JP5453579B2 - 光学測定マシンにおける照明光源のレベルを自動的に調節する方法 - Google Patents

Description

本発明は、部品の座標を測定するための光学撮像システムに関し、より具体的には、測定の精度を上げるために、１つまたは複数の照明光源のレベルを自動的にプリセットするコントローラを備えた光学撮像システムに関する。

部品の座標を測定するための光学撮像システムは、測定中の部品に接触することなく測定ができるという利点を有する。しかし、光学撮像システムは、測定中の部品への適切な照明について敏感である、という厄介な問題を抱えている。光のレベルが低すぎると、撮像システムが生成する信号が、ノイズレベルに比べて低すぎて、正確な測定ができなくなる場合がある。光のレベルが高すぎると、画像の飽和によって測定誤差が起きる。画像がにじんで、画像のエッジが真の位置から動いてしまうためである。

最近の光学撮像システムは、同軸ライト（co-axial lights）、バックライト（backlights）、および斜めライト（oblique lights）等の複数の照明光源を有していることが多い。正確な測定を行うためには、各照明光源を適切な照明レベルに設定しなければならない。

最近の光学撮像システムは、正確な測定を行うために同時に使用され調節される照明光源の数が増えていることに加えて、ズームレンズを備えていることが多い。ズームレンズの倍率が変わると、普通、レンズの光収集効率が変わる。これにより、照明光源からの光の、撮像に寄与する部分に変化が起きる。その結果、最適な測定精度を得るためには、普通、レンズの倍率が変わるたびに照明光源のレベルを調節する必要がある。

カメラの感度および信号プロセッサのゲインは、各測定システムによって異なる。所定のマシンにおいてさえ、特定の光学測定を最適化するために、時々カメラの感度や信号処理のゲインを変えることがある。こうした検出感度の違いは、通常、最適な測定精度を得るために必要とされる照明光源の強度が異なるという結果をもたらす。

伝統的に、特定の部品のための自動部品測定プログラムが、学習モードで作成される。オペレータは光学測定システムを手動モードにして、その部品に対して行いたい測定工程のシーケンスを選択する。このシーケンスには、部品の位置決めと、各測定に適したズーム倍率の選択が含まれる。そしてオペレータは、良い測定結果が得られるまで、照明光源の光レベルを手動で調節する。その後、各測定工程におけるパラメータを、関連した光レベルとともに保存する。その保存先は、引き続き行われる自動測定を制御するコンピュータであることが最も多い。この手動プログラミング法は、高度に熟練したオペレータを必要とする。

Wassermanに付与された米国特許第６，６２７，８６３号は、特定の測定システムにおいて光の適切なレベルを半自動的に決定する方法を開示している。この方法は、プログラム中のマシンで測定された実際の対象物の測定値を、シミュレーション画像と比較して、適切な照明光源レベルを設定するものである。この方法によれば、要求されるオペレータの熟練レベルを低減でき、おそらくは、プログラミングの所要時間が短縮できるかも知れないが、それでもなお、プログラミングの間、貴重な測定システムを拘束してしまう。プログラムの作成中は、測定システムを部品の測定に使用することができない。

オフラインモードで、すなわち、実際の測定マシンに接続されていないコンピュータに測定ソフトウエアを走らせて、測定プログラムを作成することが望ましい。これもまたWassermanに付与された米国特許第７，０９２，８６０号は、自動化されたオフラインシステムについて述べている。同特許はさらに、システム内のさまざまな光源に自動的にパラメータを設定するための照明モデルについても述べているが、そのようなモデルをどのように作成するのか述べていない。複数の光源とズームレンズを含む、そのようなモデルの作成は難しい。米国特許第７，０９２，８６０号は、モデルの作成方法については何も述べていない。必要な工程について述べておらず、そのようなモデルの作成例についてさえ、述べていない。

