JP5405923B2 - 光電変換素子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
また、界面反射低減のためには、半導体層界面に高屈折率層を積層する方法があるが、やはり、プロセスアップを招く等の問題があった。
しかしながら、中間層を設ける手法は、プロセスアップを招き、膜厚を増加させる手法は、透過率の低下を招く等の問題があった。
1.外光入射側の第1の面と、前記第1の面と対向する第2の面を有するインジウム亜鉛酸化物層を有し、
前記第2の面から前記第1の面へ、インジウム亜鉛酸化物層の屈折率が小さくなるように変化している光電変換素子。
2.前記第1の面から前記第2の面の間で、屈折率が連続して変化する1記載の光電変換素子。
3.前記第1の面と前記第2の面の屈折率の差が0.2以上である1又は2記載の光電変換素子。
4.対向する第1の面と第2の面を有するインジウム亜鉛酸化物層と、前記インジウム亜鉛酸化物層の第1の面と接する隣接層を有し、
インジウム亜鉛酸化物層と前記隣接層の仕事関数の差が小さくなるように、前記第2の面から前記第1の面へ、インジウム亜鉛酸化物層の仕事関数が変化している光電変換素子。
5.前記第1の面から前記第2の面の間で、仕事関数が連続して変化する4記載の光電変換素子。
6.前記第1の面が外光入射側にある4又は5記載の光電変換素子。
7.前記第1の面と前記第2の面の仕事関数の差が0.2eV以上である4〜6のいずれか記載の光電変換素子。
8.少なくとも1層のa−Si層を含む1〜7のいずれか記載の光電変換素子。
9.タンデム構造である1〜8のいずれか記載の光電変換素子。
10.単結晶又は多結晶Si基板を含む1〜9のいずれか記載の光電変換素子。
11.製膜温度を室温から昇温することによって、屈折率が傾斜したインジウム亜鉛酸化物膜を形成する、1〜3のいずれか記載の光電変換素子の製造方法。
12.製膜中に徐々に酸素導入量を増やし酸素分圧を上げていくことによって、屈折率が傾斜したインジウム亜鉛酸化物膜を形成する、1〜3のいずれか記載の光電変換素子の製造方法。
13.製膜温度を室温から昇温することによって、仕事関数が傾斜したインジウム亜鉛酸化物膜を形成する、4〜7のいずれか記載の光電変換素子の製造方法。
14.製膜中に徐々に酸素導入量を増やし酸素分圧を上げていくことによって、仕事関数が傾斜したインジウム亜鉛酸化物膜を形成する、4〜7のいずれか記載の光電変換素子の製造方法。
ここで、「面の屈折率」とはその面を形成する材料の屈折率である。また、その面側領域の材料の屈折率でもよく、例えば、界面から10nmまでの領域又は界面から10nmまでの領域の材料の平均の屈折率である。
屈折率は、第1の面から第2の面の間で、断続的に変化してもよいし、連続して変化してもよい。なお、屈折率は短波長領域では大きく変化するため、ここで記載する屈折率は太陽光強度が高く、屈折率が安定化する波長550nmでの値を示す。
好ましくは、第1の面の屈折率は1.9以下である。
この光電変換素子は、外光入射側の第1の面の屈折率が相対的に小さいので、外光の反射を低減でき、変換効率が高まる。
尚、中間層40が、屈折率が異なるインジウム亜鉛酸化物層でもよい。中間層40の2つの面400,402の内、面400が外光入射側の面となる。
ここで、「面の仕事関数」とはその面を形成する材料の仕事関数である。また、その面側領域の材料の仕事関数でもよく、例えば、界面から10nmまでの領域又は界面から10nmまでの領域の材料の平均の仕事関数である。
この光電変換素子は、第1の面と隣接層の仕事関数の差が小さいので、半導体層で発生した電子又はホール移動の際のエネルギー障壁が低く、変換効率が高まる。
図1に示す光電変換素子において、面200が第1の面のとき、集電極60が隣接層になり、面200と集電極60の仕事関数の差が、面202と集電極60の仕事関数の差より小さい。
