JP5384192B2 - 部品実装装置 - Google Patents

Description

この発明は、部品実装装置に関し、特に、部品が装着される基板を搬送する基板搬送装置を備えた部品実装装置に関する。

従来、部品が装着される基板を搬送する基板搬送装置を備えた部品実装装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

上記特許文献１では、基板搬送方向と直交する方向に互いに対向するように配置された第１レール（サポートレール部２１）および第２レール（サポートレール部２２）と、基板搬送方向と直交する方向に延びるボールネジ軸（３５）と、ボールネジ軸を回転駆動させる駆動モータ（サポートレール部移動用モータ４０）と、第１レールに回転可能に取り付けられるとともにボールネジ軸に螺合する第１ナット（２７）と、第２レールに固定的に取り付けられるとともにボールネジ軸に螺合する第２ナット（４８）と、第１レールに取り付けられた第１ナットを回転不可状態または回転可能状態に切り替える切替機構（選択ロック機構７０）とを含む基板搬送装置を備えた部品実装装置が開示されている。この基板搬送装置では、第１レールが所定の基準位置に配置されるまで、第１レールおよび第２レールを移動させた後、所定の基準位置で切替機構により第１ナットを回転可能状態にするとともに、切替機構に設けられたピンが所定位置に形成された穴部に係合することによって第１レールが固定されるように構成されている。第１レールが固定された状態でボールネジ軸を回転させると、第１ナットがボールネジ軸とともに回転することによって第１レールが基準位置に固定されたままとなる。一方、第２レールはボールネジ軸の回転によって基板搬送方向と直交する方向に移動する。これにより、基板搬送装置の第１レールを基準位置に固定した状態で第２レールを移動させることにより、第１レールと第２レールとの間隔を、搬送する基板の幅（搬送方向と直交する方向の幅）に合わせて変更することが可能である。

ＷＯ０１／０２６４４０号公報

しかしながら、上記特許文献１の部品実装装置では、第１レールおよび第２レールの間隔を調整する際に、切替機構により第１ナットを回転可能状態とし、かつ、ピンを穴部に係合させて第１レールを固定するために、第１レールが所定の基準位置に配置されるまで第１レールおよび第２レールを移動させる必要があるので、第１レールおよび第２レールを移動させる分、基板幅の変更時の準備作業に要する時間が増加するという問題点がある。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、基板幅の変更時の準備作業に要する時間を短縮することが可能な部品実装装置を提供することである。

課題を解決するための手段および発明の効果

上記目的を達成するために、この発明の第１の局面による部品実装装置は、基板に部品を装着する実装ヘッド部を含むヘッドユニットと、搬送路から搬入される基板を所定の搬送方向に搬送する基板搬送装置とを備え、基板搬送装置は、平面的に見て、基板の搬送方向と直交する方向に対向するように配置され、搬送方向に基板を搬送する第１コンベア部および第２コンベア部を含み、第１コンベア部および第２コンベア部は、平面的に見て、それぞれ搬送方向と直交する方向に独立して移動可能に構成されており、基板搬送装置は、少なくとも第１コンベア部を搬送方向と直交する方向に移動させる第１駆動部と、第２コンベア部を搬送方向と直交する方向に移動させる第２駆動部とを含み、基板搬送装置の動作を制御する制御部をさらに備え、制御部は、搬送路から基板を搬入可能な位置に第１コンベア部または第２コンベア部の一方を配置した状態で、第１コンベア部または第２コンベア部の他方を搬送方向と直交する方向に移動させることにより、第１コンベア部と第２コンベア部との搬送方向と直交する方向の間隔を調整するように、第１駆動部および第２駆動部を制御可能に構成されており、制御部は、基板搬送装置に基板が搭載されていない状態で、第１コンベア部および第２コンベア部の搬送方向に直交する方向への移動速度をそれぞれ異ならせることにより第１コンベア部と第２コンベア部との搬送方向と直交する方向の間隔を調整するように移動するように、第１駆動部および第２駆動部を制御可能に構成されており、基板搬送装置は、搬送方向と直交する方向に延びるように設けられ、第１駆動部により回転駆動されるネジ軸と、ネジ軸に螺合される第１ナットおよび第２ナットとをさらに含み、第１ナットは、第１コンベア部に固定され、第２ナットは、第２コンベア部に回転可能に取り付けられるとともに、第２駆動部によりネジ軸に対して回転駆動されるように構成されている。

この一の局面による部品実装装置では、上記のように、搬送方向に基板を搬送する第１コンベア部および第２コンベア部を、平面的に見て、それぞれ搬送方向と直交する方向に独立して移動可能に構成することによって、一方のコンベア部を上述した基準位置などの定位置まで移動させて固定しなくても、任意の位置において第１コンベア部と第２コンベア部との間隔を搬送される基板の幅（搬送方向と直交する方向の幅）に一致させるように調整することができる。これにより、上述した基準位置などの定位置まで第１レールおよび第２レールを移動させ、第１レールを固定した後に第１レールおよび第２レールの間隔を調整する場合と比較して、基板幅の変更時の準備作業に要する時間を短縮することができる。

また、上記第１の局面による部品実装装置では、基板搬送装置は、少なくとも第１コンベア部を搬送方向と直交する方向に移動させる第１駆動部と、第２コンベア部を搬送方向と直交する方向に移動させる第２駆動部とを含む。このように構成すれば、第１駆動部と第２駆動部とによって、容易に第１コンベア部と第２コンベア部とをそれぞれ搬送方向と直交する方向に独立して移動可能とすることができる。

また、上記第１の局面による部品実装装置では、基板搬送装置の動作を制御する制御部をさらに備え、制御部は、搬送路から基板を搬入可能な位置に第１コンベア部または第２コンベア部の一方を配置した状態で、第１コンベア部または第２コンベア部の他方を搬送方向と直交する方向に移動させることにより、第１コンベア部と第２コンベア部との搬送方向と直交する方向の間隔を調整するように、第１駆動部および第２駆動部を制御可能に構成されている。このように構成すれば、第１コンベア部と第２コンベア部との間隔の調整時に、搬送路から基板を搬入可能な位置に第１コンベア部または第２コンベア部の一方を配置した状態で、他方を移動させて第１コンベア部と第２コンベア部との間隔を調整することによって、第１コンベア部および第２コンベア部の移動距離を少なくすることができる。これにより、上述した基準位置などの定位置へ移動させて第１コンベア部と第２コンベア部との間隔を調整した後、搬送路からの基板の搬入位置まで第１コンベア部と第２コンベア部とを移動させる構成と比べて、基板幅の変更時の準備作業に要する時間をさらに短縮することができる。

また、上記第１の局面による部品実装装置では、基板搬送装置の動作を制御する制御部をさらに備え、制御部は、基板搬送装置に基板が搭載されていない状態で、第１コンベア部および第２コンベア部の搬送方向に直交する方向への移動速度をそれぞれ異ならせることにより第１コンベア部と第２コンベア部との搬送方向と直交する方向の間隔を調整するように移動するように、第１駆動部および第２駆動部を制御可能に構成されている。このように構成すれば、基板幅の変更時の準備作業のために第１コンベア部および第２コンベア部を所定の作業位置に移動させる場合などに、第１コンベア部および第２コンベア部の移動速度をそれぞれ異ならせることによって第１コンベア部と第２コンベア部との間隔を調整しながら作業位置に移動させることができる。これにより、第１コンベア部および第２コンベア部の作業位置への移動と間隔の調整とを同時に行うことができるので、間隔の調整と作業位置への移動とを個別に行う場合と比較して、基板幅の変更時の準備作業に要する時間をさらに短縮することができる。