GelmanとDavisに付与された米国特許第５，３８９，７７４号（対応日本特許３４２７２３６号）は、ズームレンズを較正する装置および較正方法を開示している。ここでは、ズームレンズを所定の倍率に設定するためのデータを生成する。本願の発明者達は、同じデータを用い、本願開示の態様にしたがい他のデータと結びつけて、照明光源の適切な補正を決定できることを発見した。

上記米国特許第５，３８９，７７４号は、ズームレンズの倍率の較正方法を開示している。測定マシン、ズームレンズ、およびカメラの各組合せについて、較正が行われる。同特許の図２を参照して説明すると、サーボモータ２３を駆動させてモータシャフトに取り付けられた平歯車２６を回転させることによって、ズームレンズの倍率を変更する。この平歯車２６はリングギア２４と係合する。このリングギア２４は、調節可能なレンズ胴２５を取り囲んでこのレンズ胴２５に取り付けられている。レンズ胴２５が回転すると、ズームレンズの倍率が変わる。オペレータがレンズを所定の所望のズーム倍率に戻せるようズームレンズを較正するために、レチクル像が、選択された倍率でズームレンズとビデオカメラを通して、マイクロプロセッサに投射される。このマイクロプロセッサは、レチクルのその特定の画像を電子的に保存し、後で、今較正された倍率を再び得たい時に利用できるようにする。較正された倍率を後で再び得るために、レチクルの新しい画像がＣＰＵに投射され、ＣＰＵ経由でビデオスクリーンに投射される。前に記録されたレチクルの画像もＣＰＵによってビデオスクリーンに投射され、新しいレチクル画像と数学的に比較される。２つの画像が一致するまで、ズームレンズが調節される。この時、前回選択された倍率が再現される。較正の工程の一部として、上記米国特許第５，３８９，７７４号では、ズームレンズが較正された時の倍率毎のレチクル光強度と、ｘ、ｙ、ｚ座標を記録する。較正中にレチクル光強度は、目に見える画像を生成するのに満足なレベルに調節される。ズームレンズを予め較正された位置に戻すために、レチクル強度を較正工程の間に保存したレベルにリセットする。

上記米国特許第５，３８９，７７４号で開示された技術は、広く用いられており、特定の光学検査システムにおいてズームレンズの較正中に保存されたパラメータは、そのシステムのオペレータに広く利用可能である。本願の発明者達は、このデータを利用して、光学撮像システムのプログラミングを簡易化する方法を発見した。

光学撮像システムで測定している対象物の画像において達成される光強度信号は、その光学システムのＦＯＶ（視野）に注ぐ光の強度、測定中の対象物から再放出された光のうちＦＯＶ内の部分、この再放出光のうち光学システムを通ってカメラまで到達するものの割合、およびカメラの感度に依存する。光学測定用の照明は、その測定システムで用いられる最大ＦＯＶの全域にわたって均一になるように設計されている。したがって、光学システムのＦＯＶ内に注ぐ光の強度は、ズームレンズの倍率が変わっても、感知できるほどには変化しない。測定中の対象物の放射特性が最大ＦＯＶの全域にわたって均一であると仮定すると、その対象物から再放出された光の強度は、ズームレンズの倍率が変わっても変化しない。したがって、カメラでの光の強度を決定する主たるファクターは、光学システムの収集効率とカメラの感度である。
本発明の目的は、ズームレンズの倍率が変わった時のズームレンズの光学的効率の変化を補償し、ズームレンズ毎の光学的効率の変化を補償し、さまざまなカメラの感度の違いを補償する方法と装置を提供することにある。
本発明は、特定のシステムについて前に得たズームレンズの較正データを、同種の光学的照明器の光学的照明器データと共に用いることにより、さまざまなズームレンズおよびカメラを用いた所定の光学測定システムにおける照明器に対し、測定に最適な光の強度に関する非常に優れた演算を提供する、方法と装置を提供する。

