JP5463315B2 - Electrode sheet, electrode sheet manufacturing method, and touch panel - Google Patents

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Description

本発明は、支持体上に所望の導線パターンで構成される複数の電極とこれら複数の電極のそれぞれに導通される複数の配線とを備える電極シート、この電極シートの製造方法、及び電極シートを備えるタッチパネルに関する。   The present invention relates to an electrode sheet comprising a plurality of electrodes configured with a desired conductor pattern on a support and a plurality of wirings connected to each of the plurality of electrodes, a method for producing the electrode sheet, and an electrode sheet. It is related with the touch panel provided.

近年、タッチパネル(タッチスクリーン)の分野ではマルチタッチ及び大画面化に対する要望が高まっている。マルチタッチに関しては、X方向に配列された複数の電極と、Y方向に配列された複数の電極とを有する投影型静電容量方式において実現しており、マルチタッチ可能な投影型静電容量方式のタッチパネルがPDAや携帯電話等に広く使用されるようになってきている。
ここで、パネルの大画面化に際しては、消費電力や応答速度の見地から電極の低抵抗化が必須であり、この低抵抗化のための技術として、電極を網目状の導線パターンで形成する方法が、例えば特許文献1及び2に記載されている。これらの文献に記載されている導線パターンの形成方法は、導電性インクを用いた印刷方式あるいは、ITOや金属薄膜のフォトリソグラフィーによる細線化であるが、前者の印刷方式では、安定した線幅での細線化が困難であるとういう問題を抱えており、後者ではフォトリソグラフィーが高価な大型装置を必要とし複数の工程からなるためのコスト高という問題を抱えている。
一方、低抵抗の導線パターンをハロゲン化銀写真感光材料の現像で得られる銀像から形成する方法が電磁波シールド膜やプリント配線の分野で検討されている(特許文献3)。この方式は種々のパターンをマスクを介した露光とその後の現像処理とによって形成することができるので、印刷方式やフォトリソグラフィーにおける上述した問題を解決しうる。
In recent years, in the field of touch panels (touch screens), there has been a growing demand for multi-touch and large screens. As for multi-touch, it is realized in a projection capacitive system having a plurality of electrodes arranged in the X direction and a plurality of electrodes arranged in the Y direction, and is capable of multi-touch. The touch panel has been widely used for PDAs, mobile phones and the like.
Here, when the panel has a large screen, it is essential to reduce the resistance of the electrode from the viewpoint of power consumption and response speed, and as a technique for reducing the resistance, a method of forming the electrode with a mesh-like conductor pattern Are described in Patent Documents 1 and 2, for example. The method for forming a conductive wire pattern described in these documents is a printing method using conductive ink or thinning of ITO or metal thin film by photolithography, but the former printing method has a stable line width. However, the latter has a problem of high cost because photolithography requires an expensive large-scale apparatus and is composed of a plurality of processes.
On the other hand, a method of forming a low-resistance lead pattern from a silver image obtained by developing a silver halide photographic light-sensitive material has been studied in the field of electromagnetic shielding films and printed wiring (Patent Document 3). In this method, various patterns can be formed by exposure through a mask and subsequent development processing, so that the above-described problems in the printing method and photolithography can be solved.

特開2010−039537号公報JP 2010-039537 A 国際公開第2010/014683号International Publication No. 2010/014683 特開2007−129205号公報JP 2007-129205 A

上記の現像銀方式を利用してタッチパネルを製造するには、まず電極の導線パターンを形成することによって電極シートを大量生産し、タッチパネルの機種に応じて電極に、該電極を外部機器などと結ぶための配線を設けている。しかしながら、製造された電極表面は、電極シート製造時の巻き取り、保存、巻き出しなどの際に、擦り傷が付きやすく、導線パターンが剥離したり、短絡したりする不具合が生じやすい。すなわち耐久性に難がある。そこで、シートとシートとの間に挟み用のシートを入れたり、ハロゲン化銀感光材の乳剤層の上に保護膜を設けることなどが考えられるが、挟み用シートを使用する場合にはコスト高となり、保護膜を設ける場合には、保護膜が絶縁性であるが故に、電極と配線との導通不良を招くおそれがある。また、保護層を形成する材料(樹脂)と配線を形成する材料(金属/樹脂)とは、材料の自身の親和性が十分でなかったり、熱/湿度に対する膨張係数が異なることなどにより、湿熱耐久試験後に配線が剥がれ易くなるという問題もある。   In order to manufacture a touch panel using the developed silver system, first, an electrode sheet is mass-produced by forming a conductive wire pattern, and the electrode is connected to an electrode according to the type of the touch panel, and the electrode is connected to an external device or the like. Wiring is provided. However, the manufactured electrode surface is likely to be scratched during winding, storage, unwinding, etc. at the time of manufacturing the electrode sheet, and the conductor pattern is liable to be peeled off or short-circuited. That is, the durability is difficult. Therefore, it is conceivable to insert a sandwich sheet between the sheets, or to provide a protective film on the emulsion layer of the silver halide photosensitive material. However, when using the sandwich sheet, the cost is high. Thus, when the protective film is provided, since the protective film is insulative, there is a possibility of causing a conduction failure between the electrode and the wiring. In addition, the material for forming the protective layer (resin) and the material for forming the wiring (metal / resin) are not compatible with the material itself or have different expansion coefficients for heat / humidity. There is also a problem that the wiring easily peels off after the durability test.

本発明の目的は、導通不良や擦傷等に起因して歩留まりの低下がなく、湿熱耐久性に優れ、電極及び配線のトータルの低抵抗化を図ることができる電極シート、電極シートの製造方法、及び電極シートを備えるタッチパネルを提供することにある。   An object of the present invention is an electrode sheet that does not cause a decrease in yield due to poor conduction or scratches, is excellent in wet heat durability, and can reduce the total resistance of electrodes and wiring, a method for manufacturing the electrode sheet, And it is providing a touch panel provided with an electrode sheet.

本発明者は、鋭意研究により、絶縁性の保護膜は使用しつつも、電極と配線との導通性を得る技術を見出した。より具体的には、電極シート製造時などにおける耐擦傷性を確保できるとともに、導通に不具合を生じることなく、電極と配線とのトータルの低抵抗化を図ることができる保護層の厚み、及び電極と配線の厚みの比を見出した。
すなわち、本発明者は、下記手段により前記課題を解決できることを見出した。
The present inventor has found out a technique for obtaining electrical continuity between the electrode and the wiring while using an insulating protective film through intensive research. More specifically, the thickness of the protective layer that can ensure scratch resistance at the time of manufacturing an electrode sheet and the like, and can reduce the total resistance between the electrode and the wiring without causing a failure in conduction, and the electrode And the ratio of wiring thickness.
That is, the present inventor has found that the above problem can be solved by the following means.

〔1〕
支持体の少なくとも一方の面上に、電極と、該電極を覆う保護層と、該電極と導通する配線とを有する電極シートであって、
前記電極は、現像銀を含む導電性細線から構成され、
前記配線は、導電性インク又は導電性ペーストで形成されたものであり、
前記保護層の厚みは0.3μm以下であり、かつ、
前記電極と前記配線の厚みの比(配線の厚み)/(電極の厚み)が3以上である、電極シート。
〔2〕
前記現像銀を含む導電性細線が、ハロゲン化銀乳剤層を有する感光材料に対して露光及び現像することにより得られたものである、上記〔1〕に記載の電極シート。
〔3〕
前記保護層の厚みが0.05μm以上、0.3μm以下である、上記〔1〕又は〔2〕に記載の電極シート。
〔4〕
前記保護層中にコロイダルシリカ、シリカマット、シリコーンオイル、パラフィン系オイル、(メタ)アクリル系粒子のうち少なくとも1種を含有する、上記〔1〕〜〔3〕のいずれか一項に記載の電極シート。
〔5〕
前記保護層中にコロイダルシリカを含有する、上記〔1〕〜〔4〕のいずれか一項に記載の電極シート。
〔6〕
前記配線が、前記電極の少なくとも一部を覆うように設けられ、前記配線が前記電極を覆う面積が、1×10−8以上である、上記〔1〕〜〔5〕のいずれか一項に記載の電極シート。
〔7〕
前記導電性細線の線幅が20μm以下である、上記〔1〕〜〔6〕のいずれか一項に記載の電極シート。
〔8〕
前記電極の厚みが、0.4μm以上、1.5μm以下である、上記〔1〕〜〔7〕のいずれか一項に記載の電極シート。
〔9〕
前記保護層の引っかき強度が9g以上である、上記〔1〕〜〔8〕のいずれか一項に記載の電極シート。
〔10〕
前記導電性インク又は前記導電性ペーストが銀粒子又は銀フィラーを含有する、上記〔1〕〜〔9〕のいずれか一項に記載の電極シート。
〔11〕
前記電極及び前記配線が前記支持体の両面にそれぞれ形成された、上記〔1〕〜〔10〕のいずれか一項に記載の電極シート。
〔12〕
前記支持体には、支持体の一方の面に設けられた前記配線の電位を支持体の他方の面に取り出すスルーホールが導電性インク又は導電性ペーストにより形成された、上記〔1〕〜〔11〕のいずれか一項に記載の電極シート。
〔13〕
支持体の少なくとも一方の面上に、現像銀を含む導電性細線からなるパターンで構成された電極と、該電極を覆う厚み0.3μm以下の保護層と、該電極と導通する配線とを有し、前記電極と前記配線の厚みの比(配線の厚み)/(電極の厚み)が3以上である電極シートの製造方法であって、
支持体上にハロゲン化銀乳剤層と保護層とをこの順で有する感光材料に対して露光及び現像することにより、現像銀を含む導電性細線からなる電極を形成する電極形成工程と、
前記導電性細線からなるパターンで構成された電極に導通される配線を、導電性インク又は導電性ペーストを用いて形成する配線形成工程と、を有する電極シートの製造方法。
〔14〕
上記〔1〕〜〔12〕のいずれか一項に記載の電極シート、又は上記〔13〕に記載の製造方法により製造された電極シートを備えたタッチパネル。
[1]
An electrode sheet having an electrode, a protective layer covering the electrode, and a wiring electrically connected to the electrode on at least one surface of the support,
The electrode is composed of a conductive thin wire containing developed silver,
The wiring is formed of conductive ink or conductive paste,
The protective layer has a thickness of 0.3 μm or less, and
An electrode sheet having a ratio of the thickness of the electrode to the wiring (thickness of the wiring) / (thickness of the electrode) of 3 or more.
[2]
The electrode sheet according to [1] above, wherein the conductive thin wire containing the developed silver is obtained by exposing and developing a photosensitive material having a silver halide emulsion layer.
[3]
The electrode sheet according to [1] or [2], wherein the protective layer has a thickness of 0.05 μm or more and 0.3 μm or less.
[4]
The electrode according to any one of [1] to [3], wherein the protective layer contains at least one of colloidal silica, silica mat, silicone oil, paraffinic oil, and (meth) acrylic particles. Sheet.
[5]
The electrode sheet according to any one of [1] to [4] above, wherein the protective layer contains colloidal silica.
[6]
Any one of the above [1] to [5], wherein the wiring is provided so as to cover at least a part of the electrode, and an area where the wiring covers the electrode is 1 × 10 −8 m 2 or more. The electrode sheet according to item.
[7]
The electrode sheet according to any one of [1] to [6], wherein a line width of the conductive thin wire is 20 μm or less.
[8]
The electrode sheet according to any one of [1] to [7], wherein the thickness of the electrode is 0.4 μm or more and 1.5 μm or less.
[9]
The electrode sheet according to any one of [1] to [8] above, wherein the protective layer has a scratch strength of 9 g or more.
[10]
The electrode sheet according to any one of [1] to [9], wherein the conductive ink or the conductive paste contains silver particles or a silver filler.
[11]
The electrode sheet according to any one of [1] to [10], wherein the electrode and the wiring are respectively formed on both surfaces of the support.
[12]
[1] to [1] to [1] to [1], wherein the support is formed with a conductive ink or conductive paste through holes for taking out the potential of the wiring provided on one surface of the support to the other surface of the support. The electrode sheet according to any one of 11].
[13]
On at least one surface of the support, there is an electrode composed of a pattern made of a conductive thin wire containing developed silver, a protective layer having a thickness of 0.3 μm or less covering the electrode, and a wiring electrically connected to the electrode. And the ratio of the thickness of the electrode and the wiring (thickness of wiring) / (thickness of electrode) is 3 or more,
An electrode forming step of forming an electrode composed of a conductive fine wire containing developed silver by exposing and developing a photosensitive material having a silver halide emulsion layer and a protective layer in this order on a support;
A method of manufacturing an electrode sheet, comprising: a wiring forming step of forming a wiring that is conducted to an electrode configured by a pattern made of the conductive thin wire using a conductive ink or a conductive paste.
[14]
The touch panel provided with the electrode sheet as described in any one of said [1]-[12], or the electrode sheet manufactured by the manufacturing method as described in said [13].

本発明によれば、耐擦傷性を確保できるとともに、導通に不具合を生じることなく、湿熱耐久性に優れ、電極と配線とのトータルの低抵抗化を図ることが可能な電極シートを提供することができる。また、該電極シートにより低抵抗化が図られることで、大画面のタッチパネルを提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide an electrode sheet that can ensure scratch resistance, is excellent in wet heat durability without causing trouble in conduction, and can reduce the total resistance between the electrode and the wiring. Can do. In addition, since the resistance is reduced by the electrode sheet, a large-screen touch panel can be provided.

本発明のタッチパネルを模式的に示す側断面図である。It is a sectional side view which shows the touch panel of this invention typically. 本発明の他のタッチパネルを模式的に示す側断面図である。It is side sectional drawing which shows the other touch panel of this invention typically. 本発明の他のタッチパネルを模式的に示す側断面図である。It is side sectional drawing which shows the other touch panel of this invention typically. 本発明の他のタッチパネルを模式的に示す側断面図である。It is side sectional drawing which shows the other touch panel of this invention typically. 電極シートのX電極が形成された面を示す平面図である。It is a top view which shows the surface in which the X electrode of the electrode sheet was formed. センサ部の拡大図である。It is an enlarged view of a sensor part. 電極シートのY電極が形成された面を示す平面図である。It is a top view which shows the surface in which the Y electrode of the electrode sheet was formed. センサ部の拡大図である。It is an enlarged view of a sensor part. 導電性細線及び配線の接続部を示す平面図及び側断面図である。It is the top view and side sectional view which show the connection part of a conductive fine wire and wiring. 電極シートの製造に用いる感光材を示す側断面図である。It is a sectional side view which shows the photosensitive material used for manufacture of an electrode sheet. 電極シートの製造工程を示す図である。It is a figure which shows the manufacturing process of an electrode sheet. 電極シートの露光工程を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the exposure process of an electrode sheet. 電極シートのX電極が形成された面を示す平面図である。It is a top view which shows the surface in which the X electrode of the electrode sheet was formed.

以下、本発明の実施形態を説明するための投影型静電容量方式タッチパネルの構成及び製造方法の一例を図1〜図12を参照して説明する。
なお、既に述べた構成と同様の構成については、同一符号を付して説明を省略または簡略化する。また、本明細書において「〜」は、その前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む意味として使用される。
Hereinafter, an example of the configuration and manufacturing method of a projected capacitive touch panel for explaining an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
In addition, about the structure similar to the structure already described, the same code | symbol is attached | subjected and description is abbreviate | omitted or simplified. Moreover, in this specification, "to" is used as the meaning including the numerical value described before and behind as a lower limit and an upper limit.

