JP5457143B2

JP5457143B2 - Component mounting equipment

Info

Publication number: JP5457143B2
Application number: JP2009256697A
Authority: JP
Inventors: 浩次平岡; 秀一高添
Original assignee: Juki Corp
Current assignee: Juki Corp
Priority date: 2009-11-10
Filing date: 2009-11-10
Publication date: 2014-04-02
Anticipated expiration: 2029-11-10
Also published as: JP2011103313A; CN102056474A; CN102056474B

Description

本発明は、部品実装装置に関する。 The present invention relates to a component mounting apparatus.

電子部品を基板に実装する電子部品実装装置が知られている。
電子部品実装装置は、吸着ノズルを有し、Ｘ−Ｙ平面を移動自在とされたヘッドを備えている。吸着ノズルがフィーダから吸着により電子部品を受け取り、基板の部品実装箇所までヘッドが移動し、吸着ノズルから電子部品を解放することで電子部品の搭載が行われる。
ヘッドには、当該ヘッドの移動時には吸着ノズルを上昇させ、電子部品の受け取り時及び搭載時には吸着ノズルを下降させる機構が設けられている。具体的には、ヘッドは、昇降可能に支持された可動ブラケットを上下動させる上下動モータと、可動ブラケットに対して回転可能且つ上下動可能に支持されると共に吸着ノズルを上下動可能に支持する回転ケースと、可動ブラケットに駆動軸が連結され、駆動軸の上下動により回転ケースを介して吸着ノズルを上下動させるボイスコイルモータと、回転ケースに設けられ、吸着ノズルの先端部に生じる荷重を検出するロードセルとを備えている。 An electronic component mounting apparatus for mounting an electronic component on a substrate is known.
The electronic component mounting apparatus includes a head that has a suction nozzle and is movable on an XY plane. The suction nozzle receives an electronic component from the feeder by suction, the head moves to a component mounting position on the board, and the electronic component is mounted by releasing the electronic component from the suction nozzle.
The head is provided with a mechanism that raises the suction nozzle when the head moves and lowers the suction nozzle when receiving and mounting the electronic component. Specifically, the head moves up and down a movable bracket supported so as to be movable up and down, and is supported so as to be rotatable and movable up and down with respect to the movable bracket and supports the suction nozzle so as to be movable up and down. A rotary case and a movable bracket are connected to the drive shaft, and a voice coil motor that moves the suction nozzle up and down through the rotary case by the vertical movement of the drive shaft and a load that is provided on the rotary case and that occurs at the tip of the suction nozzle. And a load cell for detection.

かかるヘッドでは、基板への電子部品の搭載時において、回転ケースが上下に振動しないようボイスコイルモータにより当該回転ケースを下方へ移動させてストッパに当接させた状態で、上下動モータにより可動ブラケットを下降させる。そして、ロードセルにより吸着ノズルの先端部が電子部品を介して基板に接触したことが検出されると、検出荷重が所定の目標荷重となるようにボイスコイルモータを上昇方向に駆動させて、部品搭載時の荷重の調節を行っている（例えば、特許文献１参照）。 In such a head, when mounting the electronic component on the substrate, the movable case is moved by the vertical movement motor while the rotary case is moved downward by the voice coil motor and brought into contact with the stopper so that the rotary case does not vibrate up and down. Is lowered. When the load cell detects that the tip of the suction nozzle is in contact with the substrate via the electronic component, the voice coil motor is driven in the upward direction so that the detected load becomes a predetermined target load, and the component mounting The load of the hour is adjusted (for example, refer to Patent Document 1).

特開２００５−３２８６０号公報JP-A-2005-32860

ところで、従来の電子部品実装装置においては、図２０に示すように、ボイスコイルモータの出力を上昇させることにより回転ケースを下方に移動させ、ストッパに向けて押し続けている。
しかし、上下動モータを駆動させると、モータ軸が下方向に移動中に加速もしくは上方向に移動中に減速した場合、回転ケースに上方向の慣性力が加わるので、ボイスコイルモータがそれを上回る力で回転ケースを下方に押さえ付けなければ、回転ケースがストッパから離れて上下のばたつきを抑えることができず、部品認識及び搭載時の精度に悪影響を与えてしまう。
この問題を解消するために、ボイスコイルモータによる回転ケースの押し付け力を大きくすることが考えられるが、出力を大きくすることによりボイスコイルモータが発熱し、周囲の部品に悪影響を与えてしまう。
ボイスコイルモータの発熱を防止するために、定格出力のより大きなボイスコイルモータを用いることも考えられるが、ボイスコイルモータのサイズが大きくなると共にその重量も増加してしまうため、軽量化を図ることができず、コストも高くなってしまう。
また、ボイスコイルモータの発熱を抑えるために、上下動モータの駆動中にボイスコイルモータの押し付け力を小さくする制御を行うと、基板の生産タクトが遅れてしまう。
また、基板の生産タクトを向上させるため、上下動モータの加減速度をより速めることが望まれているが、加減速度を速めることで、上記の問題はさらに顕著になり、さらに、ボイスコイルモータの出力不足を招いてしまう。
この問題を解消するために、定格出力のより大きなボイスコイルモータを用いることが必要となるが、ボイスコイルモータのサイズが大きくなると共にその重量も増加してしまうため、設置スペースの拡大、ボイスコイルモータを支持する筐体の剛性強化につながり、コストが高くなってしまう。 Incidentally, in the conventional electronic component mounting apparatus, as shown in FIG. 20, the rotary case is moved downward by raising the output of the voice coil motor and is continuously pushed toward the stopper.
However, when the vertical motor is driven, if the motor shaft accelerates while moving downward or decelerates while moving upward, an upward inertial force is applied to the rotating case, so the voice coil motor exceeds that. If the rotating case is not pressed down with force, the rotating case is separated from the stopper, and the fluttering up and down cannot be suppressed, which adversely affects the accuracy of component recognition and mounting.
In order to solve this problem, it is conceivable to increase the pressing force of the rotating case by the voice coil motor. However, by increasing the output, the voice coil motor generates heat and adversely affects surrounding components.
In order to prevent the heat generation of the voice coil motor, it may be possible to use a voice coil motor with a larger rated output, but the size of the voice coil motor increases and its weight increases, so the weight should be reduced. Cannot be done, and the cost will be high.
Further, if the control for reducing the pressing force of the voice coil motor is performed during the driving of the vertical movement motor in order to suppress the heat generation of the voice coil motor, the production cycle of the substrate is delayed.
Further, in order to improve the production cycle of the substrate, it is desired to increase the acceleration / deceleration speed of the vertical movement motor. However, by increasing the acceleration / deceleration speed, the above problem becomes more prominent. Insufficient output.
In order to solve this problem, it is necessary to use a voice coil motor with a larger rated output. However, the voice coil motor increases in size and weight, which increases the installation space. This leads to strengthening of the rigidity of the housing that supports the motor, which increases the cost.

そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、上下動モータの加減速による慣性力により回転ケースがストッパから離れて上下にばたつくのを抑えることができる部品実装装置を提供することを目的とする。 Accordingly, the present invention has been made to solve the above-described problems, and provides a component mounting apparatus capable of suppressing the vertical rotation of the rotating case away from the stopper due to the inertial force caused by the acceleration / deceleration of the vertical movement motor. The purpose is to do.

請求項１に記載の発明は、
筐体に昇降自在に支持された移動体と、
前記移動体を昇降させる駆動を出力する第１の駆動源と、
前記移動体に対して昇降自在に設けられ、先端部で部品を吸着する吸着ノズルと、
前記吸着ノズルを昇降させて、前記吸着ノズルで吸着した部品を実装対象物に加圧して実装する際の駆動源となる第２の駆動源と、
前記第２の駆動源と前記吸着ノズルを連結し、前記第２の駆動源の駆動を前記吸着ノズルに伝達する伝達機構と、
前記移動体に設けられ、前記吸着ノズルの下降の際に所定の高さで前記伝達機構が当接して前記吸着ノズルの下降を制止するストッパと、を備え、前記吸着ノズルにより吸着した部品を実装対象物に実装する部品実装装置において、
前記第１の駆動源による前記移動体の下降時における加速中のみ又は上昇時における減速中のみ前記第２の駆動源の出力を上昇させて、前記伝達機構による前記ストッパへの加圧力を増加させる制御手段を備えることを特徴とする。 The invention described in claim 1
A movable body supported by the housing so as to be movable up and down;
A first drive source that outputs a drive for raising and lowering the movable body;
A suction nozzle which is provided so as to be movable up and down with respect to the moving body, and sucks a component at the tip;
A second drive source which is a drive source when raising and lowering the suction nozzle and pressurizing and mounting a component sucked by the suction nozzle on a mounting object;
A transmission mechanism for connecting the second drive source and the suction nozzle, and transmitting the drive of the second drive source to the suction nozzle;
Mounted on the moving body, the stopper that stops the lowering of the suction nozzle by contacting the transmission mechanism at a predetermined height when the suction nozzle is lowered. In a component mounting device that is mounted on an object,
The output of the second drive source is increased only during acceleration when the moving body is being lowered by the first drive source or during deceleration when being raised, thereby increasing the pressure applied to the stopper by the transmission mechanism. Control means is provided.

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の部品実装装置において、
前記吸着ノズルの部品に対する荷重を検出する荷重検出手段と、
前記荷重検出手段により検出された荷重が所定の閾値を超えた場合に、前記第２の駆動源の出力を上昇させて、前記伝達機構による前記ストッパへの加圧力を増加させる第２の制御手段と、を備え、
前記第２の制御手段は、前記第１の駆動源による前記移動体の加減速が終わって一定速度での昇降になったときに、前記第２の駆動源の出力を前記移動体の加減速前の出力に戻すことを特徴とする。 The invention according to claim 2 is the component mounting apparatus according to claim 1,
Load detecting means for detecting a load on the component of the suction nozzle;
Second control means for increasing the pressure applied to the stopper by the transmission mechanism by increasing the output of the second drive source when the load detected by the load detection means exceeds a predetermined threshold. And comprising
When the acceleration / deceleration of the movable body by the first drive source is finished and the elevator is moved up and down at a constant speed, the second control means outputs the output of the second drive source to the acceleration / deceleration of the movable body. It is characterized by returning to the previous output.

