JP2005032860A - Mounter and mounting method of electronic component - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品移載装置に係り、特に、電子部品を基板へ移送及び載置しての組み付けを行う電子部品実装装置に搭載される電子部品移載装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
特許文献1には、図5に示すように、上下方向に駆動する可動ステージ111を有する一軸テーブル112と、可動ステージ111に対して駆動源を有さない一軸テーブル113を介して上下動可能に支持された吸引ノズル114と、この吸引ノズル114が保持する部品Cの加圧力を検出するロードセル115と、吸引ノズル114及びこれを支持する構成をロードセル115側に引き寄せて吸引ノズル114等の自重の影響を相殺する引っ張りばね119と、吸引ノズル114とロードセル115との間に設けられた圧縮ばね116と、ロードセル115の出力から吸引ノズル114の加圧力を検出する検出部117と、検出圧力に基づいて一軸テーブル112の上下位置を制御するコントローラ118とを備える部品実装装置110が開示されている。
【0003】
【特許文献1】
特開平8−330790号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献1に開示された先行技術は、可動ステージ111上において、一軸テーブル113により吸引ノズル114を上下動可能とし、ロードセル115による加圧力検出を行う構成のため、リアルタイムでの加圧力変化に追従する加圧力の制御が可能となるが、可動ステージ111の駆動重量が大きくなり、例えば、可動ステージの停止,迅速な上昇と下降の動作切り替え等は困難となり、応答性が低下するという不都合があった。このため、目標となる加圧力を超過するおそれがあり、高精度な加圧力の設定が困難となるという不都合があった。また一軸テーブルのスライダ部と吸引ノズル部の質量が大きいため、部品が基板に当接したときの衝撃が大きく、部品にダメージを与えるという不都合があった。
【0005】
本発明は、加圧力の設定精度の向上と衝撃力の軽減をその目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の電子部品移載装置は、部品供給部から電子部品を吸着ノスルに保持して取り出し、基板の所定位置に前記電子部品を載置する電子部品移載方法において、先端部で前記電子部品を吸着保持する前記吸着ノズルと、上下動可能に支持された移動体と、前記移動体を上下方向に駆動する第一の上下動手段と、前記移動体に装備されると共に当該移動体から前記吸着ノズルを上下方向に沿って駆動する第二の上下動手段と、前記第二の上下動手段の上下いずれかの駆動により加圧当接して上下動を行う対象物の移動を規制する移動規制手段と、前記吸着ノズルの先端部に吸気を供給する吸気供給手段と、前記吸気供給手段の下端に配し、前記吸着ノズルを保持するノズルホルダと、前記吸着ノズルの先端部の加圧力を検出する加圧力検出手段と、前記吸着ノズルと前記ノズルホルダ及び前期吸気供給手段の重さを相殺する荷重補償用弾性部材と、前記加圧力検出手段と前記吸気供給手段との間に介在し、上下方向へ荷重を伝達する荷重伝達用弾性部材とを備えた。
【0007】
請求項2記載の電子部品移載装置は、請求項1記載の電子部品移載装置において、前記第一の上下動手段及び前記第二の上下動手段の動作制御を行う動作制御手段とを備え、前記動作制御手段が、前記第一の上下動手段による前記移動体の下降駆動の際に,前記加圧力検出手段の検出加圧力に基づいて前記第二の上下動手段を上昇駆動させる加圧補正制御部を有する。
【0008】
請求項3記載の電子部品移載装置は、請求項1記載の電子部品移載装置において、上下方向に沿った軸を中心に前記吸着ノズルの回転角度調節を行う回転角度調節手段を有する。
【0009】
請求項4記載の電子部品移載方法は、部品供給部から電子部品を吸着ノスルに保持して取り出し、基板の所定位置に前記電子部品を載置する電子部品移載方法において、第二の上下動手段を下方に駆動しつつ第一の上下動手段を駆動して移動体を降下させ、加圧力検出手段の検出加圧力に基づいて前記第二の上下動手段を上昇駆動させつつ前記第一の上下動手段を駆動して前記移動体を降下させ、加圧検出手段の出力に基づいて前記第二の上下動手段を駆動して前記電子部品に目標とする荷重を加え、第二の上下動手段を上方に駆動しつつ第一の上下動手段を駆動して前記移動体を上昇させる。
【0010】
吸着ノズルが電子部品に当接する時、あるいは吸着ノズルに吸着された電子部品が基板に当接する時の押圧部(吸着ノズルとノズルホルダ及び吸気供給手段とで構成される)を加圧中心軸上の軸近傍によせて配することにより押圧部の質量を小さくしたことと、吸着ノズルを含む押圧部は弾性体を圧縮しながら加圧力検出手段側に移動し、吸着ノズル先端部に生じる加圧力に等しい弾性力を加圧力検出手段に付加することとしたので、吸着ノズルが電子部品に当接した時と、吸着ノズルに吸着された電子部品が基板に当接した時に電子部品に与える衝撃力が軽減される。さらに、押圧部の重さを相殺する荷重補償手段を配したことに加えて、電子部品の移載に際しては第一の上下動手段を駆動して移動体を下降させているときは、第二の上下動手段を下方に駆動することにより、第二の上下動手段の上下へのばたつきを抑えられる。そして、吸着ノズルの先端部が下方に当接すると、加圧力検出手段により加圧力の上昇が検出される。これにより、第二の上下動手段が吸着ノズルを上昇駆動し、加圧力の増加が抑制或いは回避される。第一の上下動手段を駆動して移動体を下降させているときに第二の上下動手段を下方に駆動して第二の上下動手段の上下へのばたつきを抑えたのと同様に、第一の上下動手段を駆動して移動体を上昇させているときは、第二の上下動手段を上方に駆動することにより、第二の上下動手段の上下へのばたつきを抑えられる。
