JP5448549B2 - 光イオン化検出器及び光イオン化検出方法 - Google Patents
光イオン化検出器及び光イオン化検出方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5448549B2 JP5448549B2 JP2009106520A JP2009106520A JP5448549B2 JP 5448549 B2 JP5448549 B2 JP 5448549B2 JP 2009106520 A JP2009106520 A JP 2009106520A JP 2009106520 A JP2009106520 A JP 2009106520A JP 5448549 B2 JP5448549 B2 JP 5448549B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- current
- detection
- photoionization
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 21
- 238000001824 photoionisation detection Methods 0.000 title claims description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 84
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 80
- 239000012855 volatile organic compound Substances 0.000 claims description 77
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 32
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 12
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 80
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 80
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 33
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 32
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 31
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 23
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 16
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 14
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 11
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 8
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 8
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000013543 active substance Substances 0.000 description 4
- 239000003518 caustics Substances 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 4
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 4
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004817 gas chromatography Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- URLKBWYHVLBVBO-UHFFFAOYSA-N Para-Xylene Chemical group CC1=CC=C(C)C=C1 URLKBWYHVLBVBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007084 catalytic combustion reaction Methods 0.000 description 2
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N Trichloroethylene Chemical group ClC=C(Cl)Cl XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000003915 air pollution Methods 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 150000001299 aldehydes Chemical class 0.000 description 1
