JP5429950B2 - レーザ装置 - Google Patents
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Description
レーザ光を発振して出力するレーザ発振器を内蔵する直方体形状の筐体で構成されたオシレータユニットと、レーザ光を入射してレーザ光を増幅して出射する増幅器を内蔵する直方体形状の筐体で構成されたアンプユニットと、オシレータユニットから出射されるレーザ光、およびアンプユニットに入射されるレーザ光並びにアンプユニットから出射されるレーザ光の光路上に設けられた複数の光学素子からなる光学素子群とを含んで構成されたレーザ装置であって、
アンプユニットは、1つまたは2以上設けられ、
光学素子群は、プレート上に配置されており、
オシレータユニットから出射される出射光と少なくとも1つのアンプユニットで入出射される入出射光がプレートを横切るように、あるいは少なくとも2つのアンプユニットでそれぞれ入出射される各入出射光がプレートを横切るように、オシレータユニット、アンプユニット、プレートが配置されていること
を特徴とする。
レーザ光を発振して出力するレーザ発振器を内蔵する直方体形状の筐体で構成されたオシレータユニットと、レーザ光を入射してレーザ光を増幅して出射する増幅器を内蔵する直方体形状の筐体で構成されたアンプユニットと、オシレータユニットから出射されるレーザ光、およびアンプユニットに入射されるレーザ光並びにアンプユニットから出射されるレーザ光の光路上に設けられた複数の光学素子からなる光学素子群とを含んで構成されたレーザ装置であって、
光学素子群は、一体形成されたプレート上に配置されて光学素子モジュールを構成していること
を特徴とする。
光学素子群は、一体形成されたプレート上に配置されて光学素子モジュールを構成していること
を特徴とする。
光学素子群は、プレートの同一の面上に配置されている
こと
を特徴とする。
光学素子群は、プレートの同一の面上に配置されている
こと
を特徴とする。
光学素子モジュールは、プレートと光学素子群を覆うカバーを含んで構成されていること
を特徴とする。
光学素子モジュールは、プレートと光学素子群を覆うカバーを含んで構成されていること
を特徴とする。
光学素子モジュールのカバーには、パージガスが導入されるパージガス導入口と、メンテナンス用のハッチのいずれかあるいは両方が備えられていること
を特徴とする。
光学素子モジュールのカバーには、パージガスが導入されるパージガス導入口と、メンテナンス用のハッチのいずれかあるいは両方が備えられていること
を特徴とする。
隣接し広い面同士が対向するオシレータユニットの筐体と少なくとも1つのアンプユニットの筐体は、あるいは隣接し広い面同士が対向する少なくとも2つのアンプユニットの各筐体は、上下方向に積層配置されていること
を特徴とする。
オシレータユニットの筐体と少なくとも1つのアンプユニットの筐体は、あるいは少なくとも2つのアンプユニットの各筐体は、プレートの下方に配置されていること
を特徴とする。
図3は、第1実施例のレーザ装置1の構成図であり、従来技術として説明した図1と同様に上面図にて示している。図4(a)、(b)はそれぞれ、第1実施例のオシレータユニット11、アンプユニット21、22、23、24の内部構成例を示した図である。図5はそれぞれ、第1実施例のオシレータユニット11、アンプユニット21、22、23、24の他の内部構成例を示した図である。図6は、第1実施例のレーザ装置1を前面側からみた斜視図である。図7は、第1実施例のレーザ装置1の光学素子モジュール30の外観を示した斜視図である。
図2は、第2実施例の構成を示す斜視図である。
第1実施例では、オシレータユニット11の筐体とアンプユニット21、22の筐体は、上下方向に積層配置されているとともに、アンプユニット23、24の各筐体は、上下方向に積層配置されている。このためオシレータユニット11及びアンプユニット21、22、23、24のメンテナンスを行うときに、積層配置された他のユニットが邪魔になり、点検、整備箇所にアクセスできないことがある。
第1実施例では、立設配置された光学素子モジュール30のプレート32の後方に、オシレータユニット11、アンプユニット21、22、23、24を配置させるようにしている。しかし、電源41、42、43、44、45等のメンテナンスを行うにあたり、第1実施例のかかるレイアウトでは、点検、整備箇所に容易にアクセスすることができないことがある。
上述した各実施例では、光学素子群31を、プレート32の同一の面32A上に配置させる構成を前提として説明したが、光学素子群31が一体形成されたプレート32上に配置されて光学素子モジュール30が構成されていれば、光学素子群31を、プレート32の異なる面に分離して配置させる実施も可能である。
上述した第5実施例では、光学素子モジュール30のプレート32の側方に、オシレータユニット11、アンプユニット21、22、23、24が配置されているが、光学素子モジュール30のプレート32の面に対向するようにオシレータユニット11、アンプユニット21、22、23、24を配置させる実施も可能である。
Claims (4)
- レーザ光の光路用の孔を複数有する一体形成されたプレートと、
レーザ光を発振して出力するレーザ発振器を内蔵し、直方体形状の筐体で構成されるとともにプレートの一方面側に配置されたオシレータユニットと、
直方体形状の筐体で構成されるとともにプレートの一方面側に配置され、レーザ光を入射してレーザ光を増幅する増幅器を内蔵するとともに増幅されたレーザ光を折り返しレーザ光として出射する1つまたは2以上のアンプユニットと、
プレートの他方面側に配置され、孔を介してオシレータユニットからのレーザ光又はアンプユニットからの折り返しレーザ光を受光するとともに孔を介してアンプユニットに向けて導光する第1光学素子群と、
プレートの他方面側に配置され、孔を介してアンプユニットからの折り返しレーザ光を受光しつつレーザ出力として導光する第2光学素子群と、を含んで構成されたレーザ装置であって、
プレートの一方面側においてプレートに隣接しかつ対向しつつ、オシレータユニットの筐体と少なくとも1つのアンプユニットの筐体の最小面積の面を除く広い面積の各面同士が隣接しかつ対向するように、あるいは少なくとも2つのアンプユニットの筐体の最小面積の面を除く広い面積の各面同士が隣接しかつ対向するように、オシレータユニット及びアンプユニットが配置され、
第1光学素子群及び第2光学素子群を共に有する光学素子モジュールが、プレートの他方面側におけるプレートの同一面上に形成されていることを特徴とするレーザ装置。 - 光学素子モジュールは、プレートと光学素子群を覆うカバーを含んで構成されていること
を特徴とする請求項1記載のレーザ装置。 - 光学素子モジュールのカバーには、パージガスが導入されるパージガス導入口と、メンテナンス用のハッチのいずれかあるいは両方が備えられていること
を特徴とする請求項1記載のレーザ装置。 - 隣接し広い面同士が対向するオシレータユニットの筐体と少なくとも1つのアンプユニットの筐体は、あるいは隣接し広い面同士が対向する少なくとも2つのアンプユニットの各筐体は、上下方向に積層配置されていること
を特徴とする請求項1記載のレーザ装置。
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