尚、第1の態様と同様に、中間層40が、仕事関数が異なるインジウム亜鉛酸化物層でもよい。
(1)裏面光入射型素子構成
[a−Si/a−Si系]
・外光入射側→硝子/インジウム亜鉛酸化物層/a−Si(p,i,n)/中間層/a−SiGe(p,i,n)/Ag
・外光入射側→硝子/インジウム亜鉛酸化物層/a−Si(p,i,n)/中間層/a−SiGe(p,i,n)/インジウム亜鉛酸化物層/Ag
・外光入射側→硝子/インジウム亜鉛酸化物層/a−Si(p,i,n)/インジウム亜鉛酸化物層/a−SiGe(p,i,n)/インジウム亜鉛酸化物層/Ag
・外光入射側→硝子/インジウム亜鉛酸化物層/a−Si(p,i,n)/中間層/μC−Si(p,i,n)/Ag
・外光入射側→硝子/インジウム亜鉛酸化物層/a−Si(p,i,n)/中間層/μC−Si(p,i,n)/インジウム亜鉛酸化物層/Ag
・外光入射側→硝子/インジウム亜鉛酸化物層/a−Si(p,i,n)/インジウム亜鉛酸化物層/μC−Si(p,i,n)/インジウム亜鉛酸化物層/Ag
[a−Si/a−Si系]
・硝子/Mo/a−SiGe(p,i,n)/中間層/a−Si(p,i,n)/インジウム亜鉛酸化物層←外光入射側
・硝子/Mo/インジウム亜鉛酸化物層/a−SiGe(p,i,n)/中間層/a−Si(p,i,n)/インジウム亜鉛酸化物層←外光入射側
・硝子/Mo/インジウム亜鉛酸化物層/a−SiGe(p,i,n)/インジウム亜鉛酸化物層/a−Si(p,i,n)/インジウム亜鉛酸化物層←外光入射側
・硝子/Mo/μC−Si(p,i,n)/中間層/a−Si(p,i,n)/インジウム亜鉛酸化物層←外光入射側
・硝子/Mo/インジウム亜鉛酸化物層/μC−Si(p,i,n)/中間層/a−Si(p,i,n)/インジウム亜鉛酸化物層←外光入射側
・硝子/Mo/インジウム亜鉛酸化物層/μC−Si(p,i,n)/インジウム亜鉛酸化物層/a−Si(p,i,n)/インジウム亜鉛酸化物層←外光入射側
・インジウム亜鉛酸化物層/a−Si(p,i)/C−Si(n)/a−Si(i,n+)/インジウム亜鉛酸化物層
・インジウム亜鉛酸化物層/a−Si(p+,i)/C−Si(p)/a−Si(i,n)/インジウム亜鉛酸化物層
・全圧 :0.1〜1.0Pa
・酸素分圧:0.001〜0.2Pa
・製膜温度:室温(20℃)〜200℃
・膜厚 :100〜300nm(太陽電池用膜厚)
・製膜速度:2nm〜10nm/sec(膜厚に合せて設定)
・昇温速度:1.2〜18℃/min(製膜時間に合せて設定)
・全圧 :0.1〜1.0Pa
・酸素分圧:0.001〜0.2Pa
・製膜温度:室温(20℃)〜200℃
・膜厚 :100〜300nm(太陽電池用膜厚)
・製膜速度:2nm〜10nm/sec(膜厚に合せて設定)
・酸素導入:0.033〜2%/sec(製膜時間に合せて設定)
また、本発明の光電変換素子は、プロセスアップを招く積層構成ではなく、単層構成で、インジウム亜鉛酸化物層と隣接層の仕事関数の差を小さくできる。インジウム亜鉛酸化物層の膜厚増加を伴わないので、透過率の低下がない。
<試験例1>
In2O3中にZnOを10wt%含むターゲットを用い、マグネトロンスパッタ装置を用いて、ガラス上に、300nmの膜厚のインジウム亜鉛酸化物膜を、製膜速度10nm、基板温度室温、酸素0%、製膜圧力0.5Paの条件で製膜した。
得られたインジウム亜鉛酸化物膜の屈折率を、分光エリプソメトリー測定装置(有限会社テクノ・シナジー社製)により測定したところ、屈折率は2.1(550nm)であった。
また、得られたインジウム亜鉛酸化物膜の仕事関数を、大気中光電子分光装置(理研計器株式会社製:AC−2)により測定したところ、仕事関数は4.5eVであった。
基板温度を50℃とした他は試験例1と同じようにしてインジウム亜鉛酸化物膜を製膜し、屈折率と仕事関数を測定した。屈折率は1.9(550nm)、仕事関数は4.5eVであった。
基板温度を100℃とした他は試験例1と同じようにしてインジウム亜鉛酸化物膜を製膜し、屈折率と仕事関数を測定した。屈折率は1.9(550nm)、仕事関数は4.7eVであった。
基板温度を200℃とした他は試験例1と同じようにしてインジウム亜鉛酸化物膜を製膜し、屈折率と仕事関数を測定した。屈折率は1.7(550nm)、仕事関数は4.9eVであった。
<試験例5>
酸素濃度を1%(酸素分圧:0.005Pa)とした他は試験例1と同じようにしてインジウム亜鉛酸化物膜を製膜し、屈折率と仕事関数を測定した。屈折率は2.1(550nm)、仕事関数は4.7eVであった。
酸素濃度を5%(酸素分圧0.025Pa)とした他は試験例1と同じようにしてインジウム亜鉛酸化物膜を製膜し、屈折率と仕事関数を測定した。屈折率は1.9(550nm)、仕事関数は4.8eVであった。
酸素濃度を20%(酸素分圧0.1Pa)とした他は試験例1と同じようにしてインジウム亜鉛酸化物膜を製膜し、屈折率と仕事関数を測定した。屈折率は1.7(550nm)、仕事関数は5.1eVであった。
<実施例1>
In2O3中にZnOを10wt%含むターゲットを用い、基板温度昇温機構の付帯したマグネトロンスパッタ装置を用いて、太陽電池素子基板「硝子/Mo/a−SiGe(p,i,n)/中間層/a−Si(p,i,n)」に、300nmの膜厚のインジウム亜鉛酸化物膜を、製膜速度10nm/sec、酸素0%、製膜圧力0.5Paの条件下で、基板温度を室温(20℃)から昇温速度6℃/secで200℃まで昇温し、製膜した。
太陽電池素子基板上に製膜したインジウム亜鉛酸化物膜の屈折率は、試験例1〜4の結果より、屈折率が2.1(第2の面)から1.7(外光入射側第1の面)まで傾斜していることが想定される。
また、インジウム亜鉛酸化物膜の仕事関数は、試験例1〜4の結果より、仕事関数が4.5から4.9まで傾斜していることが想定される。
インジウム亜鉛酸化物膜上に、取り出し電極をAuペーストで印刷し、素子性能を評価したところ、変換効率は18%であった。
なお、一般的に、a−Si層の仕事関数は4.0eV、Auの仕事関数は5.1eVであることが知られている。
作製した太陽電池をAM1.5条件下(入射強度(Pin)100mW/cm2)でI−V特性を測定した。得られた開放端電圧(Voc)、短絡電流密度(Jsc)、曲線因子(FF値)から、太陽電池の光電変換効率(η)を下記式によって導出した。
基板温度を室温(20℃)から昇温速度1℃/secで50℃まで昇温して製膜した他は実施例1と同様にしてインジウム亜鉛酸化物膜を製膜し、太陽電池素子を作製し、評価した。変換効率は15%であった。
試験例1,2の結果より、インジウム亜鉛酸化物膜の屈折率は、2.1(第2の面)から1.9(外光入射側第1の面)まで傾斜し、仕事関数は4.5のままであることが想定される。
基板温度を室温のままで製膜した他は実施例1と同様にしてインジウム亜鉛酸化物膜を製膜し、太陽電池素子を作製し、評価した。変換効率は12%であった。
試験例1の結果より、インジウム亜鉛酸化物膜の屈折率は2.1のまま、仕事関数は4.5のままであることが想定される。
<実施例3>
In2O3中にZnOを10wt%含むターゲットを用い、バルブ自動調整機構の付帯したマグネトロンスパッタ装置を用いて、太陽電池素子基板「硝子/Mo/a−SiGe(p,i,n)/中間層/a−Si(p,i,n)」に、300nmの膜厚のインジウム亜鉛酸化物膜を、製膜温度室温、製膜速度10nm、製膜圧力0.5Paの条件下で、Ar100%から、酸素をガス流量100sccmに対し、0.033sccm,0.067sccm,0.1sccmと1秒毎に0.033sccmづつ1sccmまで増加させながら、製膜した。
太陽電池素子基板上に製膜したインジウム亜鉛酸化物膜の屈折率は、試験例1,5の結果より、屈折率が2.1のままであることが想定される。
また、インジウム亜鉛酸化物膜の仕事関数は、試験例1,5の結果より、仕事関数が4.5から4.7まで傾斜していることが想定される。
インジウム亜鉛酸化物膜上に、取り出し電極をAuペーストで印刷し、素子性能を評価したところ、変換効率は14%であった。
なお、一般的に、a−Si層の仕事関数は4.0eV、Auの仕事関数は5.1eVであることが知られている。
Ar100%から、酸素をガス流量100sccmに対し、0.67sccm,1.34sccm,2sccmと1秒毎に0.67sccmづつ20sccmまで増加させながら製膜した他は実施例3と同様にしてインジウム亜鉛酸化物膜を製膜し、太陽電池素子を作製し、評価した。変換効率は18%であった。
試験例1,5〜7の結果より、インジウム亜鉛酸化物膜の屈折率は2.1(第2の面)から1.7(外光入射側第1の面)まで傾斜し、仕事関数が4.5から5.1まで傾斜していることが想定される。
酸素濃度を20%(酸素分圧0.1Pa)のままで製膜した他は実施例3と同様にしてインジウム亜鉛酸化物膜を製膜し、太陽電池素子を作製し、評価した。変換効率は12%であった。
試験例7の結果より、インジウム亜鉛酸化物膜の屈折率は1.7のまま、仕事関数は5.1のままであることが想定される。
太陽電池素子基板「硝子/Mo/a−SiGe(p,i,n)/インジウム亜鉛酸化物膜/a−Si(p,i,n)」を用いた他は実施例1と同様にしてインジウム亜鉛酸化物膜を製膜し、太陽電池素子を作製し、評価した。変換効率は20%であった。
試験例1〜4の結果より、インジウム亜鉛酸化物膜の屈折率は、2.1(第2の面)から1.7(外光入射側第1の面)まで傾斜し、仕事関数は4.5から4.9まで傾斜していることが想定される。
太陽電池素子基板「硝子/Mo/a−SiGe(p,i,n)/インジウム亜鉛酸化物膜/a−Si(p,i,n)」を用いた他は実施例4と同様にしてインジウム亜鉛酸化物膜を製膜し、太陽電池素子を作製し、評価した。変換効率は20%であった。
試験例1,5〜7の結果より、インジウム亜鉛酸化物膜の屈折率は、2.1(第2の面)から1.7(外光入射側第1の面)まで傾斜し、仕事関数は4.5から5.1まで傾斜していることが想定される。
太陽電池素子基板「硝子/Mo/μc−Si(p,i,n)/中間層/a−Si(p,i,n)」を用いた他は実施例1と同様にしてインジウム亜鉛酸化物膜を製膜し、太陽電池素子を作製し、評価した。変換効率は18%であった。
試験例1〜4の結果より、インジウム亜鉛酸化物膜の屈折率は、2.1(第2の面)から1.7(外光入射側第1の面)まで傾斜し、仕事関数は4.5から4.9まで傾斜していることが想定される。
太陽電池素子基板「硝子/Mo/μc−Si(p,i,n)/中間層/a−Si(p,i,n)」を用いた他は実施例4と同様にしてインジウム亜鉛酸化物膜を製膜し、太陽電池素子を作製し、評価した。変換効率は18%であった。
試験例1,5〜7の結果より、インジウム亜鉛酸化物膜の屈折率は、2.1(第2の面)から1.7(外光入射側第1の面)まで傾斜し、仕事関数は4.5から5.1まで傾斜していることが想定される。
10 基板
20 透明電極層
30,32 光吸収層
40 中間層
50 背面電極層
60,62 集電極
200,202,400,402 面
Claims (19)
- 外光入射側の第1の面と、前記第1の面と対向する第2の面を有するインジウム亜鉛酸化物層を有し、
前記第2の面から前記第1の面へ、インジウム亜鉛酸化物層の屈折率が小さくなるように変化している光電変換素子であって、
前記インジウム亜鉛酸化物層においてインジウムと亜鉛の比が一定である光電変換素子。 - 外光入射側の第1の面と、前記第1の面と対向する第2の面を有するインジウム亜鉛酸化物層を有し、
前記第2の面から前記第1の面へ、インジウム亜鉛酸化物層の屈折率が小さくなるように変化している光電変換素子であって、
前記インジウム亜鉛酸化物層がIn 2 O 3 :ZnO=80〜95:5〜20wt%の組成の単一のターゲットをスパッタリングして形成されたものである光電変換素子。 - 外光入射側の第1の面と、前記第1の面と対向する第2の面を有するインジウム亜鉛酸化物層を有し、
前記第2の面から前記第1の面へ、インジウム亜鉛酸化物層の屈折率が小さくなるように変化している光電変換素子であって、
前記インジウム亜鉛酸化物層が、製膜温度を室温から昇温することによって、屈折率を傾斜させたものである光電変換素子。 - 外光入射側の第1の面と、前記第1の面と対向する第2の面を有するインジウム亜鉛酸化物層を有し、
前記第2の面から前記第1の面へ、インジウム亜鉛酸化物層の屈折率が小さくなるように変化している光電変換素子であって、
前記インジウム亜鉛酸化物層が、製膜中に徐々に酸素導入量を増やし酸素分圧を上げていくことによって、屈折率を傾斜させたものである光電変換素子。 - 前記第1の面から前記第2の面の間で、屈折率が連続して変化する請求項1〜4のいずれか記載の光電変換素子。
- 前記第1の面と前記第2の面の屈折率の差が0.2以上である請求項1〜5のいずれか記載の光電変換素子。
- 対向する第1の面と第2の面を有するインジウム亜鉛酸化物層と、前記インジウム亜鉛酸化物層の第1の面と接する隣接層を有し、
インジウム亜鉛酸化物層と前記隣接層の仕事関数の差が小さくなるように、前記第2の面から前記第1の面へ、インジウム亜鉛酸化物層の仕事関数が変化している光電変換素子。 - 対向する第1の面と第2の面を有するインジウム亜鉛酸化物層と、前記インジウム亜鉛酸化物層の第1の面と接する隣接層を有し、
インジウム亜鉛酸化物層と前記隣接層の仕事関数の差が小さくなるように、前記第2の面から前記第1の面へ、インジウム亜鉛酸化物層の仕事関数が変化している光電変換素子であって、
前記インジウム亜鉛酸化物層が、製膜温度を室温から昇温することによって、屈折率を傾斜させたものである光電変換素子。 - 対向する第1の面と第2の面を有するインジウム亜鉛酸化物層と、前記インジウム亜鉛酸化物層の第1の面と接する隣接層を有し、
インジウム亜鉛酸化物層と前記隣接層の仕事関数の差が小さくなるように、前記第2の面から前記第1の面へ、インジウム亜鉛酸化物層の仕事関数が変化している光電変換素子であって、
前記インジウム亜鉛酸化物層が、製膜中に徐々に酸素導入量を増やし酸素分圧を上げていくことによって、屈折率を傾斜させたものである光電変換素子。 - 前記第1の面から前記第2の面の間で、仕事関数が連続して変化する請求項7〜9のいずれか記載の光電変換素子。
- 前記第1の面が外光入射側にある請求項7〜10のいずれか記載の光電変換素子。
- 前記第1の面と前記第2の面の仕事の差が0.2eV以上である請求項7〜11のいずれか記載の光電変換素子。
- 少なくとも1層のa−Si層を含む請求項1〜12のいずれか記載の光電変換素子。
- タンデム構造である請求項1〜13のいずれか記載の光電変換素子。
- 単結晶又は多結晶Si基板を含む請求項1〜14のいずれか記載の光電変換素子。
- 製膜温度を室温から昇温することによって、屈折率が傾斜したインジウム亜鉛酸化物膜を形成する、請求項1、2、5及び6のいずれか記載の光電変換素子の製造方法。
- 製膜中に徐々に酸素導入量を増やし酸素分圧を上げていくことによって、屈折率が傾斜したインジウム亜鉛酸化物膜を形成する、請求項1、2、5及び6のいずれか記載の光電変換素子の製造方法。
- 製膜温度を室温から昇温することによって、仕事関数が傾斜したインジウム亜鉛酸化物膜を形成する、請求項7及び10〜12のいずれか記載の光電変換素子の製造方法。
- 製膜中に徐々に酸素導入量を増やし酸素分圧を上げていくことによって、仕事関数が傾斜したインジウム亜鉛酸化物膜を形成する、請求項7及び10〜12のいずれか記載の光電変換素子の製造方法。
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