請求項３に記載の発明は、
筐体に昇降自在に支持された移動体と、
前記移動体を昇降させる駆動を出力する第１の駆動源と、
前記移動体に対して昇降自在に設けられ、先端部で部品を吸着する吸着ノズルと、
前記吸着ノズルを昇降させて、前記吸着ノズルで吸着した部品を実装対象物に加圧して実装する際の駆動源となる第２の駆動源と、
前記第２の駆動源と前記吸着ノズルを連結し、前記第２の駆動源の駆動を前記吸着ノズルに伝達する伝達機構と、
前記移動体に設けられ、前記吸着ノズルの下降の際に所定の高さで前記伝達機構が当接して前記吸着ノズルの下降を制止するストッパと、を備え、前記吸着ノズルにより吸着した部品を実装対象物に実装する部品実装装置において、
前記第２の駆動源と異なる駆動源で、前記伝達機構による前記ストッパへの加圧力を加える補助加圧装置と、
前記第１の駆動源による前記移動体の下降時における加速中のみ又は上昇時における減速中のみ前記補助加圧装置を駆動させて、前記伝達機構による前記ストッパへの加圧力を増加させる補助制御手段と、
を備えることを特徴とする。 The invention according to claim 3
A movable body supported by the housing so as to be movable up and down;
A first drive source that outputs a drive for raising and lowering the movable body;
A suction nozzle which is provided so as to be movable up and down with respect to the moving body, and sucks a component at the tip;
A second drive source which is a drive source when raising and lowering the suction nozzle and pressurizing and mounting a component sucked by the suction nozzle on a mounting object;
A transmission mechanism for connecting the second drive source and the suction nozzle, and transmitting the drive of the second drive source to the suction nozzle;
Mounted on the moving body, the stopper that stops the lowering of the suction nozzle by contacting the transmission mechanism at a predetermined height when the suction nozzle is lowered. In a component mounting device that is mounted on an object,
An auxiliary pressurizing device for applying pressure to the stopper by the transmission mechanism with a drive source different from the second drive source;
Auxiliary control means for driving the auxiliary pressurizing device only during acceleration when the moving body is lowered by the first drive source or during deceleration when ascending , thereby increasing the pressure applied to the stopper by the transmission mechanism When,
It is characterized by providing.

請求項１に記載の発明によれば、制御手段は、第１の駆動源による移動体の下降時における加速中のみ又は上昇時における減速中のみ第２の駆動源の出力を上昇させて、伝達機構によるストッパへの加圧力を増加させる。
これにより、第１の駆動源の加減速による慣性力により伝達機構が移動体から離れて上下にばたつくときだけ加圧力を増加させることができるので、ばたつきを抑えることができると共に、第２の駆動源の発熱を抑え、省エネルギー化を実現することができる。 According to the first aspect of the present invention, the control means increases the output of the second drive source only during acceleration when the moving body is lowered by the first drive source or only during deceleration when the moving body is lowered, and transmits it. Increase the pressure applied to the stopper by the mechanism.
As a result, the applied force can be increased only when the transmission mechanism flutters up and down due to the inertial force generated by the acceleration and deceleration of the first drive source, so that the flutter can be suppressed and the second drive can be suppressed. The heat generation of the source can be suppressed and energy saving can be realized.

請求項２に記載の発明によれば、荷重検出手段により検出された荷重が所定の閾値を超えた場合に、第２の制御手段は、第２の駆動源の出力を上昇させて、伝達機構によるストッパへの加圧力を増加させる。
これにより、荷重検出手段により検出したことをトリガーとして第２の駆動源の制御をすればよいので、事前に第２の駆動源の出力を上昇させるタイミングの計算処理等が不要となる。
また、第２の制御手段は、第１の駆動源による移動体の加減速が終わって一定速度での昇降になったときに、第２の駆動源の出力を移動体の加減速前の出力に戻すので、昇降速度が一定になったことをトリガーとして第２の駆動源の出力を元に戻すことができる。 According to the second aspect of the present invention, when the load detected by the load detection unit exceeds a predetermined threshold, the second control unit increases the output of the second drive source to increase the transmission mechanism. Increase the pressure applied to the stopper.
Thereby, since the second drive source may be controlled using the detection by the load detection means as a trigger, the calculation processing of the timing for increasing the output of the second drive source in advance becomes unnecessary.
The second control means outputs the output of the second drive source before the acceleration / deceleration of the mobile body when the acceleration / deceleration of the mobile body by the first drive source ends and the elevator moves up and down at a constant speed. Therefore, the output of the second drive source can be returned to the original state by using the constant lifting speed as a trigger.

請求項３に記載の発明によれば、補助制御手段は、第１の駆動源による移動体の下降時における加速中のみ又は上昇時における減速中のみ補助加圧装置を駆動させて加圧力を増加させる。
これにより、第１の駆動源による移動体の下降の際の加速している間又は上昇の際の減速している間に伝達機構に慣性力が作用するので、補助制御手段による補助加圧装置の制御により伝達機構のばたつきを抑えることができると共に、第２の駆動源の発熱を抑え、省エネルギー化を実現することができる。 According to the third aspect of the present invention, the auxiliary control means increases the pressure by driving the auxiliary pressure device only during acceleration when the moving body is lowered by the first drive source or during deceleration when the moving body is raised. Let
As a result, the inertial force acts on the transmission mechanism while the moving body is being lowered by the first drive source or while being decelerated when being raised. By controlling this, it is possible to suppress the fluttering of the transmission mechanism and to suppress the heat generation of the second drive source, thereby realizing energy saving.

部品実装装置の斜視図。The perspective view of a component mounting apparatus. 吸着ノズルがストッパから離間した状態の昇降装置の側断面図。The sectional side view of the raising / lowering apparatus in the state in which the suction nozzle was spaced apart from the stopper. 吸着ノズルがストッパに当接した状態の昇降装置の側断面図。The side sectional view of the raising / lowering device in a state where the suction nozzle is in contact with the stopper. 昇降装置の制御構成を示すブロック図。The block diagram which shows the control structure of a raising / lowering apparatus. ボイスコイルモータの制御構成を示すブロック図。The block diagram which shows the control structure of a voice coil motor. 吸着ノズルの駆動制御のフローチャート。The flowchart of the drive control of a suction nozzle. ボイスコイルモータの出力制御のタイミングチャート。The timing chart of the output control of a voice coil motor. 可動ブラケットの下降の際の加速時における電流制御のフローチャート。The flowchart of the electric current control at the time of acceleration at the time of the descent | fall of a movable bracket. 可動ブラケットの上昇の際の減速時における電流制御のフローチャート。The flowchart of the electric current control at the time of the deceleration at the time of the raise of a movable bracket. 第２の実施形態において、部品実装装置のボイスコイルモータの制御構成を示すブロック図。The block diagram which shows the control structure of the voice coil motor of the component mounting apparatus in 2nd Embodiment. 第２の実施形態において、ボイスコイルモータの出力制御のタイミングチャート。The timing chart of the output control of a voice coil motor in 2nd Embodiment. 第２の実施形態において、可動ブラケットの昇降の際の加減速時における電流制御のフローチャート。In 2nd Embodiment, the flowchart of the current control at the time of acceleration / deceleration at the time of raising / lowering of a movable bracket. 第３の実施形態において、吸着ノズルがストッパから離間した状態の昇降装置の側断面図。In 3rd Embodiment, the sectional side view of the raising / lowering apparatus in the state in which the suction nozzle was spaced apart from the stopper. 変形例において、吸着ノズルがストッパに当接した状態の昇降装置の側断面図。The sectional side view of the raising / lowering apparatus of the state in which the suction nozzle contact | abutted to the stopper in a modification. 変形例において、補助加圧装置としてソレノイドを利用した場合の模式図。The schematic diagram at the time of utilizing a solenoid as an auxiliary pressurization apparatus in a modification. 変形例において、補助加圧装置としてカムを利用した場合の模式図。The schematic diagram at the time of utilizing a cam as an auxiliary pressurization apparatus in a modification. 変形例において、補助加圧装置として二つの永久磁石を利用した場合の模式図。In the modification, the schematic diagram at the time of utilizing two permanent magnets as an auxiliary pressurization apparatus. 変形例において、補助加圧装置として電磁石と永久磁石を利用した場合の模式図。In a modification, the schematic diagram at the time of utilizing an electromagnet and a permanent magnet as an auxiliary pressurization apparatus. 変形例において、補助加圧装置としてカムと二つの磁石を利用した場合の模式図。In a modification, the schematic diagram at the time of utilizing a cam and two magnets as an auxiliary pressurization apparatus. 従来の部品実装装置におけるボイスコイルモータの出力制御のタイミングチャート。The timing chart of the output control of the voice coil motor in the conventional component mounting apparatus.

本発明に係る部品実装装置の実施形態について説明する。
［第１の実施形態］
＜部品実装装置の構成＞
図１に示すように、部品実装装置１００は、部品供給装置から供給される電子部品（部品）を基板（実装対象物）に実装する装置である。
図１は、電子部品実装装置１００の斜視図である。以下、図示のように、水平面において互いに直交する二方向をそれぞれＸ軸方向（基板搬送方向）とＹ軸方向（基板搬送方向との直交方向）とし、これらに直交する鉛直方向をＺ軸方向とする。
部品実装装置１００は、基板に各種の電子部品の搭載を行うものであって、図１に示すように、搭載される電子部品を供給する複数の電子部品フィーダー１０１及び電子部品フィーダー１０１を複数並べて保持するフィーダーバンク１０２からなる二組の部品供給部と、Ｘ軸方向に基板を搬送する基板搬送手段１０３と、当該基板搬送手段１０３による基板搬送経路の途中に設けられた基板に対する電子部品搭載作業を行うための基板保持部１０４と、複数（この例では三基）の吸着ノズル１２をそれぞれ昇降可能に保持する昇降装置１０と、各昇降装置１０が固定されて電子部品の保持を行うヘッド１０６と、ヘッド１０６を二組の部品供給部と基板保持部１０４とを含んだ作業エリア内の任意の位置に駆動搬送するヘッド移動機構としてのＸ−Ｙガントリ１０７と、ヘッド１０６に搭載され、吸着ノズル１２に吸着された電子部品の撮像を行う複数（この例では三基）の撮像手段としてのＣＣＤカメラ１０８と、吸着ノズル１２に保持された電子部品の垂直下方からの画像をＣＣＤカメラ１０８により撮像可能とする撮像ミラー１２０と、部品実装装置１００の各部の動作制御を行う制御手段１１０とを備えている。 An embodiment of a component mounting apparatus according to the present invention will be described.
[First Embodiment]
<Configuration of component mounting device>
As shown in FIG. 1, the component mounting apparatus 100 is an apparatus that mounts an electronic component (component) supplied from a component supply device on a substrate (mounting object).
FIG. 1 is a perspective view of the electronic component mounting apparatus 100. Hereinafter, as shown in the figure, two directions orthogonal to each other on the horizontal plane are respectively referred to as an X-axis direction (substrate transport direction) and a Y-axis direction (a direction orthogonal to the substrate transport direction), and a vertical direction orthogonal to these is a Z-axis direction. To do.
The component mounting apparatus 100 mounts various electronic components on a board. As shown in FIG. 1, a plurality of electronic component feeders 101 that supply electronic components to be mounted and a plurality of electronic component feeders 101 are arranged side by side. Electronic component mounting work on a substrate provided in the middle of a substrate transfer path by the substrate transfer means 103, and a substrate transfer means 103 for transferring a substrate in the X-axis direction, and two sets of component supply units comprising feeder banks 102 to be held A substrate holding unit 104 for carrying out the movement, a lifting device 10 for holding a plurality of (three in this example) suction nozzles 12 so as to be able to move up and down, and a head 106 for holding each electronic device with each lifting device 10 fixed. And a head moving mechanism for driving and transporting the head 106 to an arbitrary position in a work area including two sets of the component supply unit and the substrate holding unit 104. An XY gantry 107, a CCD camera 108 as a plurality (three in this example) of image pickup means that is mounted on the head 106 and picks up an electronic component sucked by the suction nozzle 12, and is held by the suction nozzle 12. The image pickup mirror 120 that enables the CCD camera 108 to pick up an image from the vertically lower side of the electronic component and the control means 110 that controls the operation of each part of the component mounting apparatus 100 are provided.

