JPH049500A - 電気めっき装置 - Google Patents

電気めっき装置

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Publication number
JPH049500A
JPH049500A JP11341490A JP11341490A JPH049500A JP H049500 A JPH049500 A JP H049500A JP 11341490 A JP11341490 A JP 11341490A JP 11341490 A JP11341490 A JP 11341490A JP H049500 A JPH049500 A JP H049500A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plating
plating solution
plated
cathode electrode
gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11341490A
Other languages
English (en)
Inventor
Kenji Goto
謙二 後藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP11341490A priority Critical patent/JPH049500A/ja
Publication of JPH049500A publication Critical patent/JPH049500A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は電気めっき装置に係り、特にめっき液の攪拌お
よび循環機能を備えた電気めっき装置の改良に関する。
(従来の技術) たとえば、プリント配線基板を製造する一手段として、
化学銅めっきなどにより設けた薄い銅層上に、電気銅め
っき処理を施して銅層を肉盛りすすることが行われてい
る。しかして、上記電気めっき処理には、一般に第3図
に斜視的に示すような構成の電気めっき装置が使用され
ている。
すなわち、めっき液1を収容するめっき槽2と、前記め
っき液1中にめっきのため浸漬する被めっき体3たとえ
ばプリント配線基板を支持しかつ、そのプリント配線基
板3に電気的に接続するカソード電極4と、前記カソー
ド電極4に対向配置されたアノード電極5と、前記めっ
き槽2内に配設されめっき液1を攪拌するため加圧気体
を吹き出す、給気ブロアー6によって所要の気体たとえ
ば空気が送入される給気路7と、前記めっき槽2内のめ
っき液]をたとえば循環ポンプ8によって循環させるめ
っき液循環路9とを具備した構成の電気めっき装置が使
用されている。なお、前記めっき槽2内に配設され、め
っき液1を攪拌する加圧気体を吹き出す給気路7の気体
吹き出しは、たとえば塩化ビニル製バイブの全側壁面に
気体吹き出し口が形設されている。
(発明が解決しようとする課題) しかし、上記めっき液の攪拌および循環機能を備えた電
気めっき装置には次のような不都合が認められる。すな
わち、めっき液の攪拌手段の一部を成す塩化ビニル製パ
イプの側壁面に設けられている加圧気体吹き出し口から
、吹き出されるたとえば加圧空気およびメツキ液循環・
噴出口から噴出されるめっき液の噴流が、被めっき体3
近傍においてほぼ均一な状態を呈しないため、所要の攪
拌ないし均一なめっきを効率よく行い得ないという問題
がある。また、プリント基板などに対する電気めっき処
理のため、前記アノード電極5としてボール状の含リン
鋼を充填したものを用いた場合、前記吹き出される空気
とめっき液中の硫酸との相乗的な作用により、含リン銅
に生成したブラックフィルムが破壊され、非導通状態に
なって所要の電気めっきを続行し得ないこともしばしば
起る。
本発明は上記のような問題を解消するためなされたもの
で、めっき液の攪拌効率など大幅に向上改善し、常にほ
ぼ均一なめっき相を容易に形成し得る得る電気めっき装
置の提供を目的とする。
[発明の構成コ (課題を解決するための手段) 本発明は、めっき液を収容するめっき槽と、前記めっき
液中にめっきのため浸漬する被めっき体を支持しかつ、
電気的に接続するカソード電極と、前記カソード電極に
対向配置されたアノード電極と、前記めっき槽内に配設
されめっき液を攪拌する加圧気体を吹き出す給気路と、
前記め−〕き槽内のめっき液を循環するめっき液循環路
とを具備し、 前記カソード電極に支持され電気的に接続する被めっき
体に対して、気体が下方から集中的に吹きイ・iけられ
るように給気路の気体吹き出し口を配設し、かつめっき
液が斜め下方から噴流するように噴流口を配設して成る
ことを特徴とする。
(作 用) 上記のごとく本発明に係る電気めっき装置においては、
給気路の加圧気体吹き出し口およびめっき液循環路のめ
っき液噴流口をカソード電極に支持される被めっき体側
に向け、アノード電極側に直接力らないようにしたこと
により、被めっき体たとえばプリント基板のスルホール
内との間に圧力差が生じ、容易に所要の均一なめっき層
が形成される。つまり、均一なめっき条件が容易に形成
され、所望のめっき処理を達成し17する。
(実施例) 以下第1図および第2図を参照して本発明の詳細な説明
する。
第1図は本発明に係る電気めっき装置の要部構成を断面
的に示したもので、めっき液1を収容するめりき槽2と
、前記めっき液1中にめっきのため浸漬する被めっき体
3たとえばプリント配線基板を支持しかつ、そのプリン
ト配線基板3に電気的に接続するカソード電極4と、前
記カソード電極4に対向配置されたアノード電極5と、
前記めっき槽2内に配設されめっき液1を攪拌するため
気体を吹き出17口を備え、給気ブロアー6によって所
要の気体たとえば空気を送入する給気路7と、前記めっ
き檜2内のめっき液1をたとえば循環ポンプ8によって
循環・噴流させる噴流口を備えためっき液循環路9とを
具備した構成を採っており、この基本的な構成は前記第
3図に示した場合と同様である。
しかして、本発明に係る電気めっき装置は、次の点で特
徴付けられる。すなわち、前記波めっき体3を支持し電
気的に接続するカソード電極4に対して、気体が下方か
ら集中的に吹き付けられるように給気路7の気体吹き出
しロアaを配設しである。一方、めっき液1がカソード
電極4に支持された被めっき体3に対して、斜め下方か
ら噴流するようにめっき液循環路9の噴流口9aを配設
した構成を成している。
次に、上記構成の電気めっき装置の動作ないし機能につ
いて説明する。先ずめっき液循環路9を戻って来ためっ
き液は、噴流口9aを介して斜め下方から被めっき体3
、たとえばプリント基板の両側にそれぞれ噴出・噴流す
る。一方、加圧された気体たとえば圧縮空気は、給気路
7の気体吹き出しロアaを介して下方から被めっき体3
、たとえばプリント基板に集中的に吹き付けられる。
第2図は、上記本発明に係る電気めっき装置の動作にお
いて、めき液1の攪拌状態例を模式的に示したもので、
めっき槽2内ではソード電極4、つまり被めっき体3と
してのプリント基板が全体的に均一なエアーゾーン(空
気により攪拌された領域)に置かれた状態となる。しか
して、この状態で所要の電気めっきが行われるため、た
とえばプリント基板に対し、スルホール内壁面を含めて
容品に、膜厚がほぼ均一なめっき層の形成が可能となる
。たとえば薄い化学めっき層を設けたプリント基板に、
電気銅めっき処理を施したところ、形成された電気銅め
っき層の厚さの最大値と最小値の差は5μ■で、標準偏
差も 5μm以内であった。しかも、アノード電極5と
して、含リン鋼球を充填した構成のものを用いた場合で
も、ブラックフィルムの破損ないし破壊も全面的になく
なる。
つまり、前記ブラックフィルムの安定性によって、めっ
きまわり、均一な電着性、品質の向」二、さらに拡散す
る気体の剥離効果によるスルホール内の均一な電着性な
どが認められる。
なお、上記ではアノード電極として、含リン鋼球を充填
した構成のものを用いたが、これに限定されるものでな
く、たとえば銅板であってもよい。
また、前記では一対のアノード電極をカソード電極を挟
むように配置した構成を示したが、−刃側にだけ配置し
た構成としてもよい。
[発明の効果] 上記説明から分るように、本発明に係る電気めっき装置
によれば、めっき槽内のめっき液は、被めっき体近傍で
−様な攪拌状態を呈するとともに、被めっき体に対して
も圧力差をもたせることができる。つまり、所要の電気
めっき処理において、めっきには新たに循環・噴出し、
かつ気体の吹き込みで−様に攪拌・加圧された状態のめ
つき液が関与することになる。このため、めっき条件も
一定に保持されることになり、常に−様な(ムラのない
)メツキを達成し得る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る電気めっき装置の要部構成例を側
面図、第2図は本発明に係る電気めっき装置におけるめ
っき液の攪拌状態を示す模式図、第3図は従来の電気め
っき装置の構成を示す斜視図である。 1・・・・・・めっき液 2・・・・・・めっき槽 3・・・・・・被めっき体(プリント配線基板など)4
・・・・・・カソード電極 5・・・・・・アノード電極 6・・・・・・給気ブロアー 7・・・・・・給気路 7a・・・・・・加圧気体吹出し口 8・・・・・・循環ポンプ 9・・・・・・めっき液循環手段 9a・・・・・・めっき液循・噴流口 出願人     株式会社 東北

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 めっき液を収容するめっき槽と、前記めっき液中にめっ
    きのため浸漬する被めっき体を支持しかつ、電気的に接
    続するカソード電極と、前記カソード電極に対向配置さ
    れたアノード電極と、前記めっき槽内に配設されめっき
    液を攪拌する加圧気体を吹き出す吹き出口を備えた給気
    路と、前記めっき槽内のめっき液を循環・噴流するめっ
    き液循環・噴流手段とを具備し、 前記カソード電極に支持され電気的に接続する被めっき
    体に対して、気体が下方から集中的に吹き付けられるよ
    うに給気路の気体吹き出し口を配設し、かつめっき液が
    全体的に斜め下方から噴流するように噴流口を配設して
    成ることを特徴とする電気めっき装置。
JP11341490A 1990-04-27 1990-04-27 電気めっき装置 Pending JPH049500A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11341490A JPH049500A (ja) 1990-04-27 1990-04-27 電気めっき装置

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JP11341490A JPH049500A (ja) 1990-04-27 1990-04-27 電気めっき装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH049500A true JPH049500A (ja) 1992-01-14

Family

ID=14611656

Family Applications (1)

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JP11341490A Pending JPH049500A (ja) 1990-04-27 1990-04-27 電気めっき装置

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JP (1) JPH049500A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06128791A (ja) * 1992-10-19 1994-05-10 Kida Seiko Kk 表面被覆処理方法及び表面被覆処理装置
JP2007277676A (ja) * 2006-04-11 2007-10-25 C Uyemura & Co Ltd 電気めっき方法

Cited By (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06128791A (ja) * 1992-10-19 1994-05-10 Kida Seiko Kk 表面被覆処理方法及び表面被覆処理装置
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