【0011】
【発明の実施の形態】
(実施の形態の全体構成)
本発明の実施の形態を図1〜図4に基づいて説明する。本実施形態たる電子部品移載装置10は、例えば、部品供給部から半導体チップのような小型の電子部品Cを保持し、所定の取り付け対象物に対して上方から保持した電子部品Cを所定の加圧力で加圧するために使用される。
電子部品移載装置10は、図1に示すように、X−Y移動機構(図示略)に支持された本体フレーム11と、先端部で電子部品Cを吸着保持する吸着ノズル12を備えるノズルホルダ13と、上下動可能に本体フレーム11に支持された移動体としての可動ブラケット14と、可動ブラケット14を上下方向に駆動する第一の上下動手段20と、可動ブラケット14に設けられると共に当該可動ブラケット14からノズルホルダ13を上下方向に沿って駆動する第二の上下動手段30と、吸着ノズル12の先端部に吸気を供給する吸気供給手段40と、吸着ノズル12の先端部における加圧力を検出する加圧力検出手段としてのロードセル15と、上下方向に沿った軸を中心に吸着ノズル12の回転角度調節を行う回転角度調節手段50と、上記各構成の動作制御を行う動作制御手段60とを備えている。以下に各部を詳説する。
【0012】
(本体フレーム)
本体フレーム11は、前述のようにX−Y移動機構に搭載され、電子部品移載装置10の全体構成(動作制御手段60を除く)と共にX−Y平面(水平面)に沿って,例えば電子部品Cの受け取り位置や組み付けを行う位置に搬送される。
【0013】
(可動ブラケット)
可動ブラケット14は、本体フレーム11の下部においてリニアガイド19を介して上下動可能に支持されている。この可動ブラケット14は、本体フレーム11に設けられた第一の上下動手段20により上下方向に駆動される。
【0014】
(第一の上下動手段)
第一の上下動駆動手段20は、本体フレーム11の上部において下方に出力軸を向けた状態で配設された回転駆動式の上下動モータ21と、その回転角度量を検出するエンコーダ22と、上下動モータ21の出力軸にカップリングを介して連結され,上下方向に沿った状態で回転自在に本体フレーム11に支持されたボールネジシャフト23と、このボールネジシャフト23に係合する可動ブラケット14に固定されたボールネジナット24と、可動ブラケット14と本体フレーム11とを連結する下降防止用ばね25とを有している。
上記構成により、上下動モータ21の回転駆動により回転角度量に応じて可動ブラケット14の上下方向の位置決めを行う。また、上記エンコーダ22は、その検出信号が動作制御手段60に出力され、動作制御手段60は、これに基づいて可動ブラケット14の現在位置を認識し、上下動モータ21の動作制御を行う。
また、下降防止用ばね25は、常時可動ブラケット14に上方への張力を付勢しており、上下動モータ21の非使用時或いは停電等による不慮の非通電時においてその出力軸がフリーとなった場合に、可動ブラケット14が下降することを防止している。
【0015】
(吸着ノズル及びノズルホルダ)
吸着ノズル12は、先端部が先細に形成された管状体であり、当該先端部を電子部品Cに向けた状態で吸着保持が行われる。吸着ノズル12の基端部はノズルホルダ13に連結されている。
ノズルホルダ13は、その一端部で吸着ノズル12を装着する筒状体であり、その他端部にはフランジ状の鍔部13aが形成されている。ノズルホルダ13は後述する上下動可能な吸気供給管41に保持され、かかる吸気供給管41と共にノズルホルダ13が上方移動する際にその鍔部13aが所定位置以上の上方移動を規制する過荷重防止用ストッパとなる。これにより、ロードセル15への過度の荷重の付加を防止し、その保護を図っている。
【0016】
(吸気供給手段)
吸気供給手段40は、第二の上下動手段30により上下動可能に支持されると共にその下端部においてノズルホルダ13を保持する吸気供給管41と、この吸気供給管41の上端部に連結された可動体42と、この可動体42を介して吸気供給管41と接続される吸気供給チューブ43とを備えている。
【0017】
上記吸気供給管41は、その長手方向が上下方向と平行となるように後述する第二の上下動手段30の回転ケース31に支持されている。さらに、吸気供給管41は、その外部にその長手方向に沿ってスプライン溝が形成され、回転ケース31に設けられたスプラインナット32と係合している。一方、回転ケース31は上下方向に沿った中心線を軸に回転可能に可動ブラケット14に支持されており、吸気供給管41は回転ケース31に対して上下動を行うことが可能であると共に回転ケース31の回転と共に回転動作を行う。
【0018】
可動体42はその内部に屈曲した吸気経路が形成されており、可動体42の側面に連結された吸気供給チューブ43から下端部に連結された吸気供給管41に吸気を供給する。また、可動体42の上面には後述する圧縮ばね17の下端部が当接する受け凹部が形成されている。
吸気供給チューブ43は、一端部が可動体42に接続され、他端部がプラスチック材料からなる屈曲自在なチューブ(図示略)を介して吸気供給源たる吸気ポンプ或いはエジェクター等(図示略)に接続されている。
【0019】
(荷重補償用弾性部材)
吸気供給管41を軸として可動体42の下面に当接する圧縮ばね16が回転ケース31のざぐり部に設けられて、吸気供給手段40は圧縮ばね16によって上方へ常時付勢されている。圧縮ばね40の取り付け荷重は、吸気供給手段40とノズルホルダ13と吸着ノズル12との各重量の和に等しいか若しくはそれよりも僅かに大きく設定されている。すなわち、圧縮ばね16は吸気供給手段40とノズルホルダ13と吸着ノズル12で構成される押圧部の重さを相殺する荷重補償用弾性部材として作用する。これにより、下方への加圧には吸気供給手段40とノズルホルダ13と吸着ノズル12との荷重が加味されないので加圧力を正確に制御することができる。
【0020】
(第二の上下動手段)
