JP5455463B2 - 電力用半導体装置の製造方法 - Google Patents
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- ボロンがドープされたp型半導体基板の第1主面上にエピタキシャル成長によりリンがドープされたn型バッファ層を形成する工程と、
前記n型バッファ層の表面上にエピタキシャル成長によりリンがドープされたn−型ドリフト層を形成する工程と、
前記p型半導体基板と前記n型バッファ層の界面に熱処理によりミスフィット欠陥を形成する工程とを含んでなり、さらに、
前記n − ドリフト層を形成する工程と前記ミスフィット欠陥を形成する工程の間に、前記n − 型ドリフト層の表面に機械的欠陥を施す工程を備えた
電力用半導体装置の製造方法。 - 機械的欠陥は、前記n − 型ドリフト層の表面の一部に施される請求項1に記載の電力用半導体装置の製造方法。
- 機械的欠陥が施される前記n − 型ドリフト層の表面の一部は、前記n − 型ドリフト層の周辺部の素子が形成されない無効領域部である請求項2に記載の電力用半導体装置の製造方法。
- 機械的欠陥は、前記n − 型ドリフト層の周辺部の素子が形成されない無効領域部の全周に亘って施される請求項1に記載の電力用半導体装置の製造方法。
- ボロンがドープされたp型半導体基板の第1主面上にエピタキシャル成長によりリンがドープされたn型バッファ層を形成する工程と、
前記n型バッファ層の表面上にエピタキシャル成長によりリンがドープされたn − 型ドリフト層を形成する工程と、
前記p型半導体基板と前記n型バッファ層の界面に熱処理によりミスフィット欠陥を形成する工程とを含んでなり、さらに、
前記n − ドリフト層を形成する工程と前記ミスフィット欠陥を形成する工程の間に、前記p型半導体基板の第2主面上に機械的欠陥を施す工程を備えた
電力用半導体装置の製造方法。 - 機械的欠陥は、前記p型半導体基板の第2主面上の一部に施される請求項5に記載の電力用半導体装置の製造方法。
- 機械的欠陥は、レーザマーキング、サンドブラスト又はケガキにより施される請求項1乃至6のいずれか1項に記載の電力用半導体装置の製造方法。
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