かかる電子部品実装装置１００の制御手段１１０は、電子部品フィーダー１０１の電子部品の受け渡し部１０１ａから各吸着ノズル１２に電子部品を吸着させる。また、制御手段１１０は、各吸着ノズル１２に吸着された電子部品をそれぞれのＣＣＤカメラ１０８で撮像して得られた撮像画像データから画像処理を行ってノズル先端部に対する電子部品の位置及びノズルの中心線を中心とする角度（向き）を求め、基板に対する吸着ノズル１２の位置決めの補正並びに吸着ノズル１２を回転させて電子部品の角度の補正を行い、電子部品の実装制御を行う。 The control means 110 of the electronic component mounting apparatus 100 sucks the electronic components from the electronic component delivery unit 101a of the electronic component feeder 101 to the suction nozzles 12. In addition, the control unit 110 performs image processing from captured image data obtained by imaging the electronic components sucked by the suction nozzles 12 by the respective CCD cameras 108, and positions of the electronic components relative to the nozzle tips and the nozzle positions. The angle (orientation) about the center line is obtained, the positioning of the suction nozzle 12 with respect to the substrate is corrected, the angle of the electronic component is corrected by rotating the suction nozzle 12, and the mounting control of the electronic component is performed.

（吸着ノズルの昇降装置）
図２は、吸着ノズル１２の昇降装置１０の側断面図である。図２に示すように、吸着ノズル１２の昇降装置１０は、ヘッド１０６に固定支持された筐体としての本体フレーム１１と、ノズルホルダ１３に保持されて電子部品Ｃをその先端部で吸着保持する吸着ノズル１２と、上下動可能に本体フレーム１１に支持された移動体としての可動ブラケット１４と、可動ブラケット１４を上下方向に駆動する第１の上下動手段２０と、可動ブラケット１４に設けられると共に当該可動ブラケット１４からノズルホルダ１３を介して吸着ノズル１２を上下方向に沿って駆動する第２の上下動手段３０と、吸着ノズル１２に負圧を供給する負圧供給手段４０と、吸着ノズル１２に付与される荷重を検出する荷重検出手段としてのロードセル１５と、上下方向に沿った軸を中心に吸着ノズル１２の回転角度調節を行う回転角度調節手段５０とを備えている。以下に各部を詳説する。 (Suction nozzle lifting device)
FIG. 2 is a side sectional view of the lifting device 10 of the suction nozzle 12. As shown in FIG. 2, the lifting device 10 for the suction nozzle 12 sucks and holds the electronic component C at the tip portion held by the main body frame 11 as a housing fixedly supported by the head 106 and the nozzle holder 13. The suction nozzle 12, the movable bracket 14 as a moving body supported by the main body frame 11 so as to be movable up and down, the first vertical movement means 20 for driving the movable bracket 14 in the vertical direction, and the movable bracket 14 are provided. The second vertical movement means 30 that drives the suction nozzle 12 along the vertical direction from the movable bracket 14 via the nozzle holder 13, the negative pressure supply means 40 that supplies negative pressure to the suction nozzle 12, and the suction nozzle 12 The load cell 15 as load detecting means for detecting the load applied to the nozzle and the rotation angle adjustment of the suction nozzle 12 around the axis along the vertical direction And a rotation angle adjusting means 50. Each part is described in detail below.

本体フレーム１１は、前述のようにヘッド１０６に固定支持され、Ｘ−Ｙ平面（水平面）に沿って，例えば電子部品Ｃの受け取り位置や基板の搭載位置に搬送される。 The main body frame 11 is fixedly supported by the head 106 as described above, and is conveyed along the XY plane (horizontal plane) to, for example, the receiving position of the electronic component C or the mounting position of the substrate.

可動ブラケット１４は、本体フレーム１１の下部においてリニアガイド１９を介して上下動可能に支持されている。この可動ブラケット１４は、本体フレーム１１に設けられた第１の上下動手段２０により上下方向に駆動する。 The movable bracket 14 is supported at the lower part of the main body frame 11 through a linear guide 19 so as to be movable up and down. The movable bracket 14 is driven in the vertical direction by the first vertical movement means 20 provided on the main body frame 11.

第１の上下動手段２０は、本体フレーム１１の上部において下方に出力軸を向けた状態で配設された回転駆動式の上下動モータ２１（第１の駆動源）と、その回転角度量を検出するエンコーダ２２と、上下動モータ２１の出力軸にカップリングを介して連結され，上下方向に沿った状態で回転自在に本体フレーム１１に支持されたボールネジシャフト２３と、このボールネジシャフト２３により上下動が付与されるボールネジナット２４とを有している。
ボールネジナット２４は、可動ブラケット１４に固定されており、上下動モータ２１の回転駆動により回転角度量に応じて可動ブラケット１４の上下方向の位置決めを行う。また、エンコーダ２２は、その検出信号が制御手段１１０（図４参照）に出力され、制御手段１１０が検出信号に基づいて可動ブラケット１４の現在位置を認識して上下動モータ２１の動作制御を行うことを可能としている。 The first vertical movement means 20 includes a rotary drive type vertical movement motor 21 (first drive source) disposed in a state where the output shaft is directed downward at the upper part of the main body frame 11, and the rotation angle amount thereof. An encoder 22 to be detected, a ball screw shaft 23 connected to the output shaft of the vertical movement motor 21 via a coupling, and supported by the main body frame 11 so as to be rotatable along the vertical direction, and the ball screw shaft 23 And a ball screw nut 24 to which movement is applied.
The ball screw nut 24 is fixed to the movable bracket 14 and positions the movable bracket 14 in the vertical direction according to the rotation angle amount by the rotational drive of the vertical movement motor 21. The encoder 22 outputs the detection signal to the control means 110 (see FIG. 4), and the control means 110 recognizes the current position of the movable bracket 14 based on the detection signal and controls the operation of the vertical movement motor 21. Making it possible.

吸着ノズル１２は、下端部が先細に形成された管状体であり、当該先端部を電子部品Ｃに向けた状態で吸着保持が行われる。吸着ノズル１２の上端部はノズルホルダ１３に連結されている。
ノズルホルダ１３は、後述するノズルシャフト４１の下端部に設けられ、下端部に吸着ノズル１２が着脱自在に取り付けられた筒状体である。 The suction nozzle 12 is a tubular body having a tapered lower end portion, and suction holding is performed with the tip portion facing the electronic component C. The upper end portion of the suction nozzle 12 is connected to the nozzle holder 13.
The nozzle holder 13 is a cylindrical body that is provided at a lower end portion of a nozzle shaft 41 to be described later, and the suction nozzle 12 is detachably attached to the lower end portion.

負圧供給手段４０は、下端部がノズルホルダ１３に連結されたノズルシャフト４１と、このノズルシャフト４１の上端部に連結されたガスケット４２とを備えている。このうち、ガスケット４２は、吸着ノズル１２が電子部品を吸着するための負圧の供給を行う図示しない負圧源たる吸気ポンプ或いはエジェクター等と接続可能となっている。 The negative pressure supply means 40 includes a nozzle shaft 41 having a lower end connected to the nozzle holder 13 and a gasket 42 connected to the upper end of the nozzle shaft 41. Among these, the gasket 42 can be connected to an intake pump or an ejector that is a negative pressure source (not shown) that supplies a negative pressure for the suction nozzle 12 to suck the electronic component.

ノズルシャフト４１は、その上端部が本体フレーム１１の上部近傍まで延出されており、後述するスプライン構造を介して回転角度調節手段５０に連結されており、回転角度調節手段５０から回転動作が付与される構造となっている。つまり、これにより、吸着ノズル１２に鉛直上下方向を軸とする回転動作が付与され、吸着した電子部品の向きを調節することを可能としている。
また、ノズルシャフト４１の下部は、可動ブラケット１４に設けられた空気軸受け４３により鉛直上下方向の軸回りに回転及び上下動可能に支持されている。空気軸受け４３は、ノズルシャフト４１の下部の外径よりわずかに大きな内径のスリーブであって、ノズルシャフト４１との隙間に空気を供給することでノズルシャフト４１をその中心位置に保持することができる。かかる空気軸受け４３は非接触でノズルシャフト４１を支持するので摩擦の発生がなく、ノズルシャフト４１を円滑に回転及び上下動させることが可能である。 The upper end portion of the nozzle shaft 41 extends to the vicinity of the upper portion of the main body frame 11 and is connected to the rotation angle adjusting means 50 through a spline structure which will be described later. It has a structure. That is, as a result, a rotation operation about the vertical vertical direction is given to the suction nozzle 12, and the orientation of the sucked electronic component can be adjusted.
Further, the lower portion of the nozzle shaft 41 is supported by an air bearing 43 provided on the movable bracket 14 so as to be rotatable and vertically movable about a vertical vertical axis. The air bearing 43 is a sleeve having an inner diameter slightly larger than the outer diameter of the lower portion of the nozzle shaft 41. By supplying air to the gap with the nozzle shaft 41, the nozzle shaft 41 can be held at the center position. . Since the air bearing 43 supports the nozzle shaft 41 in a non-contact manner, no friction is generated, and the nozzle shaft 41 can be smoothly rotated and moved up and down.

回転角度調節手段５０は、本体フレーム１１の上部において下方に出力軸を向けた状態で配設された角度調節モータ５１（回転駆動源）と、その回転角度量を検出するエンコーダ５２と、角度調節モータ５１の出力軸の下端部にカップリングを介して連結されたスプラインナット５３とを備えている。
上記角度調節モータ５１とスプラインナット５３とは、前述したノズルシャフト４１と同心となる位置に配設されており、ノズルシャフト４１の上部の外周面はスプラインナット５３に嵌合するスプライン軸となっている。かかるスプライン軸とスプラインナット５３とによりスプライン構造が構成されている。
これにより、ノズルシャフト４１は、角度調節モータ５１のトルクが付与されると共に、角度調節モータ５１及びスプラインナット５３に対して上下動を行うことが可能となっている。
一方、エンコーダ５２は角度調節モータ５１の出力軸の回転角度量を制御手段１１０に出力しており、これに基づいて制御手段１１０は角度調節モータ５１に所定の角度量の回転を生じるように回転駆動制御を行うことを可能としている。その結果、角度調節モータ５１の出力軸からスプラインナット５２，ノズルシャフト４１及びノズルホルダ１３を介して吸着ノズル１２の回転駆動が行われ、吸着ノズル１２の先端部に吸着保持された電子部品Ｃの向きを調節することが可能である。 The rotation angle adjustment means 50 includes an angle adjustment motor 51 (rotation drive source) disposed with the output shaft directed downward in the upper part of the main body frame 11, an encoder 52 for detecting the rotation angle amount, and angle adjustment. A spline nut 53 connected to the lower end of the output shaft of the motor 51 via a coupling is provided.
The angle adjusting motor 51 and the spline nut 53 are disposed concentrically with the nozzle shaft 41 described above, and the outer peripheral surface of the upper portion of the nozzle shaft 41 is a spline shaft that fits into the spline nut 53. Yes. The spline shaft and the spline nut 53 constitute a spline structure.
Thereby, the nozzle shaft 41 is given the torque of the angle adjustment motor 51 and can move up and down with respect to the angle adjustment motor 51 and the spline nut 53.
On the other hand, the encoder 52 outputs the rotation angle amount of the output shaft of the angle adjustment motor 51 to the control means 110, and based on this, the control means 110 rotates to cause the angle adjustment motor 51 to rotate by a predetermined angle amount. It is possible to perform drive control. As a result, the suction nozzle 12 is rotationally driven from the output shaft of the angle adjustment motor 51 via the spline nut 52, the nozzle shaft 41 and the nozzle holder 13, and the electronic component C held by suction at the tip of the suction nozzle 12. It is possible to adjust the orientation.