また、上記第１の局面による部品実装装置では、基板搬送装置は、搬送方向と直交する方向に延びるように設けられ、第１駆動部により回転駆動されるネジ軸と、ネジ軸に螺合される第１ナットおよび第２ナットとをさらに含み、第１ナットは、第１コンベア部に固定され、第２ナットは、第２コンベア部に回転可能に取り付けられるとともに、第２駆動部によりネジ軸に対して回転駆動されるように構成されている。このように構成すれば、第１駆動部によりネジ軸を回転駆動することによって第１コンベア部および第２コンベア部の両方を移動させることができるので、第１コンベア部と第２コンベア部とを容易に同期させて移動させることができる。また、第２駆動部により第２ナットを回転駆動することによって第２コンベア部のみを移動させることができるので、第１駆動部と第２駆動部とによる駆動を組み合わせて第１コンベア部および第２コンベア部をそれぞれ独立して移動させることができる。
この発明の第２の局面による部品実装装置は、基板に部品を装着する実装ヘッド部を含むヘッドユニットと、搬送路から搬入される基板を所定の搬送方向に搬送する基板搬送装置とを備え、基板搬送装置は、平面的に見て、基板の搬送方向と直交する方向に対向するように配置され、搬送方向に基板を搬送する第１コンベア部および第２コンベア部を含み、第１コンベア部および第２コンベア部は、平面的に見て、それぞれ搬送方向と直交する方向に独立して移動可能に構成されており、基板搬送装置は、少なくとも第１コンベア部を搬送方向と直交する方向に移動させる第１駆動部と、第２コンベア部を搬送方向と直交する方向に移動させる第２駆動部とを含み、基板搬送装置は、搬送方向と直交する方向に延びるように設けられ、第１駆動部により回転駆動されるネジ軸と、ネジ軸に螺合される第１ナットおよび第２ナットとをさらに含み、第１ナットは、第１コンベア部に固定され、第２ナットは、第２コンベア部に回転可能に取り付けられるとともに、第２駆動部によりネジ軸に対して回転駆動されるように構成されている。

上記第１または第２の局面において、好ましくは、ネジ軸とネジ軸に螺合する第１ナットおよび第２ナットとは、搬送方向に所定の間隔を隔てて一対ずつ設けられ、一対の第２ナットには、第１プーリがそれぞれ一体的に回転可能に設けられ、第２駆動部には、第２プーリが回転駆動されるように設けられ、一対の第２ナットのそれぞれに設けられた複数の第１プーリと、第２駆動部により回転駆動される第２プーリとがベルトを介して連結されることによって、第２駆動部により一対の第２ナットが同期して回転駆動されるように構成されている。このように構成すれば、一対のネジ軸のそれぞれに（一対の）第２ナットを設けた場合にも、第２駆動部による第２ナットの回転駆動を、複数の第１プーリ、第２プーリおよびベルトを用いて容易に同期させることができる。

上記基板搬送装置のネジ軸と第１ナットおよび第２ナットとを、搬送方向に沿って並ぶようにそれぞれ一対ずつ設けた構成において、好ましくは、昇降可能に構成されるとともに、基板搬送装置に搭載された基板を下方から支持する支持板を含む基板支持装置をさらに備え、支持板は、基板搬送装置の一対のネジ軸の上方に配置されるとともに、平面的に見て、一対のネジ軸の互いに対向する側とは反対側の外縁部同士の両外側まで一対のネジ軸の両方を覆うように形成されている。このように構成すれば、ネジ軸の上方に配置された支持板により一対のネジ軸の両方をネジ軸の外縁部の外側まで覆うことによって、回転駆動されるネジ軸に上方から異物が付着するのを抑制することができる。また、この支持板により、ネジ軸の回転によってグリスなどが上方に飛散するのを抑制することができる。これにより、ネジ軸に異物が付着することに起因する故障等を抑制することができるとともに、ネジ軸回転時に飛散するグリスが基板等に付着するのも抑制することができる。

上記第１または第２の局面による部品実装装置において、第２駆動部は、第２コンベア部に取り付けられる中空モータからなり、中空モータは、ネジ軸が貫通するとともに第２ナットに連結され、第２ナットを回転駆動する筒状のロータを有するように構成されている。

本発明の第１実施形態による表面実装機の全体構成を示す平面図である。 図１に示した第１実施形態による表面実装機のプリント基板をＹ方向に移動可能な基板搬送装置の側面を示す図である。 図１に示した第１実施形態による表面実装機のコンベア間隔の調整のみが可能な基板搬送装置の側面を示す図である。 図１に示した第１実施形態による表面実装機のプリント基板をＹ方向に移動可能な基板搬送装置を第１ヘッドユニット側から示した背面図である。 本発明の第１実施形態による表面実装機により小型のプリント基板の部品搭載を行う場合の平面図である。 図５に示した表面実装機のプリント基板をＹ方向に移動可能な基板搬送装置の側面を示す図である。 本発明の第１実施形態による表面実装機の基板搬送コンベアを第２ヘッドユニット側から示した正面図である。 図１の２００−２００線に沿った基板搬送コンベアの断面図である。 本発明の第１実施形態による表面実装機のプリント基板をＹ方向に移動可能な基板搬送装置を示した断面図である。 本発明の第１実施形態による表面実装機のプリント基板をＹ方向に移動可能な基板搬送装置の搬送位置を説明するための図である。 本発明の第１実施形態による表面実装機の制御的な構成を説明するためのブロック図である。 本発明の第１実施形態による表面実装機の基板搬送動作および部品実装動作を説明するためのタイミングチャートである。 本発明の第１実施形態による表面実装機の基板搬送動作および部品実装動作を説明するためのタイミングチャートである。 本発明の第２実施形態による表面実装機のプリント基板をＹ方向に移動可能な基板搬送装置を示す断面図である。 本発明の第３実施形態による表面実装機のプリント基板をＹ方向に移動可能な基板搬送装置を示す断面図である。 本発明の第４実施形態による表面実装機のプリント基板をＹ方向に移動可能な基板搬送装置を示す断面図である。 本発明の第１実施形態による表面実装機の変形例を示す平面図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

（第１実施形態）
以下、図１〜図１１を参照して、本発明の第１実施形態による表面実装機１００の構造について説明する。なお、表面実装機１００は、本発明の「部品実装装置」の一例である。

図１に示すように、第１実施形態による表面実装機１００は、プリント基板１に部品を実装する装置である。図１に示すように、表面実装機１００は、Ｘ方向に延びる基板搬送コンベア２と、基板搬送コンベア２の上方をＸＹ方向に移動可能な第１ヘッドユニット３および第２ヘッドユニット４とを備えている。これらの基板搬送コンベア２と第１ヘッドユニット３および第２ヘッドユニット４とは、それぞれ基台５上に配置されている。矢印Ｙ１方向側に配置された第１ヘッドユニット３と矢印Ｙ２方向側に配置された第２ヘッドユニット４とは、互いに向かい合うようにして、それぞれ基台５上において基板搬送コンベア２の上方に配置されている。また、基板搬送コンベア２の両側には、部品を供給するための複数のテープフィーダ６がＸ方向に配列されて部品供給部が形成されている。第１ヘッドユニット３および第２ヘッドユニット４は、テープフィーダ６の部品取出部６ａから部品を取得するとともに、基板搬送コンベア２上のプリント基板１に部品を実装する機能を有する。また、基台５上には、第１ヘッドユニット３および第２ヘッドユニット４の後述する実装ヘッド部９０に交換可能に装着された吸着ノズル９１を交換するためのノズル交換装置７と、ノズル清掃装置８と、不良部品を廃棄する部品廃棄箱９ａおよび９ｂとが配置されている。なお、部品は、ＩＣ、トランジスタ、コンデンサおよび抵抗などの小型の電子部品である。なお、プリント基板１は、本発明の「基板」の一例である。また、第１ヘッドユニット３および第２ヘッドユニット４は、それぞれ、本発明の「ヘッドユニット」の一例である。以下、表面実装機１００の具体的な構造を説明する。

