JP5392430B1 - 検査装置、検査方法および検査プログラム - Google Patents

Abstract

【課題】被検査基板を複数含む集合基板の検査を、該集合基板の一部を欠いた状態を含めて効率的に行うことが可能な検査装置、検査方法および検査プログラムを提供する。
【解決手段】複数の被検査基板が集合する集合基板、及び被検査基板の少なくとも１枚が被検査基板とは異なる擬似基板である擬似集合基板を検査するに当たり、検査対象が擬似基板であるか否かを判定する判定手段と、判定手段で判定された擬似基板以外の被検査基板を検査する検査手段と、を備える。
【選択図】図４

Description

本発明は、検査装置、検査方法および検査プログラムに関する。

特許文献１には、複数の電気基板によって構成される集合基板であって前記集合基板は所定の部品が実装された後に電源を投入されると集合基板内の基板間の配線を介して通信する通信手段を有し、前記通信手段の内、送信手段を有する制御部は集合基板の一部が分割されたかどうかを検知する手段を有し、前記送信の動作は、前記検知手段が前記分割されていないことを検知した後に開始することを特徴とする電気基板の試験方法と被試験電気基板の構造が開示されている。

特開２００３−１１４２５８号公報

本発明は、被検査基板を複数含む集合基板の検査を、該集合基板の一部を欠いた状態を含めて効率的に行うことが可能な検査装置、検査方法および検査プログラムを提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、請求項１に記載の検査装置は、複数の被検査基板が予め定められた配置状態で集合する集合基板、及び前記集合基板の少なくとも１枚の前記被検査基板に代えて前記被検査基板とは異なる擬似基板が配置された擬似集合基板を検査するに当たり、検査対象が前記擬似基板であるか否かを判定する判定手段と、前記判定手段で判定された前記擬似基板以外の前記被検査基板を検査する検査手段と、を備えるものである。

また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記判定手段は、前記擬似基板及び前記被検査基板の各々に設けられた一対の端子の間の電気的特性の差異に基づいて、検査対象が前記擬似基板であるか否かを判定するものである。

また、請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記電気的特性が抵抗値であるものである。

また、請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の発明において、前記判定手段は、前記一対の端子の間が短絡されているか開放されているかの差異に基づいて、検査対象が前記擬似基板であるか否かを判定するものである。

また、請求項５に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記判定手段は、前記擬似基板と前記被検査基板との形状の差異、又は物理的特性の差異に基づいて、検査対象が前記擬似基板であるか否かを判定するものである。

また、請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の発明において、前記判定手段は、前記擬似基板又は前記被検査基板に設けられた開口部の有無に基づいて、検査対象が前記擬似基板であるか否かを判定するものである。

また、請求項７に記載の発明は、請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の発明において、前記擬似基板の枚数が複数であり、該複数の擬似基板が一体的に形成されているものである。

一方、上記目的を達成するために、請求項８に記載の検査装置は、予め定められた電気的特性を有する一対の被接触部が設けられた複数の被検査基板が予め定められた配置状態で一体的に構成された集合基板、及び当該集合基板の少なくとも１枚の前記被検査基板に代えて、前記一対の被接触部と同一の位置に当該一対の被接触部とは異なる電気的特性を有する一対の被接触部が設けられた擬似基板が配置されることにより、全体として前記集合基板と同一形状、又は略同一形状とされた擬似集合基板を検査するに当たり、前記集合基板及び前記擬似集合基板における前記被検査基板及び前記擬似基板に設けられた前記一対の被接触部に接触される一対の接触子と、前記一対の接触子が前記被検査基板又は前記擬似基板の前記一対の被接触部に接触された状態で前記電気的特性を検出する検出手段と、前記検出手段による検出結果に基づいて、前記一対の接触子が接触された基板が前記被検査基板なのか、前記擬似基板なのかを判定する判定手段と、前記判定手段によって前記被検査基板であると判定された場合、当該被検査基板に対して、単一の前記被検査基板を検査するものとして予め作成された検査プログラムにより検査する検査手段と、を備えるものである。

また、上記目的を達成するために、請求項９に記載の検査方法は、複数の被検査基板が予め定められた配置状態で集合する集合基板、及び前記集合基板の少なくとも１枚の前記被検査基板に代えて前記被検査基板とは異なる擬似基板が配置された擬似集合基板を検査するに当たり、検査対象が前記擬似基板であるか否かを判定し、判定された前記擬似基板以外の前記被検査基板を検査するものである。

さらに、上記目的を達成するために、請求項１０に記載のプログラムは、コンピュータを、複数の被検査基板が予め定められた配置状態で集合する集合基板、及び前記集合基板の少なくとも１枚の前記被検査基板に代えて前記被検査基板とは異なる擬似基板が配置された擬似集合基板を検査するに当たり、検査対象が前記擬似基板であるか否かを判定する判定手段と、前記判定手段で判定された前記擬似基板以外の前記被検査基板を検査する検査手段と、として機能させるためのものである。

請求項１、および請求項８ないし請求項１０に記載の発明によれば、被検査基板を複数含む集合基板の検査を、該集合基板の一部を欠いた状態を含めて効率的に行うことが可能になる、という効果を得ることができる。

請求項２および請求項５に記載の発明によれば、本発明を適用しない場合に比較して、
より確実に被検査基板と擬似基板とを判別することができる、という効果を得ることができる。

請求項３、請求項４および請求項６に記載の発明によれば、本発明を適用しない場合に比較して、より簡易に被検査基板と擬似基板とを判別することができる、という効果を得ることができる。

請求項７に記載の発明によれば、複数の擬似基板が一体的に形成されていない場合に比較して、擬似基板の取り扱いがより容易になる、という効果を得ることができる。

実施の形態に係る検査装置の一例を示す概略構成図である。 実施の形態に係る検査装置の電気的な構成の概要を示すブロック図である。 第１の実施の形態に係る検査装置の配置状態を示す斜視図である。 第１の実施の形態に係る基板検査プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。 第２の実施の形態に係る検査装置の配置状態を示す斜視図である。 第２の実施の形態に係るダミーボードの形態を示す平面図である。 第３の実施の形態に係る基板検査プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。 第４の実施の形態に係る検査装置の配置状態を示す斜視図である。 第４の実施の形態に係る基板検査プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。

以下、図面を参照して本実施の形態に係る検査装置および検査方法について詳細に説明する。以下の説明では、本実施の形態に係る検査装置を、部品が実装されたプリント配線基板を検査するいわゆるインサーキットテスタに適用した形態を例示して説明する。

