JP5422126B2 - 移動装置 - Google Patents
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Description
第1部分は、X方向及び前記Y方向に対して実質的に平行に伸びているキャリアであって、キャリアにおいて、磁石システムは、あるパターン又はX方向に平行に伸びている行及びY方向に平行に伸びている列にしたがって固定され、行の間及び列の間の距離は等しい、キャリアと、キャリアに対して直角に且つ第2部分の方に向かって伸びている磁化方向を有する第1種類の磁石、及びキャリアに対して直角に且つ第2部分から遠ざかる方に向かって伸びている磁化方向を有する第2種類の磁石であって、各々の行及び各々の列において交互に配列されている、第1種類の磁石及び第2種類の磁石と、並置されている第1種類及び第2種類の磁石の各々の対の間の各々の列において配列されている第3種類の磁石であって、該第3種類の磁石は、Y方向に平行に且つ第1種類の磁石の方に向かって伸びている磁化方向を有する、第3種類の磁石と、を有し、
第2部分は、磁石システムの磁場において位置付けられ、X方向と実質的に45°の角度を有する電流導体を有する少なくとも1つの第1種類の電気コイルを有し、磁石システムの磁場においてまた、位置付けられ、X方向と実質的に45°の角度を有する電流導体を有する少なくとも1つの第2種類の電気コイルを有する、電気コイルシステムを備え、前記電流導体は第1電気コイルの電流導体に対して垂直方向に伸びていて、第1部分の磁石の各々の行においてまた、第3種類の磁石は並置されている第1種類及び第2種類の磁石の各々の対の間に配列され、第3種類の磁石は、X方向に平行に且つ第1種類の磁石の方に向かって伸びている磁化方向を有し、
移動装置は、第2部分は静止していて、第1部分はセンチのオーダーの又はそれ以上の範囲に亘って第2部分に対して相対的に移動可能であり、移動装置は移動可能な第1部分の正確な位置決めのための干渉計システムを更に有することを特徴とする。
Claims (10)
- オブジェクトを移動させる移動装置であって:
当該移動装置は、少なくともX方向及び該X方向に対して垂直のY方向に互いに対して移動することができる第1部分及び第2部分を有し、
前記第1部分は、前記移動するキャリアを保持するキャリア上に固定される磁石システムを有し、
前記キャリアは、コイルプレート上で前記X方向及び前記Y方向に対して実質的に平行に伸び、
前記磁石システムは、パターンすなわち前記X方向に対して平行に伸びる行及び前記Y方向に対して平行に伸びる列にしたがって前記キャリア上で固定され、前記行の間の及び前記列の間の距離は等しく、
前記第1部分は、前記キャリアに対して直角に且つ前記第2部分の方に伸びている磁化方向を有する第1種類の磁石、及び前記キャリアに対して直角に且つ前記第2部分から遠ざかる方に伸びている磁化方向を有する第2種類の磁石を有し、
前記第1種類の磁石と前記第2種類の磁石は、各々の行及び各々の列において交互に配列され、
前記第1部分は、並置されている前記第1種類の磁石及び前記第2種類の磁石の各々の対の間の各々の列中に配列されている第3種類の磁石を有し、
該第3種類の磁石は、前記Y方向に対して平行に且つ前記第1種類の磁石の方に伸びている磁化方向を有し、
前記第2部分は、前記磁石システムの磁場において位置付けられ、且つ前記X方向と実質的に45°の角度を有する電流導体を有する少なくとも1つの第1種類の電気コイルを有し、前記磁石システムの磁場において位置付けられ、且つ前記第1種類の電気コイルとは逆方向に、前記X方向と実質的に45°の角度を有する電流導体を有する少なくとも1つの第2種類の電気コイルを有し、前記少なくとも1つの第1種類の電気コイルの前記電流導体に対して垂直に伸びる、電気コイルシステムを備え、
前記第1部分の磁石の各々の行においても、前記第3種類の磁石は、並置されている前記第1種類の磁石と前記第2種類の磁石の各々の対の間に配列され、
前記第3種類の磁石は、前記X方向に対して平行に且つ前記第1種類の磁石の方に伸びる磁化方向を有し、
前記第2部分は静止していて、前記第1部分はセンチメートルオーダーの又はそれ以上の範囲に亘って前記第2部分に対して相対的に移動可能であり、
前記移動装置は、移動可能な前記第1部分の正確な位置決めのための干渉計システムを更に有し、
前記第1種類の磁石及び前記第2種類の磁石は側面を有する同じ四角形形状を有し、前記第3種類の磁石は側面を有する矩形形状を有し、前記第3種類の磁石の最も長い側面は前記第1種類の磁石及び前記第2種類の磁石の側面に隣接し、前記第1種類の磁石及び前記第2種類の磁石の側面と同じ長さを有し、前記キャリアは、前記磁石システムによって前記コイルプレートに対して熱的に且つ電磁気的に分離され、故に、移動する前記オブジェクトに影響を及ぼさず、
前記第1部分はミラーブロックを有し、前記ミラーブロック上には1つ以上のミラー及び/又は他の光学素子が、前記干渉計システムの一部として固定され、
前記キャリアと前記ミラーブロックとは、弾性要素によって、振動及び熱に対して隔絶されている、
ことを特徴とする移動装置。 - 請求項1に記載の移動装置であって、前記第3種類の磁石の最も短い側面の寸法の前記最も長い側面の寸法に対する比は0.25乃至0.50の範囲内にある、ことを特徴とする移動装置。
- 請求項1又は2に記載の移動装置であって、前記電流導体が有効な磁場において位置付けられている、前記コイルの前記電流導体の長さは、前記磁石の磁極ピッチのk倍に略等しく、ここで、kは2の倍数の何れかの数であり、前記磁石の前記磁極ピッチは、前記第1種類及び前記第2種類の同じ種類の磁石の中心点のそれぞれが位置している2つの隣接する対角線の間の距離として画定される、ことを特徴とする移動装置。
- 請求項1乃至3の何れか一項に記載の移動装置であって、前記第1部分は、磁束を前記磁石へ戻す約5mm又はそれ以下の高さのリターンプレートを有する、ことを特徴とする移動装置。
- 請求項1乃至4の何れか一項に記載の移動装置であって、前記コイルの高さは、約15mm乃至30mmの範囲内にある、ことを特徴とする移動装置。
- 請求項1乃至5の何れか一項に記載の移動装置であって、ホールセンサがコイルの中央に位置している、ことを特徴とする移動装置。
- 請求項1乃至6の何れか一項に記載の移動装置であって、前記干渉計システムの構成要素は、前記干渉システムの光ビームを反射する前記第1部分の鉛直側面におけるミラー及び/又はプリズムである、ことを特徴とする移動装置。
- 請求項1乃至7の何れか一項に記載の移動装置であって、前記第1部分は無線データ通信のための手段を有する、ことを特徴とする移動装置。
- 請求項1乃至8の何れか一項に記載の移動装置であって、前記第1部分はピックアップコイルを有する、ことを特徴とする移動装置。
- 請求項1乃至9の何れか一項に記載の移動装置であって、2つ以上の第1部分を有する、ことを特徴とする移動装置。
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