第２の上下動手段３０は、ノズルシャフト４１に隣接する配置で可動ブラケット１４の上部に固定装備され、鉛直上下方向に沿って往復動作を行う出力軸を備えたボイスコイルモータ３１（第２の駆動源）と、ボイスコイルモータ３１の出力軸３１ａの下端部に垂下支持され、ロードセル１５を保持する支持枠３２と、一端部がノズルシャフト４１に連結され、他端部が支持枠３２に支持された荷重アーム３３と、荷重アーム３３とロードセル１５との間に介在する与圧バネ３４と、荷重アーム３３と支持枠３２との間に介在する支持バネ３５とを備えている。 The second vertical movement means 30 is fixedly mounted on the upper part of the movable bracket 14 in an arrangement adjacent to the nozzle shaft 41, and has a voice coil motor 31 (second output) having an output shaft that reciprocates along the vertical vertical direction. Drive frame) and a support frame 32 that is supported by the lower end of the output shaft 31 a of the voice coil motor 31, holds the load cell 15, one end is connected to the nozzle shaft 41, and the other end is supported by the support frame 32. The load arm 33, the pressurizing spring 34 interposed between the load arm 33 and the load cell 15, and the support spring 35 interposed between the load arm 33 and the support frame 32 are provided.

荷重アーム３３の一端部はラジアル軸受け３６を介してノズルシャフト４１の中間位置に連結されており、当該ノズルシャフト４１の鉛直軸回りの回転を許容し、鉛直上下方向についてはノズルシャフト４１（吸着ノズル１２）と荷重アーム３３とが一体的に上下動を行うようになっている。即ち、荷重アーム３３とラジアル軸受け３６により、ボイスコイルモータ３１の駆動が吸着ノズル１２に伝達される。よって、荷重アーム３３とラジアル軸受け３６を備えることで伝達機構３９が構成される。
また、荷重アーム３３は、空気軸受け４３の上側に設けられており、可動ブラケット１４に対して吸着ノズル１２及びノズルシャフト４１を下降させると、空気軸受け４３の上端部に荷重アーム３３が所定の高さで当接し、それより下方への下降動作を規制する構造となっている（図３参照）。即ち、空気軸受け４３は、第２の上下動手段３０による吸着ノズル１２の下降動作を規制するストッパとしての機能も有している。 One end of the load arm 33 is connected to an intermediate position of the nozzle shaft 41 via a radial bearing 36, and allows the nozzle shaft 41 to rotate around the vertical axis. 12) and the load arm 33 integrally move up and down. That is, the drive of the voice coil motor 31 is transmitted to the suction nozzle 12 by the load arm 33 and the radial bearing 36. Therefore, the transmission mechanism 39 is configured by including the load arm 33 and the radial bearing 36.
The load arm 33 is provided on the upper side of the air bearing 43. When the suction nozzle 12 and the nozzle shaft 41 are lowered with respect to the movable bracket 14, the load arm 33 is placed on the upper end of the air bearing 43 at a predetermined height. The contact is made at this point, and the downward movement downward is regulated (see FIG. 3). That is, the air bearing 43 also has a function as a stopper that restricts the downward movement of the suction nozzle 12 by the second vertical movement means 30.

支持枠３２は、矩形の枠状であって、互いに対向する天板３２ａと底板３２ｂとを備え、天板３２ａの上面にはボイスコイルモータ３１の出力軸の下端部が固定連結され、天板３２ａの下面にはロードセル１５が下向きに固定設置されている。また、荷重アーム３３の他端部は支持枠３２の天板３２ａと底板３２ｂの間に位置し、当該荷重アーム３３の他端部の上面とロードセル１５の下面（荷重検出面）との間に前述した与圧バネ３４が配設されている。また、荷重アーム３３の他端部の下面と支持枠３２の底板３２ｂの上面との間には前述した支持バネ３５が配設されている。 The support frame 32 has a rectangular frame shape and includes a top plate 32a and a bottom plate 32b facing each other. A lower end portion of the output shaft of the voice coil motor 31 is fixedly connected to an upper surface of the top plate 32a. A load cell 15 is fixedly installed downward on the lower surface of 32a. The other end of the load arm 33 is located between the top plate 32a and the bottom plate 32b of the support frame 32, and between the upper surface of the other end of the load arm 33 and the lower surface of the load cell 15 (load detection surface). The aforementioned pressurizing spring 34 is provided. Further, the above-described support spring 35 is disposed between the lower surface of the other end of the load arm 33 and the upper surface of the bottom plate 32 b of the support frame 32.

荷重アーム３３が上下のバネ３４，３５により挟まれた配置となることで、ボイスコイルモータ３１の出力軸３１ａの駆動により荷重アーム３３から空気軸受け４３の上面に対して付与している荷重をロードセル１５により検出させることができる。また、荷重アーム３３から付与される荷重が、吸着ノズル１２の先端部で電子部品を基板側に加圧するための荷重と一致する場合があり、その場合には、吸着ノズル１２が搭載時の電子部品に付与する荷重を検出することも可能となっている。 Since the load arm 33 is sandwiched between the upper and lower springs 34 and 35, the load applied to the upper surface of the air bearing 43 from the load arm 33 by driving the output shaft 31a of the voice coil motor 31 is a load cell. 15 can be detected. Further, the load applied from the load arm 33 may coincide with the load for pressurizing the electronic component toward the substrate at the tip of the suction nozzle 12, and in that case, the suction nozzle 12 is mounted with the electronic at the time of mounting. It is also possible to detect the load applied to the component.

制御手段１１０は、図４に示すように、吸着ノズル１２の昇降装置１０の各種制御を実行させる制御プログラムが書き込まれているＲＯＭ１１０ａと、制御プログラムに従って上下動モータ２１，ボイスコイルモータ３１，角度調節モータ５１及び負圧供給手段４０等の各部の動作を集中制御するＣＰＵ１１０ｂと、ＣＰＵ１１０ｂの処理データをワークエリアに格納するＲＡＭ１１０ｃとを備えている。 As shown in FIG. 4, the control means 110 includes a ROM 110a in which a control program for executing various controls of the lifting device 10 of the suction nozzle 12 is written, and a vertical movement motor 21, a voice coil motor 31, and angle adjustment according to the control program. A CPU 110b that centrally controls the operation of each unit such as the motor 51 and the negative pressure supply means 40, and a RAM 110c that stores processing data of the CPU 110b in a work area are provided.

制御手段１１０には、その動作制御に必要となるデータの入力設定や動作の開始の指示入力等を行う設定入力手段６４と、当該制御手段１１０からの制御信号に従って各モータ２１，３１，５１を駆動する各駆動回路６１，６２，６３と、エンコーダ２２，５２，ロードセル１５の出力を検出信号として当該制御手段１１０に入力する各入力回路６５，６６，６７とが併設されている。 The control means 110 is provided with a setting input means 64 for performing input setting of data necessary for the operation control, instruction input for starting the operation, and the like, and each motor 21, 31, 51 according to a control signal from the control means 110. Each drive circuit 61, 62, 63 to drive, and each input circuit 65, 66, 67 which inputs the output of the encoder 22, 52, the load cell 15 into the said control means 110 as a detection signal are attached.

図５に示すように、制御手段１１０は、ボイスコイルモータ３１用のコントローラ６０に接続されており、押付時間管理部６８（時間計測回路）による時間管理の下、制御手段１１０は、ボイスコイルモータ３１の出力を制御する。
具体的には、ＣＰＵ１１０ｂがＲＯＭ１１０ａに記憶されたプログラムを実行することで、制御手段１１０は、上下動モータ２１による可動ブラケット１４の下降時における加速中のみ又は上昇時における減速中のみボイスコイルモータ３１の出力を上昇させて、伝達機構３９（荷重アーム３３とラジアル軸受け３６）による空気軸受け４３への加圧力を増加させる。
このとき、制御手段１１０は、上下動モータ２１による可動ブラケット１４の下降の際の加速度、上昇の際の減速度の大きさに比例させてボイスコイルモータ３１の出力を制御する。即ち、可動ブラケット１４の加減速度が大きくなるほど、伝達機構３９に作用する慣性力も大きくなるので、ボイスコイルモータ３１の出力を大きくして伝達機構３９による空気軸受け４３への押付力を大きくし、慣性力によるばたつきを抑える。 As shown in FIG. 5, the control means 110 is connected to the controller 60 for the voice coil motor 31. Under the time management by the pressing time management unit 68 (time measurement circuit), the control means 110 is a voice coil motor. 31 output is controlled.
Specifically, the CPU 110b executes the program stored in the ROM 110a, so that the control unit 110 is only during acceleration when the movable bracket 14 is lowered by the vertical movement motor 21 or only during deceleration when the movable bracket 14 is raised. To increase the pressure applied to the air bearing 43 by the transmission mechanism 39 (the load arm 33 and the radial bearing 36).
At this time, the control means 110 controls the output of the voice coil motor 31 in proportion to the acceleration when the movable bracket 14 is lowered by the vertical movement motor 21 and the magnitude of the deceleration when the movable bracket 14 is raised. That is, as the acceleration / deceleration of the movable bracket 14 increases, the inertial force acting on the transmission mechanism 39 also increases. Therefore, the output of the voice coil motor 31 is increased to increase the pressing force applied to the air bearing 43 by the transmission mechanism 39. Reduces fluttering due to force.

＜吸着ノズルの駆動制御＞
電子部品Ｃが基板に搭載される際にＣＰＵ１１０ｂが実行する吸着ノズル１２の駆動制御方法について、図６のフローチャートを参照して説明する。これは、ＣＰＵ１１０ｂがＲＯＭ１１０ａに格納された所定のプログラムを実行することにより行われる処理である。
なお、ここでは、吸着ノズル１２が電子部品Ｃの吸着を行い、角度調節モータ５１により吸着ノズル１２の先端部の電子部品Ｃの向きが既に調節されて、基板の搭載位置にヘッド１０６が搬送された状態にあることを前提とする。 <Drive control of suction nozzle>
A drive control method of the suction nozzle 12 executed by the CPU 110b when the electronic component C is mounted on the substrate will be described with reference to the flowchart of FIG. This is a process performed by the CPU 110b executing a predetermined program stored in the ROM 110a.
Here, the suction nozzle 12 picks up the electronic component C, and the angle adjustment motor 51 has already adjusted the direction of the electronic component C at the tip of the suction nozzle 12 to transport the head 106 to the mounting position of the substrate. It is assumed that it is in the state.