- 150000001335 aliphatic alkanes Chemical class 0.000 description 1
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- UBOXGVDOUJQMTN-UHFFFAOYSA-N trichloroethylene Natural products ClCC(Cl)Cl UBOXGVDOUJQMTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Description
そして、VOCを削減するために大気汚染防止法や環境確保条例による規制等が定められているが、環境保全と産業振興の両立のためには、更なる削減技術の開発が求められている。近年、環境への関心が高まるにつれ、VOCを測定することの必要性も増してきており、より正確に精度良くVOCの測定ができる技術が望まれている。
また、半導体センサはコンタミネーションによる感度消失、ドリフトによって出力値が不安定である、濃度により感度差が生じるという問題、触媒燃焼式センサについても同様に感度消失、ドリフト、低濃度(100ppm以下)は測定不可能であること、更に、ガスクロマトグラフィは大型装置であり連続測定はできない、高価であるという問題があった。
そして、この電流を測定回路7によって測定する。更に、当該電流値は演算器8により物質ごと(測定VOCの物質)の係数を乗じることで、VOC濃度として出力される。 このような光イオン化検出器は、公定法ではないものの、上述の他の検出器、検出方法と比べて、各VOC成分に対して選択性があるため、特定のVOCを測定するのに適しているうえ、ほとんどのVOC測定に有効な方法であり、装置も大型ではないため、簡易にVOCを測定でき、VOCの測定方法として非常に有用な方法である。
したがって、汚染物質が金属電極表面に蓄積すると、再現性を得ることができなくなるため、定期的な電極のメンテナンスを必要とした。
そこで、下記特許文献1によれば、揮発性ガス濃度(VOCガス濃度に相当)を継続的に測定し、かつイオン化検出室内の酸素をUVランプによりオゾンに変換させることで、該オゾンによってイオン化検出室内の汚れを取り除くというPIDの自己清浄を行う構成が開示されている。
そして、特許文献2の光イオン化検出器では、このような構成に加え、感度の低下を防ぐために、間欠的にランプを動作させると共に、それに同期して測定流体を検出室に滞留させることで、連続して測定流体を導入した場合に比較して、ラジカルなどの原因物質の生成を抑え、感度の低下を防止する構成が開示されている。
非特許文献1によれば、光イオン化検出器の金属電極はカソードD(陰極)とアノードC(陽極)から構成されており、電流の流れる向きが決まっていることから、図9、下記特許文献1及び下記特許文献2に例示した従来の光イオン化検出器における金属電極2は、直流印加電極であると理解することができる。
そして、特許文献2に記載の構成においても、長時間使用すると、依然として、金属電極表面にコンタミネーションが蓄積するため、メンテナンスを必要とした。
本発明の課題は、測定感度の低下を低減できると共に、長期間メンテナンスフリー及び高精度測定が可能な光イオン化検出器及び光イオン化検出方法を提供することである。
請求項2記載の発明は、前記測定手段が、位相検波器である請求項1記載の光イオン化検出器である。
請求項3記載の発明は、前記検出電極が絶縁被覆されている請求項1又は2に記載の光イオン化検出器である。
請求項5記載の発明は、前記検出電極に流れる電流又は電圧を位相検波により測定する請求項4記載の光イオン化検出方法である。
請求項6記載の発明は、前記検出電極が絶縁被覆された電極を用いる請求項4又は5に記載の光イオン化検出方法である。
従来のPIDの金属電極(検出電極)に電圧を印加する手段は、非特許文献1に記載のように、直流印加回路である。なお、直流印加回路を用いることは、上記特許文献1及び特許文献2には明確に記載されていないが、一般的なことである。
そして、本発明によれば、検出電極に電圧を印加する手段として、交流印加回路を用いて交流電圧又は交流電流を印加する手段を備えていることを特徴とする。
また、交流印加の場合は、二つの交流印加電極のうち、一方の電極にコンタミネーションが蓄積しても、他方の電極でイオン化したVOCを捕捉可能であることから、測定感度の低下を防止できる。
したがって、請求項1及び4記載の発明によれば、検出電極に交流印加回路を用いて交流電圧又は交流電流を印加することで、検出電極がコンデンサとしても働くため、電流値の測定が可能である。したがって、検出電極がコンタミネーションによって測定感度を失うことを防止できる。
交流印加電極は、イオン化ガスによる電極の静電容量(電気容量)の変化を検知することが可能であるため、絶縁膜を被覆した電極を用いても、電気容量の変化によって電流値を測定できる。絶縁膜を被覆した絶縁膜部は、UV照射による活性物質の発生又は腐食性物質の混入による汚染から電極を防ぐため、長期間のメンテナンスフリーが可能となる。 また、金属電極を用いても電極の金属部は劣化しない。
したがって、請求項3及び6記載の発明によれば、上記請求項1又は2及び請求項3又は4記載の発明の作用に加えて、絶縁膜を被覆した絶縁膜部はUV照射による活性物質の発生又は腐食性物質の混入による汚染が生じないため、電極の導体部にコンタミネーションが蓄積することがなく、長期間のメンテナンスフリーが可能となる。
具体的に、請求項1及び4記載の発明によれば、検出電極に交流印加回路を用いて交流電圧又は交流電流を印加することで、コンタミネーションによって測定感度を失うことを防止できる。したがって、VOC濃度の測定感度の低下を低減できる。
請求項3及び6記載の発明によれば、上記請求項1又は2及び3又は4記載の発明の効果に加えて、検出電極として絶縁膜を被覆した電極を用いることで、コンタミネーションの蓄積を防止でき、長期間のメンテナンスフリーが可能となる。
図1には本発明の一実施形態による光イオン化検出器の構成図を示す。
図1(a)の光イオン化検出器は、VOC測定流体FLが導入及び排出される検出室1と、検出室1内に設けられた金属電極2と、金属電極2に交流電圧を印加し、抵抗Rが設けられた交流印加回路3と、検出室1内の測定流体に短波長の紫外線を照射するUVランプ4と、UVランプ4を励起するUVランプ励起回路5と、金属電極2に生じる電流を測定する測定回路7と、電流値からVOC濃度へ換算するための計算を行う演算器8などから構成される。
交流印加回路3によって交流電圧が金属電極2に印加されると、金属電極2はコンデンサとして機能するため、空気の誘電率に依存した電流が交流印加回路3に流れる。電流の計測は抵抗Rの両端の電圧を計測することで行われる。図1(b)に示すように電流計Aにより電流を直接計測する場合も電流計の内部では抵抗の電圧を計測している。
そして、この金属電極2に流れる電流信号を取り出して、イオン発生時の電流値からイオン発生前の電流値を減算し、イオン化による電流値を演算器8によって測定する。なお、一定電流を電極2に印加する場合はイオン電流が発生することによって電圧値も変化するため、イオン化による電極2間の電圧値を測定回路7によって測定しても良い。
イオン化したVOCにより金属電極2の電気容量が変わるため、その変化によって電流値を測定できる。したがって、金属電極2にコンタミネーションが蓄積しても、イオン又は電子の検知が可能であり、交流電極がコンタミネーションによって測定感度を失うことを防止できる。
したがって、本実施形態に示すように、金属電極2に交流印加回路3を用いて金属電極2に交流電圧又は交流電流を印加することで、金属電極2がコンデンサとしても働くため、電流値(又は電圧値)の測定が可能である。したがって、金属電極2がコンタミネーションによって測定感度を失うことを防止できる。
また、金属電極2としては、SUS(ステンレス)電極、金電極、白金電極、銅電極などがあり、特に種類は問わない。なお、銅は反応性が良いため、電極表面が変質しやすいので、SUS電極、金電極、白金電極が好ましい。
一例として、トルエンガスをイオン化する場合、UVランプ4には10.6evのイオン化ポテンシャルを持つクリンプトン封入ランプを用いて、UVランプ励起回路5にはクリンプトンを励起させることが可能な13.56MHzの周波数を発振回路とする。
また、非特許文献に記載のように、UVを発生させる方法として、電極を用いて励起させる方法もある。
また、図2の光イオン化検出器は、VOC測定流体FLが導入及び排出される検出室1と、検出室1内に設けられた金属電極2と、金属電極2に交流電圧を印加し、抵抗Rが設けられた交流印加回路3と、検出室1内の測定流体に短波長の紫外線を照射するUVランプ4と、UVランプ4を励起する励起回路5と、抵抗Rに生じる電流の検出信号と交流印加回路3の波長とを同期させてノイズを除去し、該ノイズが除去された信号を電流値に変換するための位相検波器10と、位相検波器10により測定された電流値からVOC濃度へ換算するための計算を行う演算器8などから構成される。
すなわち、図2の光イオン化検出器は、図1の光イオン化検出器とは測定回路7の代わりに位相検波器10を用いた点で異なり、その他の構成は同様である。
測定流体中のVOCは紫外線(UV)照射によりイオン化し、金属電極2の電気容量が変化すること、及びイオン又は電子が金属電極2に引き寄せられることでイオン電流が発生することによって電流値は変化する。
そして、測定するVOCの種類や濃度によっては、ノイズやドリフトにより出力が安定しない。
そして、イオン発生時の電流値からイオン発生前の電流値を減算し、イオン化による電流値を測定する。更に当該電流値は演算器8により物質ごとの係数を乗じることで、VOC濃度として出力される。
したがって、この結果、高精度なVOCの濃度測定が可能となる。
図3の光イオン化検出器は、VOC測定流体FLが導入及び排出される検出室1と、検出室1内に設けられ、金属電極2に絶縁膜が被覆された絶縁膜被覆金属電極11と、絶縁膜被覆電極11に交流電圧を印加し、抵抗Rが設けられた交流印加回路3と、検出室1内の測定流体に短波長の紫外線を照射するUVランプ4と、UVランプ4を励起する励起回路5と、抵抗Rに生じる電流の信号を増幅し、該増幅された検出信号と交流印加回路3の波長とを同期させ、ノイズ除去後の信号を電流値に変換するための位相検波器10と、電流値からVOC濃度へ換算するための計算を行う演算器8などから構成される。
交流印加電極の金属電極2は、イオン化ガスによる電極2の電気容量の変化を検知することが可能であるため、絶縁膜を被覆した絶縁膜被覆電極11を用いても、電気容量の変化によって電流値を測定できる。絶縁膜を被覆した絶縁膜部は、UV照射による活性物質の発生又は腐食性物質の混入による汚染から電極を防ぐため、長期間のメンテナンスフリーが可能となる。また、金属電極2を用いても絶縁膜で被覆することにより電極の金属部は劣化しないので、長期間メンテナンスフリーな金属電極2を得ることができる。
図4には、図1の光イオン化検出器と図9の従来の光イオン化検出器を用いて、コンタミネーションによる直流電極と交流電極の感度差を比較した測定結果を示す。
絶縁物のコンタミネーションが電極を覆うという条件を疑似的に作り出すため、二つの金属電極2(平行平板電極、縦30mm、横30mm、厚さ0.1mm、電極間距離:0.8mm、材質:SUS304)のうち一方を絶縁フィルム(商品名 パラフィルム、アメリカン ナショナル キャン カンパニー社製)で覆い、他方の電極2には何も覆わない通常の金属電極2を用いて、図1(b)の光イオン化検出器と図9の従来の光イオン化検出器により、UV照射時間を5分から15分の10分間として、測定回路7(電流計A)を電極2と直列に接続し、各電流値(nA)を測定した。
測定回路7の電流計Aとして、マルチメータ(アジレント・テクノロジー社製、U1252A)を設置し、電流値の測定は5秒間に1回行い、30秒間(6回分)の平均値をプロットした。
一方、交流印加回路3を用いた場合(黒丸で示す)は、UVランプ4の非照射時と照射時では電流値に差が生じたことから、金属電極2の一方にコンタミネーションが生じた場合でも、測定感度を失うことなく、電流値の測定が可能であることが確認された。交流印加電極における電流の発生は、イオン電流のみでなく、金属電極2そのものがコンデンサとして働くことによっても生じる。そして、二つの交流印加された金属電極2のうち、一方の電極2にコンタミネーションが蓄積しても、他方の電極2でイオン化したVOCを捕捉可能であることから、測定感度の低下を防止できる。
図5には、図2の光イオン化検出器を用いて、ノイズの有無を確認するために電流値の測定を行った結果を示す。
測定回路7(電流計)の代わりに抵抗Rを接続し、その抵抗Rの両端の電圧を計測する図2の光イオン化検出器の位相検波器10として、ロックインアンプ((株)エヌエフ回路設計ブロック製、5610B)を使用した以外は実施例1と同様の装置を使用した。
また、測定条件として、二つとも何も覆わない通常の金属電極2(平行平板電極、縦30mm、横30mm、厚さ0.1mm、電極間距離:1.6mm、材質:SUS304)を用いて、ロックインアンプ10の設定、測定条件を印加電圧の周波数280Hz、時定数1秒、バンドパスフィルタQ(中心周波数と帯域幅の比)=30とした。
これら電流値及び位相差の測定は5秒間に1回行い、30秒間(6回分)の平均値をプロットした。
図5から、UVランプの非照射時(0から5分、15分から20分)と照射時(5分から15分)で、検出された電流値のプロットがほぼ一直線上に横並びとなり、ノイズが生じることなく非照射時と照射時の電流値差が生じることが確認された。この電流値差はイオン電流と、金属電極2の電気容量変化の合計によるものである。UV照射時、金属電極2はコンデンサと抵抗の並列回路として機能するため、電流の位相は交流印加回路3の位相より0度以上90度未満の範囲で進んだものとなる。なお、UV非照射時は金属電極2が完全にコンデンサとして機能するため、電流の位相は交流印加回路3の位相よりも約90度進んだものとなる。
このように、図2の光イオン化検出器を用いた場合は、検出された電流値だけではなく、上記位相差によってもVOCを検知することができるため、直流印加回路13を用いた場合はもちろん、図1の光イオン化検出器を用いた場合に比べても、より正確にVOC濃度を測定することができる。
測定試料として、トルエンガス(4,40,100ppm)及びブタノールガス(40,100ppm)を用い、それぞれの測定試料にUVランプ励起回路5により励起したUVランプ4から波長117nmの紫外線を5分から10分(照射時間は10分間)照射した。また、交流印加回路3の印加電圧は10V、ロックインアンプ10の設定、測定条件を印加電圧の周波数280Hz、時定数1秒、バンドパスフィルタQ(中心周波数と帯域幅の比)=30とし、ロックインアンプ10により抵抗R(10キロオーム)に生じる電流の信号を増幅して、該増幅された信号を電流値として測定し、UV照射時と非照射時との電流値差を求め、該電流値差と各物質の濃度との関係(検量線)を表した。また、同時にロックインアンプ10により信号と交流印加回路3の波長との位相差(度)を測定し、UV照射時の位相差と各物質の濃度との関係(検量線)を表した。なお、電力値差は実線で示し、位相差は点線で示した。また、トルエンガスの電流出力値差は黒丸で示し、位相差(UVオン)は白丸で示し、ブタノールガスの電流出力値差は黒の三角で示し、位相差(UVオン)は白の三角で示した。
実際の計測器としては、演算器8により電流出力値と位相差に物質ごとの係数を乗じることで、VOC濃度を求めることができる。
実施例1と同様に、絶縁物のコンタミネーションが電極を覆うという条件を疑似的に作り出すため、二つの金属電極2(実施例1と同じ)のうち一方を絶縁フィルム(パラフィルム)で覆い、他方の電極2には何も覆わない通常の金属電極2を用いて、図2の光イオン化検出器と図9の従来の光イオン化検出器により、UV照射時間を5分から15分の10分間として各電流値(nA)を測定した。
一方、交流印加回路3を用いた場合(黒丸で示す)は、UVランプ4の非照射時と照射時では電流値に差が生じたことから、金属電極2の一方にコンタミネーションが生じた場合でも、測定感度を失うことなく、電流値を測定が可能であることが確認された。交流印加電極における電流の発生は、イオン電流のみでなく、金属電極2そのものがコンデンサとして働くことによっても生じる。そして、二つの交流印加された金属電極2のうち、一方の電極2にコンタミネーションが蓄積しても、他方の電極2でイオン化したVOCを捕捉可能であることから、測定感度の低下を防止できる。
測定するVOCの種類や濃度によっては、イオン化による微小な信号がノイズに埋もれてしまうことがあるが、金属電極2に流れる電流又は電圧を位相検波器10により測定することで、ノイズを除去できる。したがって、高精度なVOCの濃度測定が可能となる。
図8には、図3の光イオン化検出器を用いて、実施例2(図5)と同様にノイズの有無を確認するために電流値の測定を行った結果を示す。
測定条件として、金属電極2(平行平板電極、縦30mm、横30mm、厚さ0.1mm、電極間距離:0.8mm、材質:SUS304)に絶縁膜被覆電極11(二つの金属電極2の両方を絶縁フィルム(パラフィルム)で覆い、擬似的に両金属電極2に絶縁膜で覆うという条件を作り出した)を用いて、トルエンガス濃度を100ppmに、印加電圧の周波数を1kHzに変え、抵抗Rを5オーム、照射時間を5分間とした以外は、実施例2(図5)と同じ条件とした。
これら電流値及び位相差の測定は5秒間に1回行い、30秒間(6回分)の平均値をプロットした。
図8に示したように、UVランプの非照射時(0から5分、10分から15分)と照射時(5分から10分)では、ほぼプロットが横並びとなり、UVランプ照射と非照射で出力差が生じることが確認され、絶縁膜被覆電極11を用いた電極でもVOC濃度が測定可能であることが確認できた。
また、交流印加回路3の場合は、金属電極2がコンデンサとして働くために金属電極2の電気容量が変わって検出信号と交流印加回路3の電源の波長とに位相差が生じて両者の位相がずれる。
このように、交流印加した金属電極2は、イオン化ガスによる金属電極2の電気容量の変化を検知することが可能であるため、絶縁膜を被覆した場合でも、電気容量の変化によって電流値を測定できる。絶縁膜を被覆した絶縁膜部は、UV照射による活性物質の発生又は腐食性物質の混入による汚染から電極を防ぐため、電極の導体部にコンタミネーションが蓄積することがなく、長期間のメンテナンスフリーが可能となる。また、金属電極2を用いても電極の金属部は劣化しない。
3 交流印加回路 4 UVランプ
5 UVランプ励起回路 7 測定回路
8 演算器 10 位相検波器(ロックインアンプ)
11 絶縁膜被覆電極 13 直流印加回路
Claims (6)
- 測定流体中の揮発性有機化合物を検出する検出電極と、該検出電極に交流電圧又は交流電流を印加する印加手段と、前記測定流体中の揮発性有機化合物をイオン化するために測定流体に紫外線を照射するUVランプと、該UVランプを励起するための励起回路と、前記検出電極に流れる電流又は電圧を測定する測定手段とを有することを特徴とする揮発性有機化合物の光イオン化検出器。
- 前記測定手段が、位相検波器であることを特徴とする請求項1記載の光イオン化検出器。
- 前記検出電極が絶縁被覆されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の光イオン化検出器。
- 測定流体中の揮発性有機化合物を検出するための検出電極に交流電圧又は交流電流を印加し、前記測定流体に紫外線を照射して測定流体中の揮発性有機化合物をイオン化させて、前記検出電極に流れる電流又は電圧を測定することを特徴とする揮発性有機化合物の光イオン化検出方法。
- 前記検出電極に流れる電流又は電圧を位相検波により測定することを特徴とする請求項4記載の光イオン化検出方法。
- 前記検出電極が絶縁被覆された電極を用いることを特徴とする請求項4又は5に記載の光イオン化検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009106520A JP5448549B2 (ja) | 2009-04-24 | 2009-04-24 | 光イオン化検出器及び光イオン化検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009106520A JP5448549B2 (ja) | 2009-04-24 | 2009-04-24 | 光イオン化検出器及び光イオン化検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010256165A JP2010256165A (ja) | 2010-11-11 |
JP5448549B2 true JP5448549B2 (ja) | 2014-03-19 |
Family
ID=43317250
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009106520A Active JP5448549B2 (ja) | 2009-04-24 | 2009-04-24 | 光イオン化検出器及び光イオン化検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5448549B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9368338B2 (en) * | 2011-06-16 | 2016-06-14 | Mocon, Inc. | Gas discharge lamp with an axially extending strip of getter and method of manufacture |
JP5779038B2 (ja) * | 2011-08-10 | 2015-09-16 | 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター | 揮発性有機物検出器及び揮発性有機物検出方法 |
WO2013038584A1 (ja) | 2011-09-15 | 2013-03-21 | 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター | イオン化ガス検出器及びイオン化ガス検出方法 |
JPWO2014192050A1 (ja) * | 2013-05-27 | 2017-02-23 | 株式会社日立製作所 | イオン検出装置 |
KR101720572B1 (ko) | 2015-09-14 | 2017-03-29 | 연세대학교 산학협력단 | 휘발성 유기화합물 센서 |
JP6231062B2 (ja) * | 2015-10-28 | 2017-11-15 | 株式会社日立製作所 | 外気測定器とそれを備えた移動体 |
CN105388208A (zh) * | 2015-12-14 | 2016-03-09 | 河南省建筑科学研究院有限公司 | 一种基于pid的空气中voc监测仪及其实现远程监测的方法 |
JP6727977B2 (ja) * | 2016-08-01 | 2020-07-22 | 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター | 揮発性有機物検出器及び揮発性有機物検出方法 |
CN115201317A (zh) * | 2016-08-09 | 2022-10-18 | 霍尼韦尔国际公司 | 低功耗光致电离检测器(pid) |
JP6412226B2 (ja) * | 2017-08-22 | 2018-10-24 | 株式会社日立製作所 | 外気測定器とそれを備えた移動体 |
CN112834490B (zh) * | 2021-01-07 | 2022-12-20 | 上海雷密传感技术有限公司 | 光离子检测装置 |
US11037778B1 (en) | 2021-01-14 | 2021-06-15 | Mocon, Inc. | UV lamp |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5756749A (en) * | 1980-09-20 | 1982-04-05 | Mitsubishi Electric Corp | Detector of very small quantity of ion |
JPH10227763A (ja) * | 1997-02-17 | 1998-08-25 | Mitsubishi Electric Corp | ガス濃度測定器 |
JP2001033425A (ja) * | 1999-07-19 | 2001-02-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 水素ガスセンサ |
US6734435B2 (en) * | 2001-05-29 | 2004-05-11 | Rae Systems, Inc. | Photo-ionization detector and method for continuous operation and real-time self-cleaning |
JP2003098153A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-03 | Yokogawa Electric Corp | 光イオン化検出器 |
JP2007170925A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Toshiba Corp | 自動分析装置及びその検出方法 |
JP4458135B2 (ja) * | 2007-03-27 | 2010-04-28 | 株式会社デンソー | 液体性状センサ |
-
2009
- 2009-04-24 JP JP2009106520A patent/JP5448549B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010256165A (ja) | 2010-11-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5448549B2 (ja) | 光イオン化検出器及び光イオン化検出方法 | |
JP5861739B2 (ja) | 放電イオン化電流検出器 | |
Zhu et al. | Flow-through microfluidic photoionization detectors for rapid and highly sensitive vapor detection | |
JP4936492B2 (ja) | 放電イオン化電流検出器 | |
US8829913B2 (en) | Discharge ionization current detector | |
US8797041B2 (en) | Discharge ionization current detector | |
US8773138B2 (en) | Discharge ionization current detector | |
JP5987968B2 (ja) | 放電イオン化電流検出器及びその調整方法 | |
JP2010060354A (ja) | 放電イオン化電流検出器 | |
JP6318242B2 (ja) | グロー放電質量分光分析方法及び装置 | |
JP4973441B2 (ja) | 雰囲気分析装置及び雰囲気分析方法 | |
JP5614379B2 (ja) | 放電イオン化電流検出器及びガスクロマトグラフ装置 | |
KR100931066B1 (ko) | 광이온화 센서를 이용한 악취 측정 방법 | |
US20210341422A1 (en) | Integrated micro-photoionization detector with an ultrathin ultraviolet transmission window | |
JP4571170B2 (ja) | 光触媒活性定量測定装置及び光触媒活性定量測定方法 | |
JP5779038B2 (ja) | 揮発性有機物検出器及び揮発性有機物検出方法 | |
JP5121739B2 (ja) | ナトリウム漏洩検出システム | |
US10209220B2 (en) | Apparatus for measuring ion mobility of harmful material and reference data obtaining method of the same | |
Sun et al. | Real-time monitoring of trace-level VOCs by an ultrasensitive compact lamp-based VUV photoionization mass spectrometer | |
US11768177B1 (en) | Ionization device and method of operating same | |
Liess et al. | New operation principle for ultra-stable photo-ionization detectors | |
JPH04303759A (ja) | 電子捕獲検出器 | |
RU2523765C1 (ru) | Фотоионизационный детектор для газоаналитической аппаратуры | |
JP6727977B2 (ja) | 揮発性有機物検出器及び揮発性有機物検出方法 | |
JP4755812B2 (ja) | 化学物質の計測方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120202 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130318 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130326 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131224 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131224 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5448549 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |