JP6711604B2 - 多段時計部品の製造方法 - Google Patents
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Description
・第1フォトレジスト層を導電層に覆われた基板上に堆積し、この第1層が第1段を定義する。
・マスクを用いたフォトリソグラフィと、その後のレジストの現像により、第1レジスト層に窪みを作成して、第1モールドを得る。
・第1段金属層を形成するため、導電層により開始されるガルバニック堆積により、第1モールドに金属または合金を堆積する。
・基板上に第1段金属層のみを残すため、第一層から残余のレジストを完全に除去する。
・基板上に、例えば第1段金属層よりも厚みが大きい第2レジスト層を堆積し、続いてマスクを用いたフォトリソグラフィとその後のレジストの現像により、導電層、第1段金属層の側壁、及び第2レジスト層の側壁により範囲が定められる空洞スペースを形成する。
機械加工により、前記時計部品の前記金属層の前記上表面に、少なくとも1つの窪みを形成するステップと、
窪みを含む前記上表面に少なくとも部分的に重なり合う他の金属層を、金属または合金のガルバニック堆積により形成し、少なくとも前記窪みを充填するステップと、
を含む、時計部品の製造方法、特に多段時計部品の製造方法。
・重ね合された金属層の結合または埋め込みのために、複雑なレジストモールドの形成を必要としないことから、製造時間が最適である。
・形状を最適化可能な窪みの形成は、各種層の最適な結合または埋め込みを可能とする。例えば、窪みの断面を、特に鳩尾形に増大させる側壁は、2つの重ね合われた層の非常に有利な結合または埋め込みを可能とし、これは垂直方向における改善された固定及びまたは改善されたせん断強度につながる。
・いかなる場合でも、第2金属層は、第1金属層の窪みの底から成長され、これにより第1金属層と密接に連結され固定されることとなり、アセンブリの堅牢性を保証する。得られた金属部品は、別個の、特に電鋳された、金属層のいくつかの連続する段を有し、層の少なくともいくつかは結合及びまたは埋め込まれるため、特にせん断応力に関して非常に堅牢となる。
・例えば、シートの金属層13に止まり窪みを形成(ステップE3)し、のみならず1つ以上の追加のレジストモールド22の形成(ステップE4)、及び新たな金属層23の形成のためのガルバニック堆積または電気メッキ(ステップE5)、及び追加の重畳する層を形成するためのこれらステップの繰り返し、及び任意で物品(インサート)の挿入、といった製造方法の継続を可能とする。
・任意の水平化、中間機械加工、等の工程を可能とする。
・シートは薄く、こうした工程の実施に取り扱いが簡単である。
11 導電層
12 第1レジストモールド
13 金属層
14 窪み
15、16 上表面
17 側壁
18 下表面
19 開口
32 第2レジストモールド
33 第2金属層
Claims (10)
- 上表面(15)を有する時計部品の第1の金属層(13)を製造するステップを含む、時計部品の製造方法であって、
E3:前記時計部品の前記第1の金属層(13)の前記上表面(15)に、前記第1の金属層(13)の前記上表面(15)を機械加工することで少なくとも1つの窪み(14)を形成するステップと、
E4:前記少なくとも1つの窪み(14)を含む前記上表面(15)上にフォトレジストを堆積するステップと、
E4:モールド(22)を形成するために、マスクを通じて前記フォトレジストを露出しレジストを現像し、前記上表面(15)の前記少なくとも1つの窪み(14)を開放するステップと、
E5:前記少なくとも1つの窪み(14)を含む前記上表面(15)に少なくとも部分的に重なり合う第2の金属層(23)を、金属または合金のガルバニック堆積により形成し、当該窪み(14)および前記モールド(22)の高さの少なくとも一部分を充填するステップと、
を含む、時計部品の製造方法。 - 前記第2の金属層(23)は、前記第1の金属層(13)の上表面(15)を超え、前記窪み(14)の上方へ、10μm以上の高さまで形成される、
請求項1に記載の時計部品の製造方法。 - 前記少なくとも1つの窪み(14)を形成する前記ステップE3は、前記第1の金属層(13)の高さの90%以下の深さを有する、少なくとも1つの止まり穴の形成を含む、
請求項1または2に記載の時計部品の製造方法。 - 前記少なくとも1つの窪み(14)を形成する前記ステップE3は、当該窪み(14)が前記上表面(15)の水準より下の少なくとも1つの深さにおいて、前記上表面(15)と同水準の開口(19)の断面よりも大きな水平断面を有するよう、前記時計部品の前記第1の金属層(13)の前記上表面(15)に垂直ではない少なくとも1つの側壁(17)の形成を含む、
請求項1から3のいずれか一項に記載の時計部品の製造方法。 - 前記少なくとも1つの窪み(14)を形成する前記ステップE3は、前記第1の金属層(13)の前記上表面(15)より下の深さに応じて当該窪み(14)の水平断面が増加するように、当該第1の金属層(13)の当該上表面(15)に垂直な平面において鳩尾形状の断面を形成するように、傾斜する側壁(17)の形成を含む、
請求項4に記載の時計部品の製造方法。 - 前記少なくとも1つの窪み(14)を形成する前記ステップE3は、フライス加工及びまたはドリル加工、またはレーザーアブレーション、または超音波加工、または放電加工、または誘電体媒質内での放電による局部的加工のステップを含む、
請求項1から5のいずれか一項に記載の時計部品の製造方法。 - E1:基板(10)または単一層または多層構造の表面上にフォトレジストを堆積するステップと、
E1:第1のモールド(12)を形成するために、マスクを通じて前記フォトレジストを露出しレジストを現像するステップと、
E2:上表面(15)を有する第1の金属層(13)を前記基板(10)または前記単一層または前記多層構造の前記表面上に形成するために、前記第1のモールド(12)内に金属または合金をガルバニック堆積するステップと、
E3:前記第1の金属層(13)の前記上表面(15)に少なくとも1つの窪み(14)を形成するステップと、
E4:前記第1の金属層の前記少なくとも1つの窪み(14)を含む前記上表面(15)上に、フォトレジストを堆積するステップと、
E4:第2のモールド(22)を形成するために、マスクを通じて前記フォトレジストを露出しレジストを現像し、前記第1の金属層(13)の前記上表面(15)の前記少なくとも1つの窪み(14)を開放するステップと、
E5:前記少なくとも1つの窪み(14)及び前記第2のモールド(22)内に金属または合金をガルバニック堆積するステップと、
任意で前記ステップE3から前記ステップE5を繰り返すステップと、
を含む、時計部品の製造方法。 - 前記第1の金属層(13)の平坦さを増加するため、任意で前記少なくとも1つの窪み(14)を含む、ガルバニック堆積で形成される当該第1の金属層(13)の表面を機械加工するステップと、
前記第1及び前記第2のモールド(12,22)を形成する前記レジストを溶解するステップと、
の追加ステップの全てまたは一部を含む、請求項7に記載の時計部品の製造方法。 - E1:基板(10)の平らな表面上にフォトレジストを堆積するステップと、
E1:第1のモールド(12)を形成するために、マスクを通じて前記フォトレジストを露出しレジストを現像するステップと、
E2:上表面(15)を有する第1の金属層(13)を形成するために、前記第1のモールド(12)内に金属または合金をガルバニック堆積するステップと、
E4、E5:任意で、1つ以上の金属層を有する構造を得るために、前記第1の金属層(13)の上表面(15)上に他の金属層を重ね合せるステップと、
E13:前記基板(10)から前記ステップE2または前記ステップE2、E4およびE5で得られる構造を分離するステップと、その後、
E3:前記第1の金属層または前記他の金属層の平らな表面に少なくとも1つの窪みを形成するステップと、その後
E4、E5:前記少なくとも1つの窪みを充填し、前記少なくとも1つの窪みに重ね合される、少なくとも1つの前記他の金属層を生成するステップと、
を含む、時計部品の製造方法。 - 前記基板(10)から分離した前記第1の金属層(13)の下表面(18)に少なくとも1つの窪み(14)を形成することからなるステップを含み、前記基板(10)の分離後前記時計部品の少なくとも1つの他の金属層を形成することからなるステップは、前記基板(10)から分離した前記第1の金属層(13)の下表面(18)にガルバニック堆積により新たな金属層を形成し、当該新たな金属層の表面に少なくとも1つの新たな窪みを形成するステップを含む、
請求項9に記載の時計部品の製造方法。
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