JP5437665B2 - 高速連続めっき処理装置 - Google Patents
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Description
10A/dm2を超える電流密度で基板へのめっきを行う高速連続めっき処理装置であって、
銅イオン供給部、銅イオン噴流部、不溶性陽極部および給電部を有し、
前記銅イオン供給部は、めっき元液に酸化銅粉を溶解してめっき液を調製する酸化銅粉溶解槽を備えており、
前記銅イオン噴流部は、前記銅イオン供給部において調製された前記めっき液をめっき槽に供給する噴流ポンプと、前記噴流ポンプの先端に接続されて、前記噴流ポンプにより加圧された前記めっき液を基板面に向けて噴出させる噴流ノズルとを備えており、
さらに、前記噴流ノズルは、前記噴流ポンプとの接続部側よりも先端部側が幅広い形状を有すると共に、先端面には複数のノズル孔が設けられており、
前記銅イオン噴流部は、前記基板の表面および裏面に対向して交互に配置されている
ことを特徴とする高速連続めっき処理装置である。
前記不溶性陽極部が、前記基板面から5〜50mmの距離に配置されていることを特徴とする第1の技術に記載の高速連続めっき処理装置である。
前記銅イオン供給部には、前記酸化銅粉溶解槽の後に溶存酸素低減層槽が配置されていることを特徴とする第1の技術または第2の技術に記載の高速連続めっき処理装置である。
前記不溶性陽極部の前記基板に対向する面側に、厚さ1〜3mmの発泡抵抗体が配置されていることを特徴とする第1の技術ないし第3の技術のいずれか1項に記載の高速連続めっき処理装置である。
10A/dm 2 を超える電流密度で基板へのめっきを行う高速連続めっき処理装置であって、
銅イオン供給部、銅イオン噴流部、不溶性陽極部および給電部を有し、
前記銅イオン供給部は、めっき元液に酸化銅粉を溶解してめっき液を調製する酸化銅粉溶解槽を備えており、
前記銅イオン噴流部は、前記銅イオン供給部において調製された前記めっき液をめっき槽に供給する噴流ポンプと、前記噴流ポンプの先端に接続されて、前記噴流ポンプにより加圧された前記めっき液を基板面に向けて噴出させる噴流ノズルとを備えており、
さらに、前記噴流ノズルは、前記噴流ポンプとの接続部側よりも先端部側が幅広い形状を有すると共に、先端面には複数のノズル孔が設けられており、
前記銅イオン噴流部は、前記基板の表面および裏面に対向して交互に配置されており、
前記不溶性陽極部の前記基板に対向する面側に、厚さ1〜3mmの樹脂製発泡体が配置されている
ことを特徴とする高速連続めっき処理装置である。
前記不溶性陽極部が、前記基板面から5〜50mmの距離に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の高速連続めっき処理装置である。
前記銅イオン供給部には、前記酸化銅粉溶解槽の後に不活性ガス吹き込み槽が配置されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の高速連続めっき処理装置である。
最初に、本実施の形態における高速連続めっき処理装置の主要部につき、その構成を概念的に示す図1および図2を用いて説明する。なお、図1はめっき槽を正面より見た模式図であり、図2はめっき槽を上方より見た模式図である。図1に示すように、本実施の形態における高速連続めっき処理装置は、銅イオン供給部90、銅イオン噴流部80、不溶性陽極部60および給電ローラー51、52からなる給電部を備えている。以下、各部毎に詳細に説明する。
銅イオン供給部90は、めっき槽70中のめっき元液に銅イオンを供給するものであり、酸化銅粉溶解槽91、銅イオン補給槽92、溶存酸素低減槽93および濾過器94より構成されている。
銅イオン噴流部80は、配管パイプ81、噴流ポンプ82および噴流ノズル83より構成されている。配管パイプ81を経由して送られてきためっき液は、噴流ポンプ82により加圧されて、噴流ポンプ82の先端に設けられた噴流ノズル83の噴出口より基板10に向けて噴出される。
不溶性陽極部60は、チタン上に酸化イリジウムをコーティングした不溶性陽極本体62とその表面に設けられたタンタル酸化物などのセラミックコート層63とからなる不溶性陽極、および基板10に対向して設けられた発泡抵抗体61により構成されている。表面にタンタル酸化物などのセラミックスを薄くコーティングしているのは、光沢剤など添加剤の電気分解を抑制することができるためである。
給電部は、巻き出し側の給電ローラー51と巻き取り側の給電ローラー52により構成されている。給電ローラー51、52は、基板10を負に帯電させて、めっき槽70内を走行させる。基板10が負に帯電されているため、その表面にめっき液中の銅イオンが電着して、銅めっきが行われる。なお、給電部には、めっき液の温度上昇を抑制するため、必要に応じて冷却機構(チラー)が設けられる。
次に、上記しためっき装置を用いて、図4に示すような、厚さ20μmのポリイミド層11の表裏両面に厚さ9μm程度の銅層12が形成され、さらに直径100μm程度のスルーホールが適宜形成された幅125mmの銅貼り基板(長さ:100m)に、電流密度を変えてめっきを行い、各電流密度での基板中央部およびスルーホール断面における銅めっき層13の状態を観察した。
11 ポリイミド層
12 銅層
13 銅めっき層
19 焼け
21 上下方向管
22 ノズル本体部
23 ノズル孔
51、52 給電ローラー
60 不溶性陽極部
61 発泡抵抗体
62 不溶性陽極本体
63 セラミックコート層
70 めっき槽
80 銅イオン噴流部
81 配管パイプ
82 噴流ポンプ
83 噴流ノズル
90 銅イオン供給部
91 酸化銅粉供給槽
92 銅イオン補給槽
93 溶存酸素低減槽
94 濾過器
Claims (3)
- 10A/dm2を超える電流密度で基板へのめっきを行う高速連続めっき処理装置であって、
銅イオン供給部、銅イオン噴流部、不溶性陽極部および給電部を有し、
前記銅イオン供給部は、めっき元液に酸化銅粉を溶解してめっき液を調製する酸化銅粉溶解槽を備えており、
前記銅イオン噴流部は、前記銅イオン供給部において調製された前記めっき液をめっき槽に供給する噴流ポンプと、前記噴流ポンプの先端に接続されて、前記噴流ポンプにより加圧された前記めっき液を基板面に向けて噴出させる噴流ノズルとを備えており、
さらに、前記噴流ノズルは、前記噴流ポンプとの接続部側よりも先端部側が幅広い形状を有すると共に、先端面には複数のノズル孔が設けられており、
前記銅イオン噴流部は、前記基板の表面および裏面に対向して交互に配置されており、
前記不溶性陽極部の前記基板に対向する面側に、厚さ1〜3mmの樹脂製発泡体が配置されている
ことを特徴とする高速連続めっき処理装置。 - 前記不溶性陽極部が、前記基板面から5〜50mmの距離に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の高速連続めっき処理装置。
- 前記銅イオン供給部には、前記酸化銅粉溶解槽の後に不活性ガス吹き込み槽が配置されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の高速連続めっき処理装置。
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