［第１の実施の形態］

図１は、本実施の形態に係る検査装置１２の概略構成を示している。
同図に示すように、本実施の形態に係る検査装置１２は、コンピュータ１８、操作部２０、表示部２２、ケーブル２８、および検査治具３０を含んで構成されている。
コンピュータ１８、操作部２０、および表示部２２を含む部分は、検査装置１２本体部分を構成しており、詳細は後述する。

検査治具３０は、上側検査治具３０Ａおよび下側検査治具３０Ｂを備えて構成されている。
上側検査治具３０Ａは、先端部が伸縮する複数のプローブピン（探針）３２ａ、３２ｂ、３２ｃ（以下、総称する場合は「プローブピン３２」）を有しており、該プローブピン３２ａ、３２ｂ、３２ｃは、ケーブル２８によって検査装置１２の本体に接続されている。

下側検査治具３０Ｂは、電子部品４２ａ、４２ｂ（以下、総称する場合は「電子部品４２」）等が実装された検査対象としてのプリント配線基板４０（被検査基板）を配置して固定する。本実施の形態に係る検査治具３０では、プリント配線基板４０を下側検査治具３０Ｂに配置するとともに、上側検査治具３０Ａのプローブピン３２をプリント配線基板４０上の検査点（被接触点：検査のために電気信号が入出力される点）に対して接触させて検査が行われる。

より具体的には、プリント配線基板４０上には検査点としての半田部４４ａ、４４ｂおよび４４ｃ（以下、総称する場合は「半田部４４」）が形成されており、当該半田部４４に上記プローブピン３２を接触させ、該プローブピン３２を介して電気信号を印加または検出することにより、さまざまな検査が実行される。

当該検査の内容としては、一例として、プリント配線基板４０上の電源電圧のチェック、半田のオープン、ショート不良、抵抗、コンデンサ等の定数間違いによる不良、抵抗、
コンデンサ等の部品欠品不良、ＩＣ、コネクタ等のリードの浮き不良、ダイオード等の動作確認（ファンクションテスト）等が挙げられる。
なお、本実施の形態では、被接触点として半田部４４を適用した形態を例示して説明したが、これに限られず他の被接触点、例えばプリント配線基板４０上に形成された配線パターン等であってもよい。

ここで、本実施の形態では、上側検査治具３０Ａにプローブピン３２を設ける形態を例示して説明したが、これ限られず、上側検査治具３０Ａに加えて下側検査治具３０Ｂにもプローブピン３２を設け、プリント配線基板４０の下方からも接触させる形態、さらには、上側検査治具３０Ａと下側検査治具３０Ｂとを押圧して密着させる押圧装置を用いる形態に適用してもよい。

図２は、検査装置１２の電気的な構成の概要を例示している。同図に示すように、検査装置１２は、コンピュータ１８を含んで構成されている。

コンピュータ１８は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）１８Ａ、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）１８Ｂ、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）１８Ｃ、不揮発性メモリ１８Ｄ、および入出力インタフェース（Ｉ／Ｏ）１８Ｅ等がバス１８Ｆを介して各々接続された構成となっている。

ＣＰＵ１８Ａは、検査装置１２全体の動作を司るものである。ＲＯＭ１８Ｂは、検査装置１２の動作を制御する制御プログラム、後述する基板検査プログラムや検査のための各種パラメータ等を予め記憶する記憶手段として機能するものである。ＲＡＭ１８Ｃは、各種プログラムの実行時のワークエリア、検査データの一時的な記憶等として用いられるものである。不揮発性メモリ１８Ｄには、装置の電源スイッチが切られても保持しなければならない各種情報を記憶する。

Ｉ／Ｏ１８Ｅには、検査に関する操作を行うための操作ボタン等（キーボードやマウス等）を含んで構成された操作部２０、検査に関する表示を行う液晶ディスプレイ等で構成された表示部２２、およびプリント配線基板４０と接触するための検査治具３０等が接続されている。

ところで、検査装置１２の検査対象は単体のプリント配線基板４０に限られず、複数のプリント配線基板４０が、例えばＶ溝による連結片で簡便に分割可能なように連結された集合基板を検査対象とし、当該集合基板によりまとめて検査して検査の効率化を図ることも行われている。

一方、集合基板を検査対象とした検査ラインを構築した場合でも、集合基板のうちの、
例えば特定の１枚を検査する必要がある場合がある。一旦検査を終了し、次の工程、例えば装置のアセンブリ工程で当該特定のプリント配線基板４０に不良の疑いが生じ、再検査が必要になった場合等である。

この場合、検査装置１２における基板検査処理を実行する基板検査プログラムとして、
従来は、集合基板用の基板検査プログラムと１枚用の基板検査プログラムとの２つ基板検査プログラムを用いていた。あるいは、集合基板のうちのプリント配線基板４０の欠けた状態に応じて、個々別々の基板検査プログラムを用いていた。つまり、例えば、４枚のプリント配線基板４０が連結されて構成され集合基板の場合、１枚の他、２枚が連結された状態の基板、あるいは３枚が連結された状態の基板ごとに個々別々の基板検査プログラムを用いていた。

従って、従来の集合基板の検査においては基板検査プログラムが複数存在するので、デバッグや検査内容の変更に際し当該複数の基板検査プログラムを変更しなければならず、
作業量が大きくなり、また、基板検査プログラムの管理も煩雑になっていた。
そこで、本発明は、被検査基板を複数含む集合基板の検査を、該集合基板の一部を欠いた状態を含めて効率的に行うことを目的としている。

以下、本実施の形態に係る検査装置１２を用いた検査方法について詳細に説明する。
なお、以下において、同じ種類のＮ枚のプリント配線基板を連結して集合基板とすることを「Ｎ面付け」と称し、Ｎ枚を「面付け数」と称する場合がある。

図３は、本実施の形態に係る検査装置１２の配置状態を示している。図３（ａ）の検査対象は、電子部品４２が実装されたプリント配線基板４０ａおよび４０ｂが連結片５２（図３（ａ）の円内も参照）で連結された（つまり２面付けされた）集合基板８０ａ（以下、総称する場合は「集合基板８０」）であり、図３（ｂ）の検査対象は、電子部品４２が実装されたプリント配線基板４０ｃである。なお、同図中のＡ、Ｂは被検査基板を検査治具３０に配置した場合の位置を示しており、後述する図５等に示すＣあるいはＤについても同様である。また、本実施の形態では、位置Ａに配置された基板→位置Ｂに配置された基板の順で検査が実行される場合を例示して説明するが、これに限定されず、位置Ｂに配置された基板を先に検査してもよい。