ＣＰＵ１１０ｂは、上下動モータ２１を駆動させて、吸着ノズル１２の先端部をヘッド１０６搬送時の高さＺ３から、予め設定した基準高さＺ２まで高速で下降させる（ステップＳ１）。このとき、ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）３１は非駆動状態（出力Ｖ０）にあり、吸着ノズル１２は可動ブラケット１４に対して最も下降した位置、つまり、荷重アーム３３が空気軸受け４３の上面に当接した状態にある。なお、高さＺ２は、ボイスコイルモータ３１が非駆動状態で吸着ノズル１２が最も下降した高さであり、吸着ノズル１２の下端部が電子部品Ｃに届くことがない高さに設定されている。また、かかる状態におけるロードセル（ＬＣ）１５の検出荷重はＬ０となっている。 The CPU 110b drives the vertical movement motor 21 to lower the tip of the suction nozzle 12 at a high speed from the height Z3 when the head 106 is transported to a preset reference height Z2 (step S1). At this time, the voice coil motor (VCM) 31 is in a non-driven state (output V0), and the suction nozzle 12 is in the lowest position relative to the movable bracket 14, that is, the load arm 33 contacts the upper surface of the air bearing 43. Is in a state. The height Z2 is the height at which the suction nozzle 12 is lowered most when the voice coil motor 31 is not driven, and is set to a height at which the lower end of the suction nozzle 12 does not reach the electronic component C. . Further, the detected load of the load cell (LC) 15 in this state is L0.

次に、ＣＰＵ１１０ｂは、エンコーダ２２の出力に基づいて吸着ノズル１２の先端部が高さＺ２に到達したか否かを判定し（ステップＳ２）、ＣＰＵ１１０ｂは、到達していないと判定した場合には（ステップＳ２：Ｎｏ）、ステップＳ１に戻る。
ＣＰＵ３０ｂは、吸着ノズル１２の先端部が高さＺ２に到達していると判定した場合には（ステップＳ２；Ｙｅｓ）、ＣＰＵ１１０ｂは、吸着ノズル１２の先端部を高さＺ２で停止させると共に、ボイスコイルモータ３１の出力をＶ１まで上げて当該ボイスコイルモータ３１に上昇駆動力を作用させる（ステップＳ３）。このときのボイスコイルモータ３１の出力Ｖ１は、後述する駆動力確認工程によって予め設定されている出力値であり、より詳しくは、荷重アーム３３が空気軸受け４３の上面から丁度離間する出力値である。なお、吸着ノズル１２の先端部を高さＺ２で停止させたときに吸着ノズル１２に対して下方への慣性力が作用するが、荷重アーム３３が空気軸受け４３の上面に当接させた状態にあるので吸着ノズル１２がこの慣性力によって下方へ移動することはなく、吸着ノズル１２と電子部品Ｃとが接触する事態は生じない。ここの加圧力制御については、後述する。 Next, the CPU 110b determines whether or not the tip of the suction nozzle 12 has reached the height Z2 based on the output of the encoder 22 (step S2), and if the CPU 110b determines that it has not reached it. (Step S2: No), it returns to Step S1.
When the CPU 30b determines that the tip of the suction nozzle 12 has reached the height Z2 (step S2; Yes), the CPU 110b stops the tip of the suction nozzle 12 at the height Z2 and voices. The output of the coil motor 31 is increased to V1, and the driving force for raising the voice coil motor 31 is applied (step S3). The output V1 of the voice coil motor 31 at this time is an output value set in advance by a driving force confirmation step described later, more specifically, an output value at which the load arm 33 is just separated from the upper surface of the air bearing 43. . Note that when the tip of the suction nozzle 12 is stopped at the height Z2, a downward inertia force acts on the suction nozzle 12, but the load arm 33 is in contact with the upper surface of the air bearing 43. Therefore, the suction nozzle 12 does not move downward by this inertial force, and the suction nozzle 12 and the electronic component C do not contact each other. The pressure control here will be described later.

次に、ＣＰＵ１１０ｂは、上下動モータ２１を駆動させて吸着ノズル１２の低速での下降を開始する（ステップＳ４）。このとき、ボイスコイルモータ３１の出力はＶ１のままである。なお、このステップＳ４における吸着ノズル１２の「低速」での下降とは、ステップＳ１における「高速」での下降に比べて相対的に遅いことを意味している。 Next, the CPU 110b drives the vertical movement motor 21 to start lowering the suction nozzle 12 at a low speed (step S4). At this time, the output of the voice coil motor 31 remains V1. It should be noted that the lowering of the suction nozzle 12 at “low speed” in step S4 means that it is relatively slower than the lowering at “high speed” in step S1.

次に、ＣＰＵ１１０ｂは、ロードセル１５からの出力の変化に基づいて、吸着ノズル１２の先端部が電子部品Ｃを介して基板に接触したか否かを判定する（ステップＳ５）。ここでは、ＣＰＵ１１０ｂは、ロードセル１５からの出力の変化がＬ０からＬ１まで変化していない場合には、吸着ノズル１２が基板に接触していないと判定し（ステップＳ５；Ｎｏ）、当該ステップＳ５を繰り返す。
一方、ロードセル１５からの出力の変化がＬ０からＬ１まで変化していた場合には、ＣＰＵ１１０ｂは、吸着ノズル１２が基板に接触していると判定し（ステップＳ５：Ｙｅｓ）、そのときのＺ軸高さをＺ０としてＲＡＭ１１０ｃに記憶させると共に、電子部品Ｃが所定の荷重で基板に当接するようにボイスコイルモータ３１に出力Ｖ２の下降駆動力を作用させる（ステップＳ６）。 Next, the CPU 110b determines whether or not the tip of the suction nozzle 12 has contacted the substrate via the electronic component C based on the change in output from the load cell 15 (step S5). Here, when the change in the output from the load cell 15 does not change from L0 to L1, the CPU 110b determines that the suction nozzle 12 is not in contact with the substrate (Step S5; No), and performs Step S5. repeat.
On the other hand, when the change in the output from the load cell 15 has changed from L0 to L1, the CPU 110b determines that the suction nozzle 12 is in contact with the substrate (step S5: Yes), and the Z-axis at that time The height is stored in the RAM 110c as Z0, and the driving force for lowering the output V2 is applied to the voice coil motor 31 so that the electronic component C contacts the substrate with a predetermined load (step S6).

次に、ＣＰＵ１１０ｂは、エンコーダ２２の出力に基づいて吸着ノズル１２の先端部が高さＺ１に到達したか否かを判定し（ステップＳ７）、ＣＰＵ１１０ｂは、到達していないと判定した場合には（ステップＳ７；Ｎｏ）、当該ステップＳ７を繰り返す。
ＣＰＵ１１０ｂは、吸着ノズル１２の先端部が高さＺ１に到達していると判定した場合には（ステップＳ７：Ｙｅｓ）、ＣＰＵ１１０ｂは、上下動モータ２１を停止させて当該高さＺ１を保持すると共に、ロードセル１５の出力がＬ２に保たれるようにボイスコイルモータ３１の出力をＶ２に保持する（ステップＳ８）。なお、吸着ノズル１２の先端部が高さＺ１に到達していなくとも、ステップＳ６からボイスコイルモータ３１の出力をＶ２に保持しておいてもよい。 Next, the CPU 110b determines whether or not the tip of the suction nozzle 12 has reached the height Z1 based on the output of the encoder 22 (step S7), and if the CPU 110b determines that it has not reached the height Z1. (Step S7; No), Step S7 is repeated.
When the CPU 110b determines that the tip of the suction nozzle 12 has reached the height Z1 (step S7: Yes), the CPU 110b stops the vertical movement motor 21 and holds the height Z1. The output of the voice coil motor 31 is held at V2 so that the output of the load cell 15 is kept at L2 (step S8). Even if the tip of the suction nozzle 12 does not reach the height Z1, the output of the voice coil motor 31 may be held at V2 from step S6.

次に、ＣＰＵ１１０ｂは、吸着ノズル１２の先端部が高さＺ１に到達してから所定の加圧時間Ｔが経過したか否かを判定し（ステップＳ９）、経過していない場合には（ステップＳ９：Ｎｏ）、当該ステップＳ９を繰り返す。そして、所定の加圧時間Ｔが経過していた場合には（ステップＳ９：Ｙｅｓ）、ＣＰＵ１１０ｂは、上下動モータ２１を駆動させて吸着ノズル１２の先端部を高さＺ２まで低速で上昇させた後、高さＺ３まで高速で上昇させる（ステップＳ１０）。また、このとき同時に、ＣＰＵ１１０ｂは、ボイスコイルモータ３１の出力をＶ０まで戻す。
以上により、電子部品Ｃが基板に搭載される際の吸着ノズル１２の駆動制御が終了する。 Next, the CPU 110b determines whether or not a predetermined pressurizing time T has elapsed since the tip of the suction nozzle 12 has reached the height Z1 (step S9). S9: No), the step S9 is repeated. If the predetermined pressurization time T has elapsed (step S9: Yes), the CPU 110b drives the vertical movement motor 21 to raise the tip of the suction nozzle 12 to the height Z2 at a low speed. Then, it is raised at a high speed to the height Z3 (step S10). At the same time, the CPU 110b returns the output of the voice coil motor 31 to V0.
Thus, the drive control of the suction nozzle 12 when the electronic component C is mounted on the substrate is completed.

