66と前記画像データ処理部67は省略できる。又、前記距離データ処理部66、前記画像データ処理部67を個別に具備することで、距離データ処理と、画像データ処理とを並行して実行でき、高速処理が可能となる。
又、前記距離データ処理部66と前記画像データ処理部67とを別途設けてもよい。例えば、別途PCを装備し、該PCに前記距離データ処理部66と前記画像データ処理部67の機能を実行させる様にしてもよい。この場合、距離データ、画像データを前記外部記憶装置59に格納し、格納後、該外部記憶装置59を前記制御部9から取外してPCに接続し、PCで距離データ処理、画像データ処理を実行する様にしてもよい。尚、無線LAN等所要の通信手段で、前記レーザスキャナ1で取得したデータをPCに送信することもできる。この場合、前記外部記憶装置59を着脱可能とする必要はなくなり、或は省略することもできる。
次に、前記レーザスキャナ1による測定作動、測距データの取得について説明する。
前記レーザスキャナ1を既知点に設置し、前記操作部57より整準を指定し、整準を実行させる。
前記整準駆動部65を介して前記整準モータ17が駆動され、前記レーザスキャナ1の傾斜は前記傾斜センサ56によって検出され、該傾斜センサ56の検出結果が前記制御部9にフィードバックされる。前記傾斜センサ56が水平を検出する様に、前記整準モータ17により前記調整螺子14が回転される。
整準が完了すると、前記表示部58に整準完了の表示がなされ、或は警告音等によって整準完了が告知される。
整準が終了すると、前記レーザスキャナ1を測定方向に向け、前記照星照門47により測定方向を視準し、更に測定エリアの設定を行う。
測定エリアの設定が完了すると、該測定エリア内について、先ず、予備測定が行われる。
前記光束径可変手段37が駆動され、前記射出光学系7の焦点距離が初期値、例えば焦点距離f=200mmとなる様に設定される。更に、前記高低回動ミラー39の反射面が前記発光素子36に対峙する様に前記高低回動ミラー39の姿勢が設定される。
前記発光素子36から測距光がパルス発光され、前記光束径可変手段37、前記孔明きミラー31の孔を通過し、前記対物レンズ38で平行光束とされ、更に前記高低回動ミラー39で偏向され、前記投光光軸41上に投射される。測距光がパルス発光された状態で、前記水平回動モータ20と前記高低回動モータ53が同期駆動され、前記測定装置本体部4が水平方向に回転され、前記高低回動ミラー39が高低方向に回転される。例えば、前記測距光40が水平方向に1走査する度に、前記高低回動ミラー39が所要角度ピッチで回転され、前記測距光40の高低方向に送りが掛けられることで、前記パルス発光された測距光40(以下パルス測距光40)により前記測定エリアの全域が走査(レーザスキャン)される。又、各パルス毎に測距された距離データが取得され、予備測定データは前記外部記憶装置59又は前記記憶部62に記憶される。
尚、予備測定を実施する場合は、パルス測距光40の発光間隔を長く、又高低方向の送り量を大きくしてもよい。
又、測定対象物で反射された反射測距光は前記高低回動ミラー39に入射し、該高低回動ミラー39により前記光軸30上に偏向され、前記孔明きミラー31、前記反射ミラー33により反射され、前記集光レンズ34によって集光され、前記受光素子35に受光される。前記測距部6に於いて反射測距光に基づき各パルス毎に距離測定がなされる。
予備測定により、前記測定エリア内の測定対象物迄の距離が測定される。予備測定に於ける焦点距離は、初期設定の値、f=200mmであり、この時射出されるパルス測距光40のビーム径は3.0mmであり、ビームウェストのビーム径は10mmである。ところが、測定対象物迄の距離が例えば20mであった場合は、照射点でのビーム径は18mmと拡大してしまう。
次に、予備測定の結果を基に測定精度を向上させる為に、本測定を実施する。
本測定の準備として、前記予備測定の測距結果を基にビーム径の変更、即ち前記光束径可変手段37によって前記射出光学系7の焦点距離を変更する。
前記演算部61は、予備測定の測距結果に基づき、前記外部記憶装置59、或は前記記憶部62に記憶された、焦点距離とビームウェストの関係から、測距結果に最も近いビームウェストを有する焦点距離を選択する。例えば、図6より焦点距離f=110mmが選択され、焦点距離が110mmとなる様に前記光束径可変手段37が駆動される。
焦点距離が110mmに変更されると、測定対象物迄の距離が20mでのビーム径は、3mm程度となり、大幅に小さくなる。従って、測定対象物の被照射面の状態に影響されることが少なくなり、測定精度、信頼性が向上する。
焦点距離の変更、即ちパルス測距光40の射出ビーム径の変更が完了すると、予備測定と同様にして本測定が実施される。但し、本測定の場合は、パルス測距光40の発光間隔を短く、又高低方向の送り量を小さくし、多点で測定を行う。多点で測定することで、測定の信頼性、精度も向上する。
