JP5430979B2 - 熱フィラメントcvd装置 - Google Patents
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- 238000004050 hot filament vapor deposition Methods 0.000 title claims description 31
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 33
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 19
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 16
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims description 9
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 14
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 13
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 13
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 5
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 3
- 241000272161 Charadriiformes Species 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- BQYJATMQXGBDHF-UHFFFAOYSA-N difenoconazole Chemical compound O1C(C)COC1(C=1C(=CC(OC=2C=CC(Cl)=CC=2)=CC=1)Cl)CN1N=CN=C1 BQYJATMQXGBDHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 239000011435 rock Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
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Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
例えば、特許文献1には、混合ガス(メタン(CH4)と水素(H2)との混合ガス)が供給される減圧可能な反応室と、その反応室の内部に設置されているヒータおよび基板ホルダとを備えた熱フィラメントCVD装置の構成が開示されている。
また、前記基板ホルダは、前記熱フィラメントと相対向するように基板を保持するようになされていると共に、温度制御部が設けられ、保持する基板を加熱および冷却できるようになされている。
つぎに、前記温度制御部により基板を加熱して一定温度(700℃〜1100℃)に保持する。
つぎに、熱フィラメントに電圧を印加して、熱フィラメントが2000℃以上になると、反応室101に混合ガスを供給し、該熱フィラメントにより混合ガスを加熱・反応させて基板ホルダが保持する基板の表面にダイヤモンド膜を形成させる。
また、複数本の熱フィラメント130は、それぞれ、一方の電極110aに一端が固定され(図示しないボルト等により固定される)、他方の電極110bに他端が架け渡される。また、各熱フィラメント130の他端には、重り140が取り付けられ、重り140により、該熱フィラメント130のテンションを調節している。
具体的には、従来技術のヒータは、基板の表面を均一に加熱するために、複数本のワイヤ状の熱フィラメントを平行に配列して熱放射面を形成しているが、熱放射面を形成するために、電極間に熱フィラメントを1本ずつ取り付けていく必要があり、膨大な手間がかかっていた。
また、電極間に架け渡した複数の熱フィラメントにテンションをかけるために、熱フィラメント毎に重りを付けて調節しなければならず、その作業が面倒であった。
また、前記固定部は、前記一方の電極或いは該一方の電極の下側に設けられていることが望ましい。
また、前記一対の電極のうちの他方の電極の後方側に移動自在に配置されている支持台を備え、前記可動部は、前記支持台に着脱自在に取り付けられることが望ましい。
すなわち、本発明によれば、従来技術のように、電極間に熱フィラメントを1本ずつ取り付ける必要がないため、熱フィラメントの取付作業の手間が軽減される。
このように、本発明によれば、従来技術のように、電極間に張架された熱フィラメント毎に、重りを取り付けて、熱フィラメントのテンションを調節する必要がないため、ヒータの調節作業の手間が軽減される。
また、本発明の可動部によれば、一対の電極間に張架された熱フィラメントに均一にテンションを掛けることができる。
また、前記リング部材の係止部と前記ロック部とは、同一の部材で形成されていることが望ましい。
このように、本発明によれば、シャフトに回転自在に支持されているリング部材の外周側面に、熱フィラメントを係止する係止部と、リング部材を前記シャフトに固定するためのロック部とが設けられている。
そのため、係止部に熱フィラメントを係止する場合に、リング部材を回転させると共に、所望の位置でロック部材によりシャフトに固定することで、熱フィラメントのテンションを調節することができる。
このように本発明によれば、弾性材により、リング部材がシャフトの周方向に付勢されるため、リング部材の外周側面の係止部に係止された熱フィラメントに均一にテンションをかけることができる。
なお、本実施形態の熱フィラメントCVD装置は、反応室の内部に設置されるヒータの構造以外は、既存の技術のものと同じである。
そのため、以下の説明では、反応室の内部に設置されるヒータの構造を中心に説明し、ヒータ以外の構成について簡略化して説明する。
図1は、本発明の実施形態の熱フィラメントCVD装置の全体構成を示した模式図である。
図示するように熱フィラメントCVD装置1は、反応室10と、反応室10の内部に設置されている熱フィラメント21により形成された加熱部2(図4参照)を有するヒータ20と、基板Wを保持する基板ホルダ30とを備えている。
また、反応室10は、真空ポンプ(図示せず)および圧力調整弁(図示せず)等に接続された排出管12が接続され、反応室10の室内を減圧できるようになされている。
また、基板ホルダ30は、熱フィラメント21と相対向するように基板Wを保持する基板保持部30aが形成されていると共に、基板Wの加熱および冷却をする温度制御部(図示せず)が設けられている。
そして、電極22を介して熱フィラメント21に電圧を印加することにより(大電流を流すことにより)熱フィラメント21が高温に発熱する。
なお、図示する例では、電源5が交流である場合を例示しているが、電源5は直流電源であってもかまわない。
また、熱フィラメント21は、例えば、ワイヤ状の高融点金属(タンタル、モリブデン、タングステン等)により形成されている。
図2は、本実施形態のヒータの側面図であり、ヒータが熱フィラメントCVD装置1の反応室10に設置された状態を示している。
また、図3は、本実施形態のヒータが治具の上に取り付けられた状態を示した側面図である。また、図4は、図3に示すヒータの上面図である。
また、図5は、本実施形態のヒータの斜視図であり、ヒータを固定部側から見た斜視図を示している。また、図6は、本実施形態のヒータの斜視図であり、ヒータを可動部側から見た斜視図を示している。また、図7は、図6に示したヒータのA-A断面の模式図である。
また、図8は、本実施形態のヒータの可動部に設けられたリング部材の模式図である。
なお、図示する例では、電極22a、22bが棒状に形成されているが特にこれに限定されるものではない。例えば、電極22a、22bがリング状に形成されていてもよい。
また、可動部25は、熱フィラメント21を係止する複数のリング部材70を備えている。そして、可動部25は、電極22bに、熱フィラメント21を介して懸架されるようになされている。
そして、1本のワイヤ状の熱フィラメント21を、固定部24と、可動部25とに交互に架け渡し係止して電極間22a、22bにチドリ状に張架させることにより加熱部2(図4参照)が形成される。
具体的には、第1支持部23a1、23a2は、それぞれ、上端部で電極22aを支持すると共に、下端部に脚部23cが取り付けられている。
また、第2支持部23b1、23b2は、それぞれ、上端部で電極22bを支持すると共に、下端部に脚部23d(図2参照)が取り付けられている。
なお、第1支持部23a1、23a2、第2支持部23b1、23b2、脚部23c、脚部23dは、いずれも金属等の導体により形成されている。
このように、補強部材23fを設けることにより、枠体23の形状が安定するため、装置外(反応室10の外)において、ヒータ20を組み立て(電極間22a、22bに熱フィラメント21を取り付けて)、装置内(反応室10の内側)に搬入し設置する作業が容易になる。
なお、補強部材23fは、絶縁材により形成されており、第1支持部23a1(第1支持部23a2)と、第2支持部23b1(第2支持部23b2)との間が通電しないようになされている。
そして、電極22aは、枠体23(第1支持部23a1、23a2、脚部23c)を介して、装置電極22a1に電気的に接続されるようになされている。
また、電極22bは、枠体23(第2支持部23b1、23b2、脚部23c)を介して、装置電極22b1に電気的に接続されるようになされている
具体的には、枠体23の脚部23c、23dが、治具50の上に載置され、ボルト52により治具50に固定される。
この場合、電極22bの後方側に支持台26が配置され、その支持台26に可動部25が取り付けられ、その状態で、電極22a、22bに熱フィラメント21が張架される(電極22a、22bに熱フィラメント21を張架する作業については後段で詳細に説明する)。
また、固定部24は、表面24aに、熱フィラメント21を係止する複数のフック部60が設けられている。
また、フック部60の具体的な形状について特に限定しないが、以下では、フック部60は、固定部24の板状部に螺合されるボルトであり、ボルトの首部に、熱フィラメント21を挿通する貫通孔が形成されているものとする。
なお、図示する例では、固定部24は、板状に形成されているが特にこれに限定されるものではない。
また、図示する例では、固定部24は、電極22aの下方側に配置されているが、その具体的な取り付け位置について特に限定されるものではない。固定部24は、電極22aに熱フィラメント21を接触させることができる位置であれば任意の位置に取りつけることができる(例えば、固定部24が電極22aの斜め下方に配置されていてもかまわない)。
例えば、電極22aと固定部24とが一体の部品として構成されていてもよい。具体的には、電極22aに、熱フィラメント21を係止する複数のフック部60が設けられていてもかまわない。このようにすれば、部品点数を削減することができると共に、ヒータ20を軽量化することができる。
また、本実施形態において、輪状(リング状)とは、少なくとも、断面視で半円以上の円弧形状を有する形状のことをいう。
なお、本実施形態では、棒状部材76が円柱状になされているが、特にこれに限定されるものではない。例えば、棒状部材76が矩形柱状に形成されていてもかまわない。
そして、板状部材74a1、74a2は、ヒータ20を組む(電極間22a、22bに熱フィラメント21を取り付ける)場合に、それぞれ、支持台26の上端に支持されると共に、ボルト75により、支持台26に着脱自在に取り付けられている。
そして、板状部材74a1、74a2を支持台26の上端に載置し、ネジ穴74bと、貫通孔26aとを位置合わせして、ボルト75をネジ穴75bに挿入して螺合させることにより、可動部25が支持台26の上端に固定される。
なお、本実施形態の可動部25は、シャフト73の両端部に取り付けられた一対の板状部74a1、74a2により、支持台26の上端に支持されているが、特にこれに限定されるものではない。
例えば、可動部25に、板状部74a1、74a2を設けずに、シャフト73の両端が、支持台26に着脱自在に取り付けられるように構成されていてもかまわない。
なお、フック部71およびロック部72の構造について特に限定されるものではないが、本実施形態では、以下のようになされている。
また、ロック部72は、ボルト72aと、リング部材70の外周面を貫通するボルト72aに螺合するネジ孔72bとにより構成されており、ボルト72aを締めることにより、リング部材70をシャフト73に固定することができる。
また、ボルト72aを緩めることにより、リング部材70をシャフト73の周方向に回転させることができる。
この棒状部材78により、可動部25を支持部材26から外す場合に、電極22bに形成された溝(ガイド)から、熱フィラメント21が外れることが防止される。なお、電極22bに対して可動部25の取付(固定)位置が低い場合、棒状部材78が不要になる。
また、棒状部材78は、ヒータ20が反応室10に設置された後は、取り外される。
図9は、本実施形態のヒータを構成する熱フィラメントと、熱フィラメントを固定する固定部および可動部との関係を示した模式図である。
また、図10は、本実施形態のヒータを構成する可動部のリング部材の構造を示した模式図である。また、図10(a)は、リング部材70に熱フィラメント21を係止した状態を示している。また、図10(b)は、リング部材70に係止した熱フィラメント21の弛みを無くすために、リング部材70を周方向に回転させた状態を示している。また、図10(c)は、熱フィラメント21を棒状部材76およびリング部材70でロックした状態を示している。
なお、図9では、固定部24にフック部60a〜60mが設けられ、可動部25にリング部材70a〜70kが設けられているが、フック部60a〜60mの数およびリング部材70a〜70kの数は、あくまでも例示である。
また、前記の熱フィラメント21の端点の固定は、どのような方法でもかまわないが、例えば、フック部60a〜60mおよびリング部材70a〜70k(リング部材70a〜70kに形成されたフック部72)のボルトの首部に貫通孔を設ける。そして、前記貫通孔に熱フィラメント21(ワイヤ)を通して(挿通して)、ボルトを螺合させることにより、熱フィラメント21を固定する。
そして、図9に示すように、固定部24に設けられた複数のフック部60a〜60mのなかの一端部のフック部60aに、熱フィラメント21の一端部を固定する。
具体的には、フック部60aのボルトの首部の貫通孔(図示せず)に、熱フィラメント21を通し(挿通し)、ボルトを螺合させる際に、その首部に熱フィラメント21を巻き付ける。これにより、熱フィラメント21は、フック部60aのボルトの頭部と、固定部24の表面24a(図2参照)とにより挟持されて固定される。
つぎに、可動部25側(X1側)に向けて、熱フィラメント21の他端を引っ張り、熱フィラメント21を電極22aと、電極22bとの間に張架させ、可動部25の端部に配置されているリング部材70aのフック部71(図10参照)に熱フィラメント21を係止する。
つぎに、固定部24のフック部60b(フック部60aに隣接するフック部60b)に、熱フィラメント21を係止して折り返し、可動部25側(X1側)に向けて、熱フィラメント21の他端を引っ張り、熱フィラメント21を電極22aと、電極22bとの間に張架させる。