＜ボイスコイルモータによる加圧力の制御＞
（吸着ノズルの高速下降時）
図７のタイミングチャートに示すように、ＣＰＵ１１０ｂによる駆動制御の下、ボイスコイルモータ３１は、可動ブラケット１４の高速下降の際の加速している間に出力を上昇させて、荷重アーム３３による空気軸受け４３への加圧力を増加させる。
図８のフローチャートに示すように、ＣＰＵ１１０ｂは、ボイスコイルモータ３１の出力を上昇させる開始タイミングになったか否かを判断する（ステップＳ２１）。
ＣＰＵ１１０ｂは、開始タイミングになったと判断した場合（ステップＳ２１：Ｙｅｓ）、ＣＰＵ１１０ｂは、ボイスコイルモータ３１の押付開始指令から可動ブラケット１４が加速を開始するまでの時間と可動ブラケット１４の加速時間と余裕を考慮したマージン時間との合計時間ｔ１を算出する（ステップＳ２２）。
ＣＰＵ１１０ｂは、合計時間ｔ１の算出後、ボイスコイルモータ３１に流す電流を増加させる（ステップＳ２３）。ここで、電流の増加量は、可動ブラケット１４の加速度の大きさ、すなわち、上下動モータ２１によるボールネジシャフト２３の回転加速度に応じて決定される。具体的には、ＣＰＵ１１０ｂは、可動ブラケット１４の加速度の大きさに比例するように、ボイスコイルモータ３１に流す電流量を増加させる。
次いで、ＣＰＵ１１０ｂは、ボイスコイルモータ３１の出力を上昇させる開始タイミングから合計時間ｔ１経過したか否かを判断する（ステップＳ２４）。
ＣＰＵ１１０ｂは、開始タイミングから合計時間ｔ１経過したと判断した場合（ステップＳ２４：Ｙｅｓ）、ＣＰＵ１１０ｂは、ボイスコイルモータ３１に流す電流を増加する前の電流値に戻す（ステップＳ２５）。 <Pressure control by voice coil motor>
(When suction nozzle is descending at high speed)
As shown in the timing chart of FIG. 7, under the drive control by the CPU 110 b, the voice coil motor 31 increases the output while accelerating when the movable bracket 14 descends at high speed, and the air bearing by the load arm 33. Increase the pressure on 43.
As shown in the flowchart of FIG. 8, the CPU 110b determines whether or not it is the start timing for increasing the output of the voice coil motor 31 (step S21).
When the CPU 110b determines that the start timing has come (step S21: Yes), the CPU 110b determines the time from the pressing start command of the voice coil motor 31 until the movable bracket 14 starts accelerating, the acceleration time of the movable bracket 14, and the margin. The total time t1 with the margin time considering the above is calculated (step S22).
After calculating the total time t1, the CPU 110b increases the current flowing through the voice coil motor 31 (step S23). Here, the amount of increase in current is determined according to the magnitude of the acceleration of the movable bracket 14, that is, the rotational acceleration of the ball screw shaft 23 by the vertical movement motor 21. Specifically, the CPU 110b increases the amount of current flowing through the voice coil motor 31 so as to be proportional to the magnitude of the acceleration of the movable bracket 14.
Next, the CPU 110b determines whether or not the total time t1 has elapsed from the start timing for increasing the output of the voice coil motor 31 (step S24).
When the CPU 110b determines that the total time t1 has elapsed from the start timing (step S24: Yes), the CPU 110b returns the current flowing through the voice coil motor 31 to the current value before the increase (step S25).

（吸着ノズルによる電子部品吸着後の高速上昇時）
図７のタイミングチャートに示すように、ＣＰＵ１１０ｂによる駆動制御の下、ボイスコイルモータ３１は、可動ブラケット１４の高速上昇の際の減速している間に出力を上昇させて、荷重アーム３３による空気軸受け４３への加圧力を増加させる。
図９のフローチャートに示すように、ＣＰＵ１１０ｂは、ボイスコイルモータ３１の出力を上昇させる開始タイミングになったか否かを判断する（ステップＳ３１）。
ＣＰＵ１１０ｂは、開始タイミングになったと判断した場合（ステップＳ３１：Ｙｅｓ）、ＣＰＵ１１０ｂは、可動ブラケット１４の減速時間と余裕を考慮したマージン時間との合計時間ｔ２と、ボイスコイルモータ３１の押付開始指令から可動ブラケット１４が減速を開始するまでの時間ｔ３とを算出する（ステップＳ３２）。
次いで、ＣＰＵ１１０ｂは、ボイスコイルモータ３１の出力を上昇させる開始タイミングから時間ｔ３経過したか否かを判断する（ステップＳ３３）。
ＣＰＵ１１０ｂは、開始タイミングから時間ｔ３経過したと判断した場合（ステップＳ３３：Ｙｅｓ）、ＣＰＵ１１０ｂは、ボイスコイルモータ３１に流す電流を増加させる（ステップＳ３４）。ここで、電流の増加量は、可動ブラケット１４の減速度の大きさ、すなわち、上下動モータ２１によるボールネジシャフト２３の回転加速度に応じて決定される。具体的には、ＣＰＵ１１０ｂは、可動ブラケット１４の加速度の大きさに比例するように、ボイスコイルモータ３１に流す電流量を増加させる。
次いで、ＣＰＵ１１０ｂは、ボイスコイルモータ３１の出力を上昇させる開始タイミングから時間（ｔ２＋ｔ３）経過したか、すなわち、時間ｔ３の経過後、さらに時間ｔ２経過したか否かを判断する（ステップＳ３５）。
ＣＰＵ１１０ｂは、開始タイミングから時間（ｔ２＋ｔ３）経過したと判断した場合（ステップＳ３５：Ｙｅｓ）、ＣＰＵ１１０ｂは、ボイスコイルモータ３１に流す電流を増加する前の電流値に戻す（ステップＳ３６）。 (At the time of high-speed rise after electronic component adsorption by the adsorption nozzle)
As shown in the timing chart of FIG. 7, under the drive control by the CPU 110 b, the voice coil motor 31 raises the output while decelerating when the movable bracket 14 is raised at high speed, and the air bearing by the load arm 33. Increase the pressure on 43.
As shown in the flowchart of FIG. 9, the CPU 110b determines whether or not the start timing for increasing the output of the voice coil motor 31 has come (step S31).
When the CPU 110b determines that the start timing is reached (step S31: Yes), the CPU 110b determines from the total time t2 of the deceleration time of the movable bracket 14 and the margin time considering the margin and the pressing start command of the voice coil motor 31. A time t3 until the movable bracket 14 starts decelerating is calculated (step S32).
Next, the CPU 110b determines whether or not the time t3 has elapsed from the start timing for increasing the output of the voice coil motor 31 (step S33).
When the CPU 110b determines that the time t3 has elapsed from the start timing (step S33: Yes), the CPU 110b increases the current passed through the voice coil motor 31 (step S34). Here, the amount of increase in current is determined according to the magnitude of the deceleration of the movable bracket 14, that is, the rotational acceleration of the ball screw shaft 23 by the vertical movement motor 21. Specifically, the CPU 110b increases the amount of current flowing through the voice coil motor 31 so as to be proportional to the magnitude of the acceleration of the movable bracket 14.
Next, the CPU 110b determines whether time (t2 + t3) has elapsed from the start timing for increasing the output of the voice coil motor 31, that is, whether time t2 has elapsed after the elapse of time t3 (step S35).
When the CPU 110b determines that the time (t2 + t3) has elapsed from the start timing (step S35: Yes), the CPU 110b returns the current flowing through the voice coil motor 31 to the current value before the increase (step S36).

＜作用効果＞
上記の部品実装装置１００によれば、制御手段１１０は、上下動モータ２１による可動ブラケット１４の下降時における加速中のみ又は上昇時における減速中のみボイスコイルモータ３１の出力を上昇させて、伝達機構３９による空気軸受け３４への加圧力を増加させる。
これにより、上下動モータ２１の加減速による慣性力により伝達機構３９が可動ブラケット１４から離れて上下にばたつくときだけ加圧力を増加させることができるので、ばたつきを抑えることができると共に、ボイスコイルモータ３１の発熱を抑え、省エネルギー化を実現することができる。
よって、部品搭載時の精度に悪影響を与えることがなく、発熱の影響により周囲の部品に影響を与えることもない。
また、発熱を抑えることができるので、定格出力の大きなボイスコイルモータにする必要もなく、装置の重量化、コストの高騰を抑えることができる。
また、ばたつきを抑えることにより、上下動モータ２１による可動ブラケット１４の昇降時の加減速度を大きくすることもできるようになる。 <Effect>
According to the component mounting apparatus 100 described above, the control unit 110 increases the output of the voice coil motor 31 only during acceleration when the movable bracket 14 is lowered by the vertical movement motor 21 or only during deceleration when the movable bracket 14 is lowered, thereby transmitting a transmission mechanism. The pressure applied to the air bearing 34 by 39 is increased.
As a result, the pressure can be increased only when the transmission mechanism 39 flutters up and down due to the inertial force caused by the acceleration / deceleration of the vertical movement motor 21. The heat generation of 31 can be suppressed and energy saving can be realized.
Therefore, there is no adverse effect on the accuracy when mounting the components, and the surrounding components are not affected by the influence of heat generation.
In addition, since heat generation can be suppressed, it is not necessary to use a voice coil motor with a large rated output, and the weight of the device and the increase in cost can be suppressed.
Further, by suppressing the fluttering, it is possible to increase the acceleration / deceleration speed when the movable bracket 14 is moved up and down by the vertical movement motor 21.

また、制御手段１１０は、上下動モータ２１による可動ブラケット１４の下降の際の加速度、上昇の際の減速度の大きさに比例させてボイスコイルモータ３１の出力を制御するので、可動ブラケット１４の加減速度に合わせて適切な出力とすることができ、過剰な出力による発熱を防止すると共に、省エネルギー化を実現することができる。また、ボイスコイルモータ３１の出力不足を防止することができる。 Further, the control means 110 controls the output of the voice coil motor 31 in proportion to the acceleration when the movable bracket 14 is lowered by the vertical movement motor 21 and the magnitude of the deceleration when the movable bracket 14 is raised. An appropriate output can be obtained in accordance with the acceleration / deceleration, and heat generation due to an excessive output can be prevented and energy saving can be realized. In addition, insufficient output of the voice coil motor 31 can be prevented.

また、制御手段１１０は、上下動モータ２１による可動ブラケット１４の加減速が終わって一定速度での昇降になったときに、ボイスコイルモータ３１の出力を可動ブラケット１４の加減速前の出力に戻すので、昇降速度が一定になったことをトリガーとしてボイスコイルモータ３１の出力を元に戻すことができる。 Further, the control means 110 returns the output of the voice coil motor 31 to the output before the acceleration / deceleration of the movable bracket 14 when the acceleration / deceleration of the movable bracket 14 by the vertical movement motor 21 is finished and the elevator moves up and down at a constant speed. Therefore, the output of the voice coil motor 31 can be returned to the original by using the fact that the ascending / descending speed becomes constant as a trigger.

［第２の実施形態］
次に、部品実装装置の第２の実施形態について説明する。第２の実施形態が第１の実施形態と異なる点は、ボイスコイルモータ３１の出力を上昇させるタイミングをボイスコイルモータ３１の押付開始指令に代えて、ロードセル１５の検出値にしたものである。これは、通常、荷重アーム３３を空気軸受け４３に押し付けている場合、ロードセル１５は一定の荷重値を検出しているが、可動ブラケット１４を高速で下降させるために加速した場合、高速で上昇させるために減速した場合には、荷重アーム３３に上方向の慣性力が作用するため、ロードセル１５により検出される荷重値が増加する。この検出荷重の変化を設定した閾値と比較して閾値を超えた場合をトリガとしてボイスコイルモータ３１の出力を上昇させる。なお、第１の実施形態と同じ構成には同一符号を付して説明を省略する。
図１０に示すように、押付時間管理部６８には、押付開始タイミングを検出するための押付開始タイミング検出部６９が接続されている。従って、制御手段１１０、押付時間管理部６８、押付開始タイミング検出部６９を備えることにより、第２の制御手段が構成される。
押付開始タイミング検出部６９においては、ロードセル１５により検出された荷重が予め設定された閾値を超えているか否かを判断し、検出された荷重が閾値を超えたと判断した場合に、押付時間管理部６８にその旨の信号が送信される。押付時間管理部６８は、押付開始タイミング検出部６９から信号を受信した時点からボイスコイルモータ３１の出力を上昇させるよう制御手段１１０に信号を送信する。 [Second Embodiment]
Next, a second embodiment of the component mounting apparatus will be described. The second embodiment is different from the first embodiment in that the timing of increasing the output of the voice coil motor 31 is changed to a detected value of the load cell 15 instead of the pressing start command of the voice coil motor 31. Normally, when the load arm 33 is pressed against the air bearing 43, the load cell 15 detects a constant load value, but when the movable bracket 14 is accelerated to descend at a high speed, it is raised at a high speed. Therefore, when the vehicle decelerates, an upward inertial force acts on the load arm 33, so that the load value detected by the load cell 15 increases. The output of the voice coil motor 31 is increased by using a case where the detected load change is compared with a set threshold value and exceeds the threshold value as a trigger. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same structure as 1st Embodiment, and description is abbreviate | omitted.
As shown in FIG. 10, the pressing time management unit 68 is connected to a pressing start timing detection unit 69 for detecting the pressing start timing. Accordingly, the second control unit is configured by including the control unit 110, the pressing time management unit 68, and the pressing start timing detection unit 69.
In the pressing start timing detection unit 69, it is determined whether or not the load detected by the load cell 15 exceeds a preset threshold value, and when it is determined that the detected load exceeds the threshold value, the pressing time management unit A signal to that effect is transmitted to 68. The pressing time management unit 68 transmits a signal to the control unit 110 so as to increase the output of the voice coil motor 31 from the time when the signal is received from the pressing start timing detection unit 69.