出願人は、上記米国特許第５，３８９，７７４号で開示された技術を用いて較正されるズームレンズを備えた光学検査システムで取得できるレチクル強度値が、照明光源を予め較正するための工程の一部として利用でき、それによって、光学検査システムの慣らし運転中（during training）に照明光の強度をほぼ最適なレベルに設定できることを発見した。出願人は、同種の照明器の照明光源強度がマシンが違っても十分に一定であり、特定のタイプの光源を用いるマシンにおいて照明光源の較正中に集められたデータが、同種の照明光源を用いた同種の別のマシンに利用できることを発見した。この場合、使用中のそのマシンの異なるズーム倍率についてのレチクル光強度のデータと組み合わせる。すなわち、特定のマシンについての上記米国特許第５，３８９，７７４号のデータと、同種のマシンおよび照明光源についての照明光源の光強度データを用いれば、その特定のマシンの照明光源を正確にプリセットすることができる。

本願開示の他の態様によれば、本願発明者は、上記米国特許第５，３８９，７７４号で開示された較正方法によって求めた不連続（discrete）な値の間でレチクル光強度の値を補間（interpolate）する方法を発見した。本願発明者は、レチクル光強度と倍率の関係は、倍率の２乗とほぼリニアに変化することを発見した。これにより、任意形状の較正曲線を生成するルックアップテーブルを必要とせず、ここに開示された方法によって、照明光源の強度をプリセットすることができる。

本発明の一実施例による光学測定システムの概略図である。 本発明の一実施例によるズームレンズの較正ファイルの作成方法を示すフローチャートである。 特定のズームレンズ倍率における特定の照明光源の適切な照明レベルを求める方法を示すフローチャートである。 本発明の一実施例による光学測定システムの複数の異なる照明光源の好ましい照明レベルを示すグラフである。

図１は本願開示の一態様による、部品の座標を測定するための光学撮像システムの概略図である。このシステムにおいて、ズームレンズアッセンブリ１０はサーボモータ２３を含んでいる。このズームレンズアッセンブリの上方にはビデオカメラ１１が配置され、このビデオカメラは中央演算処理装置（ＣＰＵ）１２と通信し、このＣＰＵはディスプレイ１３と通信している。ズームレンズアッセンブリ１０の下方にはハウジング１４が配置され、ビームスプリッタ１８と対物レンズＬを収容している。ワークＷはハウジング１４の下方において可動ステージに載置される。レチクル１５を通る光を放射する光源１６が配置され、対物レンズ１７を介してビームスプリッタ１８にレチクル像を投射する。具体的に示されていないが、好ましくは、このシステムは、対象物を照らすための複数の照明光源を含んでいる。ＣＰＵ１２は、上記ステージを調節して対象物を位置づけ、ズーム倍率を設定し、照明レベルを調節し、上記カメラによって生成されたビデオ信号に基づいて対象物のフィーチャーの位置と寸法を自動的に測定するように、プログラミングされる。

好ましくは、撮像システム１０の要素をコンピュータで制御する。このコンピュータは、対象物のフィーチャーの位置と寸法を測定するコンピュータと同じものでもよい。コンピュータは、対象物の特徴を連続的に検査する保存されたプログラムに従って、撮像システムを構築する。コンピュータは可動ステージを設定し、光学要素の構成とズームレンズの倍率を設定し、ここに述べる方法を用いて各照明光源に適した照明強度を決定し、照明光源を調節する。

従来、光学撮像システムを制御する保存されたプログラムは、オペレータによって作成されてきた。オペレータは、手動で対象物を所望の位置に位置づけ、検査中のフィーチャーの画像を作り出すためにズームレンズと光学系を調節する。そして、カメラから適切な信号が提供されるように、各照明光源の強度を手動で調節し、それから、その設定をコンピュータに保存する。この技術は有効であるが、保存するプログラムを作成するために熟練のオペレータを必要とする。また、部品測定プログラムの作成をその測定システム自身を用いて行うことが要求されるため、少なくとも一時的に、保存するプログラムの作成に必要な時間の間は、その測定システムを部品の測定に使用できなくなる。本発明は、保存するプログラムの作成を大幅に簡略化し、要求される熟練レベルを下げ、プログラムが実行される光学撮像システムを、プログラムの作成から実質的に開放する。