第二の上下動手段30は、可動ブラケット14の内側下部において上下方向を中心に回転可能且つ上下動可能に支持された回転ケース31と、回転ケース31の上端部において当該回転ケース31の中心線に沿って固定連結された支軸33と、この支軸33を介して回転ケース31を可動ブラケット14に対して上下方向に駆動するボイスコイルモータ34と、回転ケース31の上下動移動範囲を設定する上下移動範囲設定手段35とを備えている。
【0021】
回転ケース31は、内部中空であってその下部外径が上部よりも小径に形成された回転体形状に形成されている。かかる回転ケース31の下部は、可動ブラケット14に設けられた空気軸受け36により上下方向を中心として回転及び上下動可能に支持されている。空気軸受け36は、回転ケース31の下部の外径よりわずかに大きな内径のスリーブであって、回転ケース31との隙間に空気を供給することで回転ケース31をその中心位置に保持することができる。かかる空気軸受け36は非接触で回転ケース31を支持するので摩擦の発生がなく、回転ケース31を円滑に回転及び上下動させることが可能である。
【0022】
さらに、回転ケース31は、その内側上部に格納室が形成され、格納室から下端部まで貫通する貫通穴が形成されている。かかる貫通穴には前述したスプラインナット32が設けられ、貫通穴に挿通された吸気供給管41を上下動可能に支持している。また、このスプラインナット32により、回転ケース31の回転と共に吸気供給管41を回転させることができる。
回転ケース31の格納室の内側上面中央には、加圧力検出手段としてのロードセル15が配設されている。ロードセル15は、その感圧部が下方に向けられており、かかる感圧部には、前述した可動体42の上部に配置される弾性体としての圧縮ばね17のさらに上端部に設けられた当接部材18の上部突起が当接している。圧縮ばね17は、可動体42が図示の如く最下位置にある場合であっても常時当接部材18がロードセル15の感圧部に当接して予圧を付加するような自然長のものが使用される。かかる構成により、吸着ノズル12の先端部において加圧が行われると、その加圧力がロードセル15に伝わり、検出することが可能である。
また、吸着ノズル12,ノズルホルダ13,吸気供給管41,回転ケース31,支軸33及びロードセル15は全て同一軸上に配設されているので、吸着ノズル12の先端部からの押圧力は直接的に損失なくロードセル15に伝達されるのでより高い精度で吸着ノズル12の先端加圧力を検出することが可能である。
【0023】
支軸33は、その下端部が回転ケース31に連結されると共に可動ブラケット14の上方まで貫通し、その長手方向が上下方向に平行となるように可動ブラケット14の内側上部に配設されたボイスコイルモータ34に支持されている。かかるボイスコイルモータ34は、支軸33に固定連結されたボビン34aと、ボビン34aの上面の周縁部に固定装備されたコイル34bと、可動ブラケット14に固定されたケーシング34cと、ケーシング34cに固定されると共にコイル34bの内側に遊挿され且つその中心穴に支軸33が嵌挿された筒状ヨーク34dと、ケーシング34cに固定されると共にその内側にコイル34bが遊挿された筒状マグネット34eとを備えている。かかるボイスコイルモータ34は、動作制御手段60の動作制御に従ってコイル34b及びボビン34aを介して支軸33を上下方向に駆動することができ、吸着ノズル12の加圧力制御に使用される。なお、ボイスコイルモータ34は支軸33を上下方向に駆動するが、支軸33の回転動作を妨げるものではなく、支軸33を介する吸着ノズル12の回転角度調節は円滑に行うことが可能である。
【0024】
上下移動範囲設定手段35は回転ケース31及び吸着ノズル12の移動規制手段として機能し、ボイスコイルモータ34の上方と下方において支軸33と一体的に形成された上部フランジ35a及び下部フランジ35bと、上部フランジ35aの上面に対向した状態で可動ブラケット14に設けられたスラスト軸受け35cと、下部フランジ35bの下面に対向した状態で可動ブラケット14に設けられたスラスト軸受け35dとを備えている。
ボイスコイルモータ34により支軸33が上方に駆動され、上記上部フランジ35aがスラスト軸受け35cに当接する際の位置が回転ケース31の上限位置であり、支軸33が下方に駆動され、下部フランジ35bがスラスト軸受け35dに当接する際の位置が回転ケース31の下限位置となる。また、各スラスト軸受け35c,35dにより、各フランジ部35a,35bが当接状態にあっても支軸33の回転動作を円滑に行うことが可能である。
【0025】
(回転角度調節手段)
回転角度調節手段50は、第二の上下動手段30の支軸33の上端部にカップリングを介して支軸33と同心で連結されたスプラインシャフト51と、その下端部内側に設けられたスプラインナット52を介してスプラインシャフト51を上下動可能に支持する筒状軸体53と、この筒状軸体53の上端部にカップリングを介して出力軸が連結され且つ本体フレーム11の上部に配設された角度調節モータ54と、この角度調節モータ54の回転角度量を検出するエンコーダ55とを備えている。
【0026】
スプラインシャフト51と筒状軸体53と角度調節モータ54の出力軸とは全て同心であり、その結果、これらと支軸33,回転ケース31,吸気供給管41及び吸着ノズル12が全て同心となる。
一方、エンコーダ55は角度調節モータ54の出力軸の回転角度量を動作制御手段60に出力しており、これに基づいて動作制御手段60は角度調節モータ54に所定の角度量の回転を生じるように回転駆動制御を行う。その結果、角度調節モータ54の出力軸から筒状軸体53,スプラインシャフト51,支軸33,回転ケース31,吸気供給管41及びノズルホルダ13を介して吸着ノズル12の回転駆動が行われ、吸着ノズル12の先端部に吸着保持された電子部品Cの向きを調節することが可能である。
【0027】
(動作制御手段)