＜ボイスコイルモータによる加圧力の制御＞
第２の実施形態においても、ボイスコイルモータ３１は、吸着ノズルの高速下降時、及び吸着ノズルによる電子部品吸着後の高速上昇時に出力を上昇する。なお、いずれもロードセル１５による荷重の検出値が閾値を超えたか否かを判断する点で共通しているため、フローチャートは同じであることから、吸着ノズルの高速下降時について説明する。
図１１のタイミングチャートに示すように、ＣＰＵ１１０ｂによる駆動制御の下、ボイスコイルモータ３１は、可動ブラケット１４の高速下降の際の加速している間及び可動ブラケット１４の高速上昇の際の減速している間に出力を上昇させて、荷重アーム３３による空気軸受け４３への加圧力を増加させる。
図１２のフローチャートに示すように、可動ブラケット１４の高速下降の際の加速している間を例に説明すると、ＣＰＵ１１０ｂは、ロードセル１５により検出した荷重値が閾値を超えたか否かを判断する（ステップＳ４１）。
ＣＰＵ１１０ｂは、ロードセル１５により検出した荷重値が閾値を超えたと判断した場合（ステップＳ４１：Ｙｅｓ）、ＣＰＵ１１０ｂは、ボイスコイルモータ３１に流す電流を増加させる（ステップＳ４２）。ここで、電流の増加量は、可動ブラケット１４の減速度の大きさ、すなわち、上下動モータ２１によるボールネジシャフト２３の回転加速度に応じて決定される。具体的には、ＣＰＵ１１０ｂは、可動ブラケット１４の加速度の大きさに比例するように、ボイスコイルモータ３１に流す電流量を増加させる。
次いで、ＣＰＵ１１０ｂは、ロードセル１５により検出した荷重値が閾値を超えているか否かを判断する（ステップＳ４３）。
ＣＰＵ１１０ｂは、ロードセル１５により検出した荷重値が閾値を超えていないと判断した場合（ステップＳ４３：Ｎｏ）、ＣＰＵ１１０ｂは、ボイスコイルモータ３１に流す電流を増加する前の電流値に戻す（ステップＳ４４）。 <Pressure control by voice coil motor>
Also in the second embodiment, the voice coil motor 31 increases its output when the suction nozzle is lowered at a high speed and when the electronic component is picked up by the suction nozzle at a high speed. Since both are common in that it is determined whether or not the detection value of the load by the load cell 15 exceeds the threshold value, the flowchart is the same, and therefore, the case where the suction nozzle descends at high speed will be described.
As shown in the timing chart of FIG. 11, under the drive control by the CPU 110b, the voice coil motor 31 decelerates while accelerating when the movable bracket 14 is lowered at high speed and when the movable bracket 14 is raised at high speed. During this time, the output is increased and the pressure applied to the air bearing 43 by the load arm 33 is increased.
As illustrated in the flowchart of FIG. 12, when the acceleration is performed when the movable bracket 14 is accelerated at a high speed, the CPU 110b determines whether or not the load value detected by the load cell 15 exceeds a threshold value ( Step S41).
When the CPU 110b determines that the load value detected by the load cell 15 has exceeded the threshold value (step S41: Yes), the CPU 110b increases the current passed through the voice coil motor 31 (step S42). Here, the amount of increase in current is determined according to the magnitude of the deceleration of the movable bracket 14, that is, the rotational acceleration of the ball screw shaft 23 by the vertical movement motor 21. Specifically, the CPU 110b increases the amount of current flowing through the voice coil motor 31 so as to be proportional to the magnitude of the acceleration of the movable bracket 14.
Next, the CPU 110b determines whether or not the load value detected by the load cell 15 exceeds a threshold value (step S43).
When the CPU 110b determines that the load value detected by the load cell 15 does not exceed the threshold value (step S43: No), the CPU 110b returns the current flowing through the voice coil motor 31 to the current value before increasing (step S44). .

＜作用効果＞
上記の部品実装装置１００によれば、第１の実施形態と同様の作用効果を奏するのはもちろんのこと、ロードセル１５により検出された荷重が所定の閾値を超えた場合に、制御手段１１０は、ボイスコイルモータ３１の出力を上昇させて、伝達機構３９による空気軸受け４３への加圧力を増加させる。
これにより、ロードセル１５により検出したことをトリガーとしてボイスコイルモータ３１の制御をすればよいので、事前にボイスコイルモータ３１の出力を上昇させるタイミングの計算処理等が不要となる。 <Effect>
According to the component mounting apparatus 100 described above, when the load detected by the load cell 15 exceeds a predetermined threshold as well as the same effects as those of the first embodiment, the control unit 110 The output of the voice coil motor 31 is increased, and the pressure applied to the air bearing 43 by the transmission mechanism 39 is increased.
Thereby, since it is sufficient to control the voice coil motor 31 by using the detection by the load cell 15 as a trigger, the calculation processing of the timing for increasing the output of the voice coil motor 31 in advance becomes unnecessary.

［第３の実施形態］
＜部品実装装置の構成＞
次に、部品実装装置の第３の実施形態について説明する。第３の実施形態が第１の実施形態と異なる点は、荷重アーム３３による空気軸受け４３に対する加圧力の上昇を、制御手段１１０によるボイスコイルモータ３１の出力の制御ではなく、ボイスコイルモータ３１とは異なる駆動源で行う点である。従って、本実施形態においては、第１の実施形態と異なる点についてのみ説明し、他の構成は同一符号を付して説明を省略する。
図１３に示すように、可動ブラケット１４の上面には、ボイスコイルモータ３１の出力軸３１ａの上端を下方に向けて押圧して、吸着ノズル１２の電子部品Ｃに対して加圧力を加える補助加圧装置８０が設けられている。補助加圧装置８０は、例えば、エアシリンダにより構成され、ピストンロッドが伸縮することで、ボイスコイルモータ３１の出力軸３１ａの上端を押圧する位置と離間する位置との間で移動可能となっている。
補助加圧装置８０は、制御手段１１０により駆動が制御される。補助加圧装置８０は、制御手段１１０による制御の下、上下動モータ２１による可動ブラケット１４の下降時における加速中のみ又は上昇時における減速中のみ駆動し、ボイスコイルモータ３１の出力軸３１ａの上端を押圧し、加圧力を増加させる。従って、制御手段１１０は、補助制御手段として機能する。
なお、補助加圧装置８０によりボイスコイルモータ３１の出力軸３１ａの上端を押圧するタイミング及び時間は、第１の実施形態と同様であるため、説明を省略する。 [Third Embodiment]
<Configuration of component mounting device>
Next, a third embodiment of the component mounting apparatus will be described. The third embodiment is different from the first embodiment in that the increase in the pressure applied to the air bearing 43 by the load arm 33 is not controlled by the control means 110 to control the output of the voice coil motor 31 but the voice coil motor 31. Are different driving sources. Therefore, in the present embodiment, only differences from the first embodiment will be described, and other configurations will be denoted by the same reference numerals and description thereof will be omitted.
As shown in FIG. 13, the upper surface of the movable bracket 14 is pressed against the electronic component C of the suction nozzle 12 by pressing the upper end of the output shaft 31 a of the voice coil motor 31 downward. A pressure device 80 is provided. The auxiliary pressurizing device 80 is constituted by, for example, an air cylinder, and can move between a position where the upper end of the output shaft 31a of the voice coil motor 31 is pressed and a position where the upper end of the voice coil motor 31 is separated as the piston rod expands and contracts. Yes.
The driving of the auxiliary pressure device 80 is controlled by the control means 110. The auxiliary pressure device 80 is driven only during acceleration when the movable bracket 14 is lowered by the vertical movement motor 21 or during deceleration when the movable bracket 14 is lowered by the vertical movement motor 21 under the control of the control means 110, and the upper end of the output shaft 31 a of the voice coil motor 31. To increase the pressure. Therefore, the control means 110 functions as an auxiliary control means.
In addition, since the timing and time which press the upper end of the output shaft 31a of the voice coil motor 31 by the auxiliary pressurization apparatus 80 are the same as that of the first embodiment, the description is omitted.

また、制御手段１１０は、上下動モータ２１により可動ブラケット１４を一気に下降させて吸着ノズル１２を実装位置まで移動させる際に補助加圧装置８０を駆動させて加圧力を増加させてもよいし、ボイスコイルモータ３１により吸着ノズル１２の下降を空気軸受け４３で制止した後に補助加圧装置８０を駆動させてもよい。
この場合、可動ブラケットを一気に下降させる方法をとれば、部品の実装にかかる時間を短縮することができるし、一旦空気軸受け４３で制止した後に補助加圧装置８０を駆動させる場合には、吸着ノズル１２が過剰に下降しすぎて部品が基板に衝突することを防止できる。 Further, the control means 110 may drive the auxiliary pressurizing device 80 to increase the pressurizing force when the movable bracket 14 is lowered at a stroke by the vertical movement motor 21 to move the suction nozzle 12 to the mounting position. The auxiliary pressurization device 80 may be driven after the suction of the suction nozzle 12 is stopped by the air bearing 43 by the voice coil motor 31.
In this case, if a method of lowering the movable bracket at a stroke is taken, the time required for mounting the components can be shortened, and when the auxiliary pressurizing device 80 is driven after once stopped by the air bearing 43, the suction nozzle It is possible to prevent the component 12 from colliding with the board due to the excessively descending of the component 12.

＜変形例＞
なお、補助加圧装置８０は、ボイスコイルモータ３１の出力軸３１ａの上端を押圧するものに限らず、図１４に示すように、吸着ノズル１２を支持するノズルシャフト４１（ノズル軸）の上端を押圧するようにしても良い。
この場合、角度調節モータ５１はノズルシャフト４１の上方に設けることができないため、角度調節モータ５１をスプラインナット５３の側方の本体フレーム１１に設け、プーリ５１ａとベルト５１ｂで駆動を伝達するように構成するとよい。 <Modification>
The auxiliary pressurizing device 80 is not limited to pressing the upper end of the output shaft 31a of the voice coil motor 31, and as shown in FIG. 14, the upper end of the nozzle shaft 41 (nozzle shaft) that supports the suction nozzle 12 is used. You may make it press.
In this case, since the angle adjusting motor 51 cannot be provided above the nozzle shaft 41, the angle adjusting motor 51 is provided on the main body frame 11 on the side of the spline nut 53 so that the drive is transmitted by the pulley 51a and the belt 51b. Configure.

また、補助加圧装置８０は、エアシリンダに限らず、図１５に示すように、ソレノイド８１を用いても良い。
また、図１６に示すように、モータ等の駆動源に連結されたカム８２を回転させることにより、ボイスコイルモータ３１の出力軸３１ａやノズルシャフト４１を押圧しても良い。
また、図１７に示すように、エアシリンダ８３のピストンロッド８４（加圧駆動部）に永久磁石からなる第１の磁石８５を設け、出力軸３１ａ又はノズルシャフト４１に永久磁石からなる第２の磁石８６を設ける。このとき、第１の磁石８５と第２の磁石８６の同極が対向するように配置する。そして、エアシリンダを駆動させて、第１の磁石８５を第２の磁石８６に接近させることで両磁石の間に斥力を発生させ、この斥力により出力軸３１ａ又はノズルシャフト４１が下方に移動するようにしても良い。
また、図１８に示すように、第１の磁石を電磁石８７で構成し、電磁石８７を駆動させて、第２の磁石８６に接近させることで両磁石の間に斥力を発生させ、この斥力により出力軸３１ａ又はノズルシャフト４１が下方に移動するようにしても良い。
また、図１９に示すように、モータ９０の回転軸９１にカム９２を設け、このカム９２に第１の磁石９３を設け、出力軸３１ａ又はノズルシャフト４１に第２の磁石９４を設ける。そして、モータ９０を駆動させて、第１の磁石９３を第２の磁石９４に接近させることで両磁石の間に斥力を発生させ、この斥力により出力軸３１ａ又はノズルシャフト４１が下方に移動するようにしても良い。もちろん、両磁石は、互いに対向したときに同極が対向するように設けられている。 Further, the auxiliary pressure device 80 is not limited to an air cylinder, and a solenoid 81 may be used as shown in FIG.
In addition, as shown in FIG. 16, the output shaft 31a and the nozzle shaft 41 of the voice coil motor 31 may be pressed by rotating a cam 82 connected to a drive source such as a motor.
In addition, as shown in FIG. 17, a first magnet 85 made of a permanent magnet is provided on the piston rod 84 (pressure drive unit) of the air cylinder 83, and a second magnet made of a permanent magnet is provided on the output shaft 31a or the nozzle shaft 41. A magnet 86 is provided. At this time, it arrange | positions so that the same pole of the 1st magnet 85 and the 2nd magnet 86 may oppose. Then, by driving the air cylinder and causing the first magnet 85 to approach the second magnet 86, a repulsive force is generated between the two magnets, and the repulsive force causes the output shaft 31a or the nozzle shaft 41 to move downward. You may do it.
In addition, as shown in FIG. 18, the first magnet is composed of an electromagnet 87, and the electromagnet 87 is driven to approach the second magnet 86, thereby generating a repulsive force between the two magnets. The output shaft 31a or the nozzle shaft 41 may move downward.
As shown in FIG. 19, a cam 92 is provided on the rotating shaft 91 of the motor 90, a first magnet 93 is provided on the cam 92, and a second magnet 94 is provided on the output shaft 31 a or the nozzle shaft 41. Then, by driving the motor 90 and causing the first magnet 93 to approach the second magnet 94, a repulsive force is generated between the two magnets, and the repulsive force causes the output shaft 31a or the nozzle shaft 41 to move downward. You may do it. Of course, both magnets are provided so that the same poles face each other when facing each other.

＜作用効果＞
上記の部品実装装置１００によれば、制御手段１１０は、上下動モータ２１により可動ブラケット１４が基準高さまで昇降する際に補助加圧装置８０を駆動させて加圧力を増加させる。
これにより、上下動モータ２１の加減速による慣性力により伝達機構３９が可動ブラケット１４から離れて上下にばたつくときだけ加圧力を増加させることができるので、ばたつきを抑えることができると共に、ボイスコイルモータ３１の発熱を抑え、省エネルギー化を実現することができる。 <Effect>
According to the component mounting apparatus 100 described above, the control unit 110 drives the auxiliary pressure device 80 to increase the pressure when the movable bracket 14 is moved up and down to the reference height by the vertical movement motor 21.
As a result, the pressure can be increased only when the transmission mechanism 39 flutters up and down due to the inertial force caused by the acceleration / deceleration of the vertical movement motor 21. The heat generation of 31 can be suppressed and energy saving can be realized.

また、上下動モータ２１による可動ブラケット１４の下降の際の加速している間又は上昇の際の減速している間に伝達機構３９に慣性力が作用するので、制御手段１１０による補助加圧装置８０の制御により伝達機構３９のばたつきを抑えることができる。 Further, since the inertial force acts on the transmission mechanism 39 while the movable bracket 14 is being accelerated by the vertical movement motor 21 while being lowered or decelerated when being raised, the auxiliary pressure device by the control means 110 is used. By the control of 80, flapping of the transmission mechanism 39 can be suppressed.

また、補助加圧装置８０を、ノズルシャフト４１を押圧するように構成することにより、吸着ノズル１２に加圧力を直接的に伝達することができる。
また、補助加圧装置８０を、ボイスコイルモータ３１の出力軸３１ａを押圧するように構成することにより、ノズルシャフト４１を、伝達機構３９を介して間接的に押圧することができるので、押圧の際の衝撃等の余計な要因を排除した上でノズルシャフト４１を押圧することができる。
また、磁石の斥力を利用してノズルシャフト４１又は出力軸３１ａ加圧することで、これらを直接押圧する場合と異なり、押圧時の衝突により過剰に下降しすぎることがない。
よって、安定した加圧を実現することができる。 Further, the auxiliary pressurizing device 80 is configured to press the nozzle shaft 41, whereby the applied pressure can be directly transmitted to the suction nozzle 12.
Moreover, since the auxiliary pressurizing device 80 is configured to press the output shaft 31a of the voice coil motor 31, the nozzle shaft 41 can be pressed indirectly via the transmission mechanism 39. The nozzle shaft 41 can be pressed after eliminating extra factors such as impact.
Further, by pressing the nozzle shaft 41 or the output shaft 31a by using the repulsive force of the magnet, unlike the case of directly pressing them, they are not excessively lowered by the collision at the time of pressing.
Therefore, stable pressurization can be realized.

＜その他＞
なお、本発明は、上記実施形態に限られるものではない。例えば、荷重アーム３３は下方に向かって当接し、ロードセル１５は上方への荷重を検出するものとしたが、これらの上下方向が逆であってもよい。この場合には、ボイスコイルモータ３１やロードセル１５の出力値は正負が反転する。
また、ボイスコイルモータ３１に流す電流を増加させる時間として、余裕を持ってマージン時間を取っているが、これは必ずしも必要ではなく、可動ブラケット１４の加速又は減速が終了したことをトリガーとして電流値を元に戻すようにしてもよい。 <Others>
The present invention is not limited to the above embodiment. For example, the load arm 33 abuts downward and the load cell 15 detects an upward load, but these up and down directions may be reversed. In this case, the positive and negative output values of the voice coil motor 31 and the load cell 15 are reversed.
In addition, as a time for increasing the current to be supplied to the voice coil motor 31, a margin time is taken with a margin, but this is not always necessary, and the current value is triggered by the end of acceleration or deceleration of the movable bracket 14. May be restored.

１１本体フレーム（筐体）
１２吸着ノズル
１４可動ブラケット（移動体）
１５ロードセル（荷重検出手段）
２１上下動モータ（第１の駆動源）
３１ボイスコイルモータ（第２の駆動源）
３３荷重アーム（伝達機構）
３６ラジアル軸受け（伝達機構）
３９伝達機構
４３空気軸受け（ストッパ）
８０補助加圧装置
１００部品実装装置
１１０制御手段、第２の制御手段、補助制御手段
Ｃ電子部品 11 Body frame (housing)
12 Adsorption nozzle 14 Movable bracket (moving body)
15 Load cell (load detection means)
21 Vertical motor (first drive source)
31 Voice coil motor (second drive source)
33 Load arm (transmission mechanism)
36 Radial bearing (transmission mechanism)
39 Transmission mechanism 43 Air bearing (stopper)
80 Auxiliary pressurizing device 100 Component mounting device 110 Control means, second control means, auxiliary control means C Electronic component

Claims

A movable body supported by the housing so as to be movable up and down;
A first drive source that outputs a drive for raising and lowering the movable body;
A suction nozzle which is provided so as to be movable up and down with respect to the moving body, and sucks a component at the tip;
A second drive source which is a drive source when raising and lowering the suction nozzle and pressurizing and mounting a component sucked by the suction nozzle on a mounting object;
A transmission mechanism for connecting the second drive source and the suction nozzle, and transmitting the drive of the second drive source to the suction nozzle;
Mounted on the moving body, the stopper that stops the lowering of the suction nozzle by contacting the transmission mechanism at a predetermined height when the suction nozzle is lowered. In a component mounting device that is mounted on an object,
The output of the second drive source is increased only during acceleration when the moving body is being lowered by the first drive source or during deceleration when being raised, thereby increasing the pressure applied to the stopper by the transmission mechanism. A component mounting apparatus comprising a control means.

Load detecting means for detecting a load on the component of the suction nozzle;
Second control means for increasing the pressure applied to the stopper by the transmission mechanism by increasing the output of the second drive source when the load detected by the load detection means exceeds a predetermined threshold. And comprising
When the acceleration / deceleration of the movable body by the first drive source is finished and the elevator is moved up and down at a constant speed, the second control means outputs the output of the second drive source to the acceleration / deceleration of the movable body. 2. The component mounting apparatus according to claim 1, wherein the output is returned to the previous output.

A movable body supported by the housing so as to be movable up and down;
A first drive source that outputs a drive for raising and lowering the movable body;
A suction nozzle which is provided so as to be movable up and down with respect to the moving body, and sucks a component at the tip;
A second drive source which is a drive source when raising and lowering the suction nozzle and pressurizing and mounting a component sucked by the suction nozzle on a mounting object;
A transmission mechanism for connecting the second drive source and the suction nozzle, and transmitting the drive of the second drive source to the suction nozzle;
Mounted on the moving body, the stopper that stops the lowering of the suction nozzle by contacting the transmission mechanism at a predetermined height when the suction nozzle is lowered. In a component mounting device that is mounted on an object,
An auxiliary pressurizing device for applying pressure to the stopper by the transmission mechanism with a drive source different from the second drive source;
Auxiliary control means for driving the auxiliary pressurizing device only during acceleration when the moving body is lowered by the first drive source or during deceleration when ascending , thereby increasing the pressure applied to the stopper by the transmission mechanism When,
A component mounting apparatus comprising: