JP5434636B2 - 静電チャックを備えた基板保持体 - Google Patents
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10a、1a 基板載置面
20 静電チャック支持体
21 変形防止板
22、3 冷却機構
22a、3a 冷媒通路
2 接合層
W 基板
Claims (2)
- 被処理対象である基板を載置する基板載置面を有する静電チャックと、該静電チャックを基板載置面の反対側の面から支持し、変形防止板および冷却機構を少なくとも含む静電チャック支持体とを備えた基板保持体であって、
これら変形防止板および冷却機構はこの順序で前記静電チャックに近い側から配置されており、前記変形防止板はその両面において摺動可能となるように挟持されており、基板処理の際の前記静電チャックの表裏面の温度差をΔT1、前記変形防止板の表裏面の温度差をΔT2、前記冷却機構の表裏面の温度差をΔT3、前記静電チャックの基板載置面の温度と前記冷却機構において変形防止板に対向する面とは反対側の面の温度との温度差をΔT4とした時、これらがΔT1/ΔT4<0.1かつΔT2/ΔT4<0.1かつΔT3/ΔT4<0.1の関係を有していることを特徴とする基板保持体。 - 前記静電チャックは窒化アルミニウムから成り、前記変形防止板は熱膨張係数が7.0×10−6/K以下であることを特徴とする、請求項1に記載の基板保持体。
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