動作制御手段60は、図2に示すように、電子部品移載装置10の後述する各種機能を実行したり,各動作を実行させる制御プログラムが書き込まれているROM60aと、制御プログラムに従って上下動モータ21,ボイスコイルモータ34,角度調節モータ54及び吸気供給手段40等の各部の動作を集中制御するCPU60bと、CPU60bの処理データをワークエリアに格納するRAM60cとを備えている。
【0028】
さらに、動作制御手段60には、その動作制御に必要となるデータの入力設定や動作の開始の指示入力等を行う設定入力手段64と、各モータ21,34,54に対して動作制御手段60からの制御信号に従って駆動させる各駆動回路61,62,63と、エンコーダ22,55,ロードセル15の出力を検出信号として動作制御手段60に入力する各入力回路65,66,67が併設されている。
【0029】
上記動作制御手段60は、吸着ノズル12が非加圧時であって非吸着時である場合のロードセル15の出力を基準値として初期荷重としてRAM60cの記憶領域に記憶させる基準記憶部としての制御を行う。吸着ノズル12が非加圧時であって非吸着時である場合とは、ここでは設定入力手段64により電子部品Cの保持動作の開始を入力された場合をいう。その他、装置の主電源の入力時であっても良い。
また、上記初期荷重は、主に、圧縮ばね17の自然長からの撓み量に起因する予圧荷重によるものである。
【0030】
さらに、動作制御手段60は、第一の上下動手段20により可動ブラケット14が予め設定された目標位置へ下降駆動している際に,ロードセル15の検出加圧力が前述した初期荷重と下降時閾値の合計を超えた場合或いは超えそうな場合に超えない範囲まで第二の上下動手段30のボイスコイルモータ34により回転ケース31を上昇駆動させる加圧補正制御部としての制御を行う。
下降時閾値はここでは加圧目標値とし、予め設定入力手段64から入力され、RAM60cの所定の記憶領域に記憶される。また同様に、可動ブラケット14の下降目標位置も予め設定入力手段64から入力され、RAM60cの所定の記憶領域に記憶される。かかる目標位置は、電子部品Cの吸着を行う場合には、吸着ノズル12の先端位置が電子部品Cの上面よりも低い位置とされ、電子部品Cを目標となる取り付け面に加圧する場合には、吸着保持された電子部品Cの下面が取り付け面よりも下方とされる。
【0031】
さらに、動作制御手段60は、第一の上下動手段20による可動ブラケット14の下降駆動の開始から加圧補正制御部としての動作制御の開始までの間、下部フランジ35bとスラスト軸受け35dとの加圧当接により回転ケース31の移動を規制する動作制御を行う下降時ノズル保持制御部としての制御を行う。
【0032】
また、動作制御手段60は、第一の上下動手段20により可動ブラケット14が上昇目標位置まで上昇駆動されている際に,ロードセル15の検出加圧力が初期荷重と所定の上昇時閾値との合計値以下或いは未満となる場合に、上部フランジ35aとスラスト軸受け35cとの加圧当接により回転ケース31の移動を規制する動作制御を行う上昇時ノズル保持制御部としての制御を行う。
なお、上昇時閾値はここでは加圧目標値と等しいか或いはそれより幾分低い値とする。かかる上昇時閾値は、予め設定入力手段64から入力され、RAM60cの所定の記憶領域に記憶される。また同様に、可動ブラケット14の上昇目標位置も予め設定入力手段64から入力され、RAM60cの所定の記憶領域に記憶される。なお、上昇目標位置は、例えば、X−Y移動機構により電子部品移載装置10が移動される際に、吸着ノズル12が周囲に衝突しない高さとされる。
【0033】
(電子部品移載装置の動作説明)
上記構成からなる電子部品移載装置10の動作を説明する。電子部品移載装置10の動作の内、吸着ノズル12の下降動作については図3のフローチャートに基づいて説明し、吸着ノズル12の上昇動作については図4のフローチャートに基づいて説明する。
【0034】
電子部品移載装置10は、X−Y移動機構により吸着保持すべき電子部品Cの上方に位置決めされる。
そして、設定入力手段64から動作の開始が入力されると、まず、動作制御手段60は、ノズル12の先端が非吸着且つ非加圧状態でロードセル15にかかるプリセット圧力を検出し、これを初期荷重として記憶領域に記憶する(ステップS11:基準記憶部としての制御)。
【0035】
次に、動作制御手段60の制御に従い、第一の上下動手段20の上下動モータ21により可動ブラケット14を下降目標位置に向けて下降駆動する(ステップS12)。
また、このとき、動作制御手段60の制御に従い、第二の上下動手段30のボイスコイルモータ34により、下部フランジ35bがスラスト軸受け35dに加圧当接するまで下降駆動し、回転ケース31の上下振動を防止する(ステップS13:下降ノズル保持制御部としての制御)。
【0036】
可動ブラケット14の下降動作中において、動作制御手段60は、ロードセル15の出力に基づく加圧力の検出値が初期荷重と下降時閾値との合計値を超えるか否かを判断し(ステップS14)、超えない場合には、エンコーダ22の出力から下降目標位置に到達したか否かを判断する(ステップS15)。到達しない場合には、動作制御手段60は、再びステップS14の処理に戻る。
一方、可動ブラケット14の下降により、吸着ノズル12の先端部が電子部品Cに当接すると、ロードセル15の検出圧力が増加し、初期荷重と下降時閾値との合計値に到達し、超えることとなる。これにより、動作制御手段60は、第二の上下動手段30のボイスコイルモータ34を上昇駆動させる動作制御を行う(ステップS17:加圧補正制御部としての制御)。再び、ステップS14に戻り、動作制御手段60は、ロードセル15の検出圧力を、初期荷重と下降時閾値との合計値と比較し、未だ、検出圧力が上回る場合にはさらに第二の上下動手段30による回転ケース31の上昇駆動制御を行う(ステップS17)。
そして、検出圧力が下回る場合には、ステップS15に移行し、動作制御手段60は、可動ブラケット14の現在位置確認を行う。
【0037】