各パルス毎に測距された距離データが取得される。又、パルス発光された時の前記水平角検出器26の検出水平角、前記高低角検出器52の検出高低角も同時に取得され、各距離データは高低角データ、水平角データと対応付けられて前記記憶部62に格納される。
ここで、前記測定エリアの広さにもよるが、取得する距離データの数は、数百万〜数千万に及ぶ。取得された距離データと高低角データ、水平角データとを対応付けることで、各測定点についての3次元点データが得られ、前記測定エリア全域の3次元点群データが得られる。
尚、前記画像受光部(図示せず)により、測定エリアの画像を取得し、画像データと点群データとがマッチングされることで、3次元データ付きの画像データとすることもできる。
尚、上記実施の形態では、予備測定の測距結果を基に自動的に、焦点距離の選択を行ったが、作業者が手動で、或は操作部57の操作で前記焦点距離の調整を行ってもよい。又、事前に測定対象物迄の距離が概略分っていれば、予備測定を省略し、焦点距離の設定を行い直ちに本測定を実施してもよい。
更に、レーザ測量装置が、視準の為の望遠鏡等を有し、視準時に望遠鏡により合焦を行う場合は、望遠鏡の合焦時の合焦位置から測定対象物迄の距離を求めることができ、この距離を基に焦点距離の設定を行ってもよい。
図5は前記光束径可変手段37の他の例を示しており、該光束径可変手段37として開口径を変更する可変絞り機構71を設けたものである。該可変絞り機構71で、射出ビーム径を変更して、距離に応じたビーム径を選択することができる。更に、前記光束径可変手段37として、厚みの異なる透明ガラス72を前記光軸30に出入れすることで、光学的な光路長を変更する事ができ、実質的に焦点距離の変更を行うことができる。尚、光束径可変手段37としては、前記ズーム機構50、前記可変絞り機構71、出入れ可能な前記透明ガラス72の少なくとも1つを設ければよい。尚、図中73はリレーレンズを示す。
本発明の実施の形態に係るレーザ測量装置の断面図である。 該レーザ測量装置の一部を回転した断面図である。 該レーザ測量装置の構成を示すブロック図である。 本発明に於ける光束径可変手段の一例を示す概略図である。 本発明に於ける光束径可変手段の他の例を示す概略図である。 焦点距離、ビーム径とビームウェストとの関係を示す線図である。
符号の説明
1 レーザスキャナ
2 整準部
3 回転機構部
4 測定装置本体部
5 走査部
6 測距部
7 射出光学系
8 受光光学系
9 制御部
26 水平角検出器
30 光軸
35 受光素子
36 発光素子
37 光束径可変手段
40 測距光
41 投光光軸
50 ズーム機構
52 高低角検出器
60 ズーム駆動部
62 記憶部
71 可変絞り機構

Claims (6)

  1. レーザ光線を射出する光源と、光束径可変手段を有し前記光源からのレーザ光線を平行光束とすると共にレーザ光線の光束径を変更可能とする射出光学系と、射出されるレーザ光線の光束を走査させる走査部と、走査方向を検出する走査方向検出部と、照射したレーザ光線の測定対象物からの反射光を受光する受光光学系と、該受光光学系を介して受光した反射光を光電変換する受光素子と、該受光素子からの信号に基づき距離を測定する距離測定部と、制御部とを具備し、該制御部は任意の光束径で測定対象物迄の予備測距を行って得られた概略距離に応じて前記光束径可変手段を駆動制御することを特徴とするレーザ測量装置。
  2. 前記光束径可変手段は、前記射出光学系の開口径を変更する請求項1のレーザ測量装置。
  3. 前記光束径可変手段は、前記射出光学系の焦点距離を変更する請求項1のレーザ測量装置。
  4. 記制御部は測定対象物迄の距離に適する光束径となる様に前記光束径可変手段を制御する請求項1のレーザ測量装置。
  5. レーザ光線を走査して測定対象物迄の概略距離を予備測定するステップと、得られた測定対象物迄の概略距離に合せて射出するレーザ光線のビーム径を設定するステップと、レーザ光線を測定対物に向け射出するステップと、照射したレーザ光線の測定対象物からの反射光を受光するステップと、受光した反射光に基づき測定対象物迄の距離を測定するステップとを有することを特徴とする距離測定方法。
  6. 測定対象物を視準して合焦機構により合焦するステップと、合焦機構の合焦位置に基づき測定対象物迄の概略距離を予備測定するステップとを有し、得られた測定対象物迄の概略距離に合せて射出するレーザ光線のビーム径を設定するステップと、レーザ光線を測定対物に向け射出するステップと、照射したレーザ光線の測定対象物からの反射光を受光するステップと、受光した反射光に基づき測定対象物迄の距離を測定するステップとを有することを特徴とする距離測定方法。
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