図３では、錯綜を回避するために、検査治具３０についてはプローブピン３２のみを示し、本体を省略している。本実施の形態に係る検査治具３０は８本のプローブピン（同図では［１］ないし［８］でプローブピンのピン番号が表記されている。）３２を有し、当該８本のプローブピン３２が、集合基板８０ａの半田部４４に接触している。なお、以下では、Ｍ本のプローブピン３２を有する検査治具３０を「Ｍピン検査治具３０」と称する場合がある。

そして、本実施の形態に係る検査治具３０は、ピン番号１ないし４のプローブピン３２がプリント配線基板４０ａ上の半田部４４に接触し、ピン番号５ないし８のプローブピン３２がプリント配線基板４０ｂ上の半田部４４に接触するように構成されている。プリント配線基板４０ａとプリント配線基板４０ｂとは同じ種類のプリント配線基板であり、同じ検査が行われるので、ピン番号１ないし４のプローブピン３２とピン番号５ないし８のプローブピン３２からは同様の電気信号が出力されて各々プリント配線基板４０ａおよびプリント配線基板４０ｂに対して印加され、同様の検査が実行される。

図３（ｂ）は、集合基板８０ａを連結片５２に沿って折り分離した後に、該分離された２枚の基板のうちの１枚であるプリント配線基板４０ｃを検査する場合の検査装置１２の配置状態を示している。

プリント配線基板４０ｃを検査する場合の検査治具３０は、集合基板８０ａを検査する場合の検査治具３０と兼用であり、同じ８ピン検査治具３０を用いる。従って、図３（ａ）においてプリント配線基板４０ｂが配置される位置Ｂには、プリント配線基板４０ｂの代わりにダミーボード（擬似基板）５０ａ（以下、総称する場合は「ダミーボード５０」）を配置する。ダミーボード５０ａには、プリント配線基板４０ｂの半田部４４の位置と同じ位置に半田部４４が設けられている。以下、プリント配線基板４０ｃおよびダミーボード５０ａを含む構成を、擬似集合基板１００ａ（以下、総称する場合は「擬似集合基板１００」）と称する。

その結果、８ピン検査治具３０のピン番号１ないし４のプローブピン３２はプリント配線基板４０ｃの半田部４４に接触するとともに、ピン番号５ないし８のプローブピン３２は、ダミーボード５０ａの半田部４４に接触する。

さらに、本実施の形態に係る検査方法においては、プリント配線基板４０ａ、４０ｂ、
４０ｃ、およびダミーボード５０ａ上の半田部４４のうちの特定の半田部４４が、検査の対象となっている基板がダミーボード５０ａであるか否かを判定する判定端子となっている。
すなわち、図３（ａ）の集合基板８０ａでは、ピン番号１およびピン番号２に対応する２個の半田部４４がプリント配線基板４０ａの判定端子となっており、ピン番号５およびピン番号６に対応する２個の半田部４４がプリント配線基板４０ｂの判定端子となっている。そして、プリント配線基板４０ａあるいはプリント配線基板４０ｂにおける判定端子間の抵抗値を測定すると無限大に近い値、すなわちオープン（開放）状態となるように構成されている。

一方、図３（ｂ）の擬似集合基板１００ａでは、ピン番号１およびピン番号２に対応する２個の半田部４４がプリント配線基板４０ｃの判定端子となっている。また、ピン番号５およびピン番号６に対応する２個の半田部４４がダミーボード５０ａの判定端子となっており、当該２個の半田部４４は相互に配線パターン５４で接続されている。そのため、
図３（ｂ）の状態で検査を実行する際、ピン番号５とピン番号６との間の抵抗値を測定するとほぼ０、すなわちショート（短絡）状態となる。

以上のように、ダミーボード５０ａの判定端子間はショート状態となっており、被検査基板としてのプリント配線基板４０ａないし４０ｃの判定端子間はオープン状態となっているため、検査工程においてこの判定端子間の抵抗値を測定することにより、ダミーボード５０ａと被検査基板としてのプリント配線基板４０ａないし４０ｃとを判別することが可能となっている。
なお、図３（ｂ）において、位置Ｂに配置されたダミーボード５０ａを仮想的に検査される基板という意味で、仮想基板Ｘと称する場合がある。

次に、図４を参照して、検査装置１２で実行される基板検査処理について説明する。図４は、本実施の形態に係る基板検査プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。
図４に示す処理は、ユーザが検査対象である集合基板８０ａあるいは擬似集合基板１００ａを検査装置１２の検査治具３０に接続してセットし、操作部２０等を操作して検査の開始を指示することで、ＣＰＵ１８ＡがＲＯＭ１８Ｂあるいは不揮発性メモリ１８Ｄに記憶された基板検査プログラムを読み込むことにより実行される。すなわち、ユーザが検査装置１２の操作部２０等を操作して検査を開始（基板検査プログラムを実行）すると、検査装置１２は、プリント配線基板４０の半田部４４等にプローブピン３２を接触させてプリント配線基板４０の動作チェック等を行う。

なお、本実施の形態では、本基板検査プログラムをＲＯＭ１８Ｂ等に予め記憶させておく形態を例示して説明したが、これに限られず、本基板検査プログラムがコンピュータにより読み取り可能な記憶媒体に記憶された状態で提供される形態、有線または無線による通信手段を介して配信される形態等を適用してもよい。
また、本実施の形態では、基板検査処理を、プログラムを実行することによるコンピュータを利用したソフトウエア構成により実現しているが、これに限らない。例えば、ＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｉｆｉｃ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）を採用したハードウエア構成や、ハードウエア構成とソフトウエア構成の組み合わせによって実現してもよい。

図４において、まず、ステップＳ４００で、位置Ａに配置されたプリント配線基板４０の検査を実行する。実行された検査の結果（例えば、電圧、電流、抵抗等の測定値、合否判定結果等）は、一例として、ＲＡＭ１８Ｃ等に記憶させておいてもよい。

また、この際、位置Ａに配置されたプリント配線基板４０の判定端子間の抵抗値を測定しておいてもよい。具体的には、例えば、当該判定端子に対応するプローブピンに接続されて検査装置１２に備えられた電流源（図示省略）から電流を流し、両端子間に発生する電圧値を測定して抵抗値を求める。位置Ａに配置されたプリント配線基板４０は被検査基板なので、判定端子間はオープン状態になっている。オープン状態の確認は、オープン状態と判定すべき抵抗値の下限（例えば、１００ｋΩ）を決めておき、該抵抗値以上であればオープン状態と判定して確認してもよい。

次のステップＳ４０２では、次の位置に配置された基板の判定端子間の抵抗値を測定する。
次のステップＳ４０４では、ステップＳ４０２で測定した抵抗値に基づき、判定端子間がショート状態であるか否かを判定する。当該判定は、ショート状態と判定すべき抵抗値の上限（例えば、５Ω）を決めておき、該抵抗値以下であればショート状態と判定してもよい。

ステップＳ４０４で肯定判定となった場合には、ステップＳ４０８に移行する一方、否定判定となった場合にはステップＳ４０６に移行する。
ステップ４０６では、次の位置に配置された基板（ステップＳ４０２で抵抗値を測定した基板）の検査を実行する。

ステップＳ４０８では、検査対象の基板の面付け数であるＮ枚について検査が終了したか否かを判定する。ステップＳ４０８で否定判定となった場合にはステップＳ４０２に戻る一方、肯定判定となった場合には、本基板検査プログラムを終了する。

ここで、面付け数のＮ枚については、本基板検査プログラムに組み込んでおく形態としてもよいし、本基板検査プログラムの実行開始時に、ユーザが操作部２０等を介して入力する形態としてもよい。

次に、図４を参照しつつ、本基板検査プログラムにより図３（ａ）に示す集合基板８０ａを検査する場合の処理の流れについて説明する。本基板検査プログラムの開始に先立ち、すでに集合基板８０ａが検査治具３０にセットされ、ユーザが検査装置１２の操作部２０等を操作して検査を開始する指示を行っているものとする。

まず、ステップＳ４００で位置Ａに位置するプリント配線基板４０ａの検査を実行する。具体的には、ピン番号３およびピン番号４のプローブピン３２より半田部４４を介して電気信号を入力あるいは出力しプリント配線基板４０ａの検査を実行する。
この際、プリント配線基板４０ａの判定端子間の抵抗値を測定しておいてもよい。具体的には、ピン番号１およびピン番号２のプローブピン３２に対応する半田部４４の間の抵抗値を測定する。本実施の形態では、測定結果はオープン状態となる。

次のステップＳ４０２で、次の位置である位置Ｂに配置されたプリント配線基板４０ｂの判定端子間の抵抗値を測定する。具体的には、ピン番号５とピン番号６に対応する半田部４４の間の抵抗値を測定する。本実施の形態では、測定結果はオープン状態となる。

次のステップＳ４０４で、ステップＳ４０２で測定したプリント配線基板４０ｂの判定端子間の抵抗値がショート状態であるか否かを判定する。集合基板８０ａでは、当該判定は否定判定となるので、ステップＳ４０６に移行する。

ステップＳ４０６で、位置Ｂに配置されたプリント配線基板４０ｂの検査を実行する。
次のステップＳ４０８で、集合基板８０ａではＮ＝２なので、プリント配線基板４０ｂの検査終了後、本基板検査プログラムを終了する。

次に、図４を参照しつつ、本基板検査プログラムにより図３（ｂ）に示す擬似集合基板１００ａを検査する場合の処理の流れについて説明する。本基板検査プログラムの開始に先立ち、すでに擬似集合基板１００ａが検査治具３０にセットされ、ユーザが検査装置１２の操作部２０等を操作して検査を開始する指示を行っているものとする。

まず、ステップＳ４００で位置Ａに位置するプリント配線基板４０ｃの検査を実行する。具体的には、ピン番号３およびピン番号４のプローブピン３２より半田部４４を介して電気信号を入力あるいは出力しプリント配線基板４０ｃの検査を実行する。
この際、プリント配線基板４０ｃの判定端子間の抵抗値を測定しておいてもよい。具体的には、ピン番号１およびピン番号２のプローブピン３２に対応する半田部４４の間の抵抗値を測定する。本実施の形態では、測定結果はオープン状態となる。

次のステップＳ４０２で、次の位置である位置Ｂに配置されたダミーボード５０ａ（仮想基板Ｘ）の判定端子間の抵抗値を測定する。具体的には、ピン番号５とピン番号６に対応する半田部４４の間の抵抗値を測定する。本実施の形態では、測定結果はショート状態となる。
次のステップＳ４０４で、ステップＳ４０２で測定したダミーボード５０ａの判定端子間の抵抗値がショート状態であるか否かを判定する。

擬似集合基板１００ａでは、当該判定結果は肯定判定となり、ステップＳ４０８に移行する。
擬似集合基板１００ａでは、面付け数（被検査基板と仮想基板の合計数）である２枚についてすでに終了しているので、ステップＳ４０８で肯定判定となり本基板検査プログラムを終了する。

以上の説明で明らかなように、本実施の形態に係る検査装置および検査方法によれば、
集合基板８０ａの検査と擬似集合基板１００ａの検査とで基板検査プログラムが兼用され、１つのプログラムで両方の検査が実行される。

以上詳述したように、本実施の形態に係る検査装置および検査方法によれば、被検査基板を複数含む集合基板の検査が、該集合基板の一部を欠いた状態を含めて効率的に行われる。

［第２の実施の形態］
図５および図６を参照して、本実施の形態に係る検査装置および検査方法について説明する。本実施の形態は、第１の実施の形態において、プリント配線基板４０を４面付けにした集合基板８０を検査対象とした形態である。

図５（ａ）は、プリント配線基板４０ｄ、４０ｅ、４０ｆ、および４０ｇが連結片５２で連結された基板である集合基板８０ｂを検査する場合の配置状態を示しており、プリント配線基板４０ｄ、４０ｅ、４０ｆ、および４０ｇは各々位置Ａ、Ｂ、Ｃ、およびＤに配置される。

一方、図５（ｂ）は、被検査基板が位置Ａに配置されたプリント配線基板４０ｈのみであり、位置Ｂ、Ｃ、およびＤには、Ｌ字型に一体的に形成されたダミーボード５０ｂが配置された擬似集合基板１００ｂを検査する場合の配置状態を示している。

なお、本実施の形態において検査する順序は、位置Ａに配置された基板→位置Ｂに配置された基板→位置Ｃに配置された基板→位置Ｄに配置された基板の順序としている。しかしながら、検査する順序はこれに限られず種々変えてもよい。

図５（ａ）に示すように、上側検査治具３０Ａ（図示省略）は、ピン番号１ないし１６が付された１６本のプローブピン３２を有しており、ピン番号１ないし４のプローブピン３２がプリント配線基板４０ｄに、ピン番号５ないし８のプローブピン３２がプリント配線基板４０ｅに、ピン番号９ないし１２のプローブピン３２がプリント配線基板４０ｆに、ピン番号１３ないし１６のプローブピン３２がプリント配線基板４０ｇに、それぞれ接触するように構成されている。そして、第１の実施の形態と同様、ピン番号１および２、
ピン番号５および６、ピン番号９および１０、ピン番号１３および１４に対応する半田部４４は各々判定端子となっている。すなわち、本実施の形態では、これらの端子の間の抵抗値を測定するとオープン状態となっている。

一方、図５（ｂ）に示すように、プリント配線基板４０ｈには、図５（ａ）と同様にピン番号１ないし４のプローブピン３２が接触するように構成されている。しかしながら、
５（ｂ）では、図５（ａ）におけるプリント配線基板４０ｅないし４０ｇが存在しないので、位置ＢないしＤには代わりにＬ字型のダミーボード５０ｂが配置されている。以下、
ダミーボード５０ｂの位置Ｂ、Ｃ、およびＤに対応する部分を、便宜的にそれぞれ仮想基板Ｘ、仮想基板Ｙ、および仮想基板Ｚと称する。

図５（ｂ）において、上側検査治具３０Ａ（図示省略）のピン番号５ないし８のプローブピン３２は仮想基板Ｘに、ピン番号９ないし１２のプローブピン３２は仮想基板Ｙに、
そして、ピン番号１３ないし１６のプローブピン３２は仮想基板Ｚにそれぞれ接触するように構成されている。そして、判別端子に対応する半田部４４の間、すなわち、ピン番号５と６、ピン番号９と１０、そしてピン番号１３と１４に各々対応する半田部４４の間は配線パターン５４で接続され、これらの半田部４４の間はショート状態となっている。

本実施の形態に係る集合基板８０ｂおよび擬似集合基板１００ｂの検査も、図４のフローチャートで示される基板検査プログラムを用いて実行されるが、まず、集合線基板８０ｂを検査する場合の処理の流れを図４に沿って説明する。

まず、ステップＳ４００で位置Ａに配置されたプリント配線基板４０ｄの検査を実行する。検査した結果は、ＲＡＭ１８Ｃ等の記憶部に記憶させてもよい。
次に、ステップＳ４０２で次の基板、すなわち位置Ｂに配置されたプリント配線基板４０ｅの判定端子間の抵抗値を測定する。プリント配線基板４０ｅは被検査基板なので当該測定値はオープン状態となる。

次に、ステップＳ４０４で、ステップＳ４０２で測定した判定端子間の抵抗値がショートであるか否か判定する。集合基板８０ｂの場合は、当該判定結果は否定判定となる。
ステップＳ４０４で否定判定となったことを受けてステップＳ４０６に移行し、プリント配線基板４０ｅの検査を実行する。検査した結果は、ＲＡＭ１８Ｃ等の記憶部に記憶させてもよい。

面付け数である４枚について終了していないので、次のステップＳ４０８で否定判定となり、ステップＳ４０２に戻る。
ステップＳ４０２に戻ると、次の位置Ｃに配置されたプリント配線基板４０ｆについての、引き続き位置Ｄに配置されたプリント配線基板４０ｇについての検査が実行される。

プリント配線基板４０ｇの検査を終了した後、面付け数であるＮ枚について検査が終了するので、ステップＳ４０８において肯定判定となり、本基板検査プログラムを終了する。

次に、図４のフローチャートで示される基板検査プログラムを用いて、擬似集合基板１００ｂの検査を実行する場合の処理の流れについて説明する。

まず、ステップＳ４００で位置Ａに配置されたプリント配線基板４０ｈの検査を実行する。検査した結果は、ＲＡＭ１８Ｃ等の記憶部に記憶させてもよい。
次に、ステップＳ４０２で次の基板、すなわち位置Ｂに配置された仮想基板Ｘの判定端子間の抵抗値を測定する。仮想基板Ｘは被検査基板ではないので当該測定値はショート状態となる。

次に、ステップＳ４０４で、ステップＳ４０２で測定した判定端子間の抵抗値がショートであるか否か判定する。擬似集合基板１００ｂの場合は、当該判定結果は肯定判定となる。
ステップＳ４０４で肯定判定となったことを受け、ステップＳ４０６の基板検査をバイパスしてステップＳ４０８に移行する。面付け数である４枚について終了していないので、ステップＳ４０８における判定の結果否定判定となり、ステップＳ４０２に戻る。
ステップＳ４０２に戻ると、次の位置Ｃに配置された仮想基板Ｙについて、引き続き位置Ｄに配置された仮想基板Ｚについて検査がバイパスされる。

仮想基板Ｚの検査のバイパスを終了した後、面付け数であるＮ枚について検査または検査のバイパスが終了するので、ステップＳ４０８において肯定判定となり、本基板検査プログラムを終了する。

ここで、本実施の形態に係るダミーボード５０の形態の種類について説明する。
本実施の形態では、プリント配線基板４０がプリント配線基板４０ｈの１枚である擬似集合基板１００ｂを例示して説明したが、集合基板８０ｂの連結片５２に沿う分割方法に複数の方法があることから、プリント配線基板４０の枚数、従って擬似集合基板１００の形態にも複数の種類がある。

図６に、本実施の形態に係る擬似集合基板１００の複数の形態である擬似集合基板１００ｃ、１００ｄ、および１００ｅを示す。

図６（ａ）は、プリント配線基板４０が連結片５２（図示省略）で連結されたプリント配線基板が４０ｉおよび４０ｊの２枚の場合で、当該プリント配線基板４０と、仮想基板Ｙと仮想基板Ｚを含むダミーボード５０ｃとを備えた擬似集合基板１００ｃを示している。
また、図６（ｂ）は、プリント配線基板４０が連結片５２（図示省略）で連結されたプリント配線基板が４０ｋおよび４０ｌの２枚の場合で、当該プリント配線基板４０と、仮想基板Ｘと仮想基板Ｚを含むダミーボード５０ｄとを備えた擬似集合基板１００ｄを示している。
さらに、図６（ｃ）は、プリント配線基板４０が連結片５２（図示省略）で連結されたプリント配線基板４０ｍ、４０ｎ、および４０ｏの３枚の場合で、当該プリント配線基板４０と、仮想基板Ｚを含むダミーボード５０ｅとを備えた擬似集合基板１００ｅを示している。

本実施の形態に係る検査装置および検査方法によれば、図６に示す各擬似集合基板１００について、図４に示すフローチャートに基づく単一の基板検査プログラムで共通に検査が実行される。

以上の説明で明らかなように、本実施の形態に係る検査装置および検査方法によっても、集合基板８０ｂの検査と擬似集合基板１００ｂないし１００ｅの検査とで基板検査プログラムが共用化され、１つのプログラムで双方の検査が実行される。

以上詳述したように、本実施の形態に係る検査装置および検査方法によれば、被検査基板を複数含む集合基板の検査が、該集合基板の一部を欠いた状態を含めて効率的に行われる。

［第３の実施の形態］
図７を参照して、本実施の形態に係る検査方法を説明する。第１の実施の形態では基板（被検査基板および仮想基板）の判定端子間の抵抗値を逐一測定してプリント配線基板４０とダミーボード５０とを判別しつつ基板検査を進行させたのに対し、本実施の形態は、
最初にすべての基板の判定端子間の抵抗値を測定しておき、該測定結果に基づいて基板検査を進行させる形態である。

図７は、本実施の形態に係る基板検査プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。本実施の形態においても、すでに集合基板８０あるいは擬似集合基板１００が検査治具３０にセットされ、ユーザが検査装置１２の操作部２０等を操作して検査を開始する指示を行っているものとする。

図７において、図４に示すフローチャートと同様、まずステップＳ７００で位置Ａに配置されたプリント配線基板４０の検査を実行する。

次に、ステップＳ７０２で、残りの基板（プリント配線基板４０またはダミーボード５０の仮想基板）の判定端子間の抵抗値を測定する。
次に、ステップＳ７０４で、ステップＳ７０２で測定した各判定端子間の抵抗値を基板ごとに、ＲＡＭ１８Ｃ等の記憶部に記憶させる。

次のステップＳ７０６で、ステップＳ７０４での記憶結果に基づいて、位置Ａに配置されたプリント配線基板４０を除く被検査基板の枚数Ｍを算出する。本実施の形態では、判定端子間の抵抗値がオープン状態であるプリント配線基板４０の枚数Ｍを算出する。
次のステップＳ７０８では、Ｍが０であるか否かを判定する。

ステップＳ７０８で否定判定となった場合にはステップＳ７１０に移行して、次の被検査基板であるプリント配線基板４０の検査を実行し、次のステップＳ７１２でＭを１減少させてステップＳ７０８に戻る。一方、ステップＳ７０８で肯定判定となった場合には、
全ての被検査基板としてのプリント配線基板４０について検査を終了したので、本基板検査プログラムを終了する。

次に、本基板検査プログラムを、図５（ａ）に示す集合基板８０ｂおよび図５（ｂ）に示す擬似集合基板１００ｂの検査に適用した場合を例示して、本実施の形態における基板検査処理の流れを具体的に説明する。
まず、本基板検査プログラムを集合基板８０ｂに適用した場合について説明する。

図７において、まずステップＳ７００でプリント配線基板４０ｄの検査を実行する。
次に、ステップＳ７０２で、残りの基板（すなわち、位置ＢないしＤに配置された基板）であるプリント配線基板４０ｅ、４０ｆ、および４０ｇの判定端子間の抵抗値を測定する。当該測定結果は各々オープン状態となる。

次に、ステップＳ７０４で、ステップＳ７０２で測定した各判定端子間の抵抗値をプリント配線基板４０ごとに、ＲＡＭ１８Ｃ等の記憶部に記憶させる。本実施の形態では、プリント配線基板４０ｅ、４０ｆ、および４０ｇについて、オープン状態が記憶される。

次のステップＳ７０６で、ステップＳ７０４での測定結果に基づいて、プリント配線基板４０ｈを除く被検査基板の枚数Ｍを算出する。集合基板８０ｂでは、当該被検査基板はプリント配線基板４０ｅ、４０ｆ、および４０ｇであるからＭ＝３である。

ステップＳ７００でプリント配線基板４０ｄを検査した直後はＭ＝３なので、ステップＳ７０８で否定判定となり、ステップＳ７１０で次の被検査基板であるプリント配線基板４０ｅの検査を実行し、ステップＳ７１２でＭを１減じて２とし、ステップＳ７０８に戻る。
以降同様にプリント配線基板４０ｆおよび４０ｇについて検査を実行し、その結果Ｍが０になるのでステップＳ７０８で肯定判定となり、本基板検査プログラムを終了する。

次に、本基板検査プログラムを擬似集合基板１００ｂに適用した場合について説明する。
図７において、まず、ステップＳ７００でプリント配線基板４０ｈの検査を実行する。

次に、ステップＳ７０２で、残りの基板の判定端子間の抵抗値を測定する。擬似集合基板１００ｂの場合は、残りの基板は仮想基板Ｘ、Ｙ、およびＺであり、当該仮想基板Ｘ、
Ｙ、およびＺの判定端子間の抵抗値を測定すると各々ショート状態となる。
次に、ステップＳ７０４で、ステップＳ７０２で測定した各判定端子間の抵抗値を仮想基板Ｘ、Ｙ、およびＺごとに、ＲＡＭ１８Ｃ等の記憶部に記憶させる。本実施の形態では、仮想基板Ｘ、Ｙ、およびＺについて、ショートが記憶される。

次のステップＳ７０６で、ステップＳ７０４での測定結果に基づいて、プリント配線基板４０ｈを除く被検査基板の枚数Ｍを算出する。本実施の形態では、Ｍ＝０である。ちなみに、図６（ａ）の擬似集合基板１００ｃの場合はＭ＝１、図６（ｂ）の擬似集合基板１００ｄの場合はＭ＝１、図６（ｃ）の擬似集合基板１００ｅの場合はＭ＝２である。

次のステップＳ７０８では、Ｍが０であるか否かを判定する。擬似集合基板１００ｂの場合はすでにＭ＝０なので、肯定判定となり本基板検査プログラムを終了する。

以上の説明で明らかなように、本実施の形態に係る検査方法によっても、集合基板８０ｂの検査と擬似集合基板１００ｂないし１００ｅの検査とで基板検査プログラムが共用化され、１つのプログラムで双方の検査が実行される。

以上詳述したように、本実施の形態に係る検査装置および検査方法によれば、被検査基板を複数含む集合基板の検査が、該集合基板の一部を欠いた状態を含めて効率的に行われる。

［第４の実施の形態］
図８および図９を参照して、本実施の形態に係る検査装置および検査方法について説明する。
本実施の形態は、上記各実施の形態において、プリント配線基板４０とダミーボード５０との判別方法を変更した形態である。

図８は、プリント配線基板４０ｐおよびダミーボード５０ｆを含む擬似集合基板１００ｆを検査する場合の、検査装置１２の配置を示している。
図８において、ダミーボード５０ｆには当該基板がダミーボードであることを判別するための開口部５６が設けられている。また、上側検査治具３０Ａ（図示省略）には、検査の対象となる基板ごとにＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）カメラ等のカメラ３４が設けられている。

コンピュータ１８は、カメラ３４を制御して、ダミーボード５０上において開口部５６を含んだ一定の領域である判定部位、あるいはプリント配線基板４０において、該判定部位に対応する部位の画像情報を取得する。そして、コンピュータ１８は、当該画像情報を解析することにより、判定部位に開口部５６が含まれるか否かを判定して、画像書情報を取得した基板がプリント配線基板４０であるかダミーボード５０であるかを判定する。

図９は、本実施の形態に係る基板検査処理を、図４に示す基板検査処理のフローに則して実行する場合の、基板検査プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。

まず、ステップＳ９００で、位置Ａに配置されたプリント配線基板４０の検査を実行する。

次のステップＳ９０２では、次の位置Ｂに配置された基板の判定部位の画像情報を取得する。
次のステップＳ９０４では、ステップＳ９０２で取得した画像情報に基づき判定部位に開口部５６が検出されたか否か判定し、当該判定の結果が肯定判定となった場合にはステップＳ９０８に移行する一方、否定判定となった場合にはステップ９０６に移行する。

ステップＳ９０６では、次のプリント配線基板４０（被検査基板）の検査を実行する。
ステップＳ９０８では、面付け数であるＮ枚の基板について終了したか否かを判定し、
該判定結果が否定判定となった場合にはステップＳ９０２に戻る一方、肯定判定となった場合には、本基板検査プログラムを終了する。

次に、図８に示す擬似集合基板１００ｆに本基板検査プログラムを適用した場合の処理の流れを説明する。

まず、ステップＳ９００で、位置Ａに配置されたプリント配線基板４０ｐの検査を実行する。
この際、位置Ａにプリント配線基板４０が配置されているか否かを確認するため、カメラ３４によりプリント配線基板４０ｐの判定部位の画像情報を取得してもよい。本実施の形態では、開口部５６は検出されない。

次のステップＳ９０２では、次に位置する基板がダミーボード５０ｆなので開口部５６が検出される。すると、ステップＳ９０４で肯定判定となるので、ステップＳ９０８に移行し、擬似集合基板１００ｆの面付け数である２枚についてすでに終了しているので、ステップＳ９０８で肯定判定となり、本基板検査プログラムを終了する。

一方、擬似集合基板１００ｆに対応する集合基板である集合基板８０ａ（図３（ａ）参照）に適用した場合の本実施の形態に係る基板検査プログラムの処理の流れは以下のとおりである。

まず、ステップＳ９００でプリント配線基板４０ａの検査を実行する。
次のステップＳ９０２で、プリント配線基板４０ｂについて判定部位の画像情報を取得する。
次のステップＳ９０４で、開口部５６が検出されたか否かについて判定した結果検出されないので、ステップＳ９０６に移行しプリント配線基板４０ｂについて検査を実行する。

次のステップＳ９０８では、集合基板８０ａの面付け数である２枚についてすでに終了しているので肯定判定となり、本基板検査プログラムを終了する。

以上の説明で明らかなように、本実施の形態に係る検査装置および検査方法によれば、
集合基板８０ａの検査と擬似集合基板１００ｆの検査とで基板検査プログラムが兼用され、１つのプログラムで両方の検査が実行される。

以上詳述したように、本実施の形態に係る検査装置および検査方法によれば、被検査基板を複数含む集合基板の検査が、該集合基板の一部を欠いた状態を含めて効率的に行われる。

なお、上記実施の形態では、面付け数が２枚の場合について例示して説明したが、図５および図６に示す面付け数４枚の場合、さらには、一般的に面付け数Ｎ枚の場合にも同様に適用が可能である。

また、本実施の形態では、基板検査処理を、図４に示す基板検査処理のフローに則して実行する形態を例示して説明したが、これに限られず、図７に示す基板検査処理のフローに則して本実施の形態に係る基板検査処理を実行する形態としてもよい。

この場合ステップＳ７０２で、残りの基板の判定部位の画像情報を取得して開口部５６の有無を判定し、ステップＳ７０４で各基板ごとの判定結果をＲＡＭ１８Ｃ等の記憶部に記憶させ、ステップＳ７０６でその判定結果基づいて、被検査基板の枚数Ｍを算出すればよい。
ステップＳ７０８以降の処理は先述と同様であるので、説明を省略する。

なお、本実施の形態で説明した検査装置１２の構成（図１、２参照）は一例であり、本発明の主旨を逸脱しない範囲内において不要な部分を削除したり、新たな部分を追加したりしてもよい。

例えば、上記各実施の形態では、プローブピン３２が備えられた検査治具３０を用いる形態の検査装置を例示して説明したが、本発明はこれに限定されず、プローブピンがプリント配線基板４０の各検査点に移動して検査を実行するいわゆるフィクスチャレス型の検査装置に適用してもよい。

また、上記各実施の形態では、プリント配線基板４０とダミーボード５０とを判別端子間の抵抗値により判別するに際し、プリント配線基板４０の判別端子間の抵抗値をオープン状態、ダミーボード５０の判別端子間の抵抗値をショート状態にする形態を例示して説明したが、これに限られず、例えばこれらを逆にして、プリント配線基板４０の判別端子間の抵抗値をショート状態、ダミーボード５０の判別端子間の抵抗値をオープン状態としてもよい。ただし、ダミーボード５０の判定端子間をオープン状態とすると誤検査が発生し易いため、ショート状態とした方が好ましい。プローブピン３２あるいはダミーボード５０に異物が付着して、判別端子間が一定の抵抗値で接続される場合があるからである。
さらには、判別端子間の抵抗値はオープン、ショート状態に限られず、予め定められた抵抗値、例えば、プリント配線基板４０については判別端子間の抵抗値が１００ｋΩ〜２００ｋΩ、ダミーボードについては判別端子間の抵抗値が１００Ω〜２００Ωとして両者を判別してもよい。

また、上記各実施の形態では、ダミーボード５０の判別端子間をショート状態にする構成として、判別端子間を配線パターン５４で接続する形態を例示して説明したが、これに限られず、プローブピン３２が接触するダミーボード５０の表面全体を配線パターン覆う形態（いわゆるベタパターン）としてもよい。

また、上記実施の形態では、プリント配線基板４０とダミーボード５０とを判別する方法として、開口部５６の有無をカメラ３４により取得された画像情報に基づいて判断し、
判別する方法を例示して説明したが、本発明はこれに限られない。例えば、開口部５６の有無を、各基板（プリント配線基板４０およびダミーボード５０）に対応させて検査治具３０に設けられた棒状接触センサにより判断し判別する方法を採用してもよい。あるいは、プリント配線基板４０とダミーボード５０とで反射率（物理的特性）の異なる判定部位を各基板上に形成し、各基板に対応させて検査治具３０に投光器、受光器の組み合わせを設けておき、投光器から判定部位に向けて照射した光を受光器で受光して、その受光量の違いによりプリント配線基板４０とダミーボード５０とを区別してもよい。

また、本実施の形態では、まず位置Ａに配置されたプリント配線基板４０について検査を実行した後、次の基板について順次検査を実行する形態を例示して説明したが、これに限られず、例えば、位置に関わらず判定端子間の抵抗値を測定し被検査基板か擬似基板（仮想基板）かを判断しつつ、当該基板の種類に応じてプログラムを切り替えて検査を実行していく形態としてもよい。

さらに、上記各実施の形態で説明した基板検査プログラムの処理の流れ（図４、７、９参照）も一例であり、本発明の主旨を逸脱しない範囲内において不要なステップを削除したり、新たなステップを追加したり、処理順序を入れ替えたりしてもよい。

１２ 検査装置
１８ コンピュータ
１８Ａ ＣＰＵ
１８Ｂ ＲＯＭ
１８Ｃ ＲＡＭ
１８Ｄ 不揮発性メモリ
１８Ｅ Ｉ／Ｏ
１８Ｆ バス
２０ 操作部
２２ 表示部
２８ ケーブル
３０ 検査治具
３０Ａ 上側検査治具
３０Ｂ 下側検査治具
３２、３２ａ、３２ｂ、３２ｃ プローブピン
３４ カメラ
４０、４０ａないし４０ｐ プリント配線基板（被検査基板）
４２、４２ａ、４２ｂ 電子部品
４４、４４ａ、４４ｂ、４４ｃ 半田部
５０、５０ａないし５０ｆ ダミーボード（擬似基板）
５２ 連結片
５４ 配線パターン
５６ 開口部
８０、８０ａ、８０ｂ 集合基板
１００、１００ａないし１００ｆ 擬似集合基板
Ｘ、Ｙ、Ｚ 仮想基板

Claims (10)

1. 複数の被検査基板が予め定められた配置状態で集合する集合基板、及び前記集合基板の少なくとも１枚の前記被検査基板に代えて前記被検査基板とは異なる擬似基板が配置された擬似集合基板を検査するに当たり、検査対象が前記擬似基板であるか否かを判定する判定手段と、
   前記判定手段で判定された前記擬似基板以外の前記被検査基板を検査する検査手段と、
   を備えた検査装置。
2. 前記判定手段は、前記擬似基板及び前記被検査基板の各々に設けられた一対の端子の間の電気的特性の差異に基づいて、検査対象が前記擬似基板であるか否かを判定する
   請求項１に記載の検査装置。
3. 前記電気的特性が抵抗値である
   請求項２に記載の検査装置。
4. 前記判定手段は、前記一対の端子の間が短絡されているか開放されているかの差異に基づいて、検査対象が前記擬似基板であるか否かを判定する
   請求項３に記載の検査装置。
5. 前記判定手段は、前記擬似基板と前記被検査基板との形状の差異、又は物理的特性の差異に基づいて、検査対象が前記擬似基板であるか否かを判定する
   請求項１に記載の検査装置。
6. 前記判定手段は、前記擬似基板又は前記被検査基板に設けられた開口部の有無に基づいて、検査対象が前記擬似基板であるか否かを判定する
   請求項５に記載の検査装置。
7. 前記擬似基板の枚数が複数であり、該複数の擬似基板が一体的に形成されている
   請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の検査装置。
8. 予め定められた電気的特性を有する一対の被接触部が設けられた複数の被検査基板が予め定められた配置状態で一体的に構成された集合基板、及び当該集合基板の少なくとも１枚の前記被検査基板に代えて、前記一対の被接触部と同一の位置に当該一対の被接触部とは異なる電気的特性を有する一対の被接触部が設けられた擬似基板が配置されることにより、全体として前記集合基板と同一形状、又は略同一形状とされた擬似集合基板を検査するに当たり、前記集合基板及び前記擬似集合基板における前記被検査基板及び前記擬似基板に設けられた前記一対の被接触部に接触される一対の接触子と、
   前記一対の接触子が前記被検査基板又は前記擬似基板の前記一対の被接触部に接触された状態で前記電気的特性を検出する検出手段と、
   前記検出手段による検出結果に基づいて、前記一対の接触子が接触された基板が前記被検査基板なのか、前記擬似基板なのかを判定する判定手段と、
   前記判定手段によって前記被検査基板であると判定された場合、当該被検査基板に対して、単一の前記被検査基板を検査するものとして予め作成された検査プログラムにより検査する検査手段と、
   を備えた検査装置。
9. 複数の被検査基板が予め定められた配置状態で集合する集合基板、及び前記集合基板の少なくとも１枚の前記被検査基板に代えて前記被検査基板とは異なる擬似基板が配置された擬似集合基板を検査するに当たり、検査対象が前記擬似基板であるか否かを判定し、判定された前記擬似基板以外の前記被検査基板を検査する
   検査方法。
10. コンピュータを、
    複数の被検査基板が予め定められた配置状態で集合する集合基板、及び前記集合基板の少なくとも１枚の前記被検査基板に代えて前記被検査基板とは異なる擬似基板が配置された擬似集合基板を検査するに当たり、検査対象が前記擬似基板であるか否かを判定する判定手段と、
    前記判定手段で判定された前記擬似基板以外の前記被検査基板を検査する検査手段と、
    として機能させるためのプログラム。
    

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