基板搬送コンベア２は、図示しない搬送路から搬入されるプリント基板１をＸ方向に搬送し、所定の実装作業位置にプリント基板１を配置するとともに、実装作業が終了したプリント基板１を搬出する機能を有する。なお、第１実施形態では、図示しない搬送路によって基板搬送コンベア２の矢印Ｘ１方向側（上流側）からプリント基板１が搬入され、実装作業後、矢印Ｘ２方向側（下流側）の図示しない搬送路に搬出される。基板搬送コンベア２は、入口搬送装置１０と、基板搬送装置２０と、基板搬送装置３０との３つの搬送装置から構成されており、入口搬送装置１０、基板搬送装置２０および基板搬送装置３０は、矢印Ｘ１方向側（上流側）から矢印Ｘ２方向へこの順に配列されている。なお、基板搬送装置２０は、本発明の「基板搬送装置」の一例である。

入口搬送装置１０は、Ｙ方向に対向する一対のコンベア部１１および１２を有し、基板搬送装置２０は、Ｙ方向に対向する一対のコンベア部２１および２２を有し、基板搬送装置３０は、Ｙ方向に対向する一対のコンベア部３１および３２を有する。基板搬送コンベア２は、これらのコンベア部（１１、１２、２１、２２、３１、および、３２）によってプリント基板１を支持しながらＸ方向に搬送するように構成されている。第１実施形態では、入口搬送装置１０と、基板搬送装置２０と、基板搬送装置３０とは、各一対のコンベア部（１１および１２、２１および２２、３１および３２）のＹ方向の間隔（コンベア間隔Ｄ）を変更することにより、Ｙ方向の幅の異なるプリント基板１を搬送することが可能なように構成されている。また、基板搬送装置２０は、一対のコンベア部２１および２２が、それぞれＹ方向に独立して移動可能に構成されている。また、基板搬送装置３０は、矢印Ｙ２方向側のコンベア部３２が基台５に固定的に設置されている一方、矢印Ｙ１方向側のコンベア部３１がＹ方向に移動可能に設けられている。これにより、基板搬送装置２０と基板搬送装置３０とは、入口搬送装置１０から搬入される幅Ｗ１を有する大型のプリント基板１ａを実装作業位置Ｐ１に搬送して実装作業を行うことが可能に構成されている。また、基板搬送装置２０は、図５および図６に示すように、幅Ｗ２を有する小型のプリント基板１ｂを実装作業位置Ｐ２に移動して、実装作業位置Ｐ３でプリント基板１ｂを保持する基板搬送装置３０とともに、２枚のプリント基板１ｂの実装作業を並行して行うことが可能なように構成されている。なお、コンベア部２１およびコンベア部２２は、それぞれ、本発明の「第２コンベア部」および「第１コンベア部」の一例である。また、プリント基板１ａおよびプリント基板１ｂは、それぞれ、本発明の「基板」の一例である。

図１に示すように、入口搬送装置１０は、Ｙ方向に対向する一対のコンベア部１１および１２と、コンベア部１１および１２の間隔（コンベア間隔）を調整するための一対のボールネジ軸１３ａおよび１３ｂ（図８参照）と、１つのスプライン軸１４とを有している。図８に示すように、矢印Ｙ１方向側のコンベア部１１の上面には、プリント基板１を搬送するための搬送ベルト１１１と、Ｘ方向に延びるガイドレール１１２とが設けられている。搬送ベルト１１１は、ガイドレール１１２に沿うように設けられ、複数のプーリを介して、スプライン軸１４にＹ方向に移動可能に嵌まり込むプーリ１１３に巻き掛けられている。同様に、矢印Ｙ２方向側のコンベア部１２の上面には、搬送ベルト（図示せず）と、Ｘ方向に延びるガイドレール１２２とが設けられている。コンベア部１２の搬送ベルトも、搬送ベルト１１１と同様に、スプライン軸１４と一体的に回転するように設けられたプーリ（図示せず）に巻き掛けられている。このスプライン軸１４が図示しない搬送モータによって回転されることによって、コンベア部１１の搬送ベルト１１１およびコンベア部１２の搬送ベルトを送り、プリント基板１を搬送するように構成されている。また、ガイドレール１１２および１２２は、コンベア部１１の搬送ベルト１１１およびコンベア部１２の搬送ベルトによって搬送されるプリント基板１をＸ方向に搬送されるようにガイドしている。

また、図１に示すように、矢印Ｙ２方向側のコンベア部１２は、矢印Ｙ２方向側のテープフィーダ６の近傍において基台５に固定的に設置され、矢印Ｙ１方向側のコンベア部１１は、Ｙ方向に移動可能に設けられている。具体的には、矢印Ｙ２方向側のコンベア部１２は、Ｙ方向に延びる一対のボールネジ軸１３ａおよび１３ｂを軸受（図示せず）を介して回転可能に支持するとともに、矢印Ｙ１方向側のコンベア部１１には、図８に示すように、ボールネジ軸１３ａおよび１３ｂとそれぞれ螺合するボールナット１１４が固定的に設けられている。一方、ボールネジ軸１３ａおよび１３ｂの矢印Ｙ２方向側の端部には、図７に示すように、それぞれプーリ１５ａおよび１５ｂが連結されるとともに、互いにベルト１５ｃが巻き掛けられている。これらのボールネジ軸１３ａおよび１３ｂをベルト１５ｃによって同期して回転させることにより、矢印Ｙ１方向側のコンベア部１１がボールナット１１４を介してＹ方向に移動するように構成されている。これにより、搬送されるプリント基板１の大きさ（Ｙ方向の幅Ｗ１またはＷ２）に応じて、矢印Ｙ１方向側のコンベア部１１を移動させてコンベア間隔Ｄ（コンベア部１１および１２の間隔）を調整することが出来るように構成されている。なお、コンベア間隔Ｄの調整のためのボールネジ軸１３ａおよび１３ｂの駆動は、基板搬送装置３０に設けられた後述する駆動モータ３４の駆動力が伝達されることにより行われる。

基板搬送装置２０は、図１に示すように、矢印Ｙ１方向側のコンベア部２１および矢印Ｙ２方向側のコンベア部２２と、各コンベア部２１および２２のＹ方向への移動のための一対のボールネジ軸２３ａおよび２３ｂと、各コンベア部２１および２２にそれぞれ設けられた搬送ベルト２１１および２２１（図２参照）を送るための１つのスプライン軸２４とを有している。また、基板搬送装置２０は、コンベア部２１およびコンベア部２２の両方をＹ方向に移動させるための駆動モータ２５と、コンベア部２１を付加的にＹ方向に移動させるための回転モータ２６と、スプライン軸２４を回転駆動することにより搬送ベルト２１１、２２１上に搭載されるプリント基板１をＸ方向に搬送するための搬送モータ２７とを有している。なお、ボールネジ軸２３ａおよび２３ｂは、それぞれ、本発明の「ネジ軸」の一例である。また、駆動モータ２５および回転モータ２６は、それぞれ、本発明の「第１駆動部」および「第２駆動部」の一例である。

図４に示すように、矢印Ｙ１方向側のコンベア部２１は、フレーム２１３から構成されている。このフレーム２１３は、Ｘ方向に延びるガイドレール２１２が設けられた梁部２１３ａと、梁部２１３ａの両端を支持する一対の柱部２１３ｂおよび２１３ｃと、柱部２１３ｂおよび２１３ｃにそれぞれ接続され、下端にスライダ２１４が設けられた一対の脚部２１３ｄおよび２１３ｅとを有する。コンベア部２１は、スライダ２１４を介して、基台５上にＹ方向に延びるように設けられた一対のレール５ａ、５ａに沿って移動可能に支持されている。

また、コンベア部２１のフレーム２１３の矢印Ｘ１方向側の柱部２１３ｃには、スプライン軸２４と回転方向に係止するとともにＹ方向に移動可能に嵌まるプーリ２１５がブラケット２１５ａを介して取り付けられている。図８に示すように、複数のプーリを介して梁部２１３ａの上端に沿って張り渡された搬送ベルト２１１がこのプーリ２１５に巻き掛けられていて、搬送モータ２７によるスプライン軸２４の回転によって搬送ベルト２１１が送られるように構成されている。