〔全体構成〕
図1〜図4はそれぞれ、本発明の投影型静電容量方式タッチパネルの一例の断面図を模式的に示す。
図1のタッチパネル1は、ユーザによってタッチされるタッチ面11Aを構成する上側透明カバー部材11と、上側透明カバー部材11の視認方向裏側に配置されて指等の接触をセンシングする電極シート20と、電極シート20の上側カバー部材11側とは反対側に配置される下側透明カバー部材12とを備えている。電極シート20と上側透明カバー部材11との間には樹脂等で形成された誘電体層13が設けられ、電極シート20と下側透明カバー部材12との間にも誘電体層13が設けられている。
電極シート20は、支持体10と該支持体上に形成された電極30と該電極を覆う保護層を含んでなる。電極は導電性細線からなるパターンにより構成されていることが好ましい。なお、本明細書では、電極と電極を覆う保護層とをあわせて、「導線パターン」と呼ぶ。
〔overall structure〕
1 to 4 schematically show sectional views of examples of the projected capacitive touch panel of the present invention.
The touch panel 1 of FIG. 1 includes an upper transparent cover member 11 that constitutes a touch surface 11A that is touched by a user, an electrode sheet 20 that is disposed on the back side in the visual recognition direction of the upper transparent cover member 11, and senses contact with a finger, The lower transparent cover member 12 arrange | positioned on the opposite side to the upper cover member 11 side of the electrode sheet 20 is provided. A dielectric layer 13 made of resin or the like is provided between the electrode sheet 20 and the upper transparent cover member 11, and a dielectric layer 13 is also provided between the electrode sheet 20 and the lower transparent cover member 12. ing.
The electrode sheet 20 includes a support 10, an electrode 30 formed on the support, and a protective layer that covers the electrode. The electrode is preferably constituted by a pattern made of conductive thin wires. In this specification, the electrode and the protective layer covering the electrode are collectively referred to as a “conductor pattern”.

電極シート20の支持体10の表裏両面のそれぞれには、導線パターンで形成された電極及び配線が形成されている。すなわち、支持体10の表面には、導線パターン70で形成されたX電極30及び配線40が形成され、支持体10の裏面には、導線パターン70で形成されたY電極35及び配線45が形成されている。支持体10の表面に設けられた配線40は、支持体10に設けられたスルーホール48を介して支持体10の裏面側に引き出されている。スルーホール48は、支持体10に形成された孔に充填された導電性インクによって形成されている。本発明の電極シートは各種用途の観点から電極及び配線を複数備えていることが好ましい。配線は電極を外部機器などと接続するために用いられる。   Electrodes and wirings formed in a conductive wire pattern are formed on both the front and back surfaces of the support 10 of the electrode sheet 20. That is, the X electrode 30 and the wiring 40 formed with the conductive pattern 70 are formed on the surface of the support 10, and the Y electrode 35 and the wiring 45 formed with the conductive pattern 70 are formed on the back of the support 10. Has been. The wiring 40 provided on the surface of the support 10 is drawn out to the back side of the support 10 through a through hole 48 provided in the support 10. The through hole 48 is formed by conductive ink filled in a hole formed in the support 10. The electrode sheet of the present invention preferably includes a plurality of electrodes and wirings from the viewpoint of various uses. The wiring is used to connect the electrode to an external device.

図2のタッチパネル2は、タッチ面11Aを構成する透明カバー部材11と、2つの電極シート20,25とを備えている。X電極30及び配線40が形成された上側電極シート20と、Y電極35及び配線45が形成された下側電極シート25とは、それぞれの電極が形成された面を上面に向けた状態で重ねられている。   The touch panel 2 of FIG. 2 includes a transparent cover member 11 that constitutes the touch surface 11 </ b> A and two electrode sheets 20 and 25. The upper electrode sheet 20 on which the X electrode 30 and the wiring 40 are formed and the lower electrode sheet 25 on which the Y electrode 35 and the wiring 45 are formed are overlapped with the surfaces on which the respective electrodes are formed facing the upper surface. It has been.

図3のタッチパネル3は、図2の場合とは上下反対向きに配置された2つの電極シート20,25と、電極シート25のY電極35が形成された面を覆う透明カバー部材12とを備えている。タッチ面11Aは、上側電極シート20によって構成されている。
図4のタッチパネル4は、タッチ面11Aを構成する上側電極シート20と、下側電極シート25とがそれぞれの電極が形成された面を内側にした状態で重ねられている。
なお、タッチパネル1〜4は図示しないディスプレイに一体に形成されていてもよい。また、図1〜図4には図示していないが、タッチパネル1〜4のディスプレイとの対向面に、ディスプレイからの電磁波を遮蔽するシールド層が設けられていてもよい。
The touch panel 3 in FIG. 3 includes two electrode sheets 20 and 25 disposed in the opposite direction to the case in FIG. 2 and a transparent cover member 12 that covers the surface of the electrode sheet 25 on which the Y electrode 35 is formed. ing. The touch surface 11 </ b> A is configured by the upper electrode sheet 20.
In the touch panel 4 of FIG. 4, the upper electrode sheet 20 and the lower electrode sheet 25 that constitute the touch surface 11 </ b> A are overlaid with the surfaces on which the respective electrodes are formed facing inside.
Note that the touch panels 1 to 4 may be formed integrally with a display (not shown). Although not shown in FIGS. 1 to 4, a shield layer that shields electromagnetic waves from the display may be provided on the surface of the touch panel 1 to 4 facing the display.

上記のタッチパネル1〜4に関し、透明カバー部材11,12、支持体10、及びシールド層には、絶縁性の同じ材料を用いてもよいし、絶縁性のそれぞれ別々の材料を用いてもよく、プラスチックフィルム、プラスチック板、ガラス板等が使用されて形成される。これらの部材、板、層の厚みはそれぞれの用途に応じて適宜決められる。   Regarding the touch panels 1 to 4, the transparent cover members 11 and 12, the support 10, and the shield layer may use the same insulating material, or may use different insulating materials, A plastic film, a plastic plate, a glass plate, etc. are used and formed. The thicknesses of these members, plates, and layers are appropriately determined according to the respective uses.

上記プラスチックフィルム及びプラスチック板の材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル類;ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、ポリスチレン、EVA等のポリオレフィン類;ビニル系樹脂;その他、ポリカーボネート(PC)、ポリアミド、ポリイミド、アクリル樹脂、トリアセチルセルロース(TAC)等が用いられる。   Examples of the material of the plastic film and the plastic plate include polyesters such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN); polyolefins such as polyethylene (PE), polypropylene (PP), polystyrene, and EVA; Resin; In addition, polycarbonate (PC), polyamide, polyimide, acrylic resin, triacetyl cellulose (TAC) and the like are used.

上記プラスチックフィルム及びプラスチック板の好ましい材料としては、PET(融点:258℃)、PEN(融点:269℃)、PE(融点:135℃)、PP(融点:163℃)、ポリスチレン(融点:230℃)、ポリ塩化ビニル(融点:180℃)、ポリ塩化ビニリデン(融点:212℃)やTAC(融点:290℃)等の融点が約290℃以下であるプラスチックフィルム、又はプラスチック板などがあり、特に、光透過性や加工性等の観点から、PETが好ましい。フィルムや板の厚みは50μmから300μmであることが好ましい。   Preferred materials for the plastic film and plastic plate include PET (melting point: 258 ° C.), PEN (melting point: 269 ° C.), PE (melting point: 135 ° C.), PP (melting point: 163 ° C.), polystyrene (melting point: 230 ° C.). ), Polyvinyl chloride (melting point: 180 ° C.), polyvinylidene chloride (melting point: 212 ° C.), TAC (melting point: 290 ° C.), etc. From the viewpoints of light transmittance and processability, PET is preferred. The thickness of the film or plate is preferably 50 μm to 300 μm.

誘電体層13は、その全体が粘着性を有する材料により非導電性の粘着層として形成されるか、あるいは誘電性の基板と、この基板の表裏にそれぞれ設けられる粘着層とを含んで構成される。このような誘電体層13に含まれる粘着層と、透明カバー部材11,12との貼り合わせの際に用いられる粘着層とには、非導電性の接着剤などを用いることができる。接着剤の材料としては、アクリル樹脂系、エポキシ樹脂系、フェノール樹脂系、ビニル樹脂系などを例示できる。これらの粘着層は、例えば、スクリーン印刷法などによって形成される。   The entire dielectric layer 13 is formed as a non-conductive adhesive layer with an adhesive material, or includes a dielectric substrate and adhesive layers respectively provided on the front and back of the substrate. The A non-conductive adhesive or the like can be used for the pressure-sensitive adhesive layer included in the dielectric layer 13 and the pressure-sensitive adhesive layer used when the transparent cover members 11 and 12 are bonded to each other. Examples of the adhesive material include acrylic resin, epoxy resin, phenol resin, and vinyl resin. These adhesive layers are formed by, for example, a screen printing method.

〔電極シートの構成〕
図5は、電極シート20のX電極30が形成された面を示す。支持体10上には、導線パターン70(図1)で形成された複数のX電極30がX方向に配列されている。
各X電極30はそれぞれ、網目状の導線パターン70で菱形(ダイヤモンド形)に形成された複数のセンサ部30Aが導通されて形成されている。各X電極30の一端側にはそれぞれ、導電性インク又は導電性ペーストを用いて形成された配線40が接続されている。
[Configuration of electrode sheet]
FIG. 5 shows the surface of the electrode sheet 20 on which the X electrode 30 is formed. On the support 10, a plurality of X electrodes 30 formed of a conductive wire pattern 70 (FIG. 1) are arranged in the X direction.
Each X electrode 30 is formed by conducting a plurality of sensor portions 30 </ b> A formed in a rhombus (diamond shape) with a mesh-like conductive wire pattern 70. A wiring 40 formed using conductive ink or conductive paste is connected to one end side of each X electrode 30.

図6は、X電極30を構成するセンサ部30Aの拡大図である。センサ部30Aは、交差する導線パターン70によって菱形(ここでは正方形)に形成されている。隣り合うセンサ部30A同士が、屈曲した導電性細線を含む導通部Cを介して接続されることにより、センサアレイであるX電極30が形成される。また、各センサ部30Aの周囲には、他の導電性細線とは孤立した短い導電性細線が並んでおり、これらの導電性細線はダミー電極Dmとされている。   FIG. 6 is an enlarged view of the sensor unit 30 </ b> A constituting the X electrode 30. The sensor unit 30 </ b> A is formed in a rhombus (here, a square) by the crossed conductor patterns 70. Adjacent sensor portions 30A are connected to each other via a conductive portion C including a bent conductive thin wire, whereby an X electrode 30 that is a sensor array is formed. In addition, short conductive thin wires that are isolated from other conductive thin wires are arranged around each sensor unit 30A, and these conductive thin wires are dummy electrodes Dm.

センサ部30Aの一辺の長さは、3〜10mmであることが好ましく、4〜6mmであることがより好ましい。一辺の長さが、3〜10mmであると、感知する静電容量の不足による検出不良になる可能性や、位置検出精度が低下するといった問題を起こしにくい。同様の観点から、センサ部30Aを構成する単位格子の一辺の長さ(導線パターン70間の間隔(線と線との間の寸法))は、50〜500μmであることが好ましく、150〜300μmであることがさらに好ましい。単位格子の辺の長さが上記範囲である場合には、さらに透明性も良好に保つことが可能であり、表示装置の前面にとりつけた際に、違和感なく表示を視認することができる。   The length of one side of the sensor unit 30A is preferably 3 to 10 mm, and more preferably 4 to 6 mm. If the length of one side is 3 to 10 mm, it is difficult to cause problems such as a possibility of detection failure due to insufficient sensing capacitance and a decrease in position detection accuracy. From the same viewpoint, the length of one side of the unit cell constituting the sensor unit 30A (the interval between the conductor patterns 70 (the dimension between the lines)) is preferably 50 to 500 μm, and 150 to 300 μm. More preferably. When the length of the side of the unit cell is in the above range, it is possible to keep the transparency better, and the display can be visually recognized without discomfort when attached to the front surface of the display device.

図7は、電極シート25のY電極35が形成された面を示す。支持体10上には、導線パターン70(図1)で形成された複数のY電極35がY方向に配列されている。
各Y電極35はそれぞれ、菱形に形成された複数のセンサ部35Aが導通されて形成されている。各Y電極35の一端側にはそれぞれ、導電性インク又は導電性ペーストを用いて形成された配線45が接続されている。
FIG. 7 shows the surface of the electrode sheet 25 on which the Y electrode 35 is formed. On the support 10, a plurality of Y electrodes 35 formed of a conductive wire pattern 70 (FIG. 1) are arranged in the Y direction.
Each Y electrode 35 is formed by conducting a plurality of sensor portions 35A formed in a diamond shape. A wiring 45 formed using conductive ink or conductive paste is connected to one end side of each Y electrode 35.

各配線45は、支持体10の辺に沿って延出し、支持体10の端部に設けられた図示しないコンタクト部に集められている。このコンタクト部に設けられる図示しないFPC(Flexible printed circuits)によって、各配線45がタッチパネルを駆動制御する回路基板に接続されている。
一方、X電極30が形成された面の配線40は、図1のタッチパネル1の場合には、スルーホール48を介して支持体10の裏面(配線45が形成された面)側に引き出され、支持体10の裏面に設けられたFPCによって回路基板に接続されている。このようにスルーホール48を用いて支持体10の一方の面に形成された配線を他方の面に引き出すことにより、FPCを一つの面のみに設ければ足りるので、配線を容易化できる。
それ以外のタッチパネル2〜4の場合には、X電極30が形成された面の配線40は支持体10の表面に設けられたFPC等によって回路基板に接続される。
Each wiring 45 extends along the side of the support 10 and is collected in a contact portion (not shown) provided at the end of the support 10. Each wiring 45 is connected to a circuit board for driving and controlling the touch panel by FPC (Flexible printed circuits) (not shown) provided in the contact portion.
On the other hand, the wiring 40 on the surface on which the X electrode 30 is formed is drawn out to the back surface (surface on which the wiring 45 is formed) side of the support 10 through the through hole 48 in the case of the touch panel 1 in FIG. The circuit board is connected by an FPC provided on the back surface of the support 10. In this way, the wiring formed on one surface of the support 10 using the through hole 48 is drawn out to the other surface, so that it is sufficient to provide the FPC only on one surface, so that the wiring can be facilitated.
In the other touch panels 2 to 4, the wiring 40 on the surface on which the X electrode 30 is formed is connected to the circuit board by an FPC or the like provided on the surface of the support 10.

図8は、Y電極35を構成するセンサ部35Aの拡大図である。センサ部35Aは、X電極30のセンサ部30Aと同様に形成され、隣り合うセンサ部35A同士が導通部Cを介して接続されることにより、センサアレイであるY電極35が形成される。   FIG. 8 is an enlarged view of the sensor unit 35 </ b> A constituting the Y electrode 35. The sensor unit 35A is formed in the same manner as the sensor unit 30A of the X electrode 30, and the adjacent sensor units 35A are connected to each other via the conduction unit C, whereby the Y electrode 35 that is a sensor array is formed.

X電極30とY電極35とは、図1〜4に示したように重ねられた状態でタッチ面11A側から透視される。透視状態では、センサ部30Aとセンサ部35Aとが平面的に交互に配列されたセンサ面が形成される。このとき、隣り合うセンサ部30Aとセンサ部35Aとの間にはダミー電極Dmが配置される。ダミー電極Dmにより、導線パターンの格子模様が均一化されるので、ムラに見えるなどの視認上の問題を解決することができる。また、ダミー電極Dmの存在により、隣り合う電極30,30(あるいは電極35,35)間の寄生容量が低下するので、高周波駆動時の短絡を防止できる。   The X electrode 30 and the Y electrode 35 are seen through from the touch surface 11 </ b> A side in a state of being overlapped as illustrated in FIGS. 1 to 4. In the fluoroscopic state, a sensor surface is formed in which the sensor units 30A and the sensor units 35A are alternately arranged in a plane. At this time, the dummy electrode Dm is disposed between the adjacent sensor unit 30A and the sensor unit 35A. Since the lattice pattern of the conductive wire pattern is made uniform by the dummy electrode Dm, it is possible to solve a visual problem such as unevenness. Further, since the parasitic capacitance between the adjacent electrodes 30 and 30 (or the electrodes 35 and 35) is reduced due to the presence of the dummy electrode Dm, a short circuit during high frequency driving can be prevented.

なお、図6の電極30と図8の電極35とは導通方向(センサアレイの配列方向)がほぼ直交するが、タッチ位置の座標決定に支障の無い限り任意の角度に設定することができる。
さらに、図6及び図8に例示した正方格子(長方格子であってもよい)を構成する導電性細線の向きは、X、Y方向に対し45°方向となる。このため、X、Y方向をディスプレイの電極軸の方向としてタッチパネルとディスプレイとを貼り合わせると、モアレが発生しにくい。
The electrodes 30 in FIG. 6 and the electrodes 35 in FIG. 8 are substantially perpendicular to each other in the conduction direction (the array direction of the sensor array), but can be set to any angle as long as there is no problem in determining the coordinates of the touch position.
Furthermore, the direction of the conductive thin wires constituting the square lattice (which may be a rectangular lattice) illustrated in FIGS. 6 and 8 is 45 ° with respect to the X and Y directions. For this reason, when the touch panel and the display are bonded together with the X and Y directions as the directions of the electrode axes of the display, moire is unlikely to occur.

〔導線パターン及び配線の構成〕
図9は、図5に示した導線パターン70と配線40との接続部を模式的に示す。図9に示すように、配線は電極の少なくとも一部を覆うように設けられることが好ましい。図9(A)は、導線パターン70と配線40との接続部の平面図であり、図9(B)は、図9(A)のB−B線断面図である。
図9(A)に示すように、導線パターン70の破線で示した部分と、配線40とが重なる部分(斜線部)で導線パターン70と配線40とが接触しており、これら導線パターン70と配線40とが重なる部分(斜線部)の面積が導線パターン70と配線40との接触面積である。
なお、図示を省略するが、図7に示した配線45も配線40と同様に、導線パターン70の端部に接続されており、導線パターン70と配線45との接触状態は図9に示した導線パターン70と配線40との接触状態と同様である。
[Construction of conducting wire pattern and wiring]
FIG. 9 schematically shows a connection portion between the conductor pattern 70 and the wiring 40 shown in FIG. As shown in FIG. 9, the wiring is preferably provided so as to cover at least a part of the electrode. 9A is a plan view of a connecting portion between the conductive wire pattern 70 and the wiring 40, and FIG. 9B is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. 9A.
As shown in FIG. 9A, the conductor pattern 70 and the wiring 40 are in contact with each other at the portion where the conductor pattern 70 is indicated by a broken line and the portion where the wiring 40 overlaps (the hatched portion). The area of the portion (shaded portion) where the wiring 40 overlaps is the contact area between the conductor pattern 70 and the wiring 40.
Although not shown, the wiring 45 shown in FIG. 7 is also connected to the end of the conductive pattern 70 in the same manner as the wiring 40, and the contact state between the conductive pattern 70 and the wiring 45 is shown in FIG. The contact state between the conductor pattern 70 and the wiring 40 is the same.

導線パターン70を構成する導電性細線の線幅は、20μm以下であることが好ましく、後述する現像銀方式の製造方法によって導線パターン70を20μm以下の線幅に安定して製造できる。このように導線パターン70の線幅が細いことで電極の開口率が上がるので、タッチパネルの透光率が向上する。導線パターン70の線幅は、1μm以上、10μm以下であることがより好ましく、2μm以上、6μm以下であることがさらに好ましい。1μm以上、10μm以下の範囲であると、低抵抗の電極を比較的容易に形成できる。
また、導線パターン70の厚みは、0.1μm以上、1.5μm以下であることが好ましく、0.4μm以上、1.5μm以下であることがより好ましく、0.2μm以上、0.8μm以下であることが更に好ましい。0.1μm以上、1.5μm以下の範囲であると、低抵抗の電極で、耐久性に優れた電極を比較的容易に形成できる。本発明においては電極の厚みは導線パターンの厚みとする。
It is preferable that the line width of the conductive thin wire which comprises the conducting wire pattern 70 is 20 micrometers or less, and the conducting wire pattern 70 can be stably manufactured to the line width of 20 micrometers or less by the developing silver system manufacturing method mentioned later. Thus, since the aperture ratio of an electrode rises because the line | wire width of the conducting wire pattern 70 is thin, the transmissivity of a touchscreen improves. The line width of the conductor pattern 70 is more preferably 1 μm or more and 10 μm or less, and further preferably 2 μm or more and 6 μm or less. When the thickness is in the range of 1 μm or more and 10 μm or less, a low-resistance electrode can be formed relatively easily.
Further, the thickness of the conductive wire pattern 70 is preferably 0.1 μm or more and 1.5 μm or less, more preferably 0.4 μm or more and 1.5 μm or less, and 0.2 μm or more and 0.8 μm or less. More preferably it is. When the thickness is in the range of 0.1 μm or more and 1.5 μm or less, a low-resistance electrode that is excellent in durability can be formed relatively easily. In the present invention, the thickness of the electrode is the thickness of the conductor pattern.

ここで、導線パターン70は、図9(B)に示すように、現像銀である導電性細線からなる電極71と、電極71の支持体10側とは反対側に設けられる保護層72とを含んで構成されている。保護層は有機バインダー層であることが好ましい。保護層は少なくとも電極を覆うように設けられるが、電極の上面側(支持体と反対側)と電極の側面を覆うことが好ましい。また、図9(B)に示すように保護層は電極と支持体を覆うように設けられてもよい。   Here, as shown in FIG. 9B, the conductive wire pattern 70 includes an electrode 71 made of a conductive thin wire that is developed silver, and a protective layer 72 provided on the opposite side of the electrode 71 from the support 10 side. It is configured to include. The protective layer is preferably an organic binder layer. The protective layer is provided so as to cover at least the electrode, but it is preferable to cover the upper surface side (the side opposite to the support) of the electrode and the side surface of the electrode. Further, as shown in FIG. 9B, the protective layer may be provided so as to cover the electrode and the support.

保護層72は、擦り傷防止や力学特性を改良する効果を発現するために感光層上に形成されている。この保護層72の形成方法は特に限定されず、例えば、公知の塗布方法から適宜選択することができる。   The protective layer 72 is formed on the photosensitive layer in order to exhibit the effect of preventing scratches and improving mechanical properties. The formation method of this protective layer 72 is not specifically limited, For example, it can select suitably from the well-known coating method.

保護層72の厚みtは、0.3μm以下であり、より好ましくは0.05μm以上、0.3μm以下であり、更に好ましくは0.05μm以上、0.2μm以下である。このような厚みtにより、保護層72が介在する配線40と導線パターン70との導通不良を起こりにくくできる。
また、このような厚みtとすることにより、耐擦傷性を向上させることができる。特に、厚みtが0.05μm以上であれば、保護層72が電極71を確実に被覆して電極71に密着するので、耐擦傷性を確保できる。
The thickness t of the protective layer 72 is 0.3 μm or less, more preferably 0.05 μm or more and 0.3 μm or less, and still more preferably 0.05 μm or more and 0.2 μm or less. Such a thickness t makes it difficult for poor conduction between the wiring 40 and the conductor pattern 70 with the protective layer 72 interposed therebetween.
Moreover, by setting it as such thickness t, scratch resistance can be improved. In particular, when the thickness t is 0.05 μm or more, the protective layer 72 reliably covers the electrode 71 and adheres closely to the electrode 71, so that scratch resistance can be ensured.

上述のように、保護層72の厚みtを0.3μm以下とすることにより、圧力耐性が高まり導通不良を防止できるとともに、形成された電極間の絶縁性に不具合が生じることなく、製造時のハンドリング性が向上する。更に、後述するように配線と電極の厚み比を3以上とすることで、耐久試験にも支障を来たさない。   As described above, by setting the thickness t of the protective layer 72 to 0.3 μm or less, pressure resistance can be increased and conduction failure can be prevented, and there is no problem in insulation between the formed electrodes. Handling is improved. Further, as will be described later, by setting the thickness ratio of the wiring and the electrode to 3 or more, the durability test is not hindered.

保護層72には、バインダー、無機微粒子、界面活性剤などが含まれる。バインダーは、ゼラチンや高分子ポリマーであり、ゼラチンが好ましい。無機微粒子は、シリカ、アルミナなどの酸化物微粒子が用いられ、粒子径は0.005〜0.3μmが用いられ、0.01〜0.2μmが好ましい。無機微粒子としてはシリカが好ましく、コロイダルシリカを用いることができる。   The protective layer 72 includes a binder, inorganic fine particles, a surfactant, and the like. The binder is gelatin or a high molecular polymer, and gelatin is preferable. As the inorganic fine particles, oxide fine particles such as silica and alumina are used, and the particle diameter is 0.005 to 0.3 μm, preferably 0.01 to 0.2 μm. Silica is preferable as the inorganic fine particles, and colloidal silica can be used.

コロイダルシリカとしては、例えば、日産化学工業社製:スノーテックスシリーズのうち結合力に優れるスノーテックスXS(粒子径4〜6nm)、スノーテックスOXS(粒子径4〜6nm)、スノーテックスS(粒子径8〜11nm)、スノーテックスOS(粒子径8〜11nm)、スノーテックス20(粒子径10〜20nm)、スノーテックス30(粒子径10〜20nm)、スノーテックス40(粒子径10〜20nm)、スノーテックスO(粒子径10〜20nm)、スノーテックスN(粒子径10〜20nm)、及びスノーテックスC(粒子径10〜20nm)、あるいは皮膜性に優れるスノーテックスPS−S(粒子径20〜30nm)、スノーテックスPS−M(粒子径40〜50nm)等を用いることができる。
コロイダルシリカの添加によって、保護層72の引っかき強度を高めることができ、これによって硬度が高められている。保護層の引っかき強度は8g以上が好ましく、9g以上がより好ましく、10g以上が更に好ましく、15g以上が特に好ましい。
引っかき強度は以下のようにして測定することができる。
未露光の感光材料を23℃、相対湿度55%の条件下で24時間調湿した後、塗布面に対して、先端の曲率半径が0.1mmのサファイア針を直角にあてがい、60cm/minで試料を移動させながら、サファイア針にかかる荷重を0g〜100gまで徐々に増加させ、その試料を現像処理し、サファイア針が走査した部分をルーペで観察し、カブリが生じ始める荷重を求めることで測定する。
As colloidal silica, for example, manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd .: Snowtex XS (particle diameter 4 to 6 nm), Snowtex OXS (particle diameter 4 to 6 nm), Snowtex S (particle diameter), which have excellent binding power among the Snowtex series 8-11 nm), Snowtex OS (particle diameter 8-11 nm), Snowtex 20 (particle diameter 10-20 nm), Snowtex 30 (particle diameter 10-20 nm), Snowtex 40 (particle diameter 10-20 nm), Snow Tex O (particle diameter 10-20 nm), Snowtex N (particle diameter 10-20 nm), and Snowtex C (particle diameter 10-20 nm), or Snowtex PS-S (particle diameter 20-30 nm) with excellent film properties Snowtex PS-M (particle diameter 40-50 nm) or the like can be used.
By adding colloidal silica, the scratch strength of the protective layer 72 can be increased, thereby increasing the hardness. The scratch strength of the protective layer is preferably 8 g or more, more preferably 9 g or more, further preferably 10 g or more, and particularly preferably 15 g or more.
The scratch strength can be measured as follows.
After conditioning the unexposed photosensitive material for 24 hours under conditions of 23 ° C. and 55% relative humidity, a sapphire needle with a radius of curvature of the tip of 0.1 mm is applied at right angles to the coated surface at 60 cm / min. While moving the sample, gradually increase the load on the sapphire needle from 0g to 100g, develop the sample, observe the part scanned by the sapphire needle with a loupe, and determine the load at which fogging starts to occur To do.

保護層中にコロイダルシリカ、シリカマット、シリコーンオイル、パラフィン系オイル、その他、導電性インクまたは導電性ペーストの溶媒に溶解する化合物、のいずれか1種を含有することが好ましく、コロイダルシリカ、シリカマット、シリコーンオイル、パラフィン系オイル、(メタ)アクリル系粒子のうち少なくとも1種を含有することがより好ましい。上記素材を加えることにより、保護層と配線材料(導電性ペースト)の結びつきが強まり、耐久性向上が得られると考える。特に、導電性ペーストの溶媒に溶解する化合物を添加することにより、保護層上に導電性ペーストを印刷した際に前記化合物が導電性ペースト溶媒に溶解して抜け出し、保護層中の前記化合物が存在していた箇所にペースト液が入り込むこと(アンカー効果)により導通性が向上すると推察する。
コロイダルシリカとしては前述のものと同様のものが挙げられる。
シリコーンオイルとしては、シリコーンオイルを構成するポリシロキサンの重合数が好ましくは2〜100、より好ましくは5〜20のものを好適に用いることができる。
パラフィン系オイルとしては、パラフィン系オイルを構成するパラフィン系炭化水素の炭素数が好ましくは2〜1000、より好ましくは5〜100のものを好適に用いることができる。
シリカマットとしては、好ましくは平均粒径5μm以下、より好ましくは0.5〜3.5μmである。また、粒子サイズの変動係数としては、3〜50であることが好ましく、特に3〜30%であることが好ましい。
導電性インクまたは導電性ペーストの溶媒に溶解する化合物としては、シリコーンオイル、パラフィン系オイル、(メタ)アクリル系粒子などが挙げられ、シリコーンオイルまたはパラフィン系オイルが特に好ましい。
The protective layer preferably contains any one of colloidal silica, silica mat, silicone oil, paraffinic oil, and other compounds that are soluble in the solvent of the conductive ink or conductive paste. Colloidal silica, silica mat It is more preferable to contain at least one of silicone oil, paraffinic oil, and (meth) acrylic particles. By adding the above materials, it is considered that the connection between the protective layer and the wiring material (conductive paste) is strengthened, and durability can be improved. In particular, by adding a compound that dissolves in the solvent of the conductive paste, when the conductive paste is printed on the protective layer, the compound dissolves in the conductive paste solvent and escapes, and the compound in the protective layer is present. It is presumed that the conductivity is improved by the paste liquid entering the place (anchor effect).
Examples of the colloidal silica include the same ones as described above.
As the silicone oil, those having a polymerization number of polysiloxane constituting the silicone oil of preferably 2 to 100, more preferably 5 to 20 can be suitably used.
As the paraffinic oil, those having a paraffinic hydrocarbon constituting the paraffinic oil of preferably 2 to 1000, more preferably 5 to 100 can be suitably used.
The silica mat preferably has an average particle size of 5 μm or less, more preferably 0.5 to 3.5 μm. The particle size variation coefficient is preferably 3 to 50, and particularly preferably 3 to 30%.
Examples of the compound that dissolves in the solvent of the conductive ink or conductive paste include silicone oil, paraffin oil, and (meth) acrylic particles, and silicone oil or paraffin oil is particularly preferable.

