JP5468100B2 - スタイラス - Google Patents
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Description
測定対象物1の表面に接触して三次元計測する硬質接触部2を先端に備えたスタイラスであって、
ダイヤモンド粒子の多数を不規則方位に向けて結合して生成されたダイヤモンド単相からなるダイヤモンド多結晶体を尖頭状先端に固定し、該ダイヤモンド多結晶体の先端部を所定の曲率半径に沿うように研磨、研削加工して形成され、多数のダイヤモンド粒子の不規則な結晶面を複合して尖塔状先端にダイヤモンド単相により形成される曲率面により測定対象物の表面粗さや輪郭形状の測定を可能とするスタイラスを提供することにより上述した目的を達成するものである。
なお、本発明によれば、
測定対象物1の表面に接触して三次元計測する硬質接触部2を先端に備えたスタイラスであって、
ダイヤモンド粒子の多数を不規則方位に向けて結合して生成されたダイヤモンド多結晶体を尖頭状先端に固定し、該ダイヤモンド多結晶体の先端部を所定の曲率半径に沿うように研磨、研削加工して形成されるスタイラスを提供することも可能である。
2 硬質接触部
3 ダイヤモンド粒子
Claims (3)
- 測定対象物の表面に接触して三次元計測する硬質接触部を先端に備えたスタイラスであって、
ダイヤモンド粒子の多数を不規則方位に向けて結合して生成されたダイヤモンド単相からなるダイヤモンド多結晶体を尖頭状先端に固定し、該ダイヤモンド多結晶体の先端部を所定の曲率半径に沿うように研磨、研削加工して形成され、多数のダイヤモンド粒子の不規則な結晶面を複合して尖塔状先端にダイヤモンド単相により形成される曲率面により測定対象物の表面粗さや輪郭形状の測定を可能とするスタイラス。 - 前記ダイヤモンド多結晶体は、グラファイトを出発物質とした超高圧高温下の直接変換焼結により生成される請求項1記載のスタイラス。
- 前記ダイヤモンド多結晶体は、平均粒径が10nmオーダーのダイヤモンド粒子で構成される請求項1または2記載のスタイラス。
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