図８に示すように、コンベア部２１には、フレーム２１３の脚部２１３ｄおよび２１３ｅに、それぞれボールネジ軸２３ａおよび２３ｂと螺合するボールナット２１６、２１６が回転可能に設けられている。具体的には、図９に示すように、ボールナット２１６は、脚部２１３ｅ（２１３ｄ）に取り付けられたベアリング２１６ｂによって、ベアリングホルダ２１６ａを介して回転可能に支持されている。このボールナット２１６のベアリングホルダ２１６ａは、ボールナット２１６と、プーリ２１６ｃとに連結されていて、これらのボールナット２１６、ベアリングホルダ２１６ａおよびプーリ２１６ｃが一体的に回転するように構成されている。図４に示すように、ベアリングホルダ２１６ａに連結されたプーリ２１６ｃには、回転モータ２６（サーボモータ）の出力軸に設けられたプーリ２６１と噛み合うベルト２６２が巻き掛けられていて、サーボモータが外力に対してその位置（回転角度位置）を保持することによってボールナット２１６（ベアリングホルダ２１６ａ、プーリ２１６ｃ）を固定された状態に保持することが可能なように構成されている。この結果、ボールナット２１６が固定されている状態で駆動モータ２５によりボールネジ軸２３ａおよび２３ｂがボールナット２１６に対して回転することにより、コンベア部２１がＹ方向に移動するように構成されている。また、回転モータ２６により、ボールネジ軸２３ａおよび２３ｂに対してボールナット２１６が回転されることによっても、コンベア部２１がＹ方向に移動するように構成されている。すなわち、駆動モータ２５および回転モータ２６の両方を回転する場合、駆動モータ２５および回転モータ２６のそれぞれの回転方向の組み合わせ、および、駆動モータ２５および回転モータ２６のそれぞれの回転速度の制御により、コンベア部２１とコンベア部２２とを互いに独立にＹ方向に移動させることができる。さらに、コンベア部２１の矢印Ｙ１方向あるいは矢印Ｙ２方向の移動速度を、コンベア部２２の同方向の移動速度より大きく（コンベア部２２の速度に同方向の速度を付加することになるので、例えば倍速度に）したり、逆に小さくする（コンベア部２２の速度に逆方向の速度を付加することになるので、例えば停止も可能）ことができる。なお、ボールナット２１６は、本発明の「第２ナット」の一例である。また、プーリ２１６ｃは、本発明の「第１プーリ」の一例である。

図７に示すように、コンベア部２２は、フレーム２２３から構成されている。このフレーム２２３は、Ｘ方向に延びるガイドレール２２２が設けられた梁部２２３ａと、梁部２２３ａの両端を支持する一対の柱部２２３ｂおよび２２３ｃと、柱部２２３ｂおよび２２３ｃにそれぞれ固定され、下端にスライダ２２４（図９参照）が設けられた一対の脚部２２３ｄおよび２２３ｅとを有する。図９に示すように、コンベア部２２は、スライダ２２４を介して、基台５上にＹ方向に延びるように設けられた一対のレール５ａに沿って移動可能に支持されている。

図７に示すように、コンベア部２２のフレーム２２３の矢印Ｘ１方向側の柱部２２３ｃには、スプライン軸２４（図２参照）とＹ方向に移動可能に嵌まるプーリ２２５（図２参照）がブラケット２２５ａを介して取り付けられている。図２に示すように、複数のプーリを介して梁部２２３ａの上端に沿って張り渡された搬送ベルト２２１が、このプーリ２２５に巻き掛けられていて、搬送モータ２７によるスプライン軸２４の回転によって搬送ベルト２２１が送られるように構成されている。

また、図９に示すように、矢印Ｙ２方向側のコンベア部２２のフレーム２２３の脚部２２３ｄおよび２２３ｅには、ボールネジ軸２３ａおよび２３ｂと螺合するボールナット２２６が固定的に設けられている。矢印Ｙ２方向側のコンベア部２２は、一対のボールネジ軸２３ａおよび２３ｂの回転によって、ボールナット２２６を介してＹ方向に移動するように構成されている。なお、ボールナット２２６は、本発明の「第１ナット」の一例である。

一対のボールネジ軸２３ａおよび２３ｂは、Ｙ方向に延びるように設けられ、搬送方向（Ｘ方向）に所定の間隔を隔てて配置されている。ボールネジ軸２３ｂは、矢印Ｙ１方向側の端部を支持部材２３１ｂにより軸受２３３ｂを介して回転可能に支持され、矢印Ｙ２方向側の端部近傍を支持部材２３２ｂにより軸受２３４ｂを介して回転可能に支持されている。同様に、ボールネジ軸２３ａは、矢印Ｙ１方向側の端部を支持部材２３１ａにより軸受２３３ａを介して回転可能に支持され、矢印Ｙ２方向側の端部近傍を支持部材２３２ａにより軸受２３４ａを介して回転可能に支持されている。また、図７に示すように、一対のボールネジ軸２３ａおよび２３ｂの矢印Ｙ２方向側の端部には、それぞれプーリ２３５ａおよび２３５ｂが連結されている。プーリ２３５ａおよび２３５ｂには、駆動モータ２５の出力軸に連結されたプーリ２５２と噛み合うベルト２５３が巻き掛けられている。これにより、駆動モータ２５の駆動力がベルト２５３を介して一対のボールネジ軸２３ａおよび２３ｂに伝達され、一対のボールネジ軸２３ａおよび２３ｂが同期して回転されるように構成されている。

図２に示すように、スプライン軸２４は、矢印Ｙ１方向側の端部近傍を支持部材２４１により軸受２４２を介して回転可能に支持されるとともに、矢印Ｙ２方向側の端部を支持部材２４３により軸受２４４を介して回転可能に支持されている。また、スプライン軸２４の矢印Ｙ１方向側の端部には、プーリ２４５が連結されている。また、支持部材２４１には、スプライン軸２４を回転させるための搬送モータ２７が取り付けられている。搬送モータ２７の出力軸に取り付けられたプーリ２７１と、スプライン軸２４のプーリ２４５とには、搬送モータ２７の駆動力を伝達するベルト２７２が巻き掛けられている。この搬送モータ２７によりスプライン軸２４を回転させることによって、コンベア部２１のプーリ２１５およびコンベア部２２のプーリ２２５を回転させ、両方の搬送ベルト２１１および２２１が同期して送られるように構成されている。これにより、基板搬送装置２０に搭載されたプリント基板１がＸ方向に搬送されるように構成されている。このとき、梁部２１３ａおよび２２３ａに設けられたガイドレール２１２および２２２によってプリント基板１がガイドされるように構成されている。

図２に示すように、回転モータ２６は、コンベア部２１のフレーム２１３の矢印Ｘ１方向側の脚部２１３ｅ（図４参照）にブラケット２６３（図４参照）を介して取り付けられている。図４に示すように、この回転モータ２６の出力軸にプーリ２６１が連結されている。回転モータ２６はエンコーダ２６ａ（図１１参照）を有するサーボモータであり、後述する制御装置１０１によって駆動制御されるように構成されている。矢印Ｙ１方向側のコンベア部２１は、この回転モータ２６によってボールナット２１６（ベアリングホルダ２１６ａ、プーリ２１６ｃ）を回転または停止させることが可能である。ボールネジ軸２３ａおよび２３ｂが停止した状態で回転モータ２６によりボールナット２１６を回転させることにより、矢印Ｙ１方向側のコンベア部２１のみが独立してＹ方向に移動するように構成されている。なお、プーリ２６１は、本発明の「第２プーリ」の一例である。

一対のボールネジ軸２３ａおよび２３ｂを回転駆動させる駆動モータ２５は、基台５にブラケット２５１（図４参照）を介して取り付けられるとともに、出力軸にプーリ２５２が取り付けられている。駆動モータ２５はエンコーダ２５ａ（図１１参照）を有するサーボモータであり、後述する制御装置１０１によって駆動制御されるように構成されている。