保護層におけるコロイダルシリカの添加量は、0.5〜50mg/mが好ましく、5〜30mg/mがより好ましく、10〜20mg/mが更に好ましい。
保護層におけるシリコーンオイルの添加量は、5〜100mg/mが好ましく、10〜80mg/mがより好ましく、30〜70mg/mが更に好ましい。
保護層におけるパラフィン系オイルの添加量は、5〜100mg/mが好ましく、10〜80mg/mがより好ましく、30〜70mg/mが更に好ましい。
保護層における(メタ)アクリル系粒子の添加量は、50〜400mg/mが好ましく、100〜300mg/mがより好ましく、150〜250mg/mが更に好ましい。
The addition amount of the colloidal silica in the protective layer is preferably from 0.5 to 50 mg / m 2, more preferably 5 to 30 mg / m 2, more preferably 10-20 mg / m 2.
The addition amount of the silicone oil in the protective layer is preferably from 5 to 100 mg / m 2, more preferably 10 to 80 mg / m 2, more preferably 30 to 70 mg / m 2.
5-100 mg / m < 2 > is preferable, as for the addition amount of the paraffinic oil in a protective layer, 10-80 mg / m < 2 > is more preferable, and 30-70 mg / m < 2 > is still more preferable.
The addition amount of the (meth) acrylic particles in the protective layer is preferably from 50 to 400 mg / m 2, more preferably 100 to 300 mg / m 2, more preferably 150 to 250 / m 2.

配線40,45は、導電性インクの印刷、塗布等によって形成されていることが好ましい。この導電性インクは銀粒子やAl粒子などの導電性粒子、又は銀フィラーやAlフィラーなどの導電性フィラーを含有している。導電性インク(導電性ペースト)としては、例えば、藤倉化成社:ドータイトシリーズのXA−436(体積抵抗率7×10−5Ω・cm)、FA−401CA(体積抵抗率3×10−5Ω・cm)、FA−333(体積抵抗率4×10−5Ω・cm)、FA−353N(体積抵抗率4×10−5Ω・cm)等を用いることができる。また、東洋インキ社製:REXALPHAシリーズの製品群ラインアップであるフラットスクリーン用、ロータリースクリーン用、フレキソ用、グラビア用)の体積抵抗率(膜厚10μmで測定)2×10−5〜5×10−5Ω・cmの製品も市販されており、これらも用いることができる。 The wirings 40 and 45 are preferably formed by printing, coating or the like of conductive ink. This conductive ink contains conductive particles such as silver particles and Al particles, or conductive fillers such as silver filler and Al filler. As the conductive ink (conductive paste), for example, Fujikura Kasei Co., Ltd .: Dotite series XA-436 (volume resistivity 7 × 10 −5 Ω · cm), FA-401CA (volume resistivity 3 × 10 −5 Ω) Cm), FA-333 (volume resistivity 4 × 10 −5 Ω · cm), FA-353N (volume resistivity 4 × 10 −5 Ω · cm), and the like can be used. In addition, volume resistivity (measured at a film thickness of 10 μm) of 2 × 10 −5 to 5 × 10 for flat screen, rotary screen, flexo, and gravure, which are product groups of Toyo Ink Corporation: REXALPHA series. -5 Ω · cm products are also commercially available, and these can also be used.

ここで、導電性インクの材料選択、製品選択によって与えられる体積抵抗率などを考慮して、配線40,45の厚み及び線幅が決められる。
配線40,45の厚みは、0.4μm〜1.5μmであることが好ましく、その厚みは導線パターン70の厚みよりも大きい。より好ましい配線40,45の厚みは5μm〜15μmである。
また、配線40,45の線幅は、20μm〜100μmであることが好ましく、その線幅は導線パターン70の線幅よりも広い。より好ましい配線40,45の線幅は20μm〜50μmである。
さらに、配線40,40間の間隔、配線45,45間の間隔(線と線との間の寸法)は、50μm〜200μmであることが好ましく、より好ましくは、50μm〜100μmである。
Here, the thickness and line width of the wirings 40 and 45 are determined in consideration of the material resistivity of the conductive ink, the volume resistivity given by the product selection, and the like.
The thickness of the wirings 40 and 45 is preferably 0.4 μm to 1.5 μm, and the thickness is larger than the thickness of the conductor pattern 70. More preferably, the thickness of the wirings 40 and 45 is 5 μm to 15 μm.
The line width of the wirings 40 and 45 is preferably 20 μm to 100 μm, and the line width is wider than the line width of the conductor pattern 70. A more preferable line width of the wirings 40 and 45 is 20 μm to 50 μm.
Furthermore, the distance between the wirings 40 and 40 and the distance between the wirings 45 and 45 (dimensions between the lines) are preferably 50 μm to 200 μm, and more preferably 50 μm to 100 μm.

このように、現像銀方式で形成された導線パターン70に導電性インクで形成された配線40が接続される構成上、これら導線パターン70と配線40との接続部は接触抵抗を持つ。この接触抵抗を制御するため、配線40が電極30(又は電極35)を覆う部分の面積が、1×10−8以上であることが好ましく、3×10−8以上であることがより好ましい。該面積が1×10−8以上であると耐久性試験後の配線と電極の接続部の導通性を向上させることができる。導線パターン70と配線40との接触抵抗による導通不良を考慮して、上述の保護層72の厚みが決められている。 As described above, the wiring 40 formed of the conductive ink is connected to the conductive wire pattern 70 formed by the developed silver system, and the connecting portion between the conductive wire pattern 70 and the wiring 40 has a contact resistance. In order to control this contact resistance, the area of the portion where the wiring 40 covers the electrode 30 (or the electrode 35) is preferably 1 × 10 −8 m 2 or more, and preferably 3 × 10 −8 m 2 or more. Is more preferable. When the area is 1 × 10 −8 m 2 or more, the continuity of the connection portion between the wiring and the electrode after the durability test can be improved. The thickness of the protective layer 72 described above is determined in consideration of conduction failure due to contact resistance between the conductive pattern 70 and the wiring 40.

耐久試験後の配線と電極の接続部の導通性向上の観点から、電極と配線の厚みの比である(配線の厚み)/(電極の厚み)は3以上であり、5以上であることが好ましく、10以上であることが更に好ましい。   From the viewpoint of improving the continuity of the connection between the wiring and the electrode after the durability test, the ratio of the thickness of the electrode and the wiring (thickness of the wiring) / (thickness of the electrode) is 3 or more, and 5 or more. Preferably, it is 10 or more.

以上のように構成された電極と配線との電気的特性について述べる。
電極(電極30,35のそれぞれ)の体積抵抗率は、例えば5〜100μΩ・cmであり、好ましくは5〜50μΩ・cmである。
一方、Ag粒子を含有する導電性インクで形成された配線40,45の体積抵抗率は、例えば3〜20μΩ・cmであることが好ましく、より好ましくは3〜8μΩ・cmである。配線40,45(導電性インク)は導線パターン70の厚みに比較して厚盛りに形成しやすい。
The electrical characteristics of the electrodes and wiring configured as described above will be described.
The volume resistivity of the electrodes (each of the electrodes 30 and 35) is, for example, 5 to 100 μΩ · cm, and preferably 5 to 50 μΩ · cm.
On the other hand, the volume resistivity of the wirings 40 and 45 formed of conductive ink containing Ag particles is preferably 3 to 20 μΩ · cm, and more preferably 3 to 8 μΩ · cm, for example. The wirings 40 and 45 (conductive ink) are easy to form thicker than the thickness of the conductor pattern 70.

以上述べたように、現像銀方式によって極細パターンに形成された電極30,35と、導電性インクで形成された配線40,45とを備えた本実施形態のタッチパネルによれば、ディスプレイの表示品位を維持しかつ低抵抗化されたタッチパネルを提供できる。このタッチパネルにおいては、保護層72の厚みが導線パターン70と配線40,45との導通の上でも、導線パターン70の圧力耐性の上でも最適条件で奏功するため、歩留まりが悪くなることなく、電極及び配線のトータルの低抵抗化を図ることができる。これにより、タッチパネルの大画面化に伴う消費電力及び応答速度についての課題が解決されるので、タッチパネルの大画面化を促進できる。   As described above, according to the touch panel of this embodiment including the electrodes 30 and 35 formed in an ultrafine pattern by the developed silver system and the wirings 40 and 45 formed of conductive ink, the display quality of the display is shown. Can be provided and a low-resistance touch panel can be provided. In this touch panel, since the thickness of the protective layer 72 is effective under optimum conditions both for the conduction between the conductor pattern 70 and the wirings 40 and 45 and for the pressure resistance of the conductor pattern 70, the electrode does not deteriorate the yield. In addition, the total resistance of the wiring can be reduced. Thereby, since the subject about the power consumption and response speed accompanying the enlargement of a touchscreen is solved, the enlargement of a touchscreen can be promoted.

[感光材料]
図10は、上述の電極シート20,25の製造に用いる感光材05を示す。
感光材05は、支持体の両面(おもて面及びうら面)にそれぞれ、ハロゲン化銀乳剤を含む感光層が形成されたものであって、電極シートの製造に用いられる。
感光材の代表的な構成を図10を用いて説明する。支持体10のおもて面側には上部感光材料層(おもて面感光材料層とも言う)50が、うら面側には下部感光材料層(うら面感光材料層とも言う)60が形成されている。
そして、上部感光材料層50は、支持体10上に下塗り層56、アンチハレーション層57、ハロゲン化銀乳剤を含む上部感光層(おもて面感光層とも言う)51、保護層72が形成されている。下塗り層、アンチハレーション層は、必要に応じて設けられる層である。上部感光層51はいくつかのハロゲン化銀乳剤を含む感光層とそれらの感光層の間にある中間層から形成されていてもよい。 下部感光材料層60も上部感光材料層50と同様の層構成(下塗り層66、アンチハレーション層67、下部感光層(うら面感光層とも言う)61、保護層72層)をもち、支持体10を中心に対称の層構成が好ましい。
[Photosensitive material]
FIG. 10 shows a photosensitive material 05 used for manufacturing the electrode sheets 20 and 25 described above.
The photosensitive material 05 has a photosensitive layer containing a silver halide emulsion formed on both sides (a front surface and a back surface) of a support, and is used for manufacturing an electrode sheet.
A typical structure of the photosensitive material will be described with reference to FIG. An upper photosensitive material layer (also referred to as a front surface photosensitive material layer) 50 is formed on the front surface side of the support 10, and a lower photosensitive material layer (also referred to as a back surface photosensitive material layer) 60 is formed on the back surface side. Has been.
In the upper photosensitive material layer 50, an undercoat layer 56, an antihalation layer 57, an upper photosensitive layer (also referred to as a front photosensitive layer) 51 containing a silver halide emulsion, and a protective layer 72 are formed on the support 10. ing. The undercoat layer and the antihalation layer are layers provided as necessary. The upper photosensitive layer 51 may be formed of a photosensitive layer containing several silver halide emulsions and an intermediate layer between these photosensitive layers. The lower photosensitive material layer 60 also has the same layer structure as the upper photosensitive material layer 50 (an undercoat layer 66, an antihalation layer 67, a lower photosensitive layer (also referred to as a back side photosensitive layer) 61, and a protective layer 72). A symmetric layer structure around the center is preferable.

〔ハロゲン化銀乳剤を含む感光層〕
次にハロゲン化銀乳剤を含む感光層について説明するが、現像銀を電極材料とするためには、感光材料の種類と、現像処理の種類とを、以下の3通りの方式から選択することができる。
(1)物理現像核を含まない感光性ハロゲン化銀黒白感光材料を化学現像又は熱現像して金属銀部を該感光材料上に形成させる方式。
(2)物理現像核をハロゲン化銀乳剤層中に含む感光性ハロゲン化銀黒白感光材料を溶解物理現像して金属銀部を該感光材料上に形成させる方式。
(3)物理現像核を含まない感光性ハロゲン化銀黒白感光材料と、物理現像核を含む非感光性層を有する受像シートを重ね合わせて拡散転写現像して金属銀部を非感光性受像シート上に形成させる方式。
[Photosensitive layer containing silver halide emulsion]
Next, a photosensitive layer containing a silver halide emulsion will be described. In order to use developed silver as an electrode material, the type of photosensitive material and the type of development processing can be selected from the following three methods. it can.
(1) A method in which a photosensitive silver halide black-and-white photosensitive material not containing physical development nuclei is chemically or thermally developed to form a metallic silver portion on the photosensitive material.
(2) A system in which a photosensitive silver halide black-and-white photosensitive material containing physical development nuclei in a silver halide emulsion layer is dissolved and physically developed to form a metallic silver portion on the photosensitive material.
(3) A photosensitive silver halide black-and-white photosensitive material that does not contain physical development nuclei and an image-receiving sheet having a non-photosensitive layer that contains physical development nuclei are overlaid and diffused and transferred to develop a non-photosensitive image-receiving sheet. Forming on top.

上記(1)の態様は、黒白現像タイプであり、感光材料上に透光性電磁波シールド膜などの透光性導電性膜が形成される。得られる現像銀は化学現像銀又は熱現像銀であり、高比表面のフィラメントである。さらに、メッキ処理、又は物理現像の後続過程を設ける場合は高活性で好ましい方式である。
上記(2)の態様は、露光部では、物理現像核近縁のハロゲン化銀粒子が溶解されて現像核上に沈積することによって感光材料上に透光性電磁波シールド膜や光透過性電極シートなどの透光性導電性膜が形成される。これも黒白現像タイプである。現像作用が、物理現像核上への析出であるので高活性であるが、得られる現像銀は比表面が小さい球形である。
上記(3)の態様は、未露光部においてハロゲン化銀粒子が溶解されて拡散して受像シート上の現像核上に沈積することによって受像シート上に透光性電磁波シールド膜や光透過性電極シートなどの透光性導電性膜が形成される。いわゆる2シートのセパレートタイプであって、受像シートを感光材料から剥離して用いる態様である。
いずれの態様もネガ型現像処理及び反転現像処理のいずれの現像を選択することもできる(拡散転写方式の場合は、感光材料としてオートポジ型感光材料を用いることによってネガ型現像処理が可能となる)。
The mode (1) is a black-and-white development type, and a light-transmitting conductive film such as a light-transmitting electromagnetic wave shielding film is formed on the photosensitive material. The developed silver obtained is chemically developed silver or heat developed silver, and is a filament with a high specific surface. Further, when a subsequent process of plating or physical development is provided, it is a highly active and preferable method.
In the above aspect (2), in the exposed portion, the silver halide grains close to the physical development nucleus are dissolved and deposited on the development nucleus, whereby a light transmissive electromagnetic wave shielding film or a light transmissive electrode sheet is formed on the photosensitive material. A translucent conductive film such as is formed. This is also a black and white development type. Although the developing action is precipitation on physical development nuclei, it is highly active, but the developed silver obtained has a spherical shape with a small specific surface.
In the above aspect (3), the silver halide grains are dissolved and diffused in the unexposed area and deposited on the development nuclei on the image receiving sheet, whereby a light transmitting electromagnetic wave shielding film or a light transmitting electrode is formed on the image receiving sheet. A translucent conductive film such as a sheet is formed. This is a so-called two-sheet separate type in which the image receiving sheet is peeled off from the photosensitive material.
In either embodiment, either negative development processing or reversal development processing can be selected (in the case of the diffusion transfer method, negative development processing is possible by using an auto-positive type photosensitive material as the photosensitive material). .

ここでいう化学現像、熱現像、溶解物理現像、及び拡散転写現像は、当業界で通常用いられている用語どおりの意味であり、写真化学の一般教科書、例えば菊地真一著「写真化学」(共立出版社刊行)、C.E.K.Mees編「The Theory of Photographic Process,4th ed.」(Mcmillan社、1977年刊行)に解説されている。また、例えば、特開2004−184693号公報、同2004−334077号公報、同2005−010752号公報等に記載の技術を参照することもできる。   The chemical development, thermal development, dissolution physical development, and diffusion transfer development referred to here have the same meanings as are commonly used in the art, and a general textbook of photographic chemistry such as Shinichi Kikuchi, “Photochemistry” (Kyoritsu) Published by publisher), C.I. E. K. It is described in “The Theory of Photographic Process, 4th ed.” Edited by Mees (Mcmillan, 1977). Further, for example, the techniques described in JP-A Nos. 2004-184893, 2004-334077, and 2005-010752 can be referred to.

