JP5452389B2 - 二方向性平面外櫛駆動加速度計 - Google Patents
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Description
本発明の他の側面において、平面外櫛駆動装置はコントローラに取り付けられる。コントローラから複数の第1ステータ櫛歯に付与される第1電圧が、ローター歯を複数の第1ステータ櫛歯に向けて引くように作用する。コントローラから複数の第2ステータ櫛歯に付与される第2電圧は、ローター歯を複数の第2ステータ櫛歯に向けて引くように作用し、これは、複数の第1ステータ櫛歯により引かれるのと反対方向である。コントローラは、容量ピックオフのような検出要素により検出されるプルーフマスの平面外加速度に応じて発生するプルーフマスの回転トルクによる力とバランスさせるために、複数の第1ステータ櫛歯または複数の第2ステータ櫛歯に電圧を付与するように動作する。コントローラは、適正なバランス力を付与するために必要とされる電圧に基づいて加速度を決定するように機能する。
Claims (3)
- 平面外静電櫛駆動加速度計であって、前記加速度計は、
プルーフマス(104)と、
前記プルーフマスの端部に位置する複数のローター櫛歯(124)と
前記複数のローター櫛歯にはさみこまれる、第1の複数のステータ櫛歯(132)と、
前記複数のローター櫛歯にはさみこまれる、第2の複数のステータ櫛歯(136)と、を有し、前記第1および第2の複数のステータ櫛歯は互いに電気的に分離されており、前記第1および第2の複数のステータ櫛歯は単一の材料層から形成され、
前記第1の複数のステータ櫛歯の少なくとも1つの櫛歯は、平面外方向において、前記第2の複数のステータ櫛歯の少なくとも1つの櫛歯に実質的に整合し、
前記第1の複数のステータ櫛歯の少なくとも一部は、第1面において実質的に同一方向に整合して第1列部を形成し、
前記第2の複数のステータ櫛歯の少なくとも一部は、第2面おいて実質的に同一方向に整合して第2列部を形成し、
前記第1列部を形成する前記第1の複数のステータ櫛歯、および前記第2列部を形成する前記第2の複数のステータ櫛歯は、実質的に互いに整合しており、
前記第1面および前記第2面は実質的に平行であり、
前記第1列部を形成する前記第1の複数のステータ櫛歯、および前記第2列部を形成する前記第2の複数のステータ櫛歯は、空間により分離される、加速度計。 - 請求項1に記載の加速度計であって、前記第1の複数のステータ櫛歯は上方ステータ歯ベースに支持され、前記第2の複数のステータ櫛歯は下方ステータ歯ベースに支持され、前記上方および下方のステータ歯ベースは機械的および電気的に分離されており、前記上方および下方のステータ歯ベースは実質的に同一の厚さであり、前記上方および下方のステータ歯ベースは、前記第1面および前記第2面に垂直な方向において幾何学的に平行であり、第1ギャップが、前記複数のローター櫛歯と前記第1の複数のステータ櫛歯との間に第1キャパシタンスを画定し、第2ギャップが、前記複数のローター櫛歯と前記第2の複数のステータ櫛歯との間に第2キャパシタンスを画定し、前記プルーフマスの線形平面外加速度が、前記第1キャパシタンスおよび前記第2キャパシタンスを変化させる前記プルーフマスの回転軸を中心とするトルクを発生させ、第1電圧が、前記第1の複数のステータ櫛歯が前記ローター櫛歯を前記第1の複数のステータ櫛歯に向けて引くように付与され、第2電圧が、前記第2の複数のステータ櫛歯が前記ローター櫛歯を前記第2の複数のステータ櫛歯に向けて反対方向に引くように実質的に付与される、加速度計。
- 櫛駆動部を製造する方法であって、前記方法は、
ローター歯およびステータ歯の第1部分を露出させるために第1非等方性エッチングを実行するステップと、
前記ローター歯の残りの部分、前記ステータ歯の外縁部、および前記ステータ歯の前記第1部分における複数の通路を露出させるために第2非等方性エッチングを実行するステップと、
各ステータ歯の第1部分を、各ステータ歯の第2部分から分離するために第1等方性エッチングを実行して、ステータ歯の第1列部およびステータ歯の第2列部を形成するステップと、
ステータ歯の前記第1列部および前記第2列部のベースを部分的に分離するために、第3非等方性エッチングを実行するステップと、
ステータ歯の前記第1列部および前記第2列部のベースを分離するために、第4非等方性エッチングを実行するステップと、を有する方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/492,915 US8418555B2 (en) | 2009-06-26 | 2009-06-26 | Bidirectional, out-of-plane, comb drive accelerometer |
US12/492,915 | 2009-06-26 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013265387A Division JP5787969B2 (ja) | 2009-06-26 | 2013-12-24 | 二方向性平面外櫛駆動加速度計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011017699A JP2011017699A (ja) | 2011-01-27 |
JP5452389B2 true JP5452389B2 (ja) | 2014-03-26 |
Family
ID=42734628
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010143861A Expired - Fee Related JP5452389B2 (ja) | 2009-06-26 | 2010-06-24 | 二方向性平面外櫛駆動加速度計 |
JP2013265387A Expired - Fee Related JP5787969B2 (ja) | 2009-06-26 | 2013-12-24 | 二方向性平面外櫛駆動加速度計 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013265387A Expired - Fee Related JP5787969B2 (ja) | 2009-06-26 | 2013-12-24 | 二方向性平面外櫛駆動加速度計 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8418555B2 (ja) |
EP (1) | EP2267461B1 (ja) |
JP (2) | JP5452389B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 2009-06-26 US US12/492,915 patent/US8418555B2/en active Active
-
2010
- 2010-06-22 EP EP10166869.7A patent/EP2267461B1/en not_active Not-in-force
- 2010-06-24 JP JP2010143861A patent/JP5452389B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-12-24 JP JP2013265387A patent/JP5787969B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8418555B2 (en) | 2013-04-16 |
EP2267461B1 (en) | 2019-02-20 |
EP2267461A1 (en) | 2010-12-29 |
US20100326191A1 (en) | 2010-12-30 |
JP2011017699A (ja) | 2011-01-27 |
JP5787969B2 (ja) | 2015-09-30 |
JP2014098705A (ja) | 2014-05-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130613 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131129 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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