また、図５に示すように、基板搬送装置２０は、搬送されるプリント基板１ｂを停止または通過させるストッパ２８と、ストッパ２８の近傍に設けられ、所定位置に配置されたプリント基板１を検出する基板検出センサ２８ａとを有している。これにより、基板搬送装置２０は、コンベア部２１および２２上の所定位置にプリント基板１を配置することが可能となるように構成されている。また、各コンベア部２１および２２には、ガイドレール２１２および２２２の上面に、各コンベア部２１および２２が互いに向かい合う方向に突出する複数の係止部材２１２ａおよび２２２ａが設けられている。そして、図８に示すように、ガイドレール２１２および２２２の下側には、クランプ機構２９（ガイドレール２１２側のクランプ機構２９のみ図示）がそれぞれ設けられている。クランプ機構２９は、支軸２９ｂを中心に回動可能な一対の三角形状の支持板２９ａと、支持板２９ａに支持されたクランプ板２９ｃと、両支持板２９ａを連結する連結部材２９ｄとからなるリンク機構である。クランプ機構２９は、図示しないエアシリンダによって支持板２９ａを支軸２９ｂを中心に反時計方向に回動させてクランプ板２９ｃを上昇させ、所定位置に配置されたプリント基板１を下方から押し上げて係止部材２１２ａ（２２２ａ）に押し付けるように構成されている。これにより、基板搬送装置２０は、プリント基板１のＹ方向の両辺を、各コンベア部２１および２２に設けられた係止部材２１２ａおよび２２２とクランプ機構２９とによって挟み込むようにして保持する機能を有する。なお、図８ではプリント基板１をクランプ（保持）していない状態を示している。

このように、基板搬送装置２０は、回転モータ２６を停止した状態で駆動モータ２５によりボールネジ軸２３ａ（２３ｂ）を回転させることによって、コンベア部２１および２２を、間隔を保ったままＹ方向に同期させて移動させることが可能である。これにより、基板搬送装置２０は、図１０に示す搬送位置Ｐ４で入口搬送装置１０から小型のプリント基板１ｂを搬入し、プリント基板１ｂをコンベア部２１および２２により保持したままＹ方向に移動して実装作業位置Ｐ２に配置することが可能である。なお、搬送位置Ｐ４は、プリント基板１ｂ（コンベア部２１および２２）が矢印Ｙ２方向側のテープフィーダ６に最も近づく位置であり、実装作業位置Ｐ２は、矢印Ｙ１方向側のテープフィーダ６にプリント基板１ｂ（コンベア部２１および２２）が最も近づく位置である。また、基板搬送装置２０は、駆動モータ２５を回転した状態あるいは停止させた状態において、回転モータ２６によりコンベア部２１のナット２１６を回転させることによって、コンベア部２１をコンベア部２２に対してＹ方向に移動させることが可能である。すなわち、プリント基板１を保持しない状態では、搭載されるプリント基板１の大きさ（Ｙ方向の幅）に合わせて、コンベア部２１と２２との間隔（コンベア間隔）を調整することが可能である。これにより、コンベア間隔Ｄを、図１に示す大型のプリント基板１ａの幅Ｗ１と、図５に示す小型のプリント基板１ｂの幅Ｗ２とのいずれにも一致させるように調整することが可能である。

基板搬送装置３０は、図３に示すように、Ｙ方向に対向する一対のコンベア部３１および３２と、コンベア部３１および３２の間隔（コンベア間隔Ｄ）を調整するための一対のボールネジ軸３３ａおよび３３ｂ（図１参照）と、ボールネジ軸３３ａ（３３ｂ）および入口搬送装置１０のボールネジ軸１３ａ（１３ｂ）を回転駆動させる駆動モータ３４と、各コンベア部３１および３２に設けられた搬送ベルト３１１および３２１を送るための１つのスプライン軸３５および搬送モータ３６とを有している。

図８に示すように、矢印Ｙ１方向側のコンベア部３１は、フレーム３１３から構成されている。このフレーム３１３は、Ｘ方向に延びるガイドレール３１２が設けられた梁部３１３ａと、所定の間隔を空けて梁部３１３ａを支持する一対の柱部３１３ｂおよび３１３ｃと、柱部３１３ｂおよび３１３ｃにそれぞれ固定され、下端にスライダ３１４が設けられた一対の脚部３１３ｄおよび３１３ｅとを有する。コンベア部３１は、脚部３１３ｄおよび３１３ｅの下端にそれぞれ取り付けられたスライダ３１４を介して、基台５上にＹ方向に延びるように設けられた一対のレール５ｂ、５ｂに沿って移動可能に支持されるように構成されている。コンベア部３１のフレーム３１３には、スプライン軸３５と回転方向に係止するとともにＹ方向に移動可能に嵌まるプーリ３１５が、ブラケット３１５ａを介して取り付けられている。このプーリ３１５には、複数のプーリを介して梁部３１３ａの上端に沿って張り渡された搬送ベルト３１１が巻き掛けられていて、スプライン軸３５の回転によって搬送ベルト３１１が送られるように構成されている。

また、矢印Ｙ１方向側のコンベア部３１の脚部３１３ｄおよび３１３ｅには、一対のボールネジ軸３３ａおよび３３ｂとそれぞれ螺合するボールナット３２６が固定的に設けられている。これらのボールネジ軸３３ａおよび３３ｂを同期して回転させることにより、矢印Ｙ１方向側のコンベア部３１がボールナット３２６を介してＹ方向に移動するように構成されている。これにより、基板搬送装置３０は、搬送されるプリント基板１の大きさ（Ｙ方向の幅）に応じて矢印Ｙ１方向側のコンベア部３１を移動させることによって、コンベア部３１および３２のコンベア間隔Ｄ（図１参照）を調整することができるように構成されている。

図７に示すように、矢印Ｙ２方向側のコンベア部３２は、フレーム３２３から構成されている。このフレーム３２３は、Ｘ方向に延びるガイドレール３２２が設けられた梁部３２３ａと、所定の間隔を空けて梁部３２３ａを支持する一対の支持部３２３ｂおよび３２３ｃとを有する。コンベア部３２の一対の支持部３２３ｂおよび３２３ｃは、基台５に固定的に設けられている。一対の支持部３２３ｂおよび３２３ｃは、それぞれ一対のボールネジ軸３３ａおよび３３ｂを軸受（図示せず）を介して回転可能に支持（図３参照）しているとともに、スプライン軸３５（図３参照）を回転させるための搬送モータ３６（図３参照）をブラケット３６１を介して支持している。また、梁部３２３ａには、ブラケット３５１を介してスプライン軸３５（図３参照）が回転可能に支持されている。図３に示すように、スプライン軸３５にはプーリ３２５が一体的に回転するように設けられている。このプーリ３２５には、複数のプーリを介して梁部３２３ａの上端に沿って張り渡された搬送ベルト３２１が巻き掛けられていて、スプライン軸３５の回転によって搬送ベルト３２１が送られるように構成されている。

各コンベア部３１および３２は、それぞれの搬送ベルト３１１および３２１上にプリント基板１を載せた状態でスプライン軸３５の回転に基づき搬送ベルト３１１および３２１を同期させて送ることにより、プリント基板１をＸ方向に搬送するように構成されている。このとき、梁部３１３ａおよび３１３ｂに設けられたガイドレール３１２および３２２によってプリント基板１がガイドされるように構成されている。

図３に示すように、一対のボールネジ軸３３ａおよび３３ｂは、それぞれ矢印Ｙ１方向側の端部を基台５に設けられた支持部材３３１ａおよび３３１ｂにより軸受（図示せず）を介して回転可能に支持されている。図７に示すように、一対のボールネジ軸３３ａおよび３３ｂの矢印Ｙ２方向側の端部には、それぞれプーリ３３３ａおよび３３３ｂが設けられている。これらのプーリ３３３ａおよび３３３ｂには、ボールネジ軸３３ａおよび３３ｂを回転駆動するための駆動モータ３４の出力軸に連結されたプーリ３４１と噛み合うベルト３４２が巻き掛けられている。