上記の(1)〜(3)の方式の中で、方式(1)が、現像前の感光層に物理現像核を有さないこと、2シートの拡散転写方式でないことから、方式(1)が最も簡便、安定な処理ができ、本発明の透明電極シートの製造には好ましい。以下、方式(1)での説明を記載するが、他の方式を用いる場合には上段記載の文献を参照することができる。尚、”溶解物理現像”は、方式(2)にのみ固有な現像法ではなく、方式(1)でも利用できる現像方法である。   Among the above methods (1) to (3), since the method (1) does not have a physical development nucleus in the photosensitive layer before development and is not a two-sheet diffusion transfer method, the method (1) Is the most convenient and stable treatment and is preferable for the production of the transparent electrode sheet of the present invention. In the following, the description of the method (1) will be described. However, when other methods are used, it is possible to refer to the document described in the upper part. The “dissolved physical development” is not a development method unique to the method (2) but a development method that can also be used in the method (1).

(ハロゲン化銀乳剤)
ハロゲン化銀乳剤に含有されるハロゲン元素は、塩素、臭素、ヨウ素及びフッ素のいずれであってもよく、これらを組み合わせでもよい。例えば、塩化銀、臭化銀、ヨウ化銀を主体としたハロゲン化銀が好ましく用いられ、さらに臭化銀や塩化銀を主体としたハロゲン化銀が好ましく用いられる。塩臭化銀、沃塩臭化銀、沃臭化銀もまた好ましく用いられる。より好ましくは、塩臭化銀、臭化銀、沃塩臭化銀、沃臭化銀であり、最も好ましくは、塩化銀50モル%以上を含有する塩臭化銀、沃塩臭化銀が用いられる。
(Silver halide emulsion)
The halogen element contained in the silver halide emulsion may be any of chlorine, bromine, iodine and fluorine, or a combination thereof. For example, silver halides mainly composed of silver chloride, silver bromide and silver iodide are preferably used, and silver halides mainly composed of silver bromide and silver chloride are preferably used. Silver chlorobromide, silver iodochlorobromide and silver iodobromide are also preferably used. More preferred are silver chlorobromide, silver bromide, silver iodochlorobromide and silver iodobromide, and most preferred are silver chlorobromide and silver iodochlorobromide containing 50 mol% or more of silver chloride. Used.

尚、ここで、「臭化銀を主体としたハロゲン化銀」とは、ハロゲン化銀組成中に占める臭化物イオンのモル分率が50%以上のハロゲン化銀をいう。この臭化銀を主体としたハロゲン化銀粒子は、臭化物イオンのほかに沃化物イオン、塩化物イオンを含有していてもよい。   Here, “silver halide mainly composed of silver bromide” refers to silver halide in which the molar fraction of bromide ions in the silver halide composition is 50% or more. The silver halide grains mainly composed of silver bromide may contain iodide ions and chloride ions in addition to bromide ions.

なお、ハロゲン化銀乳剤における沃化銀含有率は、ハロゲン化銀乳剤1モルあたり1.5mol%を超えない範囲であることが好ましい。沃化銀含有率を1.5mol%を超えない範囲とすることにより、カブリを防止し、圧力性を改善することができる。より好ましい沃化銀含有率は、ハロゲン化銀乳剤1モルあたり1mol%以下である。   The silver iodide content in the silver halide emulsion is preferably in a range not exceeding 1.5 mol% per mole of silver halide emulsion. By setting the silver iodide content in a range not exceeding 1.5 mol%, fogging can be prevented and the pressure property can be improved. A more preferred silver iodide content is 1 mol% or less per mole of silver halide emulsion.

ハロゲン化銀の平均粒子サイズ、ハロゲン化銀粒子の形状及び分散度と変動係数は、特開2009−188360号の段落36及び37の記載を参照することができる。また、ハロゲン化銀乳剤の安定化や高感化のために用いられるロジウム化合物、イリジウム化合物などのVIII族、VIIB族に属する金属化合物、パラジウム化合物の利用については、特開2009−188360号の段落39〜段落42の記載を参照することができる。さらに化学増感については、特開2009−188360号の段落43の技術記載を参照することができる。   Regarding the average grain size of silver halide, the shape and dispersion degree of silver halide grains, and the coefficient of variation, reference can be made to the descriptions in paragraphs 36 and 37 of JP-A-2009-188360. Regarding the use of metal compounds belonging to Group VIII and VIIB, such as rhodium compounds and iridium compounds, and palladium compounds, which are used for stabilizing and enhancing the sensitivity of silver halide emulsions, paragraph 39 of JP-A-2009-188360. -The description of paragraph 42 can be referred to. Further, regarding chemical sensitization, reference can be made to the technical description in paragraph 43 of JP-A-2009-188360.

ハロゲン化銀乳剤は、塩臭化銀乳剤であることがこのましい。また、現像前、現像中のカブリを抑制するために沃化銀を少量含有させることが好ましく、0.5モル%程度含ませることがより好ましい。以下では沃化銀を左記の程度含んでいても特に表示はしない。   The silver halide emulsion is preferably a silver chlorobromide emulsion. Further, before development, in order to suppress fogging during development, a small amount of silver iodide is preferably contained, more preferably about 0.5 mol%. In the following, no indication is given even if silver iodide is included to the extent shown on the left.

支持体の両面に形成される感光層51及び61に含まれる銀とバインダーの体積比は、1.0以上であることが好ましく、1.5以上であることがさらに好ましい。銀とバインダーの体積比を1.0以上とすることで、現像処理後の現像銀の導電性を高めることができる。尚、銀とバインダーの体積比は、ハロゲン化銀乳剤層に含まれる銀の質量及びバインダーの質量を算出し、銀の密度を10.5、バインダーの密度を1.34として計算して求めるものとする。   The volume ratio of silver and binder contained in the photosensitive layers 51 and 61 formed on both sides of the support is preferably 1.0 or more, and more preferably 1.5 or more. By setting the volume ratio of silver and binder to 1.0 or more, the conductivity of developed silver after development processing can be increased. The volume ratio of silver and binder is obtained by calculating the mass of silver and the mass of binder contained in the silver halide emulsion layer, and calculating the density of silver as 10.5 and the density of binder as 1.34. And

(バインダー)
ハロゲン化銀乳剤を含む感光層には、銀塩粒子を均一に分散させ、かつ乳剤層と支持体との密着を補助する目的でバインダーが用いられる。上記バインダーとしては、例えば、ゼラチン、カラギナン、ポリビニルアルコール(PVA)、ポリビニルピロリドン(PVP)、澱粉等の多糖類、セルロース及びその誘導体、ポリエチレンオキサイド、ポリサッカライド、ポリビニルアミン、キトサン、ポリリジン、ポリアクリル酸、ポリアルギン酸、ポリヒアルロン酸、カルボキシセルロース、アラビアゴム、アルギン酸ナトリウム等が挙げられが、ゼラチンが好ましい。
ゼラチンとしては石灰処理ゼラチンの他、酸処理ゼラチンを用いてもよく、ゼラチンの加水分解物、ゼラチン酵素分解物、その他アミノ基、カルボキシル基を修飾したゼラチン(フタル化ゼラチン、アセチル化ゼラチン)を使用することができる。
また、バインダーとしてラテックスを用いることもできる。ここでラテックスとしては、特開平2−103536号公報第18頁左下欄12行目から同20行目に記載のポリマーラテックスを好ましく用いることができる。
(binder)
In the photosensitive layer containing a silver halide emulsion, a binder is used for the purpose of uniformly dispersing silver salt grains and assisting the adhesion between the emulsion layer and the support. Examples of the binder include polysaccharides such as gelatin, carrageenan, polyvinyl alcohol (PVA), polyvinyl pyrrolidone (PVP), starch, cellulose and derivatives thereof, polyethylene oxide, polysaccharides, polyvinylamine, chitosan, polylysine, and polyacrylic acid. , Polyalginic acid, polyhyaluronic acid, carboxycellulose, gum arabic, sodium alginate and the like, and gelatin is preferred.
As gelatin, lime-processed gelatin or acid-processed gelatin may be used, and gelatin hydrolyzate, gelatin enzyme decomposition product, and other gelatins modified with amino groups and carboxyl groups (phthalated gelatin, acetylated gelatin) are used. can do.
Moreover, latex can also be used as a binder. Here, as the latex, the polymer latex described in JP-A-2-103536, page 18, lower left column, lines 12 to 20 can be preferably used.

感光層形成に用いられる溶媒は、特に限定されるものではないが、例えば、水、有機溶媒(例えば、メタノール等のアルコール類、アセトン等のケトン類、ホルムアミド等のアミド類、ジメチルスルホキシド等のスルホキシド類、酢酸エチル等のエステル類、エーテル類等)、イオン性液体、及びこれらの混合溶媒を挙げることができる。
感光層に用いられる溶媒の含有量は、感光層に含まれる銀塩、バインダー等の合計の質量に対して30〜90質量%の範囲であり、50〜80質量%の範囲であることが好ましい。
The solvent used for forming the photosensitive layer is not particularly limited. For example, water, organic solvents (for example, alcohols such as methanol, ketones such as acetone, amides such as formamide, sulfoxides such as dimethyl sulfoxide, etc. , Esters such as ethyl acetate, ethers, etc.), ionic liquids, and mixed solvents thereof.
The content of the solvent used in the photosensitive layer is in the range of 30 to 90% by mass and preferably in the range of 50 to 80% by mass with respect to the total mass of the silver salt and binder contained in the photosensitive layer. .

本実施の形態に用いられる各種添加剤に関しては、特に制限は無く、公知のものを好ましく用いることができる。例えば、各種マット剤を用いることができ、これにより、表面粗さをコントロールすることができる。なお、マット剤は現像処理後に残存し透明性を阻害しない、処理工程で溶解する素材のものが好ましい。   There are no particular restrictions on the various additives used in the present embodiment, and known ones can be preferably used. For example, various matting agents can be used, and thereby the surface roughness can be controlled. The matting agent is preferably made of a material that remains after development processing and does not impair the transparency and dissolves in the processing step.

(保護層)
感光層51,61の上には、上述した保護層72が設けられる。
(その他の層構成)
本発明の感光層と支持体との間には、アンチハレーション層57及び67を設けることができる。アンチハレーション層に用いる材料とその使用方法については、特開2009−188360号の段落29から32の記載を参照することができる。アンチハレーション層の光学濃度は露光光の強さや波長によっても異なるが、0.5から3.0程度が好ましい。
(Protective layer)
The protective layer 72 described above is provided on the photosensitive layers 51 and 61.
(Other layer structure)
Antihalation layers 57 and 67 can be provided between the photosensitive layer of the present invention and the support. Regarding the material used for the antihalation layer and the method of using the same, the description in paragraphs 29 to 32 of JP-A-2009-188360 can be referred to. The optical density of the antihalation layer varies depending on the intensity and wavelength of exposure light, but is preferably about 0.5 to 3.0.

〔製造方法〕
次に、上述のタッチパネルの製造方法について説明する。ここでは、図1に示したタッチパネル1の製造工程を例にとって説明する。
図11は、支持体10上に銀導線パターン70を形成するパターン形成工程を示す。
図11の(a)は支持体10であり、(b)はこの支持体の両面に上部感光材料層50と、下部感光材料層60とを塗布により設けた本発明の感光材05を表し、(c)は本発明の感光材料にフォトマスクを通して露光した図を表し、(d)は、露光に引き続く現像定着処理により形成された現像銀電極を表す。以下では露光以降の各工程について説明する。
〔Production method〕
Next, a method for manufacturing the touch panel described above will be described. Here, the manufacturing process of the touch panel 1 shown in FIG. 1 will be described as an example.
FIG. 11 shows a pattern forming process for forming the silver conducting wire pattern 70 on the support 10.
11A shows the support 10, and FIG. 11B shows the photosensitive material 05 of the present invention in which the upper photosensitive material layer 50 and the lower photosensitive material layer 60 are provided on both surfaces of the support by coating. (C) represents a diagram of the photosensitive material of the present invention exposed through a photomask, and (d) represents a developed silver electrode formed by a development fixing process subsequent to exposure. Below, each process after exposure is demonstrated.

〔露光]
本発明の感光材05は、支持体の両面に感光層が形成された感材であるため、本発明では図12の(c)のように感光材料の両面に光を照射102a及び102bして露光する。光照射は、感光材料にフォトマスク110と120を介して行う。フォトマスク110と120は、導線パターン70を現像銀により形成するために用いるマスクであるから、フォトマスク110と120は、図7と図8の電極の細線に相当する部分が光透過するマスクである。従って、フォトマスク110と120とは同一ではなく異なったパターンのマスクである。以上の説明のように、111と121とはマスクの開口部、112と122とはマスクの遮光部である。マスクの開口部を透過した光は感光層の131、141の部分のハロゲン化銀乳剤に潜像を形成する。この潜像が形成された131と141の部分は、次の現像処理により現像銀のパターンを形成する。マスクの遮光部により露光されなかった、感光材料の未感光部132、142は定着処理により感光しなかったハロゲン化銀乳剤粒子が溶解し層内から流出し、透明な膜152、162となる。
〔exposure]
Since the photosensitive material 05 of the present invention is a photosensitive material having a photosensitive layer formed on both sides of a support, in the present invention, light is irradiated 102a and 102b on both sides of the photosensitive material as shown in FIG. Exposure. Light irradiation is performed on the photosensitive material through photomasks 110 and 120. Since the photomasks 110 and 120 are masks used for forming the conductive pattern 70 with developed silver, the photomasks 110 and 120 are masks that transmit light in portions corresponding to the thin lines of the electrodes in FIGS. is there. Therefore, the photomasks 110 and 120 are not the same, but are masks with different patterns. As described above, 111 and 121 are mask openings, and 112 and 122 are mask light shielding portions. The light transmitted through the opening of the mask forms a latent image on the silver halide emulsion at portions 131 and 141 of the photosensitive layer. The portions 131 and 141 where the latent image is formed form a developed silver pattern by the next development process. In the unexposed portions 132 and 142 of the photosensitive material that are not exposed by the light shielding portion of the mask, the silver halide emulsion grains that are not exposed by the fixing process are dissolved and flow out of the layers to form transparent films 152 and 162.

上記のように、異なったパターンのマスクを用いて感光材料の両面からの露光をする場合は、以下のような問題が発生する。フォトマスク110の開口部111を透過した光は、感光材料の131の部分に潜像を形成するが、余分の光は支持体をも透過し、反対面の感光層61にも予期しない潜像を形成してしまう。このような問題は露光量の調節のみでは難しく、感光層51を透過した光を吸収する光学濃度をもつアンチハレーション層57及び67を感光材料に設けることで対処できる。別の方法としては、感光層51と61のハロゲン化銀乳剤の感色性を増感色素により変える方法もある。   As described above, when exposure is performed from both sides of the photosensitive material using masks having different patterns, the following problems occur. The light transmitted through the opening 111 of the photomask 110 forms a latent image on the portion 131 of the photosensitive material, but the excess light also transmits through the support, and an unexpected latent image is also formed on the photosensitive layer 61 on the opposite surface. Will be formed. Such a problem is difficult only by adjusting the exposure amount, and can be dealt with by providing the photosensitive material with antihalation layers 57 and 67 having an optical density that absorbs light transmitted through the photosensitive layer 51. Another method is to change the color sensitivity of the silver halide emulsions of the photosensitive layers 51 and 61 with a sensitizing dye.

