JP5406623B2 - 計測装置、露光装置及びデバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
参照光ray_r1と計測光ray_m1との光路長差OPD1=−2×δy×tanφ
参照光ray_r2と計測光ray_m2との光路長差OPD2=0
参照光ray_r3と計測光ray_m3との光路長差OPD3=+2×δy×tanφ
ここでは、参照面40の傾き角φは小さいと仮定し、ビームスプリッタ20から参照面40までの往路と参照面40からビームスプリッタ20までの復路とは同一であるものとしている。但し、厳密には、参照面40の傾き角φの影響によって、ビームスプリッタ20から参照面40までの往路と参照面40からビームスプリッタ20までの復路とは異なる。従って、ビームスプリッタ20より後段の光学系における光路も参照光と計測光とで異なるため、厳密な光路長差を算出するためには、光学シミュレーションを用いる必要がある。一方、傾き角φが小さい場合には、ビームスプリッタ20から参照面40までの往路、参照面40からビームスプリッタ20までの復路及びビームスプリッタ20より後段の光学系における光路への影響が小さいため、上述した光路長差で簡略化が可能である。
Claims (5)
- 被計測面の高さを計測する計測装置であって、
光源からの広帯域波長の光を計測光と参照光とに分離して、前記広帯域波長の前記計測光を前記被計測面の表面に入射させ、前記広帯域波長の前記参照光を参照面に入射させる光学系と、
前記被計測面の計測点で反射された計測光と前記参照面の参照点で反射された参照光によって形成される干渉光の強度を検出する領域が複数、第1の方向に配列された撮像素子と、
前記撮像素子の複数の領域で検出される干渉光の強度に基づいて、前記計測点における前記被計測面の高さを算出する処理部と、
を有し、
前記参照面は、前記複数の領域のそれぞれに入射する計測光又は参照光の間に異なる光路長差が生じるように配置され、
前記第1の方向に沿って前記被計測面を移動しながら、前記被計測面の第1の計測点で反射された計測光と前記参照面の複数の参照点のそれぞれで順次反射された参照光との干渉光を前記撮像素子の前記複数の領域のそれぞれに順次入射させるとともに、前記被計測面の前記第1の計測点とは異なる第2の計測点で反射された計測光と前記参照面の複数の参照点のそれぞれで順次反射された参照光との干渉光を前記撮像素子の前記複数の領域のそれぞれに順次入射させて、前記被計測面の第1の計測点で反射された計測光と前記参照面で反射された参照光との干渉光及び前記被計測面の第2の計測点で反射された計測光と前記参照面で反射された参照光との干渉光を並行して検出し、
前記処理部は、前記第1の方向に沿って前記被計測面を移動しながら前記撮像素子の前記複数の領域のそれぞれにおいて検出された前記干渉光の強度信号を用いて、前記第1の計測点及び前記第2の計測点のそれぞれについての前記干渉光の強度信号のピーク位置を特定し、特定したピーク位置に対応する前記被計測面の前記第1の計測点及び前記第2の計測点のそれぞれの高さを算出することを特徴とする計測装置。 - 被計測面の高さを計測する計測装置であって、
光源からの広帯域波長の光を計測光と参照光とに分離して、前記広帯域波長の前記計測光を前記被計測面の表面に入射させ、前記広帯域波長の前記参照光を参照面に入射させる光学系と、
前記被計測面の計測点で反射された計測光と前記参照面の参照点で反射された参照光によって形成される干渉光の強度を検出する領域が複数、第1の方向に配列された撮像素子と、
前記撮像素子の複数の領域で検出される干渉光の強度に基づいて、前記計測点における前記被計測面の高さを算出する処理部と、
を有し、
前記参照面は、前記複数の領域のそれぞれに入射する参照光の間に異なる光路長差が生じるように構成された非平面形状を有し、
前記第1の方向に沿って前記被計測面を移動しながら、前記被計測面の第1の計測点で反射された計測光と前記参照面の複数の参照点のそれぞれで順次反射された参照光との干渉光を前記撮像素子の前記複数の領域のそれぞれに順次入射させるとともに、前記被計測面の前記第1の計測点とは異なる第2の計測点で反射された計測光と前記参照面の複数の参照点のそれぞれで順次反射された参照光との干渉光を前記撮像素子の前記複数の領域のそれぞれに順次入射させて、前記被計測面の第1の計測点で反射された計測光と前記参照面で反射された参照光との干渉光及び前記被計測面の第2の計測点で反射された計測光と前記参照面で反射された参照光の干渉光を並行して検出し、
前記処理部は、前記第1の方向に沿って前記被計測面を移動しながら前記撮像素子の前記複数の領域のそれぞれにおいて検出された前記干渉光の強度信号を用いて、前記第1の計測点及び前記第2の計測点のそれぞれについての前記干渉光の強度信号のピーク位置を特定し、特定したピーク位置に対応する前記被計測面の前記第1の計測点及び前記第2の計測点のそれぞれの高さを算出することを特徴とする計測装置。 - 1つの計測点で反射した計測光が前記複数の領域のうち2つの領域間を移動する時間と前記複数の領域のそれぞれで干渉光の強度を検出する検出タイミングとが一致するように、前記被計測面を移動することを特徴とする請求項1又は2に記載の計測装置。
- レチクルのパターンを基板に投影する投影光学系と、
前記基板の高さを計測する計測装置と、
前記計測装置によって計測された前記基板の高さに基づいて、前記基板の位置を調整するステージと、
を有し、
前記計測装置は、請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載の計測装置であることを特徴とする露光装置。 - 請求項4に記載の露光装置を用いて基板を露光するステップと、
露光された前記基板を現像するステップと、
を有することを特徴とするデバイスの製造方法。
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