駆動モータ３４は、基台５に取り付けられたブラケット３４３により支持されている。また、矢印Ｘ１方向側のボールネジ軸３３ｂのプーリ３３３ｂと、入口搬送装置１０の矢印Ｘ２方向側のボールネジ軸１３ａのプーリ１５ａとの間には、さらにもう１つのベルト３７が巻き掛けられ、さらに上述したように、プーリ１５ａとプーリ１５ｂとの間には、ベルト１５ｃが巻き掛けられている。これにより、基板搬送装置３０の一対のボールネジ軸３３ａおよび３３ｂと、入口搬送装置１０の一対のボールネジ軸１３ａおよび１３ｂとが、共通の駆動モータ３４によって同期して回転されるように構成されている。この結果、ボールネジ軸３３ａ（３３ｂ）の回転によって移動する基板搬送装置３０のコンベア部３１のＹ方向の位置と、ボールネジ軸１３ａ（１３ｂ）の回転によって移動する入口搬送装置１０のコンベア部１１のＹ方向の位置とは、常に一致するように構成されている。なお、基板搬送装置３０の固定側のコンベア部３２と入口搬送装置１０の固定側のコンベア部１２とのＹ方向の位置も一致するように配置されている。したがって、入口搬送装置１０のコンベア間隔Ｄと、基板搬送装置３０のコンベア間隔Ｄとは、常に一致するように構成されている。

また、図１に示すように、基板搬送装置３０は、搬送されるプリント基板１を停止または通過させる２つのストッパ３８１および３８２と、ストッパ３８１および３８２の近傍にそれぞれ設けられ、所定位置に配置されたプリント基板１を検出する基板検出センサ３８３および３８４とを有している。矢印Ｘ１方向側のストッパ３８１は、大型のプリント基板１ａ（図１参照）を搭載する場合に用いられる。この際、基板搬送装置２０と基板搬送装置３０との両方によってプリント基板１ａが保持される。また、矢印Ｘ２方向側のストッパ３８２は、小型のプリント基板１ｂ（図５参照）を搭載する場合に用いられる。これにより、基板搬送装置３０は、コンベア部３１および３２上の所定位置にプリント基板１（１ａまたは１ｂ）を配置することが可能となるように構成されている。また、各コンベア部３１および３２には、ガイドレール３１２および３２２の上面に、互いに向かい合う方向に突出する複数の係止部材３１２ａおよび３２２ａが設けられるとともに、ガイドレール３１２および３２２の下側に、クランプ機構３９（図８参照）が設けられている。これにより、基板搬送装置３０は、プリント基板１のＹ方向の両辺を、各コンベア部３１（３２）に設けられた係止部材３１２ａ（３２２ａ）とクランプ機構３９とによって挟み込むようにして保持する機能を有する。なお、クランプ機構３９の構成は、基板搬送装置２０の各コンベア部２１（２２）に設けられたクランプ機構２９と同様である。

このように、基板搬送コンベア２は、実装を行うプリント基板１（１ａ、１ｂ）の大きさに応じて、基板搬送装置２０および基板搬送装置３０の両方を用いて大型のプリント基板１ａを保持することができるとともに、基板搬送装置２０および基板搬送装置３０の各々に小型のプリント基板１ｂを保持させることができる。小型のプリント基板１ｂが基板搬送装置２０および基板搬送装置３０の各々に搭載された状態では、基板搬送装置２０のコンベア部２１および２２を矢印Ｙ１方向に移動させることによって、実装対象のプリント基板１ｂを矢印Ｙ１方向側のテープフィーダ６に近づけた実装作業位置Ｐ２に保持するとともに、基板搬送装置３０では、プリント基板１ｂを実装作業位置Ｐ３に保持することが可能である。

また、図８に示すように、基板搬送装置２０の一対のボールネジ軸２３ａおよび２３ｂの間の位置には、基板支持装置４０ａが配置されている。基板搬送装置３０の一対のボールネジ軸３３ａおよび３３ｂの間の位置には、基板支持装置４０ｂが配置されている。

基板支持装置４０ａ（４０ｂ）は、支持板４１ａ（４１ｂ）と、支持板４１ａ（４１ｂ）の下側にボルトを介して連結された板部材４２ａ（４２ｂ）と、板部材４２ａ（４２ｂ）に連結され上下方向（Ｚ方向）に延びるように配置された複数のボールネジ軸４３ａ（４３ｂ）および４４ａ（４４ｂ）と、ボールネジ軸４３ａ（４３ｂ）および４４ａ（４４ｂ）と螺合するボールナット（図示せず）に連結されたプーリ４５ａ（４５ｂ）および４６ａ（４６ｂ）と、プーリ４５ａ（４５ｂ）および４６ａ（４６ｂ）に巻き掛けられたベルト４７ａ（４７ｂ）と、図示しない昇降用モータとを含んでいる。ボールネジ軸４３ａ（４３ｂ）および４４ａ（４４ｂ）は螺合するボールナットにより昇降可能に支持されるとともに、ボールナット（プーリ４５ａ（４５ｂ）および４６ａ（４６ｂ））は、基台５に固定設置された基部４８ａ（４８ｂ）に回転可能に取り付けられている。これにより、基板支持装置４０ａ（４０ｂ）は、ベルト４７ａ（４７ｂ）を介して昇降用モータによりナットを回転させることによって、ボールネジ軸４３ａ（４３ｂ）および４４ａ（４４ｂ）を同期させて昇降させ、ボールネジ軸４３ａ（４３ｂ）および４４ａ（４４ｂ）に連結された支持板４１ａ（４１ｂ）を、ＸＹ方向所定の位置で昇降させるように構成されている。

第１実施形態では、支持板４１ａは、基板搬送装置２０の一対のボールネジ軸２３ａおよび２３ｂの上方（矢印Ｚ１方向）に配置されるとともに、図５に示すように、平面的に見て、一対のボールネジ軸２３ａおよび２３ｂの互いに対向する側とは反対側の外縁部（ボールネジ軸２３ａのＸ２方向側の外縁部およびボールネジ軸２３ｂのＸ１方向側の外縁部）同士の間隔（Ｄｂ）よりも大きい幅Ｗ３を有する。そして、支持板４１ａは、平面的に見て、一対のボールネジ軸２３ａおよび２３ｂの互いに対向する側とは反対側の外縁部の両外側（ボールネジ軸２３ａのＸ２方向側およびボールネジ軸２３ｂのＸ１方向側）まで、一対のボールネジ軸２３ａおよび２３ｂの両方を覆うように形成されている。

また、図８に示すように、支持板４１ａ（４１ｂ）の表面上には、磁石が内蔵され取り外し可能な固定具６０にクランク状の支持具６１を介して取り付けられたバックアップピン６２が、上方（矢印Ｚ１方向）に向けて配置されている（図８のみ表示）。バックアップピン６２は、実装作業開始前に、予め支持板４１ａ（４１ｂ）上の、実装対象のプリント基板１の大きさに応じた位置に複数配置される。実装作業時には、基板搬送装置２０（基板搬送装置３０）にクランプされ実装作業位置に配置されたプリント基板１にバックアップピン６２が当接するまで支持板４１ａ（４１ｂ）を上昇させるように構成されている。このため、部品搭載時に第１ヘッドユニット３および第２ヘッドユニット４の吸着ノズル９１により加えられる押圧力に対して、バックアップピン６２により下側からプリント基板１を支持するように構成されている。したがって、実装対象のプリント基板１が、たとえば大型のプリント基板１ａから小型のプリント基板１ｂに変更される場合などには、プリント基板１ａの実装作業終了後、プリント基板１ｂの搬入前に、準備作業としてバックアップピン６２の配置換えを行う必要がある。このバックアップピン６２の配置換え作業は、基板搬送装置２０のコンベア間隔Ｄを実装予定のプリント基板１ｂの幅Ｗ２に一致させる（図５参照）とともに、基板支持装置４０ａに対しては、プリント基板１ｂの実装作業位置Ｐ２にコンベア部２１および２２を移動させた状態で行われる。第１実施形態では、駆動モータ２５によりコンベア部２１および２２の両方をＹ方向に移動させながら、回転モータ２６によりコンベア部２１の移動速度とコンベア部２２の移動速度とを異ならせることによりコンベア間隔Ｄをプリント基板１ｂの幅Ｗ２に一致させるように調整することが可能である。これにより、実装作業位置Ｐ２への移動と、コンベア間隔Ｄをプリント基板１ｂの幅Ｗ２に一致させる間隔調整とを同時に行うことが可能なように構成されている。

