JP4458135B2 - 液体性状センサ - Google Patents
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Description
従って、上記第12の実施例においても、第1の実施例とほぼ同じ作用効果を得ることができる。特に、第12の実施例によれば、櫛歯状電極41、42の配設面積を大幅に小さくすることができ、全体の構成をより一層小型化することができる。
Claims (5)
- 液体の中に浸漬させて前記液体の混合比率等の液体性状を検出する液体性状センサにおいて、
半導体基板と、
前記半導体基板の表面に設けられ、拡散層からなる櫛歯状電極と、
前記半導体基板の裏面の中の少なくとも前記櫛歯状電極に対応する部分に設けられた拡散層と、
前記半導体基板の裏面の前記拡散層の上に設けられた金属膜と、
前記金属膜に接合されたリードフレームとを備え、
前記リードフレームと前記半導体基板の表面に設けられたグランド電極をワイヤボンディングしたことを特徴とする液体性状センサ。 - 前記櫛歯状電極は、一対の共通部と、これら共通部から突設された多数の櫛歯部とを有し、各櫛歯部を設定間隔をあけて互い違いに嵌合させていることを特徴とする請求項1記載の液体性状センサ。
- 前記半導体基板の表面の中の前記櫛歯状電極の周囲部に設けられた拡散層を備えたことを特徴とする請求項1または2記載の液体性状センサ。
- 前記半導体基板に信号処理回路を設けたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の液体性状センサ。
- 前記半導体基板の形状を、細長いチップ形状としたことを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の液体性状センサ。
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