JP5446316B2 - 光学式センサ装置 - Google Patents
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Description
図18に示されるように、受光器400の受光面401には受光量の検出対象となる受光領域402が設けられており、当該受光領域402は、水平方向に並んだ複数の分割領域402A〜402Jを含む。
異物検出の際、異物を中心にして同心円的に生じる回折パターンが受光領域上を移動することになるが、支持面に垂直な方向に配列された複数の受光領域のすくなくともいずれかが、回折パターンの中心部の通過を避けて配置されることになり、当該受光領域では回折パターンの移動に伴う受光量の時間変化が比較的緩やかに生じるので、露光時間を長く設定することができる。あるいは、受光領域の移動方向の幅を長く設定することができる。これにより、微弱な回折光の受光量を多くして異物の検出感度を向上させることができる。
[第1の実施の形態]
図1は、本発明に係る光学式センサ装置の全体構成を示すブロック図であり、図2は、この光学式センサ装置を異物検出に適用した場合の投光器および受光器の配置を示す構成図である。
きるものである。また、異物51の有無の検査が終了したガラス基板等のワーク50は、図示しない塗布装置によって、その表面に成膜材料が塗布される。
なお、分割領域41〜44の垂直方向(縦方向)の寸法は、異物51として検出することを意図される物体の垂直方向の寸法以上とされることが好ましい。これにより、分割領域41〜44の垂直方向の中心間の距離も、それに合わせて異物51として検出することを意図される物体の垂直方向の寸法以上とされることが好ましい。
本発明の光学式センサ装置の第2の実施の形態の全体構成は、概ね、図1および図2を参照して説明した第1の実施の形態と同様のものとすることができるため、重複した説明は繰り返さない。
1)分割領域の配列
以上説明した各実施の形態では、計測領域40が、垂直な方向に分割されて分割領域が定義された。なお、分割領域は、少なくともワーク50の上面に対して各分割領域の垂直な方向の位置を異ならせて配置されていれば、必ずしもワーク50の上面に垂直な方向に直線状に整列している必要はなく、図13に示されるように、分割領域41X〜45Xとして示すように、水平方向においてずれを生じていてもよい。
また、以上説明した各実施の形態では、検出対象物とされるワーク50の上方に、図14(A)および図14(B)に示されるように、室内の空気の流れが検出領域を横切ることを回避する等の理由から、風防511を設置されることが好ましい。
光学式センサ装置1では、CPU15は、CCD11の計測領域全域において得られた各画素について、異物51が存在するときと存在しないときの濃度差を、液晶表示部16に表示させてもよい。このような場合に表示される画面の一例を図15に示す。
断面指示線712は、水平方向の断面位置を指示するために表示され、断面指示線714は、垂直方向の断面位置を指示するために表示される。そして、画面700では、断面指示線712によって指示された断面についての差分値の分布が、濃度分布表示欄713に示されている。また、断面指示線714によって指示された断面についての差分値の分布が、濃度分布表示欄715に示されている。
以上説明した各実施の形態では、各分割領域について異物が存在するときの平均濃度(受光値)と異物が存在しないときの平均濃度(参照値)の差分値を算出して閾値を越えるか否かにより異物の存在を判断していたが、これに代えて、受光値と参照値との比を算出し、その比が閾値を越えるか否かにより異物の存在を判断するようにしてもよい。また、差分画像を表示することに代えて、異物が存在するときの画像と異物が存在しないときの画像の対応する各画素について濃度の比を算出した比画像を表示してもよい。
また、以上説明した各実施の形態では、光学式センサ装置が、ガラス基板上の異物の検出に適用された例が説明されたが、本発明の光学式センサ装置が適用される態様はこれに限定されず、フィルム、金属、紙などのシート状の検査対象についての異物検出に適用することもできると考えられる。また、異物検出に限らず、他の物体、例えば、糸の毛羽の検出などに適用することもできると考えられる。
Claims (8)
- 平坦な支持面上に置かれる平板状部材の一端面側に設置された投光部から、平板状部材の上面を含む上面上の空間に検出光を投光し、他端面側に設置された受光部で検出光を受光するとともに、支持面に対して平行な方向に、検出光と平板状部材とを相対的に移動させることにより平板状部材に付着した異物を検出する光学式センサ装置であって、
参照値を記憶する記憶部と、
処理部とを備え、
前記受光部は、異物が付着していない平板状部材が前記支持面に置かれた状態で前記支持面に垂直な方向について検出光が入射する範囲であって、前記支持面に最も近い側の端部から当該支持面から離れる方向に向けて配列された複数の受光領域を含み、
前記記憶部は、前記各受光領域に対応する参照値を記憶し、
前記処理部は、前記各受光領域について当該受光領域全体で受光される受光量に基いて生成された各受光領域の受光値と、対応する参照値とから差分値をそれぞれ算出し、いずれかの差分値が判定閾値を超えれば異物が有りと判断する、光学式センサ装置。 - 前記受光部は、所定の計測周期で前記各受光領域それぞれに入射する検出光を繰返し受光し、
前記処理部は、前記計測周期ごとに繰り返して前記差分値を算出し、
検出光と平板状部材とが相対的に移動する方向における前記検出光および各受光領域の寸法は、前記計測周期と前記相対的な移動の移動速度との積により算出される寸法よりも長い、請求項1に記載の光学式センサ装置。 - 前記光学式センサ装置は、前記投光部と前記受光部との間の所定の検査範囲に存在する少なくとも所定の大きさの異物を検出し、
前記各受光領域の前記支持面に垂直な方向の寸法は、前記所定の大きさの異物が前記検査範囲の最も前記受光部に近い側にあるときに、当該異物によって生じる回折光が前記受光部で受光されることにより生じる回折パターンの回折周期の半分よりも小さい寸法である、請求項1または2に記載の光学式センサ装置。 - 前記記憶部は、異物が付着していない平板状部材が前記支持面に置かれた状態で前記各受光領域において受光される総受光量に基づいて生成された各受光領域の受光値を前記参照値として記憶する、請求項1から3のいずれかに記載の光学式センサ装置。
- 画像を表示する表示部をさらに備え、
前記受光部は、2次元に配列された画素からなる撮像領域を有する2次元撮像素子を含み、
前記各受光領域は、前記撮像領域内に、それぞれ複数の画素を含むように設定され、
前記記憶部は、前記2次元撮像素子の撮像領域により予め取得された画像を参照画像としてさらに記憶し、
前記処理部は、
前記2次元撮像素子の撮像領域により取得される画像と前記参照画像との差分画像、および設定された前記各受光領域を当該差分画像に画素位置を対応させて重ねて前記表示部に表示する、請求項1から4のいずれかに記載の光学式センサ装置。 - 前記参照画像は、異物が付着していない平板状部材が前記支持面に置かれた状態で取得した画像である、請求項5に記載の光学式センサ装置。
- 前記2次元撮像素子の撮像領域内の前記各受光領域として設定される複数の画素範囲を入力する入力部をさらに備え、
前記処理部は、前記入力部から入力された前記複数の画素範囲を、前記各受光領域として前記差分画像に画素位置を対応させて重ねて前記表示部に表示させるとともに、前記複数の画素範囲を前記各受光領域として設定する、請求項6に記載の光学式センサ装置。 - 平坦な支持面上に置かれる平板状部材の一端面側に設置された投光部から、平板状部材の上面を含む上面上の空間に検出光を投光し、他端面側に設置された受光部で検出光を受光するとともに、支持面に対して平行な方向に、検出光と平板状部材とを相対的に移動させることにより平板上部材に付着した異物を検出する光学式センサ装置であって、
参照値を記憶する記憶部と、
処理部とを備え、
前記受光部は、異物が付着していない平板状部材が前記支持面に置かれた状態で前記支持面に垂直な方向について検出光が入射する範囲であって、前記支持面に最も近い側の端部から当該支持面から離れる方向に向けて配列された複数の受光領域を含み、
前記記憶部は、前記各受光領域に対応する参照値を記憶し、
前記処理部は、前記各受光領域について当該受光領域全体で受光される受光量に基いて生成された各受光領域の受光値と、対応する参照値とから比をそれぞれ算出し、いずれかの比が判定閾値を超えれば異物が有りと判断する、光学式センサ装置。
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