JP5450780B1 - 微細空間内に導体を形成する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】対象物1に設けられた微細空間3内に導体を形成するに当たり、微細空間3内に充填された導電性微粉末を加熱し、加圧しながら硬化させる工程の前に、導電性微粉末に含まれる金属酸化物微粉末を還元する。
【選択図】図1
Description
3 微細空間
5 分散系機能性材料
50 導体
51 分散媒
52,53 機能性微粉末
Claims (1)
- 対象物に設けられた微細空間内に導体を形成する方法であって、
前記微細空間内に充填された導電性微粉末を加熱し、加圧しながら硬化させる工程を含み、
前記工程前に、前記導電性微粉末に含まれる金属酸化物微粉末を、前記微細空間内で還元する工程を含んでおり、
前記対象物は、ウエハ、回路基板、積層基板、又は、半導体チップの何れかである、
方法。
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