図１に示すように、矢印Ｙ１方向側の第１ヘッドユニット３と、矢印Ｙ２方向側の第２ヘッドユニット４とは、それぞれ同一構成を有し、互いに対向するように配置されている。また、第１ヘッドユニット３および第２ヘッドユニット４は、それぞれＸ方向に延びるヘッドユニット支持部７１ａおよび７１ｂに沿ってＸ方向に移動可能に構成されている。具体的には、図１に示すように、ヘッドユニット支持部７１ａは、Ｘ方向に延びるボールネジ軸７２ａと、ボールネジ軸７２ａを回転させるサーボモータ７３ａと、Ｘ方向のガイドレール（図示せず）とを有している。また、第１ヘッドユニット３は、ボールネジ軸７２ａが螺合されるボールナット３ａを有している。同様に、ヘッドユニット支持部７１ｂは、Ｘ方向に延びるボールネジ軸７２ｂとボールネジ軸７２ｂを回転させるサーボモータ７３ｂと、Ｘ方向のガイドレール（図示せず）とを有している。また、第２ヘッドユニット４は、ボールネジ軸７２ｂが螺合されるボールナット４ａを有している。第１ヘッドユニット３および第２ヘッドユニット４は、それぞれ、サーボモータ７３ａおよび７３ｂによりボールネジ軸７２ａおよび７２ｂが回転されることにより、ヘッドユニット支持部７１ａおよび７１ｂに対してＸ方向に移動するように構成されている。

また、これらのヘッドユニット支持部７１ａおよび７１ｂは、基台５上に基板搬送コンベア２を跨ぐように設けられたＹ方向に延びるそれぞれフレーム部材である一対の固定レール部８０に沿って、それぞれＹ方向に移動可能に構成されている。具体的には、一対の固定レール部８０は、それぞれ、ヘッドユニット支持部７１ａおよび７１ｂの両端部をＹ方向に移動可能に支持するガイドレール８１と、固定レール部８０の内部にＹ方向に沿って配列された複数の永久磁石からなる固定子（図示せず）とを有している。また、ヘッドユニット支持部７１ａおよび７１ｂのそれぞれの両端には、界磁コイルからなる可動子（図示せず）が固定子の近傍に配置されるように設けられている。つまり、各ヘッドユニット支持部７１ａおよび７１ｂに設けられた可動子（界磁コイル）と、一対の固定レール部８０に設けられた共通の固定子（永久磁石）とにより、リニアモータが構成されている。ヘッドユニット支持部７１ａおよび７１ｂは、可動子（界磁コイル）に供給される電流を制御することによって、ガイドレール８１に沿ってＹ方向に移動するように構成されている。このような構成により、第１ヘッドユニット３および第２ヘッドユニット４は、それぞれ基台５上方をＸＹ方向に移動することが可能なように構成されている。

また、第１ヘッドユニット３および第２ヘッドユニット４には、それぞれ、Ｘ方向に列状に配置された１０本の実装ヘッド部９０が設けられている。各実装ヘッド部９０には、先端（下端）に部品吸着および搭載を行うための吸着ノズル９１（図２参照）が、下方に突出するようにして交換可能に取り付けられている。また、実装ヘッド部９０には、それぞれ、吸着ノズル９１の先端に負圧状態を発生させる負圧発生器（図示せず）と、吸着ノズル９１を上下方向（Ｚ方向）に移動させるサーボモータなどの昇降装置（図示せず）とが設けられている。各実装ヘッド部９０の吸着ノズル９１は、先端に負圧状態を発生させることによって、テープフィーダ６から供給される部品を先端に吸着および保持することが可能である。１０本の実装ヘッド部９０は、それぞれ個別に負圧状態の発生、解除および正圧状態の発生を切り替えることが可能に構成されている。

また、各々の実装ヘッド部９０の吸着ノズル９１は、昇降装置（図示せず）により第１ヘッドユニット３（第２ヘッドユニット４）に対して上下方向（Ｚ方向）に移動させることによって、吸着ノズル９１が上昇位置に位置した状態で部品の搬送などを行うとともに、吸着ノズル９１が下降位置に位置した状態で部品のテープフィーダ６からの吸着およびプリント基板１への実装を行うように構成されている（図３参照）。また、実装ヘッド部９０は、ＸＹ方向ノズル交換装置７の上方位置において、吸着ノズル９１を下降位置に移動させた状態でノズル交換装置７と協働し、吸着ノズル９１を実装ヘッド部９０から取り外すとともに、ノズル交換装置７に保持された別の吸着ノズル９１を取り付けることによって、吸着ノズル９１を交換することが可能なように構成されている。また、実装ヘッド部９０は、サーボモータなどのノズル回転装置（図示せず）により、吸着ノズル９１自体をその軸を中心として回転可能に構成されている。これにより、表面実装機１００では、部品を搬送する途中に吸着ノズル９１を回転させることにより、ノズルの先端に保持された部品の姿勢（水平面内の向き）を調整することが可能である。

また、図１に示すように、第１ヘッドユニット３の矢印Ｘ２方向側の側部および第２ヘッドユニット４の矢印Ｘ１方向側の側部には、それぞれ、吸着ノズル９１に吸着された部品の姿勢を撮像するためのラインセンサを使用した部品撮像装置９２が取り付けられている。この部品撮像装置９２は、第１ヘッドユニット３（第２ヘッドユニット４）に対してＸ方向（１０本の実装ヘッド部９０が並んでいる方向）に移動可能に取り付けられている。具体的には、第１ヘッドユニット３および第２ヘッドユニット４には、それぞれＸ方向に延びるボールネジ軸９２ａと、ボールネジ軸９２ａを回転させるサーボモータ９２ｂとが設けられている。また、部品撮像装置９２には、ボールネジ軸９２ａに螺合するボールナット９２ｃが設けられている。サーボモータ９２ｂによりボールネジ軸９２ａが駆動されることにより、部品撮像装置９２がボールナット９２ｃを介して、第１ヘッドユニット３（第２ヘッドユニット４）に対してＸ方向に移動するように構成されている。また、部品撮像装置９２は、吸着ノズル９１の下面と対向するように、撮像方向を上方（矢印Ｚ１方向）に向けて取り付けられている。これにより、部品撮像装置９２は、第１ヘッドユニット３（第２ヘッドユニット４）にＸ方向に並んで配置された１０本の吸着ノズル９１に保持された部品の下面を下方向から順次撮像することが可能になる。この部品撮像装置９２により撮像された部品の撮像画像に基づいて、吸着ノズル９１に保持された部品の部品認識（吸着ノズル９１に対する吸着部品の位置ずれ、方向ずれの検知）を行うことが可能なように構成されている。

また、第１ヘッドユニット３の矢印Ｘ１方向側の側部および第２ヘッドユニット４の矢印Ｘ２方向側の側部には、それぞれ、基板撮像装置９３が取り付けられている。基板撮像装置９３は、ＣＣＤエリアカメラで構成されており、撮像方向を第１ヘッドユニット３（第２ヘッドユニット４）から下方（矢印Ｚ２方向）に向けて取り付けられている。この基板撮像装置９３は、部品搭載時に、プリント基板１の表面に設けられた基板マーク（図示せず）を撮像することにより部品の装着位置の基準点を取得するように構成されている。そして、この基板マークの撮像画像に基づいて、部品の装着位置および装着方向が演算され認識されるように構成されている。