図12は本発明における露光装置のモデル図である。2つの光源100aと100bからの光はレンズにより平行光となり、前述のマスクを通して感光材料の両面を露光する。図12における光源からフォトマスクまでで構成される露光装置部は、2つの露光装置の位置決めが厳密になされる。フォトマスク110と120により形成された銀像が均一パターンとなるように厳密な位置決めがなされる。2枚の電極シート20,25を組み合わせてタッチパネル2〜4を構成する図2〜図4のような態様では、2枚の電極シート20,25の位置決めを、各セットごとに行う必要があり、本件のような両面型に比べて生産性が大きく劣る。   FIG. 12 is a model diagram of an exposure apparatus according to the present invention. The light from the two light sources 100a and 100b is converted into parallel light by the lens, and both surfaces of the photosensitive material are exposed through the mask. In the exposure apparatus unit including the light source to the photomask in FIG. 12, the positioning of the two exposure apparatuses is strictly performed. Strict positioning is performed so that the silver image formed by the photomasks 110 and 120 has a uniform pattern. In the aspect as shown in FIGS. 2 to 4 in which the two electrode sheets 20 and 25 are combined to form the touch panel 2 to 4, it is necessary to position the two electrode sheets 20 and 25 for each set. Productivity is greatly inferior compared to the double-sided type as in this case.

露光の光源としては、電磁波を用いることができる。電磁波としては、例えば、可視光線、紫外線等の光、X線等の放射線等が挙げられる。さらに露光には波長分布を有する光源を利用してもよく、特定の波長の光源を用いてもよい。
露光方法は、図12のような面露光であってもよいし、図12のようなマスクを介するのではなく、走査露光であることも好ましい。
An electromagnetic wave can be used as a light source for exposure. Examples of the electromagnetic wave include light such as visible light and ultraviolet light, and radiation such as X-rays. Furthermore, a light source having a wavelength distribution may be used for exposure, or a light source having a specific wavelength may be used.
The exposure method may be a surface exposure as shown in FIG. 12, or a scanning exposure instead of using a mask as shown in FIG.

以上のようにして、本発明の電極シート製造用感光材料の両面に、像様パターン露光を施し、次いで現像処理することにより、現像銀の導電性細線からなるおもて面透明電極と、現像銀の導電性細線からなるうら面透明電極とを、支持体の両面に形成することができる(パターン形成工程)。
また、上記のようにして形成された電極シートは、おもて面透明電極の導通方向と、うら面透明電極の導通方向とは、互いに直交配置となるように露光され、その後現像処理されて形成される。
As described above, both the surface of the photosensitive material for producing an electrode sheet of the present invention are subjected to image-like pattern exposure, and then developed, whereby a front surface transparent electrode composed of developed thin conductive silver wires and development. Backside transparent electrodes made of silver conductive fine wires can be formed on both sides of the support (pattern forming step).
In addition, the electrode sheet formed as described above is exposed so that the conduction direction of the front transparent electrode and the conduction direction of the back transparent electrode are arranged orthogonal to each other, and then developed. It is formed.

(現像処理)
本実施の形態では、感光層を露光した後、さらに現像処理が行われる。現像処理は、銀塩写真フイルムや印画紙、印刷製版用フイルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる通常の現像処理の技術を用いることができる。現像液については特に限定はしないが、PQ現像液、MQ現像液、MAA現像液等を用いることもでき、市販品では、例えば、富士フイルム社処方のCN−16、CR−56、CP45X、FD−3、パピトール、KODAK社処方のC−41、E−6、RA−4、D−19、D−72等の現像液、又はそのキットに含まれる現像液を用いることができる。また、リス現像液を用いることもできる。
(Development processing)
In the present embodiment, after the photosensitive layer is exposed, further development processing is performed. The development processing can be performed by a normal development processing technique used for silver salt photographic film, photographic paper, printing plate-making film, photomask emulsion mask, and the like. The developer is not particularly limited, but a PQ developer, MQ developer, MAA developer and the like can also be used. Commercially available products include, for example, CN-16, CR-56, CP45X, and FD prescribed by FUJIFILM Corporation. -3, Papitol, a developer such as C-41, E-6, RA-4, D-19, D-72, etc. formulated by KODAK, or a developer included in the kit can be used. A lith developer can also be used.

本発明における現像処理は、未露光部分の銀塩を除去して安定化させる目的で行われる定着処理を含むことができる。本発明における定着処理は、銀塩写真フイルムや印画紙、印刷製版用フイルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる定着処理の技術を用いることができる。
上記定着工程における定着温度は、約20℃〜約50℃が好ましく、さらに好ましくは25〜45℃である。また、定着時間は5秒〜1分が好ましく、さらに好ましくは7秒〜50秒である。定着液の補充量は、感光材05の処理量に対して600ml/m以下が好ましく、500ml/m以下がさらに好ましく、300ml/m以下が特に好ましい。
The development processing in the present invention can include a fixing processing performed for the purpose of removing and stabilizing the silver salt in the unexposed portion. For the fixing process in the present invention, a fixing process technique used for silver salt photographic film, photographic paper, film for printing plate making, emulsion mask for photomask, and the like can be used.
The fixing temperature in the fixing step is preferably about 20 ° C. to about 50 ° C., more preferably 25 to 45 ° C. The fixing time is preferably 5 seconds to 1 minute, more preferably 7 seconds to 50 seconds. The replenishing amount of the fixing solution is preferably 600 ml / m 2 or less with respect to the processing of the photosensitive material 05, more preferably 500 ml / m 2 or less, 300 ml / m 2 or less is particularly preferred.

現像、定着処理を施した感光材05は、水洗処理や安定化処理を施されるのが好ましい。上記水洗処理又は安定化処理においては、水洗水量は通常感光材料1m当り、20リットル以下で行われ、3リットル以下の補充量(0も含む、すなわちため水水洗)で行うこともできる。
現像処理後の露光部(導電パターン)に含まれる金属銀の質量は、露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して50質量%以上の含有率であることが好ましく、80質量%以上であることがさらに好ましい。露光部に含まれる銀の質量が露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して50質量%以上であれば、高い導電性を得ることができるため好ましい。
The photosensitive material 05 that has been subjected to development and fixing processing is preferably subjected to water washing processing and stabilization processing. In the water washing treatment or the stabilization treatment, the washing water amount is usually 20 liters or less per 1 m 2 of the light-sensitive material, and can be replenished in 3 liters or less (including 0, ie, rinsing with water).
The mass of the metallic silver contained in the exposed portion (conductive pattern) after the development treatment is preferably a content of 50% by mass or more with respect to the mass of silver contained in the exposed portion before the exposure, and 80 mass. % Or more is more preferable. If the mass of silver contained in the exposed portion is 50% by mass or more based on the mass of silver contained in the exposed portion before exposure, it is preferable because high conductivity can be obtained.

本実施の形態における現像処理後の階調は、特に限定されるものではないが、4.0を超えることが好ましい。現像処理後の階調が4.0を超えると、光透過性部の透光性を高く保ったまま、導電性金属部の導電性を高めることができる。階調を4.0以上にする手段としては、例えば、前述のロジウムイオン、イリジウムイオンのドープ、また、現像処理液中に、ポリエチレンオキサイド誘導体を含有すること等が挙げられる。   The gradation after the development processing in the present embodiment is not particularly limited, but is preferably more than 4.0. When the gradation after the development processing exceeds 4.0, the conductivity of the conductive metal portion can be increased while keeping the light transmissive property of the light transmissive portion high. Examples of means for setting the gradation to 4.0 or higher include doping of the aforementioned rhodium ions and iridium ions, and containing a polyethylene oxide derivative in the developing solution.

(現像処理後の硬膜処理)
感光層に対して現像処理を行った後に、硬膜剤に浸漬して硬膜処理を行うことが好ましい。硬膜剤としては、例えば、カリ明礬、グルタルアルデヒド、アジポアルデヒド、2,3−ジヒドロキシ−1,4−ジオキサン等のジアルデヒド類及びほう酸等の特開平2−141279号に記載のものを挙げることができる。
(Hardening after development)
It is preferable to carry out the film hardening process by immersing the film in a hardening agent after developing the photosensitive layer. Examples of the hardener include dialdehydes such as potassium alum, glutaraldehyde, adipaldehyde, 2,3-dihydroxy-1,4-dioxane, and those described in JP-A-2-141279 such as boric acid. be able to.

次に、導電性インクまたは導電性ペーストを用いて配線40,45を形成する配線形成工程を実施する。導電性インクとしては、一般的なものを使用できる。また、特開2009−99561号公報に記載された導電性ペーストや導電性インクも用いることができる。   Next, a wiring forming process for forming the wirings 40 and 45 using a conductive ink or a conductive paste is performed. As the conductive ink, a general ink can be used. Moreover, the conductive paste and conductive ink described in JP2009-99561A can also be used.

以上の工程を経て透明電極シートが得られるが、得られた透明電極シートの表面抵抗は0.1〜100オーム/sq.の範囲にあることが好ましく、1〜50オーム/sq.の範囲にあることがさらに好ましく、1〜10オーム/sq.の範囲にあることがより好ましい。
また、得られた透明電極シートの体積抵抗率は160μオームcm以下であることが好ましく、1.6〜16μオームcmの範囲にあることがさらに好ましく、1.6〜10μオームcmの範囲にあることがより好ましい。
A transparent electrode sheet is obtained through the above steps. The surface resistance of the obtained transparent electrode sheet is 0.1 to 100 ohm / sq. In the range of 1 to 50 ohm / sq. Is more preferably in the range of 1 to 10 ohm / sq. It is more preferable that it is in the range.
The volume resistivity of the obtained transparent electrode sheet is preferably 160 μΩ · cm or less, more preferably in the range of 1.6 to 16 μΩcm, and in the range of 1.6 to 10 μΩcm. It is more preferable.

(カレンダー処理)
本実施の形態の製造方法では、現像処理済みの透明電極シートに平滑化処理を施す。これによって透明電極シートの導電性が顕著に増大する。平滑化処理は、例えばカレンダーロールにより行うことができる。カレンダーロールは、通常、一対のロールからなる。以下、カレンダーロールを用いた平滑化処理をカレンダー処理と記す。
(Calendar processing)
In the manufacturing method of the present embodiment, a smoothing process is performed on the transparent electrode sheet that has been developed. This significantly increases the conductivity of the transparent electrode sheet. The smoothing process can be performed by, for example, a calendar roll. The calendar roll usually consists of a pair of rolls. Hereinafter, the smoothing process using the calendar roll is referred to as a calendar process.

カレンダー処理に用いられるロールとしては、エポキシ、ポリイミド、ポリアミド、ポリイミドアミド等のプラスチックロール又は金属ロールが用いられる。特に、両面に乳剤層を有する場合は、金属ロール同士で処理することが好ましい。片面に乳剤層を有する場合は、シワ防止の点から金属ロールとプラスチックロールの組み合わせとすることもできる。線圧力の上限値は1960N/cm(200kgf/cm)、面圧に換算すると699.4kgf/cm)以上、さらに好ましくは2940N/cm(300kgf/cm、面圧に換算すると935.8kgf/cm)以上である。線圧力の上限値は、6880N/cm(700kgf/cm)以下である。
カレンダーロールで代表される平滑化処理の適用温度は10℃(温調なし)〜100℃が好ましく、より好ましい温度は、金属メッシュパターンや金属配線パターンの画線密度や形状、バインダー種によって異なるが、おおよそ10℃(温調なし)〜50℃の範囲にある。
As a roll used for the calendar process, a plastic roll or a metal roll such as epoxy, polyimide, polyamide, polyimide amide or the like is used. In particular, when emulsion layers are provided on both sides, it is preferable to treat with metal rolls. When an emulsion layer is provided on one side, a combination of a metal roll and a plastic roll can be used from the viewpoint of preventing wrinkles. The upper limit of the linear pressure is 1960 N / cm (200 kgf / cm), 699.4 kgf / cm 2 or more when converted to surface pressure, more preferably 2940 N / cm (300 kgf / cm, 935.8 kgf / cm 2 when converted to surface pressure). ) That's it. The upper limit of the linear pressure is 6880 N / cm (700 kgf / cm) or less.
The application temperature of the smoothing treatment represented by the calender roll is preferably 10 ° C. (no temperature control) to 100 ° C., and the more preferable temperature varies depending on the line density and shape of the metal mesh pattern and metal wiring pattern, and the binder type. , Approximately 10 ° C. (no temperature control) to 50 ° C.

(蒸気に接触させる処理)
そして、本実施の形態の製造方法では、平滑化処理された導電パターンを蒸気に接触させるようにしてもよい(蒸気接触工程)。この蒸気接触工程は、平滑化処理された透明電極シートを、過熱蒸気に接触させる方法と、平滑化処理された導線パターン70を、加圧蒸気(加圧された飽和蒸気)に接触させる方法とがある。これにより短時間で簡便に導電性及び透明性を向上させることができる。水溶性バインダの一部が除去されて金属(導電性物質)同士の結合部位が増加しているものと考えられる。
(Treatment in contact with steam)
In the manufacturing method of the present embodiment, the smoothed conductive pattern may be brought into contact with steam (steam contact process). In this vapor contact step, the smoothed transparent electrode sheet is brought into contact with superheated steam, and the smoothed conductive wire pattern 70 is brought into contact with pressurized steam (pressurized saturated steam). There is. Thereby, electroconductivity and transparency can be improved simply in a short time. It is considered that a part of the water-soluble binder is removed and the bonding sites between the metals (conductive substances) are increased.

(水洗処理)
本実施の形態の製造方法では、透明電極シートを過熱蒸気又は加圧蒸気に接触させた後に水洗処理することが好ましい。蒸気接触処理後に水洗することで、過熱蒸気又は加圧蒸気で溶解又は脆くなったバインダーを洗い流すことができ、これにより、導電性を向上させることができる。
(Washing treatment)
In the manufacturing method of this Embodiment, it is preferable to wash with water after making a transparent electrode sheet contact superheated steam or pressurized steam. By washing with water after the steam contact treatment, the binder dissolved or brittle with superheated steam or pressurized steam can be washed away, whereby the conductivity can be improved.

(めっき処理)
本実施の形態においては、上述した平滑化処理を行ってもよいし、透明電極シートに対してめっき処理を行ってもよい。めっき処理により、さらに表面抵抗を低減でき、導電性を高めることができる。平滑化処理は、めっき処理の前段又は後段のいずれで行ってもよいが、めっき処理の前段で行うことで、めっき処理が効率化され均一なめっき層が形成される。めっき処理としては、電解めっきでも無電解めっきでもよい。まためっき層の構成材料は十分な導電性を有する金属が好ましく、銅が好ましい。
(Plating treatment)
In this Embodiment, the smoothing process mentioned above may be performed and a plating process may be performed with respect to a transparent electrode sheet. By plating, the surface resistance can be further reduced and the conductivity can be increased. The smoothing treatment may be performed either before or after the plating treatment. However, by performing the smoothing treatment before the plating treatment, the plating treatment is made efficient and a uniform plating layer is formed. The plating treatment may be electrolytic plating or electroless plating. Further, the constituent material of the plating layer is preferably a metal having sufficient conductivity, and copper is preferable.

(酸化処理)
本実施の形態では、現像処理後の透明電極シート、並びに、めっき処理によって形成された導電性金属部には、酸化処理を施すことが好ましい。酸化処理を行うことにより、例えば、光透過性部に金属が僅かに沈着していた場合に、該金属を除去し、光透過性部の透過性をほぼ100%にすることができる。
(Oxidation treatment)
In the present embodiment, it is preferable to oxidize the transparent electrode sheet after the development process and the conductive metal part formed by the plating process. By performing the oxidation treatment, for example, when a metal is slightly deposited on the light transmissive portion, the metal can be removed and the light transmissive portion can be made almost 100% transparent.

本発明の上記の両面電極シートはタッチパネル、特に静電容量方式のタッチパネルに好ましく用いられる。   The double-sided electrode sheet of the present invention is preferably used for a touch panel, particularly a capacitive touch panel.

なお、本発明は、下記表1に記載の公開公報及び国際公開パンフレットの技術と適宜組合わせて使用することができる。「特開」、「号公報」、「号パンフレット」等の表記は省略する。但し、日本の公開公報は、2004−221564のように年号のあとをハイフンで表示し、国際公開パンフレットは、2006/001461のように年号のあとをスラッシュで表示した。   In addition, this invention can be used in combination with the technique of the publication gazette and international publication pamphlet of following Table 1 suitably. Notations such as “JP,” “Gazette” and “No. Pamphlet” are omitted. However, Japanese publications have hyphens after the year, as in 2004-221564, and international pamphlets have a slash after the year, as in 2006/001461.

Figure 0005463315
Figure 0005463315

以下に本発明の実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。なお、以下の実施例に示される材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができる。したがって、本発明の範囲は以下に示す具体例により限定的に解釈されるべきものではない。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples of the present invention. In addition, the material, usage-amount, ratio, processing content, processing procedure, etc. which are shown in the following Examples can be changed suitably unless it deviates from the meaning of this invention. Therefore, the scope of the present invention should not be construed as being limited by the specific examples shown below.

実施例1
(ハロゲン化銀乳剤の調製)
38℃、pH4.5に保たれた下記1液に、下記の2液及び3液の各々90%に相当する量を攪拌しながら同時に20分間にわたって加え、0.16μmの核粒子を形成した。続いて下記4液、5液を8分間にわたって加え、さらに、下記の2液及び3液の残りの10%の量を2分間にわたって加え、0.21μmまで成長させた。さらに、ヨウ化カリウム0.15gを加え5分間熟成し粒子形成を終了した。
Example 1
(Preparation of silver halide emulsion)
To the following 1 liquid maintained at 38 ° C. and pH 4.5, an amount corresponding to 90% of each of the following 2 and 3 liquids was added simultaneously over 20 minutes with stirring to form 0.16 μm core particles. Subsequently, the following 4 liquid and 5 liquid were added over 8 minutes, and the remaining 10% of the following 2 liquid and 3 liquid were further added over 2 minutes to grow to 0.21 μm. Further, 0.15 g of potassium iodide was added and ripened for 5 minutes to complete grain formation.

1液:
水 750ml
ゼラチン(フタル化処理ゼラチン) 8g
塩化ナトリウム 3g
1,3−ジメチルイミダゾリジン−2−チオン 20mg
ベンゼンチオスルホン酸ナトリウム 10mg
クエン酸 0.7g
2液:
水 300ml
硝酸銀 150g
3液:
水 300ml
塩化ナトリウム 38g
臭化カリウム 32g
ヘキサクロロイリジウム(III)酸カリウム
(0.005%KCl 20%水溶液) 5ml
ヘキサクロロロジウム酸アンモニウム
(0.001%NaCl 20%水溶液) 7ml
4液:
水 100ml
硝酸銀 50g
5液:
水 100ml
塩化ナトリウム 13g
臭化カリウム 11g
黄血塩 5mg
1 liquid:
750 ml of water
Gelatin (phthalated gelatin) 8g
Sodium chloride 3g
1,3-Dimethylimidazolidine-2-thione 20mg
Sodium benzenethiosulfonate 10mg
Citric acid 0.7g
Two liquids:
300 ml of water
150 g silver nitrate
3 liquids:
300 ml of water
Sodium chloride 38g
Potassium bromide 32g
Hexachloroiridium (III) potassium salt
(0.005% KCl 20% aqueous solution) 5 ml
Ammonium hexachlororhodate
(0.001% NaCl 20% aqueous solution) 7 ml
4 liquids:
100ml water
Silver nitrate 50g
5 liquids:
100ml water
Sodium chloride 13g
Potassium bromide 11g
Yellow blood salt 5mg

その後、常法にしたがってフロキュレーション法によって水洗した。具体的には、温度を35℃に下げ、硫酸を用いてハロゲン化銀が沈降するまでpHを下げた(pH3.6±0.2の範囲であった)。次に、上澄み液を約3リットル除去した(第一水洗)。さらに3リットルの蒸留水を加えてから、ハロゲン化銀が沈降するまで硫酸を加えた。再度、上澄み液を3リットル除去した(第二水洗)。第二水洗と同じ操作をさらに1回繰り返して(第三水洗)、水洗・脱塩行程を終了した。水洗・脱塩後の乳剤をpH6.4、pAg7.5に調整し、ベンゼンチオスルホン酸ナトリウム10mg、ベンゼンチオスルフィン酸ナトリウム3mg、チオ硫酸ナトリウム15mgと塩化金酸10mgを加え55℃にて最適感度を得るように化学増感を施し、安定剤として1,3,3a,7−テトラアザインデン100mg、防腐剤としてプロキセル(商品名、ICI Co.,Ltd.製)100mgを加えた。最終的に得られた乳剤は、沃化銀を0.08モル%含み、塩臭化銀の比率を塩化銀70モル%、臭化銀30モル%とする、平均粒子径0.22μm、変動係数9%のヨウ塩臭化銀立方体粒子乳剤であった。   Then, it washed with water by the flocculation method according to a conventional method. Specifically, the temperature was lowered to 35 ° C., and the pH was lowered using sulfuric acid until the silver halide precipitated (the pH was in the range of 3.6 ± 0.2). Next, about 3 liters of the supernatant was removed (first water washing). Further, 3 liters of distilled water was added, and sulfuric acid was added until the silver halide settled. Again, 3 liters of the supernatant was removed (second water wash). The same operation as the second water washing was further repeated once (third water washing) to complete the water washing / desalting process. The emulsion after washing and desalting is adjusted to pH 6.4 and pAg 7.5, and 10 mg of sodium benzenethiosulfonate, 3 mg of sodium benzenethiosulfinate, 15 mg of sodium thiosulfate and 10 mg of chloroauric acid are added. And 1,3,3a, 7-tetraazaindene (100 mg) as a stabilizer and 100 mg of proxel (trade name, manufactured by ICI Co., Ltd.) as a preservative were added. The finally obtained emulsion contains 0.08 mol% of silver iodide, and the ratio of silver chlorobromide is 70 mol% of silver chloride and 30 mol% of silver bromide. It was a silver iodochlorobromide cubic grain emulsion having a coefficient of 9%.

(感光層塗布液の調製)
上記乳剤に1,3,3a,7−テトラアザインデン1.2×10-4モル/モルAg、ハイドロキノン1.2×10-2モル/モルAg、クエン酸3.0×10-4モル/モルAg、2,4−ジクロロ−6−ヒドロキシ−1,3,5−トリアジンナトリウム塩0.90g/モルAg、微量の硬膜剤を添加し、クエン酸を用いて塗布液pHを5.6に調整して、感光層塗布液を調製した。この感光層塗布液の組成を基準として、ゼラチンの添加量を調節し、塗布液を準備した。
(Preparation of photosensitive layer coating solution)
1,3,3a, 7-tetraazaindene 1.2 × 10 −4 mol / mol Ag, hydroquinone 1.2 × 10 −2 mol / mol Ag, citric acid 3.0 × 10 −4 mol / Mol Ag, 2,4-dichloro-6-hydroxy-1,3,5-triazine sodium salt 0.90 g / mol Ag, a trace amount of hardener was added, and the coating solution pH was adjusted to 5.6 using citric acid. To prepare a photosensitive layer coating solution. Based on the composition of the photosensitive layer coating solution, the amount of gelatin added was adjusted to prepare a coating solution.

(保護層塗布液の調製)
実施例1においてはゼラチン水溶液に塗布助剤を添加し、塗布液を調製した。この塗布液を支持体上にゼラチン0.3g/mとなるように塗布した。
実施例2においては、実施例1に対し、ゼラチン塗布量を0.2g/mとなるように塗布液・塗布量を調整した。
実施例6においては、実施例1に対し、ゼラチン塗布量を0.05g/mとなるように塗布液・塗布量を調整した。
実施例7においては、実施例1に対し、ゼラチン塗布量を0.1g/mとなるように塗布液・塗布量を調整した。
実施例11〜12においては、実施例1に対し、ゼラチン塗布量を0.3g/mとなるように塗布液・塗布量を調整した。
実施例3においては、ゼラチン水溶液に塗布助剤、コロイダルシリカ(日産化学工業社製 スノーテックスC:粒子径10〜20nm)を添加し、塗布液を調製した。この塗布液を支持体上にゼラチン0.3g/m、コロイダルシリカを10mg/mとなるように塗布した。
実施例4、5においては、実施例3に対し、コロイダルシリカを20mg/mとなるように塗布した。
実施例8においては、ゼラチン水溶液に塗布助剤、下記シリコーンオイル(粒度分布の中心値:0.18μm、信越化学工業株式会社製)を添加し、塗布液を調製した。この塗布液を支持体上にゼラチン0.3g/m、シリコーンオイルを50mg/mとなるように塗布した。
(Preparation of protective layer coating solution)
In Example 1, a coating aid was prepared by adding a coating aid to an aqueous gelatin solution. This coating solution was coated on a support so as to give gelatin of 0.3 g / m 2 .
In Example 2, the coating solution and the coating amount were adjusted so that the gelatin coating amount was 0.2 g / m 2 compared to Example 1.
In Example 6, with respect to Example 1, the coating solution and the coating amount were adjusted so that the gelatin coating amount was 0.05 g / m 2 .
In Example 7, with respect to Example 1, the coating solution and the coating amount were adjusted so that the gelatin coating amount was 0.1 g / m 2 .
In Examples 11 to 12, with respect to Example 1, the coating solution and the coating amount were adjusted so that the gelatin coating amount was 0.3 g / m 2 .
In Example 3, a coating aid, colloidal silica (Snowtex C, manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd., particle size: 10 to 20 nm) was added to an aqueous gelatin solution to prepare a coating solution. This coating solution was coated on a support so that gelatin was 0.3 g / m 2 and colloidal silica was 10 mg / m 2 .
In Examples 4 and 5, colloidal silica was applied to Example 3 so as to be 20 mg / m 2 .
In Example 8, a coating aid and the following silicone oil (median value of particle size distribution: 0.18 μm, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) were added to an aqueous gelatin solution to prepare a coating solution. This coating solution was coated on a support so that gelatin was 0.3 g / m 2 and silicone oil was 50 mg / m 2 .

Figure 0005463315
Figure 0005463315

実施例9においては、ゼラチン水溶液に塗布助剤、下記流動パラフィン(粒度分布の中央値:1.8μm、ISP社製)を添加し、塗布液を調製。この塗布液を支持体上にゼラチン0.3g/m、流動パラフィンを50mg/mとなるように塗布した。
−(CH)n− (n=15〜50)
実施例10においては、ゼラチン水溶液に塗布助剤、ポリメタクリル酸メチル(PMMA)粒子(粒度分布の中心値:3.0μm、藤倉化成株式会社製)を添加し、塗布液を調製した。この塗布液を支持体上にゼラチン0.3g/m、PMMA粒子を200mg/mとなるように塗布した。
In Example 9, a coating aid and the following liquid paraffin (median particle size distribution: 1.8 μm, manufactured by ISP) were added to an aqueous gelatin solution to prepare a coating solution. This coating solution was coated on a support so that gelatin was 0.3 g / m 2 and liquid paraffin was 50 mg / m 2 .
- (CH 2) n- (n = 15~50)
In Example 10, a coating aid and polymethyl methacrylate (PMMA) particles (median size distribution: 3.0 μm, manufactured by Fujikura Kasei Co., Ltd.) were added to an aqueous gelatin solution to prepare a coating solution. This coating solution was coated on a support so that gelatin was 0.3 g / m 2 and PMMA particles were 200 mg / m 2 .

100μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムにコロナ放電処理を施した後、厚み0.1μmのゼラチン下塗り層、更に下塗り層の上に光学濃度が約1.0で現像液のアルカリにより脱色する染料を含むアンチハレーション層を、設けて支持体とした。この支持体に、上記で調製、準備した感光層塗布液を塗布した。
感光層の上に、保護層の厚みが0.3μmとなるように保護層塗布液を塗布した。感光層と保護層とは同時塗布機を用いて塗布し、感光材を作成した。
After a corona discharge treatment is applied to a 100 μm polyethylene terephthalate (PET) film, a gelatin subbing layer having a thickness of 0.1 μm, and further, a dye that has an optical density of about 1.0 and is decolorized by an alkali of the developer on the subbing layer An antihalation layer was provided as a support. The photosensitive layer coating solution prepared and prepared above was applied to this support.
A protective layer coating solution was applied on the photosensitive layer so that the thickness of the protective layer was 0.3 μm. The photosensitive layer and the protective layer were coated using a simultaneous coating machine to prepare a photosensitive material.

(露光・現像処理)
次に、上記で作成した感光材に露光を施した。光源には高圧水銀ランプを用い、図6のパターン形成用のマスクを用いて露光した。用いたマスクの光透過用の窓は、それぞれ図6と同じパターンであり、導線パターンの線幅は3μm、格子の辺長は300μmである。
露光後、下記の現像液で現像し、さらに定着液(商品名:CN16X用N3X−R:富士フイルム株式会社製)を用いて現像処理を行った後、純水でリンスし、乾燥した。このようにして現像銀を含む導電性細線からなる電極を作成した(体積抵抗率15μΩcm)。
(Exposure and development processing)
Next, the photosensitive material prepared above was exposed. A high pressure mercury lamp was used as the light source, and exposure was performed using the mask for pattern formation shown in FIG. The light transmission windows of the mask used have the same pattern as that in FIG. 6, the line width of the conductor pattern is 3 μm, and the side length of the grating is 300 μm.
After exposure, the film was developed with the following developer, developed with a fixer (trade name: N3X-R for CN16X: manufactured by Fuji Film Co., Ltd.), rinsed with pure water, and dried. In this way, an electrode made of a conductive thin wire containing developed silver was produced (volume resistivity 15 μΩcm).

(現像液の組成)
現像液1リットル(L)中に、以下の化合物が含まれる。
ハイドロキノン 0.037mol/L
N−メチルアミノフェノール 0.016mol/L
メタホウ酸ナトリウム 0.140mol/L
水酸化ナトリウム 0.360mol/L
臭化ナトリウム 0.031mol/L
メタ重亜硫酸カリウム 0.187mol/L
(Developer composition)
The following compounds are contained in 1 liter (L) of the developer.
Hydroquinone 0.037mol / L
N-methylaminophenol 0.016 mol / L
Sodium metaborate 0.140 mol / L
Sodium hydroxide 0.360 mol / L
Sodium bromide 0.031 mol / L
Potassium metabisulfite 0.187 mol / L

(配線の作成)
上記のように作成した導線パターンの端部に、藤倉化成社:ドータイトシリーズのFA−401CA(体積抵抗率3×10−5Ω・cm)を導電性インクとして用いて、10μmの膜厚でかつ100μmの線幅の配線をスクリーン印刷によって形成した。
(Creation of wiring)
At the end of the conductor pattern created as described above, Fujikura Kasei Co., Ltd .: Dotite series FA-401CA (volume resistivity 3 × 10 −5 Ω · cm) was used as the conductive ink, and the film thickness was 10 μm. A wiring having a line width of 100 μm was formed by screen printing.

