JP5443220B2 - 電鋳用の型および電鋳用の型を製造する方法 - Google Patents
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Description
a)導電性の微小機械材料から作製され、電気絶縁性の中間層によって互いに固着される、上部層および下部層を有する、基板を用意するステップと、
b)前記型中に少なくとも1つの空洞部を形成するために、上部層中に中間層に達するまで少なくとも1つのパターンをエッチングするステップと、
c)電気絶縁被覆材により前記基板の上部を被覆するステップと、
d)前記上部層中に形成された各垂直方向壁部にのみ前記被覆材および前記中間層の存在を限定するために、前記被覆材および前記中間層に指向性エッチングを施すステップと
を含む、方法に関する。
− 第2のパターンが、ステップb)において、前記少なくとも1つの空洞部と連絡し、前記上部層に第2の高さ部分を形成する、少なくとも1つの凹部を形成するためにエッチングされ、
− ステップd)の後に、前記少なくとも1つの空洞部と連絡し、前記型に第2の高さ部分を形成する、少なくとも1つの凹部を形成するために、部分が設けられ、
− この方法は、e)前記型内において作製される後の部品中に穴を形成するために、前記少なくとも1つの空洞部内にロッドを設置する最終ステップを含み、
− ステップb)は、f)導電性の上部層の上に少なくとも1つの保護マスクを構築する段階と、g)前記少なくとも1つの保護マスクにより被覆されていない部分に対して前記上部層の異方性エッチングを実施する段階と、h)保護マスクを除去する段階とを含み、
− 前述のステップの後に、この方法は、a’)前記少なくとも1つの空洞部の底部中に導電性材料を堆積するステップと、b’)前記型内において少なくとも1つの空洞部を形成するために、前記導電性材料からなる堆積物に達するまで下部層中にパターンをエッチングするステップと、c’)第2の電気絶縁被覆材によりアセンブリ全体を被覆するステップとを含み、
− ステップc’)の後に、この方法は、d’)前記下部層中に形成された各垂直方向壁部のみに前記第2の被覆材の存在を限定するために、前記第2の被覆材に指向性エッチングを施すステップを含み、
− 第2のパターンが、ステップb’)の際に、前記少なくとも1つの空洞部に連絡し、第2の高さ部分を前記下部層に形成する、前記少なくとも1つの凹部を形成するためにエッチングされ、
− 部分が、ステップd’)の後に、前記少なくとも1つの空洞部に連絡し、第2の高さ部分を前記型に形成する、少なくとも1つの凹部を形成するために設けられ、
− この方法は、e’)前記型内において作製された後の部品中に穴を形成するために、下部層中の前記少なくとも1つの空洞部内にロッドを設置する最終ステップを含み、
− ステップb’)は、f’)導電性の上部層の上に少なくとも1つの保護マスクを構築する段階と、g’)前記少なくとも1つの保護マスクにより覆われていない部分に対して前記上部層の異方性エッチングを実施する段階と、h’)保護マスクを除去する段階とを含み、
− 複数のマスクが、同一の基板の上で製造され、
− 導電性の層は、ドープされたケイ素ベース基板を含む。
i)前述の変形形態の中の1つの方法により型を製造するステップと、
j)前記型内において前記部品を形成するために、基板の導電性の下部層に電極を接続することによって、電着を実施するステップと、
k)前記型から部品を放出するステップと
を含むことを特徴とする、方法に関する。
− 上部層は、前記少なくとも1つの空洞部に連絡する少なくとも1つの凹部をさらに有し、この少なくとも1つの凹部は、前記少なくとも1つの空洞部が充填された後に、前記少なくとも1つの凹部内における電解析出を継続するために、電気絶縁性の壁部を有し、
− 下部層は、前記基板の導電性層の部分が露出された少なくとも1つの空洞部を有し、この少なくとも1つの空洞部は、電気絶縁性の壁部を有し、それにより、下部層中の前記少なくとも1つの空洞部内において電解析出物を成長させることが可能となり、
− 下部層は、下部層中の前記少なくとも1つの空洞部に連絡する少なくとも1つの凹部をさらに有し、この少なくとも1つの凹部は、下部層中の前記少なくとも1つの空洞部が充填された後に、前記少なくとも1つの凹部内における電解析出を継続するために、電気絶縁性の壁部を有する。
22、22’、22’’ 中間層; 23、23’、23’’ 下部層;
24、24’ 保護マスク; 25、25’ 空洞部; 26、26’ パターン;
27、27’ パターン; 28、28’ 凹部; 29 ロッド;
30、30’ 電気絶縁被覆材; 31、31’ 壁部; 32、32’ 壁部;
33 堆積物; 34 マスク; 35 空洞部; 36 パターン;
37 ロッド; 38 電気絶縁被覆材; 39、39’、39’’ 型;
40 電気絶縁二酸化ケイ素壁部; 41、41’、41’’ 微小機械部品;
42、42’’ 軸穴; 43、43’’、45、45’’、47’’ 高さ部分。
Claims (18)
- 型(39、39’、39’’)を製造する方法(3)であって、
a)導電性のケイ素ベース材料から作製され、電気絶縁性の中間層(22、22’)によって互いに固着される、上部層(21、21’)および下部層(23、23’)を有する、基板(9、9’)を用意するステップ(10)と、
b)前記型中に少なくとも1つの第1の空洞部(25、25’)を形成するために、前記上部層(21、21’)中に前記中間層(22、22’)に達するまで少なくとも1つのパターン(26、26’、27)をエッチングするステップ(11、12、14、2、4)と、
c)電気絶縁被覆材(30、30’)により前記基板の上部を被覆するステップ(6,16)と、
d)前記上部層中に形成された各垂直方向壁部(31、31’、32)にのみ前記被覆材および前記中間層の存在を限定するために、前記被覆材および前記中間層に指向性エッチングを施すステップ(8、18)とを含む、型を製造する方法。 - 第2のパターン(27)が、ステップb)において、前記少なくとも1つの第1の空洞部と連絡し、前記上部層に第2の高さ部分(43)を形成する、少なくとも1つの凹部(28)を形成するためにエッチングされることを特徴とする、請求項1に記載の方法(3)。
- 部分(27’)が、ステップd)の後に、前記少なくとも1つの第1の空洞部と連絡し、前記型に第2の高さ部分を形成する、少なくとも1つの第2の凹部(28’)を形成するために設けられることを特徴とする、請求項1に記載の方法(3)。
- 以下の最終ステップ、すなわち、
e)前記型内において作製される後の部品(41、41’)に軸穴(42)を形成するために、フォトリソグラフィによって前記少なくとも1つの第1の空洞部内にロッド(29)を形成するステップ(8、18)を含むことを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載の方法(3)。 - 前述のステップの後に、以下のステップ、すなわち、
a’)前記少なくとも1つの第1の空洞部の底部中に導電性材料を堆積するステップと、
b’)前記型内において少なくとも1つの第2の空洞部(35)を形成するために、前記導電性材料からなる堆積物(33)に達するまで前記下部層(23、23’)中にパターン(26、26’)をエッチングするステップ(11、12、14、2、4)と、
c’)第2の電気絶縁被覆材(38、40)により前記下層部(23)を被覆するステップ(6、16)とを含むことを特徴とする、請求項1から4までのいずれかに記載の方法(3)。 - ステップc’)の後に、以下のステップ、すなわち、
d’)前記下部層中に形成された各垂直方向壁部(40)のみに前記第2の被覆材の存在を限定するために、前記第2の電気絶縁被覆材に指向性エッチングを施すステップ(8、18)を含むことを特徴とする、請求項5に記載の方法(3)。 - 第2のパターンが、ステップb’)において、前記少なくとも1つの第2の空洞部に連絡し、第2の高さ部分を前記下部層に形成する、少なくとも1つの第2の凹部を形成するためにエッチングされることを特徴とする、請求項6に記載の方法(3)。
- 部分(27’)が、ステップd’)の後に、前記少なくとも1つの第1の空洞部に連絡し、第2の高さ部分を前記型に形成する、少なくとも1つの第2の凹部(28’)を形成するために設けられることを特徴とする、請求項6に記載の方法(3)。
- 以下の最終ステップ、すなわち、
e’)前記型内において作製される後の部品(41’’)に軸穴(42’’)を形成するために、フォトリソグラフィによって前記下部層(23、23’)の前記少なくとも1つの第2の空洞部内にロッド(37)を形成するステップを含むことを特徴とする、請求項5から8のいずれかに記載の方法(3)。 - 複数の型(39、39’、39’’)が、同一の基板(9、9’、9’’)の上で製造されることを特徴とする、請求項1から9のいずれかに記載の方法(3)。
- 前記上層部および下層部(21、21’、23、23’)は、ドープされた結晶シリコンから形成されることを特徴とする、請求項1から10のいずれかに記載の方法(3)。
- ステップc)は、前記基板の上部を酸化することによって得られることを特徴とする、請求項1から11のいずれかに記載の方法(3)。
- 前記電気絶縁被覆材(30、30’)は、二酸化ケイ素から形成されることを特徴とする、請求項12に記載の方法(3)。
- 電鋳により微小機械部品(41、41’、41’’)を製造する方法(1)において、以下のステップ、すなわち、
i)請求項1から13のいずれかに記載の前記方法(3)により型(39、39’、39’’)を製造するステップと、
j)前記型内において前記部品を形成するために、前記基板(9、9’、9’’)の前記導電性の下部層(23、23’)に電極を接続することによって、電着を実施するステップ(5)と、
k)前記型から前記部品(41、41’、41’’)を放出するステップとを含むことを特徴とする、微小機械部品を製造する方法(1)。 - 電鋳により微小機械部品(41、41’、41’’)を製造するための型(39、39’、39’’)において、ドープされた結晶シリコンから作製され、導電性であり、電気絶縁性の中間層(22、22’)によって互いに固着される、上部層(21、21’)および下部層(23、23’)を有する、基板(9、9’、9’’)を含み、前記上部層(21、21’)は、前記基板の前記下部層(23、23’)の部分が露出された少なくとも1つの第1の空洞部(25、25’)を有し、前記少なくとも1つの第1の空洞部(25、25’)は、電気絶縁性の二酸化ケイ素からなる壁部(31、31’)を備え、それにより、前記少なくとも1つの第1の空洞部内において電解析出物を成長させることが可能となることを特徴とする、微小機械部品を製造するための型。
- 前記上部層(21、21’)は、前記少なくとも1つの第1の空洞部に連絡する少なくとも1つの凹部(28、28’)をさらに有し、前記少なくとも1つの凹部(28、28’)は、前記少なくとも1つの第1の空洞部が充填された後に、前記少なくとも1つの第1の凹部内における電解析出を継続するために、電気絶縁性の壁部(32、32’)を有することを特徴とする、請求項15に記載の型。
- 前記下部層(23、23’)は、前記基板の電気絶縁層(33)の部分が露出された少なくとも1つの第2の空洞部(35)を有し、前記少なくとも1つの第2の空洞部(35)は、電気絶縁性の二酸化ケイ素壁部(40)を有し、それにより、前記下部層(23、23’)の前記少なくとも1つの第2の空洞部内において電解析出物を成長させることが可能となることを特徴とする、請求項15または16に記載の型(39’’)。
- 前記下部層(23、23’)は、前記下部層(23,23’)の前記少なくとも1つの第2の空洞部に連絡する少なくとも1つの第2の凹部をさらに備え、前記少なくとも1つの凹部は、前記下部層(23、23’)中の前記少なくとも1つの第2の空洞部が充填された後に、前記少なくとも1つの凹部内における電解析出を継続するために、電気絶縁性の壁部(32、32’)を有することを特徴とする、請求項17に記載の型。
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