可動ブラケット14が下降目標位置に到達したとの判断がされると、動作制御手段60は第一の上下動手段20の駆動を停止する(ステップS16)。これにより、吸着ノズル12の下降動作制御は終了する。なお、かかる下降動作制御の終了後は、吸着ノズル12の先端部は電子部品Cに目標とする加圧力で当接した状態にあり、動作制御手段60は、吸気供給手段40の駆動を開始する動作制御を行い、吸着ノズル12内を負圧として先端部に電子部品Cの吸着を行う。
【0038】
次に、吸着ノズル12の上昇動作が行われる。動作制御手段60は、第一の上下動手段20の上下動モータ21により、可動ブラケット14を上昇目標位置に向けて上昇駆動する(ステップS21)。さらに、動作制御手段60は、可動ブラケット14の上昇動作中において、ロードセル15の出力に基づく加圧力の検出値が初期荷重と上昇時閾値との合計値以下となるか否か判断し(ステップS22)、合計値以下とならない場合には可動ブラケット14の上昇駆動により合計値以下となるまで絶えず判断を続ける。
【0039】
かかる可動ブラケット14の上昇駆動により、吸着ノズル12に保持された電子部品Cの下面が載置された場所から離れる。これにより、ロードセル15の検出値が初期荷重と上昇時閾値との合計値以下となり、動作制御手段60は、第二の上下動手段30のボイスコイルモータ34により、上部フランジ35aがスラスト軸受け35cに加圧当接するまで上昇駆動し、回転ケース31の上下振動を防止する(ステップS23:上昇ノズル保持制御部としての制御)。
【0040】
さらに、動作制御手段60は、エンコーダ22の出力から上昇目標位置に到達したか否かを判断する(ステップS24)。到達しない場合には、第一の上下動手段20の駆動を続けながら、到達するまで動作制御手段60はエンコーダ22の出力を確認し続ける。
そして、可動ブラケット14が上昇目標位置に到達したとの判断がされると、動作制御手段60は第一の上下動手段20の駆動を停止する(ステップS25)。これにより、吸着ノズル12の上昇動作制御は終了する。
【0041】
その後、吸着ノズル12の回転角度調節が必要な場合には、設定入力手段64で予め設定した回転角度に従い、動作制御60は、回転角度調節手段50の角度調節モータ54を駆動する。このとき、動作制御手段60は、エンコーダ55の出力に基づく検出角度と設定角度とを比較し、一致するまで角度調節モータ54の駆動を継続する。
また、その後の電子部品Cを目標組み付け位置に搬送し、加圧する動作は上述の場合と同様に行われる。
【0042】
(その他の事項)
なお、上記動作制御手段60による動作制御では、吸着ノズル12の先端部における加圧力を一定として行ったが、特にこれに限らず、例えば、加圧力を徐々に高める等の変化を加えても良い。
また、吸着ノズル12が電子部品Cに当接する直前、あるいは吸着ノズル12で吸着した電子部品Cが基板に当接する直前に下降速度を低くして、電子部品Cに対する衝撃力をより小さくするようにしても良い。
また、ロードセル15が、実際に付与される加圧力に対する出力の線形性が十分ではない場合には、予め線形性の高いロードセルにより組み込まれたロードセル15の出力特性を測定して動作制御手段60に記憶すると共に、ロードセル15の出力から加圧力を求める際に、参照するようにしても良い。
また、動作制御手段60が、基準記憶部としての制御を行う場合において、上記動作では下降動作の開始時にのみ初期荷重を検出し記憶する場合を例示したが、ロードセル15が周辺温度や使用頻度に応じて変動する可能性がある場合には、より高い頻度で初期荷重の更新を行うようにしても良い。
【0043】
荷重補償用弾性部材としての圧縮ばね16は、吸着ノズル12が当接され加圧される電子部品Cに許容される荷重値が微小でない場合には、必ずしも吸気供給手段40とノズルホルダ13と吸着ノズル12との各重量の和と等しいか若しくはそれよりもわずかに大きく設定される必要はなく、対象物に許容される荷重値に応じて各重量の和よりも小さくてもかまわない。この場合には、圧縮ばね16のばね定数と圧縮量が厳密に管理される必要がなくなるという利点が得られる。
【0044】
また、吸着ノズル12、または吸着ノズル12とノズルホルダ13は、吸着保持して加圧する電子部品Cに応じて交換される場合がある。この場合には交換に応じて吸気供給手段40とノズルホルダ13と吸着ノズル12との各重量の和は必ずしも交換前と一致しない。そこで、使用される最も重量の大きい吸着ノズル12、または吸着ノズル12とノズルホルダ13に合わせて圧縮ばね16のばね定数と圧縮量を設定しても良い。この場合は、他の吸着ノズル12、または吸着ノズル12とノズルホルダ13を使用すると圧縮ばね16の復元力が吸気供給手段40とノズルホルダ13と吸着ノズル12の各重量の和よりも大きくなる。またこの場合は予め吸着ノズル12の重量、または吸着ノズル12とノズルホルダ13の重量の和を求めておき、予め圧縮ばね16のばね定数と圧縮量を設定した吸着ノズル12の重量との差分、または吸着ノズル12とノズルホルダ13の重量の和との差分を計算して荷重制御目標値にこの差分を追加して荷重制御を行っても良い。
【0045】
逆に使用される最も重量の小さい吸着ノズル12、または吸着ノズル12とノズルホルダ13に合わせて圧縮ばね16の圧縮量を設定しても良い。この場合は他の吸着ノズル12、または吸着ノズル12とノズルホルダ13を使用した場合に圧縮ばね16の復元力が吸気供給手段40とノズルホルダ13と吸着ノズル12の各重量の和よりも小さくなる。この場合には、予め吸着ノズル12の重量、または吸着ノズル12とノズルホルダ13の重量の和を求めておき、予め圧縮ばね16のばね定数と圧縮量を設定した吸着ノズル12の重量との差分、または吸着ノズル12とノズルホルダ13の重量の和との差分を計算して加圧する電子部品Cに許容される荷重に対してこの差分が十分に小さくない場合には、その吸着ノズル12が使用できない旨の表示を行ったり、動作を停止させたりしても良い。
【0046】
【発明の効果】
電子部品移載装置に関する主要な発明は、吸着ノズルが電子部品に当接する時、あるいは吸着ノズルに吸着された電子部品が基板に当接する時の押圧部を加圧中心軸上の軸近傍によせて配することにより押圧部の質量を小さくしたことと、吸着ノズルを含む押圧部は弾性体を圧縮しながら加圧力検出手段側に移動し、吸着ノズル先端部に生じる加圧力に等しい弾性力を加圧力検出手段に付加することとしたので、吸着ノズルが電子部品に当接した時と、吸着ノズルに吸着された電子部品が基板に当接した時に電子部品に与える衝撃力が軽減される。さらに、押圧部の重さを相殺する荷重補償手段を配したことにより、押圧部の重量が加味されないことと、吸着ノズルの先端部における加圧力を絶えずリアルタイムで検出し、その動作制御に反映する構成のため、加圧力制御の高精度化を図ることが可能である。
【0047】
さらに、下降駆動を第一の上下動手段が行い、その際に加圧力の補正のための吸着ノズルの上昇駆動を第二の上下動手段が行うため、単一の駆動源による正逆方向の切り替え駆動を不要とするため、慣性力の影響を低減し、高い応答性を実現する。従って、吸着ノズル先端部における加圧力を、高い精度で設定することが可能である。そして、第二の上下動手段により補正制御が行われるので、第一の上下動手段の構成については高い精度が要求されず、例えば、第一の上下動手段の駆動源は高速駆動可能なものを使用することで、より作業の迅速化をも図ることが可能である。
【0048】
また、回転角度調節手段の回転角度モータの出力軸から同心で支軸,回転ケース,吸気供給管を介して吸着ノズルまで連結されているので、角度調節モータの出力がほぼ直接的に吸着ノズルに伝達され、高精度、高応答で角度調節を行うことが可能である。
【0049】
電子部品移載方法に関する主要な発明は、電子部品の移載に際しては第一の上下動手段を駆動して移動体を下降させているときは、第二の上下動手段を下方に駆動することにより、第二の上下動手段の上下へのばたつきを抑えられる。これにより、吸着ノズルが電子部品に当接した時あるいは吸着ノズルに吸着された電子部品が基板に当接したときの加圧力を即時に正確に検知する事ができる。また、電子部品を吸着している場合であれば電子部品の吸着位置ずれや取り落としを防止できる。
次に吸着ノズルの先端部が下方に当接した後は、加圧力検出手段により加圧力の上昇が検出される。これにより、第二の上下動手段が吸着ノズルを上昇駆動し、加圧力の増加が抑制或いは回避される。
第一の上下動手段を駆動して移動体を上昇させているときは、第二の上下動手段を上方に駆動することにより、第二の上下動手段の上下へのばたつきを抑える。これにより電子部品を吸着している場合であれば電子部品の吸着位置ずれや取り落としを防止できる。
これらにより加圧力の設定精度が向上し正確に加圧を行う事が出来るとともに電子部品を正確な位置に載置出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】発明の実施形態たる電子部品移載装置を示す断面図である。
【図2】図1に開示した電子部品移載装置の制御系を示すブロック図である。
【図3】電子部品移載装置の吸着ノズル下降動作を示すフローチャートである。
【図4】電子部品移載装置の吸着ノズル下降動作を示すフローチャートである。
【図5】従来例の構成図である。
【符号の説明】
10 電子部品移載装置
12 吸着ノズル
13a 鍔部
14 可動ブラケット(移動体)
15 ロードセル(加圧力検出手段)
16 圧縮ばね(荷重補償用弾性部材)
17 圧縮ばね(荷重伝達用弾性部材)
20 第一の上下動手段
30 第二の上下動手段
35 上下移動範囲設定手段(移動規制手段)
50 回転角度調節手段
60 動作制御手段
C 電子部品[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an electronic component transfer apparatus, and more particularly, to an electronic component transfer apparatus mounted on an electronic component mounting apparatus that performs assembly by transferring and mounting an electronic component on a substrate.
[0002]
[Prior art]
In
[0003]
[Patent Document 1]
JP-A-8-330790
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
In the prior art disclosed in
[0005]
The object of the present invention is to improve the setting accuracy of the applied pressure and reduce the impact force.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The electronic component transfer apparatus according to
[0007]
The electronic component transfer device according to
[0008]
According to a third aspect of the present invention, there is provided the electronic component transfer apparatus according to the first aspect, further comprising a rotation angle adjusting unit that adjusts the rotation angle of the suction nozzle around an axis along the vertical direction.
[0009]
The electronic component transfer method according to
[0010]
When the suction nozzle comes into contact with the electronic component, or when the electronic component picked up by the suction nozzle comes into contact with the substrate, the pressing portion (consisting of the suction nozzle, the nozzle holder, and the intake air supply means) is on the pressure center axis. The mass of the pressing part is reduced by arranging it in the vicinity of the axis of the nozzle, and the pressing part including the suction nozzle moves toward the pressure detection means while compressing the elastic body, and the pressure generated at the tip of the suction nozzle Since the elastic force equal to is applied to the pressure detection means, the impact force applied to the electronic component when the suction nozzle contacts the electronic component and when the electronic component sucked by the suction nozzle contacts the substrate Is reduced. Furthermore, in addition to the load compensation means for offsetting the weight of the pressing part, when the electronic body is transferred, the second vertical movement means is driven to lower the moving body. The vertical movement of the second vertical movement means can be suppressed by driving the vertical movement means downward. And when the front-end | tip part of an adsorption nozzle contact | abuts below, a raise of a pressurization force will be detected by a pressurization detection means. As a result, the second vertically moving means drives the suction nozzle to rise, thereby suppressing or avoiding an increase in the applied pressure. Similarly to driving the first vertical movement means to lower the moving body and driving the second vertical movement means downward to suppress the flapping of the second vertical movement means up and down, When the movable body is raised by driving the first vertical movement means, the vertical movement of the second vertical movement means can be suppressed by driving the second vertical movement means upward.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
(Overall configuration of the embodiment)
An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The electronic
As shown in FIG. 1, the electronic
[0012]
(Body frame)
As described above, the main body frame 11 is mounted on the XY moving mechanism, and along the XY plane (horizontal plane) together with the overall configuration of the electronic component transfer apparatus 10 (excluding the operation control means 60), for example, an electronic component It is transported to a C receiving position or a position for assembly.
[0013]
(Movable bracket)
The
[0014]
(First vertical movement means)
The first vertical movement drive means 20 includes a rotary drive type
With the above configuration, the vertical movement of the
Further, the lowering
[0015]
(Suction nozzle and nozzle holder)
The
The
[0016]
(Intake air supply means)
The intake air supply means 40 is supported by the second vertical movement means 30 so as to be movable up and down, and is connected to an intake
[0017]
The intake
[0018]
The movable body 42 has a bent intake path formed therein, and supplies intake air from an
The
[0019]
(Elastic member for load compensation)
A
[0020]
(Second vertical movement means)
The second vertical movement means 30 includes a
[0021]
The rotating
[0022]
Further, the rotating
In the center of the inner upper surface of the storage chamber of the
Further, since the
[0023]
The
[0024]
The vertical movement range setting means 35 functions as movement restriction means for the
The
[0025]
(Rotation angle adjustment means)
The rotation angle adjusting means 50 includes a
[0026]
The
On the other hand, the
[0027]
(Operation control means)
As shown in FIG. 2, the operation control means 60 includes a
[0028]
Further, the operation control means 60 includes a setting input means 64 for performing input setting of data necessary for the operation control, an instruction input for starting the operation, and the like, and the operation control means 60 for each of the
[0029]
The operation control means 60 performs control as a reference storage unit for storing the output of the
The initial load is mainly due to a preload caused by the amount of deflection of the
[0030]
Further, when the
Here, the lowering threshold value is set as a pressurization target value, which is input in advance from the setting input means 64 and stored in a predetermined storage area of the RAM 60c. Similarly, the lowering target position of the
[0031]
Furthermore, the operation control means 60 adds the lower flange 35b and the
[0032]
Further, when the
Here, the rising threshold value is equal to or slightly lower than the target pressure value. The rising threshold is input in advance from the setting input means 64 and stored in a predetermined storage area of the RAM 60c. Similarly, the ascending target position of the
[0033]
(Explanation of operation of electronic component transfer device)
The operation of the electronic
[0034]
The electronic
When the start of operation is input from the setting
[0035]
Next, under the control of the operation control means 60, the
At this time, the
[0036]
During the lowering operation of the
On the other hand, when the tip of the
If the detected pressure is lower, the process proceeds to step S15, and the operation control means 60 confirms the current position of the
[0037]
When it is determined that the
[0038]
Next, the raising operation of the
[0039]
By the upward driving of the
[0040]
Further, the operation control means 60 determines whether or not the ascent target position has been reached from the output of the encoder 22 (step S24). If not reached, the operation control means 60 continues to check the output of the
When it is determined that the
[0041]
Thereafter, when it is necessary to adjust the rotation angle of the
Further, the subsequent operation of transporting and pressurizing the electronic component C to the target assembly position is performed in the same manner as described above.
[0042]
(Other matters)
In the operation control by the operation control means 60, the applied pressure at the tip of the
In addition, the lowering speed is decreased immediately before the
In addition, when the
Further, in the case where the
[0043]
The
[0044]
Further, the
[0045]
On the contrary, the compression amount of the
[0046]
【The invention's effect】
The main invention related to the electronic component transfer apparatus is that the pressing portion when the suction nozzle abuts on the electronic component or the electronic component adsorbed on the suction nozzle abuts on the substrate is located near the axis on the pressure center axis. And the pressing part including the suction nozzle moves toward the pressure detection means while compressing the elastic body, and an elastic force equal to the pressure generated at the tip of the suction nozzle is applied. Since it is added to the pressure detection means, the impact force applied to the electronic component when the suction nozzle contacts the electronic component and when the electronic component sucked by the suction nozzle contacts the substrate is reduced. Furthermore, by providing a load compensation means that offsets the weight of the pressing portion, the weight of the pressing portion is not taken into account, and the applied pressure at the tip of the suction nozzle is continuously detected in real time and reflected in the operation control. Due to the configuration, it is possible to increase the accuracy of the pressure control.
[0047]
Furthermore, the first vertical movement means performs the downward driving, and the second vertical movement means performs the upward driving of the suction nozzle for correcting the pressurizing force at that time. Since switching driving is not required, the influence of inertial force is reduced and high response is realized. Therefore, it is possible to set the applied pressure at the tip of the suction nozzle with high accuracy. Since the correction control is performed by the second vertical movement means, high accuracy is not required for the configuration of the first vertical movement means. For example, the drive source of the first vertical movement means can be driven at high speed. By using, it is possible to further speed up the work.
[0048]
Further, since the output shaft of the rotation angle motor of the rotation angle adjustment means is concentrically connected to the suction nozzle via the support shaft, the rotation case, and the intake air supply pipe, the output of the angle adjustment motor is almost directly connected to the suction nozzle. It is possible to adjust the angle with high accuracy and high response.
[0049]
The main invention related to the electronic component transfer method is that when the electronic component is transferred, the first vertical movement means is driven to move the second vertical movement means downward when the moving body is lowered. Thus, the vertical fluttering of the second vertical movement means can be suppressed. Accordingly, it is possible to immediately and accurately detect the applied pressure when the suction nozzle contacts the electronic component or when the electronic component sucked by the suction nozzle contacts the substrate. Further, if the electronic component is sucked, it is possible to prevent the electronic component from being picked up and removed.
Next, after the tip of the suction nozzle abuts downward, an increase in pressure is detected by the pressure detection means. As a result, the second vertically moving means drives the suction nozzle to rise, thereby suppressing or avoiding an increase in the applied pressure.
When the movable body is raised by driving the first vertical movement means, the vertical movement of the second vertical movement means is suppressed by driving the second vertical movement means upward. Accordingly, if the electronic component is sucked, the electronic component can be prevented from being displaced or removed.
As a result, the setting accuracy of the pressurizing force is improved and the pressurization can be performed accurately, and the electronic component can be placed at an accurate position.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an electronic component transfer apparatus according to an embodiment of the invention.
2 is a block diagram showing a control system of the electronic component transfer apparatus disclosed in FIG. 1; FIG.
FIG. 3 is a flowchart showing a suction nozzle lowering operation of the electronic component transfer apparatus.
FIG. 4 is a flowchart showing a suction nozzle lowering operation of the electronic component transfer apparatus.
FIG. 5 is a configuration diagram of a conventional example.
[Explanation of symbols]
10 Electronic parts transfer equipment
12 Suction nozzle
13a buttock
14 Movable bracket (moving body)
15 Load cell (Pressure detection means)
16 Compression spring (elastic material for load compensation)
17 Compression spring (elastic member for load transmission)
20 First vertical movement means
30 Second vertical movement means
35 Vertical movement range setting means (movement restriction means)
50 Rotation angle adjustment means
60 Operation control means
C Electronic parts
Claims (4)
先端部で前記電子部品を吸着保持する前記吸着ノズルと、
上下動可能に支持された移動体と、
前記移動体を上下方向に駆動する第一の上下動手段と、
前記移動体に装備されると共に当該移動体から前記吸着ノズルを上下方向に沿って駆動する第二の上下動手段と、
前記第二の上下動手段の上下いずれかの駆動により加圧当接して上下動を行う対象物の移動を規制する移動規制手段と、
前記吸着ノズルの先端部に吸気を供給する吸気供給手段と、
前記吸気供給手段の下端に配し、前記吸着ノズルを保持するノズルホルダと、前記吸着ノズルと前記ノズルホルダ及び前期吸気供給手段の重さを相殺する荷重補償用弾性部材と、
前記吸着ノズルの先端部の加圧力を検出する加圧力検出手段と、
前記加圧力検出手段と前記吸気供給手段との間に介在し、上下方向へ荷重を伝達する荷重伝達用弾性部材とを備えたことを特徴とする電子部品移載装置。In the electronic component transfer apparatus for holding and taking out the electronic component from the component supply unit on the suction nozzle and placing the electronic component at a predetermined position on the substrate,
The suction nozzle for sucking and holding the electronic component at the tip, and
A movable body supported to be movable up and down;
First vertical movement means for driving the movable body in the vertical direction;
A second vertical movement means that is mounted on the movable body and drives the suction nozzle from the movable body along the vertical direction;
A movement restricting means for restricting the movement of an object that moves up and down by pressure contact by driving up or down of the second vertically moving means;
Intake air supply means for supplying intake air to the tip of the suction nozzle;
A nozzle holder that is disposed at the lower end of the intake air supply means and holds the suction nozzle; and an elastic member for load compensation that offsets the weight of the suction nozzle and the nozzle holder and the previous intake air supply means;
A pressure detection means for detecting the pressure at the tip of the suction nozzle;
An electronic component transfer apparatus comprising: a load transmitting elastic member that is interposed between the pressure detection means and the intake air supply means and transmits a load in a vertical direction.
第二の上下動手段を下方に駆動しつつ第一の上下動手段を駆動して移動体を降下させ、加圧力検出手段の検出加圧力に基づいて前記第二の上下動手段を上昇駆動させつつ前記第一の上下動手段を駆動して前記移動体を降下させ、前記移動体を目標高さに降下させて停止した後に加圧検出手段の出力に基づいて前記第二の上下動手段を駆動して前記電子部品に目標とする荷重を加え、第二の上下動手段を上方に駆動しつつ第一の上下動手段を駆動して前記移動体を上昇させることを特徴とする電子部品移載方法。In the electronic component transfer method in which the electronic component is held and taken out by the suction nozzle from the component supply unit, and the electronic component is placed at a predetermined position on the substrate.
While driving the second vertical movement means downward, the first vertical movement means is driven to lower the moving body, and the second vertical movement means is driven to rise based on the detected pressure of the pressure detection means. While driving the first vertical moving means to lower the moving body, lowering the moving body to a target height and stopping the second vertical moving means based on the output of the pressure detecting means A target load is applied to the electronic component, and the first vertical movement means is driven while the second vertical movement means is driven upward to raise the movable body. Loading method.
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