図２は、ズームレンズが光学撮像システムに取り付けられた時、そのシステム用に作成される、ズームレンズ較正ファイルの作成のフローチャートである。本発明の一実施例に従って、ズームレンズをこれまでに較正したことが無い場合を想定して、本発明を説明する。多くの場合、あるいは殆どの場合、例えば上記米国特許第５，３８９，７７４号で開示されたズーム倍率の設定を行うために、ズームレンズはすでに較正されており、その較正によって得られたデータを直接利用してよく、本発明による照明光源のプリセットを行うために、ズームレンズを再度較正する必要はないことが理解されよう。

図１を参照して、図２の工程は、ステップ２１０で、参照光源１６に電源を投入することからスタートする。この参照光源は好ましくはレチクル光源であり、レチクル１５の像が、ビームスプリッタ１８によって反射されると、ビデオカメラ１１に投射される。ステップ２２０で、較正すべき各ズーム倍率ｍについて、公知の光学的測定方法を用いて、画像の寸法と位置を測定する。その後、ステップ２３０で、カメラの信号が、検査対象物のフィーチャーを測定できるような画像を生成するために許容できるものとなるまで、光源１６の強度を調節する。この光源１６の強度は、好ましくは、カメラでの信号が飽和するのに必要なレベルの約６０パーセントである。レチクル像を測定した後、ステップ２４０で下記の５つのパラメータを保存する。
（１）サーボモータ２３の軸の位置。
（２）レチクル像の１つのリング上で測定された３点のＸ−Ｙ座標。
（３）測定されたリングの径。
（４）画像の寸法の較正（１インチ当たりの画素数）。
（５）倍率ｍについてのレチクル光源１６の強度の尺度Ｌ_Ｒ（ｍ）。このＬ_Ｒ（ｍ）は０から２５５までの数から成り、２５５はレチクル光源に許容される最高強度を表し、０は最低強度である。
これらのデータを、その特定の測定システムと関連付けられた較正ファイルに保存する。理解されるように、その特定のマシンＭの較正ファイルに他のＬ_Ｒ（ｍ）測定値も保存されるが、それは異なる倍率ｍについてのものである。倍率は、例えば製造業者や使用者によって、予め定められている。本願発明の方法のこの部分は、実質的に、米国特許第５，３８９，７７４号で開示されたとおりに行ってよい。

上述のとおり、各倍率ｍについてのレチクル光源の強度Ｌ_Ｒ（ｍ）は較正ファイルに保存され、特定のシステムの各倍率における相対的光学的効率の測定値を提供する。所定の倍率ｍにおいて最適測定精度を達成するのに要求されるレチクル光源の強度Ｌ_Ｒ（ｍ）は、その倍率でのレンズの光収集効率と、カメラの感度の両方に依存する。したがって、較正ファイルはマシンＭごとに異なったものとなる可能性が高い。各マシンＭと関連したズームレンズとカメラに、ある程度のばらつきがあるからである。マシンが違えば、カメラおよび／またはズームレンズがまったく異なることもある。しかし、「同じ」、つまり、同じ部品番号または仕様のカメラやズームレンズであっても、例えば製作公差に起因する差異は内在する。カメラとズームレンズ以外の構成要素がマシン間の差異をもたらす場合もある。

一部の市販のマシンにおいては、各倍率ｍについてのレチクル光源の強度Ｌ_Ｒ（ｍ）を保存したこれらの較正ファイルは、製造業者によって作成され、マシンと共に出荷される。代わりに、図２の工程を用いて、ユーザーがレチクル光源の強度を算出することもできる。これもまた本開示から理解されるように、マシンで使用されるレチクル光以外の光源の光の強度を用いて、他の光源の光レベルを設定するための光レベルを求めることができる。しかし、当該較正ファイルに保存するのは、レチクル光源の強度の値である。ズームレンズの倍率の較正には、レチクル光源が使用されるからである。本願明細書においては、測定システムの光学的効率を較正するために使用される参照光源はレチクル光源であるが、他の光源であってもよい。