上記のようにして実施例1の電極シートを得た。
実施例1において、下記表2の保護層厚みとなるようにゼラチンの添加量を変更し、また、下記表2の添加剤濃度となるように、添加剤の添加量を変更して保護層を設ける以外は実施例1と同様に実施例2〜4、6〜10の電極シートを作成した。実施例5では実施例4において、配線が電極を覆う部分の面積が下記表2に示したものとなるように変更した。実施例11では実施例1において配線の厚みを下記表2に示したように変更した。実施例12では実施例11において配線が電極を覆う部分の面積が下記表2に示したものとなるように変更した。
また、保護層の厚みが0.4μmとなるようにゼラチンの添加量を変更する以外は実施例1と同様にして、比較例1を得た。比較例2では保護層を設けなかった。比較例3では配線と電極の厚みの比を2.5とした。
The electrode sheet of Example 1 was obtained as described above.
In Example 1, the amount of gelatin added was changed so that the thickness of the protective layer shown in Table 2 below was changed, and the amount of additive added was changed so that the additive concentration shown in Table 2 was changed. Except having provided, the electrode sheet of Examples 2-4 and 6-10 was created similarly to Example 1. FIG. In Example 5, in Example 4, it changed so that the area of the part which wiring may cover an electrode might become what was shown in following Table 2. FIG. In Example 11, the thickness of the wiring in Example 1 was changed as shown in Table 2 below. In Example 12, the area where the wiring covered the electrode in Example 11 was changed to the one shown in Table 2 below.
Further, Comparative Example 1 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the amount of gelatin added was changed so that the thickness of the protective layer was 0.4 μm. In Comparative Example 2, no protective layer was provided. In Comparative Example 3, the thickness ratio between the wiring and the electrode was 2.5.

(評価)
以上で作成した透明電極シート(実施例1〜12及び比較例1〜3)を用いて以下の評価を行った。
(Evaluation)
The following evaluation was performed using the transparent electrode sheet (Examples 1-12 and Comparative Examples 1-3) created above.

(1)接続部の導通性
図9に示した電極71と配線40との間の抵抗値をそれぞれ直読し、導通を確認した。
評価◎ 全配線への通電が確認された。
評価○ 全配線のうち1%未満の配線で通電が確認できず、残りの配線では通電が確認された。
評価△ 全配線のうち1%以上5%未満の配線で通電が確認できず、残りの配線では通電が確認された。
評価× 通電が確認できない配線が全配線の5%以上ある。
(1) Conductivity of connection part The resistance value between the electrode 71 and the wiring 40 shown in FIG. 9 was directly read, and conduction was confirmed.
Evaluation ◎ Energization of all wiring was confirmed.
Evaluation ○ Energization could not be confirmed with less than 1% of all wiring, and energization was confirmed with the remaining wiring.
Evaluation △ Energization could not be confirmed in 1% or more and less than 5% of all wiring, and energization was confirmed in the remaining wiring.
Evaluation × There are 5% or more of the wiring that cannot be energized.

(2)耐久試験後の接続部の導通性
60℃90%の条件下で、240時間経時させた後、電極シートの表面全体及び裏面全体のそれぞれに対し、擦傷付与のための試験装置を用いて摩擦部材を1000回往復させる圧力耐性に関する耐久試験を行い、その後に上記(1)と同様にして図9に示した電極71と配線40との間の抵抗値をそれぞれ直読し、接続部の導通性を評価した。
(2) Conductivity of connection part after endurance test After aging for 240 hours under the condition of 60 ° C. and 90%, a test apparatus for scratching is used for each of the entire surface and back surface of the electrode sheet. Then, an endurance test on the pressure resistance of reciprocating the friction member 1000 times was performed, and then the resistance value between the electrode 71 and the wiring 40 shown in FIG. Conductivity was evaluated.

(3)感光材料のカブリによる電極の短絡
電極シートをFPCを介して回路基板に接続し、隣り合う電極間の絶縁抵抗を測定し、5MΩ以下になる電極数を計数し以下のように評価した。ここで、隣り合う電極とは例えば図13に示す30−1と30−2などである。
評価◎ 絶縁抵抗が5MΩに満たない電極数が全電極数のうち1%未満である。
評価○ 絶縁抵抗が5MΩに満たない電極数が全電極数のうち5%未満である。
評価× 絶縁抵抗が5MΩに満たない電極数が全電極のうち5%以上である。
(3) Electrode short circuit due to fogging of photosensitive material The electrode sheet was connected to the circuit board via FPC, the insulation resistance between adjacent electrodes was measured, the number of electrodes that were 5 MΩ or less was counted, and the following evaluation was made. . Here, the adjacent electrodes are, for example, 30-1 and 30-2 shown in FIG.
Evaluation: The number of electrodes having an insulation resistance of less than 5 MΩ is less than 1% of the total number of electrodes.
Evaluation ○ The number of electrodes having an insulation resistance of less than 5 MΩ is less than 5% of the total number of electrodes.
Evaluation x The number of electrodes whose insulation resistance is less than 5 MΩ is 5% or more of all the electrodes.

(4)引っかき強度
未露光の感光材料を23℃、相対湿度55%の条件下で24時間調湿した後、塗布面に対して、先端の曲率半径が0.1mmのサファイア針を直角にあてがい、60cm/minで試料を移動させながら、サファイア針にかかる荷重を0g〜100gまで徐々に増加させ、その試料を現像処理し、サファイア針が走査した部分をルーペで観察し、カブリが生じ始める荷重を求めることで測定した。
(4) Scratch strength After conditioning the unexposed photosensitive material for 24 hours under conditions of 23 ° C. and 55% relative humidity, a sapphire needle having a radius of curvature of the tip of 0.1 mm is applied to the application surface at a right angle. The load applied to the sapphire needle is gradually increased from 0 g to 100 g while moving the sample at 60 cm / min, the sample is developed, the portion scanned by the sapphire needle is observed with a loupe, and the load at which fogging starts to occur It was measured by seeking.

評価結果を以下の表2にまとめた。   The evaluation results are summarized in Table 2 below.

Figure 0005463315
Figure 0005463315

以上から、次のことがわかる。
保護層の厚みが0.3μm以下、かつ(配線の厚み)/(電極の厚み)が3以上の実施例1〜12においては、各配線と電極の接続部の導通性が良く、引っかき強度に優れ、耐久性試験後の導通性にも優れ、電極の短絡もない。
実施例1と実施例6及び7とを比較すると、保護層の厚みが薄い実施例6及び7の方が導通性が更に向上していることがわかる。一方、保護層厚みが0.3μmを超える比較例1においては、導通性が悪い。
耐久試験後の接続部の導通性については、保護層に添加剤としてコロイダルシリカ、シリカマット、シリコーンオイル、パラフィン系オイル、又は(メタ)アクリル系粒子を含有する場合に特に優れていることがわかる(実施例3、4、8〜10)。
電極の短絡については、保護層の厚みが大きい比較例1(0.4μm)の場合のように非常に良いとまでは言えないものの、実施例1〜12を通じて良いレベルを維持している。
さらに、配線と導線パターンとの接触面積(配線が電極を覆う部分の面積)が3×10−8以上である実施例3及び4における耐久試験後の導通性は、接触面積が1×10−8である実施例5における耐久試験後の導通性よりも良い。すなわち、配線と導線パターンとの接触面積を3×10−8以上に大きくすることにより、耐久試験後の導通性をより確実に保持できる。
From the above, the following can be understood.
In Examples 1 to 12 in which the thickness of the protective layer is 0.3 μm or less and (thickness of wiring) / (thickness of electrode) is 3 or more, the conductivity of the connection portion between each wiring and electrode is good, and the scratch strength is high. Excellent, excellent conductivity after durability test, and no short circuit of electrodes.
When Example 1 is compared with Examples 6 and 7, it can be seen that Examples 6 and 7 in which the protective layer is thinner have further improved conductivity. On the other hand, in Comparative Example 1 in which the protective layer thickness exceeds 0.3 μm, the conductivity is poor.
It can be seen that the conductivity of the connection part after the durability test is particularly excellent when the protective layer contains colloidal silica, silica mat, silicone oil, paraffinic oil, or (meth) acrylic particles as additives. (Examples 3, 4, 8 to 10).
About the short circuit of an electrode, although it cannot be said that it is very good like the case of the comparative example 1 (0.4 micrometer) with a large thickness of a protective layer, the good level is maintained through Examples 1-12.
Furthermore, the conductivity after the durability test in Examples 3 and 4 in which the contact area between the wiring and the conductive pattern (the area of the portion where the wiring covers the electrode) is 3 × 10 −8 m 2 or more is 1 × It is better than the conductivity after the durability test in Example 5 which is 10 −8 m 2 . That is, by increasing the contact area between the wiring and the conductor pattern to 3 × 10 −8 m 2 or more, the conductivity after the durability test can be more reliably maintained.

Dm ダミー電極
C 導通部
w 線幅
1〜4 タッチパネル
05 感光材
10 支持体
11 透明カバー部材
11A タッチ面
12 透明カバー部材
13 誘電体層
20,25 電極シート
30、35、30−1、30−2 電極
30A,35A センサ部
31 センサ部
40,45 配線
48 スルーホール
50 上部感光材料層
51,61 感光層
55,65 保護層
56,66 下塗り層
57,67 アンチハレーション層
60 下部感光材料層
70 導線パターン
71,151,161 電極
72 保護層
100a 光源
101a,101b レンズ
102a,102b 平行光
110 フォトマスク
111 開口部
132 未感光部
152,162 透明な膜
Dm Dummy electrode C Conducting portion w Line width 1 to 4 Touch panel 05 Photosensitive material 10 Support body 11 Transparent cover member 11A Touch surface 12 Transparent cover member 13 Dielectric layer 20, 25 Electrode sheets 30, 35, 30-1, 30-2 Electrode 30A, 35A Sensor unit 31 Sensor unit 40, 45 Wiring 48 Through hole 50 Upper photosensitive material layer 51, 61 Photosensitive layer 55, 65 Protective layer 56, 66 Undercoat layer 57, 67 Antihalation layer 60 Lower photosensitive material layer 70 Conductive pattern 71, 151, 161 Electrode 72 Protective layer 100a Light source 101a, 101b Lens 102a, 102b Parallel light 110 Photomask 111 Opening 132 Unexposed part 152, 162 Transparent film

Claims (14)

支持体の少なくとも一方の面上に、電極と、該電極を覆う保護層と、該電極と導通する配線とを有する電極シートであって、
前記電極は、現像銀を含む導電性細線から構成され、
前記配線は、導電性インク又は導電性ペーストで形成されたものであり、
前記保護層の厚みは0.3μm以下であり、かつ、
前記電極と前記配線の厚みの比(配線の厚み)/(電極の厚み)が3以上である、電極シート。
An electrode sheet having an electrode, a protective layer covering the electrode, and a wiring electrically connected to the electrode on at least one surface of the support,
The electrode is composed of a conductive thin wire containing developed silver,
The wiring is formed of conductive ink or conductive paste,
The protective layer has a thickness of 0.3 μm or less, and
An electrode sheet having a ratio of the thickness of the electrode to the wiring (thickness of the wiring) / (thickness of the electrode) of 3 or more.
前記現像銀を含む導電性細線が、ハロゲン化銀乳剤層を有する感光材料に対して露光及び現像することにより得られたものである、請求項1に記載の電極シート。   The electrode sheet according to claim 1, wherein the conductive fine wire containing developed silver is obtained by exposing and developing a photosensitive material having a silver halide emulsion layer. 前記保護層の厚みが0.05μm以上、0.3μm以下である、請求項1又は2に記載の電極シート。   The electrode sheet according to claim 1 or 2, wherein the protective layer has a thickness of 0.05 µm or more and 0.3 µm or less. 前記保護層中にコロイダルシリカ、シリカマット、シリコーンオイル、パラフィン系オイル、(メタ)アクリル系粒子のうち少なくとも1種を含有する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の電極シート。   The electrode sheet according to any one of claims 1 to 3, wherein the protective layer contains at least one of colloidal silica, silica mat, silicone oil, paraffinic oil, and (meth) acrylic particles. 前記保護層中にコロイダルシリカを含有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の電極シート。   The electrode sheet according to any one of claims 1 to 4, wherein the protective layer contains colloidal silica. 前記配線が、前記電極の少なくとも一部を覆うように設けられ、前記配線が前記電極を覆う面積が、1×10−8以上である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の電極シート。 The said wiring is provided so that at least one part of the said electrode may be covered, The area which the said wiring covers the said electrode is 1 * 10 < -8 > m < 2 > or more, It is any one of Claims 1-5. Electrode sheet. 前記導電性細線の線幅が20μm以下である、請求項1〜6のいずれか一項に記載の電極シート。   The electrode sheet as described in any one of Claims 1-6 whose line | wire width of the said electroconductive thin wire is 20 micrometers or less. 前記電極の厚みが、0.4μm以上、1.5μm以下である、請求項1〜7のいずれか一項に記載の電極シート。   The electrode sheet as described in any one of Claims 1-7 whose thickness of the said electrode is 0.4 micrometer or more and 1.5 micrometers or less. 前記保護層の引っかき強度が9g以上である、請求項1〜8のいずれか一項に記載の電極シート。   The electrode sheet according to any one of claims 1 to 8, wherein the protective layer has a scratch strength of 9 g or more. 前記導電性インク又は前記導電性ペーストが銀粒子又は銀フィラーを含有する、請求項1〜9のいずれか一項に記載の電極シート。   The electrode sheet according to claim 1, wherein the conductive ink or the conductive paste contains silver particles or a silver filler. 前記電極及び前記配線が前記支持体の両面にそれぞれ形成された、請求項1〜10のいずれか一項に記載の電極シート。   The electrode sheet according to any one of claims 1 to 10, wherein the electrode and the wiring are respectively formed on both surfaces of the support. 前記支持体には、支持体の一方の面に設けられた前記配線の電位を支持体の他方の面に取り出すスルーホールが導電性インク又は導電性ペーストにより形成された、請求項1〜11のいずれか一項に記載の電極シート。   The through hole of the said support body which takes out the electric potential of the said wiring provided in the one surface of a support body to the other surface of a support body was formed with the conductive ink or the conductive paste. The electrode sheet according to any one of the above. 支持体の少なくとも一方の面上に、現像銀を含む導電性細線からなるパターンで構成された電極と、該電極を覆う厚み0.3μm以下の保護層と、該電極と導通する配線とを有し、前記電極と前記配線の厚みの比(配線の厚み)/(電極の厚み)が3以上である電極シートの製造方法であって、
支持体上にハロゲン化銀乳剤層と保護層とをこの順で有する感光材料に対して露光及び現像することにより、現像銀を含む導電性細線からなる電極を形成する電極形成工程と、
前記導電性細線からなるパターンで構成された電極に導通される配線を、導電性インク又は導電性ペーストを用いて形成する配線形成工程と、を有する電極シートの製造方法。
On at least one surface of the support, there is an electrode composed of a pattern made of a conductive thin wire containing developed silver, a protective layer having a thickness of 0.3 μm or less covering the electrode, and a wiring electrically connected to the electrode. And the ratio of the thickness of the electrode and the wiring (thickness of wiring) / (thickness of electrode) is 3 or more,
An electrode forming step of forming an electrode composed of a conductive fine wire containing developed silver by exposing and developing a photosensitive material having a silver halide emulsion layer and a protective layer in this order on a support;
A method of manufacturing an electrode sheet, comprising: a wiring forming step of forming a wiring that is conducted to an electrode configured by a pattern made of the conductive thin wire using a conductive ink or a conductive paste.
請求項1〜12のいずれか一項に記載の電極シート、又は請求項13に記載の製造方法により製造された電極シートを備えたタッチパネル。   A touch panel provided with the electrode sheet according to any one of claims 1 to 12, or the electrode sheet produced by the production method according to claim 13.
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