このように、固定部24のフック部60と、可動部25のリング部材70と間において、熱フィラメント21を交互に引っ掛けることにより、電極22a、22b間に熱フィラメント21が平行に配置された加熱部(熱放射面)2(図4参照)が形成される。
このように、熱フィラメント21のテンションを調節するのは、固定部24のフック部60と、可動部25のリング部材70と間において、熱フィラメント21を交互に引っ掛けるだけでは、電極22aと電極22bとの間に張架されている熱フィラメント21の長さ寸法がばらつき、熱フィラメント21に弛みが生じることがあるためである。
また、上記テンションを調節した後は、図10(b)に示すように、フック部71のボルト71(図7参照)を螺合させ、熱フィラメント21をリング部材70に固定すると共に、ロック部72のボルト72(図7参照)を締めることにより、リング部材70をシャフト73に固定する。
このように、本実施形態によれば、簡単な作業により、熱フィラメント21のテンションを調節することができる。
上記のように棒状部材76を載置することにより、可動部25を付勢する場合(支持台26から外して、可動部25を電極22bから懸架させる場合)の支点を一律にすることができ、電極22aと電極22bとの間に張架されている熱フィラメント21に対して均等にテンションをかけることができるようになる。
図11は、本発明の実施形態の可動部の機能を説明するための模式図である。また、図11(a)は、本実施形態のヒータ20が治具50の上に載置され、且つ可動部25が支持台26に固定されている状態を示している。また、図11(b)は、本実施形態のヒータ20が治具50の上に載置され、且つ可動部25が支持台26から取り外された状態を示している。
また、図11(c)は、本実施形態のヒータ20が治具50から取り外された状態を示している。また、図11(d)は、本実施形態のヒータ20が収容室10に設置された状態を示している。
なお、図11では、説明を簡略化するために、棒状部材76の構成を省略している。
具体的には、支持台26に可動部25が支持されている状態において(図11(a)に示す状態において)、ボルト75(図7参照)を緩めて取り外し、支持台26をずらして、可動部25を懸吊させる(図11(b)参照)。
これにより、熱フィラメント21に、可動部25の自重によるテンションがかかる。
すなわち、本実施形態によれば、従来技術のように、電極22a、22b間に張架された熱フィラメント毎に、重りを取り付けて、熱フィラメント21のテンションを調節する必要がないため、ヒータ20の調節作業の手間が軽減される。
そして、治具50から取り外されたヒータ20は、熱フィラメントCVD装置1の反応室10の室内に運ばれて、図10(d)に示すように、装置電極22a1、22b1に固定される。
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内において種々の変形が可能である。
図12は、本発明の実施形態のヒータの可動部を構成するリング部材の第1変形例を示した模式図である。また、図12(a)は、リング部材80に熱フィラメント21を係止した状態を示している。また、図12(b)は、リング部材80に係止した熱フィラメント21の弛みを無くすために、リング部材80を周方向に回転させた状態を示している。また、図12(c)は、熱フィラメント21を棒状部材76およびリング部材80でロックさせた状態を示している。
なお、図12において、上述した実施形態と同じ構成については同じ符号を付して、その説明を省略する。
また、リング部材80の外周側面に、熱フィラメント21を係止するためのフック部71が設けられている。
また、リング部材80の内周側面と、シャフト73の外周側面とには弾性材82が取り付けられている(弾性材82一端がリング部材80の内周側面に取り付けられ、弾性材82の他端がシャフト73の外周側面に取り付けられている)。
そして、この弾性材82により、図12(a)に示す状態から図12(b)に示す状態に、リング部材80がシャフトの周方向に付勢するようになされている。
なお、弾性材82には、例えば、板バネ等を用いることができる。
そのため、第1変形例によれば、上述した実施形態のリング部材70のようにロック部72を操作して(ボルト72aを締めて)、リング部材80を固定する必要がないため、ヒータ部20の調節作業の手間が軽減される。
なお、第1変形例においても、図12(c)に示すように、熱フィラメント21の上に、棒状部材76を載置して固定することが望ましい。
図13は、本発明の実施形態のヒータの可動部を構成するリング部材の第2変形例を示した模式図である。また、図13(a)は、リング部材85に熱フィラメント21を係止した状態を示している。また、図13(b)は、リング部材85に係止した熱フィラメント21の弛みを無くすために、リング部材85を周方向に回転させた状態を示している。また、図13(c)は、熱フィラメント21を棒状部材76およびリング部材85でロックさせた状態を示している。
なお、図13において、上述した実施形態と同じ構成については同じ符号を付して、その説明を省略する。
また、リング部材85の外周側面に、熱フィラメント21を係止し、且つシャフト73にリング部材85を固定するフック部83が設けられている。
このフック部83は、熱フィラメント21をリング部材85に固定すると共に、シャフト73に、リング部材85を固定できるようになされている。
すなわち、フック部83は、上述した実施形態のリング部材70のフック部71およびロック部72の機能が同一の部品により実現されている。
また、上記テンションを調節した後は、図13(b)に示すように、フック部71を螺合させることにより、熱フィラメント21をリング部材85に固定すると共に、リング部材85をシャフト73に固定することができる。
このように、本実施形態によれば、簡単な作業により、熱フィラメント21のテンションを調節することができる。
なお、第2変形例においても、上述した実施形態と同様、図13(c)に示すように、熱フィラメント21の上に、棒状部材76を載置して固定することが望ましい。
以下、図14および図15を用いて、熱フィラメント21にテンションを掛ける構成の変形例を説明する。
図14は、本発明の実施形態のヒータの可動部を付勢する機構の変形例を示した上面図であり、図14(a)は、シリンダ92により可動部25を付勢する機構を示し、図14(b)は、弾性材93により可動部25を付勢する機構を示している。
また、図15は、本発明の実施形態のヒータの可動部を付勢する機構の変形例を示した側面図であり、モータ95を用いて可動部25を付勢する機構を示している。
また、図14(b)に示すように、可動部25に取手96を設けると共に、取手96に剛体90を取り付け、さらに、剛体90の端部に弾性材(コイルスプリング等)93を取りつける。上記構成により、弾性部材93が可動部25を引っ張り付勢することができ、熱フィラメント21にテンションを掛けるようになされていてもよい。
なお、取手96は、例えば、絶縁体により形成されている。
1 熱フィラメントCVD装置
2 加熱部(ヒータ)
10 反応室
11 ガス供給管
12 排出管
20 ヒータ
21 熱フィランメント(ヒータ)
22、22a、22b 電極(ヒータ)
23 枠体(ヒータ)
23a1、23a2 第1支持部(枠体(ヒータ))
23b1、23b2 第2支持部(枠体(ヒータ))
23c、23d 脚部(枠体(ヒータ))
23f 補強部材(枠体(ヒータ))
24 固定部(ヒータ)
24a 表面(固定部(ヒータ))
60 フック部(固定部(ヒータ))
25 可動部(ヒータ)
70 リング部材(可動部(ヒータ))
700 貫通孔(可動部(ヒータ))
71 フック部(可動部(ヒータ))
71a ボルト(可動部(ヒータ))
71b ネジ孔(可動部(ヒータ))
72 ロック部(可動部(ヒータ))
72a ボルト(可動部(ヒータ))
72b ネジ孔(可動部(ヒータ))
73 シャフト(可動部(ヒータ))
74a1、74a2 本体部(可動部(ヒータ))
74b ネジ穴(可動部(ヒータ))
26 支持台(ヒータ)
26a 貫通孔(支持台(ヒータ))
50 支持架台(ヒータ)
75 ボルト(ヒータ)
76 棒状部材(ヒータ)
77 ボルト(ヒータ)
78 棒状部材(ヒータ)
79 ボルト(ヒータ)
30 基板ホルダ
30a 基板保持部
80 リング部材(可動部(ヒータ))
81 貫通孔(可動部(ヒータ))
82 弾性体(可動部(ヒータ))
83 フック部(可動部(ヒータ))
85 リング部材(可動部(ヒータ))
86 貫通孔(可動部(ヒータ))
90 剛体(可動部(ヒータ))
92 シリンダ(可動部(ヒータ))
93 弾性材(可動部(ヒータ))
94 ギア(可動部(ヒータ))
95 モータ(可動部(ヒータ))
96 取手(可動部(ヒータ))
Claims (6)
- 基板の表面に薄膜を形成させる熱フィラメントCVD装置であって、
反応室と、前記反応室内部に設置されたヒータと、前記反応室内部に設置された、前記基板を保持する基板ホルダとを備え、
前記ヒータは、
一対の電極と、
前記一対の電極を平行状態に相対向させ保持する枠体と、
前記一対の電極間に張架された熱フィラメントにより形成された加熱部と、
前記一対の電極のうちの一方の電極側に設けられ、該電極の軸方向に配置された前記熱フィラメントが係止される複数の係止部を備えた固定部と、
前記一対の電極のうちの他方の電極の後方側に配置され、前記熱フィラメントが係止される複数の係止部を備えた可動部とを備え、
前記加熱部は、1本のワイヤ状の熱フィラメントを、前記固定部の係止部と、前記可動部の係止部とに交互に架け渡し係止して前記電極間にチドリ状に張架することにより形成され、
前記可動部が前記他方の電極に、前記熱フィラメントを介して懸架されることを特徴とする熱フィラメントCVD装置。 - 前記固定部は、前記一方の電極或いは該一方の電極の下側に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の熱フィラメントCVD装置。
- 前記一対の電極のうちの他方の電極の後方側に配置されている支持台を備え、
前記可動部は、前記支持台に着脱自在に取り付けられることを特徴とする請求項1に記載の熱フィラメントCVD装置。 - 前記可動部は、
中心部に貫通孔を有する輪状に形成された複数のリング部材と、
前記複数のリング部材の貫通孔に挿入され、該リング部材を回転自在に支持する棒状のシャフトとを備え、
前記複数のリング部材は、それぞれ、外周側面に前記熱フィラメントを係止するための前記係止部と、該リング部材を前記シャフトに固定するためのロック部とが設けられていることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の熱フィラメントCVD装置。 - 前記リング部材の係止部と前記ロック部とは、同一の部材で形成されていることを特徴とする請求項4に記載の熱フィラメントCVD装置。
- 前記可動部は、
中心部に貫通孔を有する輪状に形成された複数のリング部材と、
前記複数のリング部材の貫通孔に挿入され、該リング部材を回転自在に支持する棒状のシャフトとを備え、
前記複数のリング部材は、それぞれ、外周側面に前記熱フィラメントを係止するための前記係止部が設けられ、
さらに、前記リング部材の内周側面と、前記シャフトの外周側面とが弾性材により接続され、該弾性材により、該リング部材が前記シャフトの周方向に付勢されるようになされていることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の熱フィラメントCVD装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009058955A JP5430979B2 (ja) | 2009-03-12 | 2009-03-12 | 熱フィラメントcvd装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009058955A JP5430979B2 (ja) | 2009-03-12 | 2009-03-12 | 熱フィラメントcvd装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010209438A JP2010209438A (ja) | 2010-09-24 |
JP5430979B2 true JP5430979B2 (ja) | 2014-03-05 |
Family
ID=42969903
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009058955A Active JP5430979B2 (ja) | 2009-03-12 | 2009-03-12 | 熱フィラメントcvd装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5430979B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015188036A (ja) * | 2014-03-27 | 2015-10-29 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
CN103952686B (zh) * | 2014-05-23 | 2016-02-17 | 北京大学 | 一种防断裂的热丝化学气相沉积系统及在大尺寸bdd电极制备中的应用 |
KR101901356B1 (ko) * | 2018-03-23 | 2018-09-28 | 그린스펙(주) | 열 필라멘트 화학기상증착 장치의 열 필라멘트 텐션 유지 장치 |
CN108396308B (zh) * | 2018-05-03 | 2023-06-09 | 广东鼎泰高科精工科技有限公司 | 一种具有多个热丝装置的cvd金刚石涂层设备 |
JP6994446B2 (ja) * | 2018-09-10 | 2022-01-14 | 株式会社神戸製鋼所 | 熱フィラメントcvd装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0421777A (ja) * | 1990-05-14 | 1992-01-24 | Seiko Instr Inc | ダイヤモンドの合成装置 |
KR100382943B1 (ko) * | 2001-02-26 | 2003-05-09 | 프리시젼다이아몬드 주식회사 | 고온 열 필라멘트를 이용한 기상화학다이아몬드증착장치 |
JP4004510B2 (ja) * | 2005-03-23 | 2007-11-07 | 有限会社マテリアルデザインファクトリ− | 触媒cvd装置 |
KR100688838B1 (ko) * | 2005-05-13 | 2007-03-02 | 삼성에스디아이 주식회사 | 촉매 화학기상증착장치 및 촉매 화학기상증착방법 |
-
2009
- 2009-03-12 JP JP2009058955A patent/JP5430979B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010209438A (ja) | 2010-09-24 |
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