ズームレンズのパラメータが定められたら、光学撮像システムの参照光源以外の光源Ｉ１、Ｉ２、Ｉ３…について、照明強度Ｌ_Ｉ１（ｍ）、Ｌ_Ｉ２（ｍ）、Ｌ_Ｉ３（ｍ）…を測定する。レチクル光源１６は光源の１つであってよく、例えば、リングライト（斜めライト）、バックライト、同軸ライトなども光源であってよい。所定の種類の照明光源の光レベルを設定するためには、一度、好ましくは同じ種類のマシン、すなわち、製造現場で測定に用いられるマシンＭと同じマシン（同じカメラとズームレンズを有するマシン）で、その照明光源を較正する必要がある。ここでまた、同じ種類のマシン、すなわち、「同じ」ズームレンズとカメラを有するマシンの間でばらつきがある。しかし、こうした差異は一般的に限定的であり、照明強度を測定するという目的においては、調節を必要としない。図３を参照すれば、照明光源を較正する工程は以下のとおりである。
１．ステップ３１０で、そのマシンの較正ファイルを読み出す。この較正ファイルには、このマシンＭのさまざまなズームレンズの倍率についてのレチクル光源の光強度の値Ｌ_ＲＭ（ｍ）が収容されている。
２．ステップ３２０で、ズームレンズを、較正ファイルにおける所定の第１倍率ｍに設定する。
３．ステップ３３０で、カメラでの信号が所定のレベル例えば飽和の６０％になるように、第１照明光源Ｉ１を調節する。
４．ステップ３４０で、照明光源Ｉ１の倍率ｍにおける光レベルＬ_Ｉ１Ｍ（ｍ）（０〜２５５までの値）を読み込む。
５．ステップ３５０で、Ｒ_１（ｍ）、すなわちＬ_Ｉ１Ｍ（ｍ）の、そのマシンの較正表から得られる倍率ｍでの光レベルＬ_ＲＭ（ｍ）に対する比を計算する。
６．ステップ３６０の質問で決定されるように、較正ファイルに保存された各倍率ｍについて、工程２から５を繰り返す。
７．ステップ３７０で、比Ｒ_１（ｍ）の値を、マシンＭについてのこの光源Ｉ１と関連したファイルに保存する。

所定の種類のマシン1台について光源の較正を行ったら、つまり、特定のズームレンズとカメラを有するマシンＭについてのＲ_I（ｍ）値が計算されたら、光源の較正が行われた倍率以外の倍率ｍについての光レベルは、補間によって求めることができる。図４は３つの照明光源Ｉ１、Ｉ２、Ｉ３、すなわち、バックライト、同軸ライト(ＳＯ)およびリングライトについて、さまざまなズームレンズ倍率において飽和の６０％を達成するのに必要な光強度Ｌ_ＩｎＭ（ｍ）と、その倍率の２乗とをプロットしたものである。そのマシンＭのズームレンズの較正ファイルと関連した光強度の値Ｌ_ＲＭ（ｍ）も、「レチクル光」と記した一連の点としてプロットした。倍率範囲のほぼ全域にわたって、光強度の値が倍率の２乗にほぼ従って変動することに注目されたい。したがって、ｍではなく、ｍの２乗について補間すると良い。補間は、必要とされる倍率毎に、強度Ｌ（ｍ）対ｍ^２のリニアな変化に基づいて計算するか、あるいは、正確性を達成するのに十分な数のｍについてのデータを有するルックアップテーブルを予め用意し、そのテーブルを用いて、所定の倍率において要求される光レベルを求めることができる。

本発明の現時点で好ましい実施形態によれば、オンライン上のマシンＭ２（online machine）のズームレンズ較正ファイルＬ_ＲＭ２がすでに定められていれば、マシンＭ２で用いる各種類のライトを較正するためにマシンＭ２を用いる必要はない。別の（ただし同一種類または類似の種類の）マシンＭ１と同一種類の光源を用いてＲ（ｍ）’を含む較正ファイルを作成することができる。その後、Ｍ２における光源に必要な光強度の値Ｌ（ｍ）を、Ｍ２用のズームレンズ較正ファイルと、光源の較正に用いられたマシンに関連したＬ_ＲＭ１（ｍ）値と、を用いて予測することができ、マシンＭ２を照明光源強度のプログラミングのためにオフラインにする必要はない。

その手順は以下の通りである。Ｌ_ＲＭ１（ｍ）が、光源Ｉの較正をオンラインで行ったマシンＭ１についてのマシン較正ファイルにおける光強度の値を表し、Ｒ_Ｉ（ｍ）が、図３に示す手順を用いてマシンＭ１でその光源を較正した時にファイルに保存された比を表すものとする。Ｌ_ＲＭ２（ｍ）が、その光源がオンラインで用いられるマシンＭ２についての較正ファイルに保存された、レチクルプロジェクタの光強度の値を表すものとする。マシンＭ２における光源の光強度は次によって求められる。

Ｌ_ＩＭ２（ｍ）＝Ｒ_Ｉ（ｍ）×Ｌ_ＲＭ２（ｍ）

照明光源の強度をこの関係に従って設定すれば、その強度はほとんどいつも、測定に適した画像を生成するのに適切であることを、我々は突き止めた。時々、適切な画像を得るために照明光源の強度を少し変えなければならない場合があるが、それは稀であり、変更が必要な場合であっても、変更は比較的小さく、特別な専門知識のないオペレータでも行うことができる。

上述のとおり、提示された例においては、レチクル光源の強度は較正ファイルに含まれている。したがって、レチクル光源が参照光源となる。これは、本発明の譲受人、クオリティー ヴィジョン インターナショナル社によって市販されているマシンにおいては、ズームレンズの較正にはいつもレチクル光源が使用されているため、便宜上そうしているものである。しかし、本開示はこの構成に限定されるものではない。本願開示の教示内容を用いて、他のいかなる光源を参照光源として用いてもよい。

ここに開示された方法を用いて光学検査システムをプログラミングするのに要する時間は、従来可能であったよりも大きく短縮され、この方法の実行にはより少ない専門知識しか必要とせず、しばしば微調節を一切行わなくても、良い結果が得られる。

Claims (13)

1. 複数のズーム倍率ｍで対象物を検査するために用いられるカメラを有する光学撮像システムにおいて、対象物の検査のために上記光学撮像システムをプログラミングする際に、ズームレンズと照明光源の組合せをほぼ最適な設定にプリセットする方法であって、以下の工程を備えた方法。
   ・上記光学撮像システムのズームレンズ、結像光学系および撮像装置との組合せにおいて、複数のズーム倍率で、参照光源の所望の照明レベルを決定する工程。
   ・複数のズーム倍率ｍにわたって、上記参照光源によって照らされる領域全体に所望の測定精度を達成するために要求される、マシンＭ１についての参照光源の強度Ｌ_ＲＭ１（ｍ）の較正ファイルを作成して、保存する工程。ここで、Ｌは上記参照光源の正規化強度であり、Ｒは参照光源を意味する記号であり、ｍはレンズの倍率を表す値である。
   ・カメラに信号を生成するのに要求される、各倍率ｍで照明光源の照明光源強度Ｌ_Ｉ（ｍ）を測定する工程。この照明光源強度は、各倍率ｍで飽和が生じるのに必要な強度の、所定のパーセンテージである。
   ・Ｒ_Ｉ（ｍ）＝Ｌ_ＩＭ１（ｍ）／Ｌ_ＲＭ１（ｍ）のアレイを保存する工程。
   ・測定の工程において、Ｌ_ＩＭ２（ｍ）＝Ｌ_ＲＭ２（ｍ）×Ｒ_Ｉ（ｍ）の式に従って、マシンＭ２についての照明光源Ｉの強度を設定する工程。
2. 上記較正ファイルを作成して保存する工程が、
   較正対象物にレチクルを投射する工程と、
   上記カメラを用いて上記レチクルを撮像する工程と、
   上記レチクル上の複数の位置で、複数のズーム倍率ｍにおいて最適測定精度を得るために、レチクル光源の強度を調節する工程と、
   を備えたことを特徴とする、請求項１に記載の方法。
3. 上記レチクルが上記ズームレンズのベストフォーカスで投影されることを特徴とする、請求項２に記載の方法。
4. 上記較正ファイルを作成する工程が、マシンの製造中に行われることを特徴とする、請求項２に記載の方法。
5. 上記Ｒ_Ｉ（ｍ）＝Ｌ_ＩＭ１（ｍ）／Ｌ_ＲＭ１（ｍ）において、分母が、保存された値Ｌ_ＲＭ１（ｍ）間で補間され、上記Ｌ_ＩＭ２（ｍ）＝Ｌ_ＲＭ２（ｍ）×Ｒ_Ｉ（ｍ）において、値Ｌ_ＲＭ２（ｍ）が、保存された値Ｌ_ＲＭ２（ｍ）の間で補間されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
6. 上記補間が上記倍率の値の２乗に基づく線形補間を含むことを特徴とする、請求項５に記載の方法。
7. 第１光学検査システムにおいて、
   （ａ）複数のズーム倍率ｍにおいて、参照光源の所望の照明レベルを決定し、保存する工程と、
   （ｂ）上記複数のズーム倍率ｍのそれぞれにおいて、第１照明光源の所望の照明レベルを決定する工程と、
   （ｃ）上記複数の倍率ｍのそれぞれにおいて、参照光源強度に対する照明光源強度の比を計算し、保存する工程と、
   を備え、
   第２光学検査システムにおいて、
   （ｄ）複数のズーム倍率ｍにおいて、参照光源の所望の照明レベルを決定する工程と、
   （ｅ）所望のズーム倍率について、第１照明光源の強度を、その光源と倍率について工程（ｃ）で求めた比と、その倍率ｍについて工程（ｄ）で決定した所望の照明レベルとの積と、実質的に等しい値に設定する工程と、
   を備えた方法。
8. 上記工程（ｄ）が、上記第２光学検査システムと関連したデータから、ズームレンズ倍率ｍについて前に決定した照明レベルを読み出す工程を含むことを特徴とする、請求項７に記載の方法。
9. 所望のズームレンズ倍率よりも高いズームレンズ倍率および低いズームレンズ倍率について、予め決定された照明レベルを読み出す工程と、上記読み出したレベルから照明レベルを補間する工程とを備えたことを特徴とする、請求項８に記載の方法。
10. 上記補間が上記倍率の値の２乗に基づく線形補間を含むことを特徴とする、請求項９に記載の方法。
11. 第２光学測定マシンでの照明光源の照明レベルを設定する方法であって、
    第１光学測定マシンにおいて、複数のズームレンズ倍率についての少なくとも複数の参照光源強度レベルを含むズームレンズ較正ファイル、を作成し保存する工程と、
    第１光学測定マシンにおいて、少なくとも１つの照明光源について、複数のズームレンズ倍率での、参照光源強度レベルに対する照明光源強度レベルの比を求める工程と、
    第２光学測定マシンにおいて、複数のズームレンズ倍率についての少なくとも複数の参照光源強度レベルを含むズームレンズ較正ファイル、を作成し保存する工程と、
    第２光学測定マシンにおいて、ズームレンズ倍率を、測定を行うために望ましい設定に設定する工程と、
    第２光学測定マシンでの照明光源レベルを、第２光学測定マシンでの上記ズームレンズについての上記所望の倍率設定における上記参照光源強度レベルと、第１光学測定マシンでの上記所望のズームレンズ倍率における上記比との組合せによって求められる値に設定する工程と、
    を備えている方法。
12. 参照光源強度とズームレンズ倍率の２つの値の間で上記照明光源レベルを補間することを備えた、請求項１１に記載の方法。
13. 上記補間が上記ズームレンズ倍率の２乗に基づく線形補間を備えたことを特徴とする、請求項１２に記載の方法。

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