図１に示すように、大型のプリント基板１ａの部品実装時には、第１ヘッドユニット３および第２ヘッドユニット４が後述する制御装置１０１に制御されて、実装作業位置Ｐ１に配置された１つのプリント基板１ａへの部品実装を行う。また、図５に示すように、小型のプリント基板１ｂの部品実装時には、第１ヘッドユニット３および第２ヘッドユニット４がそれぞれ実装作業位置Ｐ２およびＰ３に配置されたプリント基板１ｂに対して部品の搭載を行うことが可能である。ここで、基板搬送装置２０に保持されたプリント基板１ｂは、矢印Ｙ１方向に移動されることによって第１ヘッドユニット３側（矢印Ｙ１方向側）のテープフィーダ６の近傍の実装作業位置Ｐ２に配置される。部品実装時には、図５に示すように、第１ヘッドユニット３は、テープフィーダ６の部品取出部６ａとプリント基板１ｂの上方とを往復移動するため、基板搬送装置２０がプリント基板１ｂを矢印Ｙ１方向側のテープフィーダ６に近づけることによって、実装作業に要する時間を短縮化することが可能である。基板搬送装置３０に保持されたプリント基板１ｂは、第２ヘッドユニット４側（矢印Ｙ２方向側）のテープフィーダ６の近傍の実装作業位置Ｐ３に配置される。

表面実装機１００の動作は、図１１に示す制御装置１０１によって制御されている。制御装置１０１は、主制御部１０２、駆動制御部１０３、画像処理部１０４、バルブ制御部１０５および記憶部１０６を含んでいる。また、制御装置１０１は、液晶表示装置などの表示ユニット１０７と、キーボードなどの入力ユニット１０８とを備えている。なお、主制御部１０２は、本発明の「制御部」の一例である。

主制御部１０２は、論理演算を実行するＣＰＵなどから構成されている。主制御部１０２は、記憶部１０６のＲＯＭに記憶されているプログラムに従って、駆動制御部１０３を介して第１ヘッドユニット３、第２ヘッドユニット４、基板搬送コンベア２の入口搬送装置１０、基板搬送装置２０および基板搬送装置３０などの動作を制御するとともに、画像処理部１０４を介して第１ヘッドユニット３および第２ヘッドユニット４の部品撮像装置９２と基板撮像装置９３とをそれぞれ制御するように構成されている。また、主制御部１０１は、バルブ制御部１０５を介して、第１ヘッドユニット３および第２ヘッドユニット４にそれぞれ設けられた負圧発生器を制御することにより、吸着ノズル９１による部品の吸着動作を制御するように構成されている。また、主制御部１０２は、記憶部１０６に記憶された基板データ１０６ａを読み出し、実装対象のプリント基板１（１ａ、１ｂ）の大きさ（幅Ｗ１、Ｗ２）や基板マーク位置を取得するように構成されている。そして、主制御部１０２は、取得したプリント基板１（１ａ、１ｂ）の大きさに基づいて、入口搬送装置１０、基板搬送装置２０および基板搬送装置３０のコンベア間隔Ｄを調整させ、さらにストッパ２８、３８１、３８２、クランプ機構２９、３９、および基板支持装置４０ａ、４０ｂの各昇降モータ等の作動制御を行うように構成されている。このようにして、実装時には、主制御部１０２は、記憶部１０６に記憶された実装プログラムにしたがってプリント基板１上の所定の搭載位置に部品が順次装着されるように、これらの駆動制御部１０３、画像処理部１０４、バルブ制御部１０５および記憶部１０６などを制御するように構成されている。なお、図示していないが、主制御部１０２は、このほか、駆動制御部１０３およびバルブ制御部１０５などの各部を制御することにより、ノズル交換装置７およびノズル清掃装置８などの動作を制御するように構成されている。

駆動制御部１０３は、主制御部１０２から出力される制御信号に基づいて、第１ヘッドユニット３および第２ヘッドユニット４の各部のモータ（Ｘ方向に移動するためのサーボモータ７３ａおよび７３ｂ（Ｘ軸モータ）、Ｙ方向に移動するための界磁コイル（Ｙ軸モータ）、１０本の実装ヘッド部９０の吸着ノズル９１をそれぞれ上下方向に移動させるための昇降装置のサーボモータ（Ｚ軸モータ）、１０本の吸着ノズル９１をそれぞれＲ軸方向（各吸着ノズルの中心軸回りの回転方向）に回転移動させるためのノズル回転装置のサーボモータ（Ｒ軸モータ））の駆動を制御するように構成されている。また、駆動制御部１０３は、主制御部１０２から出力される制御信号に基づいて、基板搬送コンベア２の各部のモータ（入口搬送装置１０および基板搬送装置３０の駆動モータ３４、基板搬送装置２０の駆動モータ２５、基板搬送装置２０の回転モータ２６、および、入口搬送装置１０、基板搬送装置２０および基板搬送装置３０のそれぞれの搬送モータ（２７および３６）などの駆動を制御するように構成されている。なお、これらのサーボモータのエンコーダ（２５ａ、２６ａ、３４ａ）からの信号は、駆動制御部１０３を介して主制御部１０２に入力される。

画像処理部１０４は、主制御部１０２から出力される制御信号に基づいて、部品撮像装置９２および基板撮像装置９３から所定のタイミングで撮像信号の読み出しを行うとともに、読み出した撮像信号に所定の画像処理を行うことにより、部品や基板マークを認識するのに適した画像データを生成するように構成されている。これらの画像データは主制御部１０２に出力され、部品の画像データに基づいて各吸着ノズル９１に吸着された部品の吸着良否判定（実装位置補正や実装方向補正を行えば、正しい装着ができる吸着状態であるか否か）や、吸着ノズル９１による部品の吸着位置ずれおよび吸着方向ずれの算出と実装位置および実装方向の補正とが行われるように構成されている。また、主制御部１０２により、基板マークの画像データに基づいて基準点および基板方向が取得され、この基準点および基板方向に基づいて各部品の基板位置に基く実装位置および実装方向の補正値が算出されるように構成されている。

記憶部１０６は、ＣＰＵを制御するプログラムなどを記憶するＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）および装置の動作中に種々のデータを一時的に記憶するＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）などから構成されている。また、記憶部１０６には、実装対象となるプリント基板１（１ａ、１ｂ）の寸法、基準マーク位置などの基板データ１０６ａや、実装対象となる部品に関わる各種データ、実装位置および実装方向データなど、所定の実装済みプリント基板１（１ａ、１ｂ）の製造を行うための実装プログラム（図示せず））が記憶されている。実装時には、これらのデータが主制御部１０２により読み出されるとともに、読み出されたデータに基づいて実装作業が行われるように構成されている。

テープフィーダ６は、複数の部品を所定の間隔を隔てて保持したテープが巻き回されたリール（図示せず）を保持している。このテープフィーダ６は、リールを回転させることにより部品を保持するテープを送り出すことによって、テープフィーダ６の先端の部品取出部６ａ（図１参照）から部品を供給するように構成されている。図２に示すように、各テープフィーダ６は、基台５に設けられた装着部５ｃに固定されるとともに、装着部５ｃに設けられた図示しないコネクタを介して制御装置１０１に電気的に接続されるように構成されている。これにより、装着部５ｃにセットされた複数のテープフィーダ６の各々は、制御装置１０１からの制御信号に基づいて、第１ヘッドユニット３および第２ヘッドユニット４によるプリント基板１への部品実装動作と、リールからテープを送り出す部品供給動作とを同期させるように構成されている。

図１に示すように、ノズル交換装置７は、基板搬送装置３０の矢印Ｙ１方向側に配置され、基台５に設けられた支持部材７ａ（図３参照）によって支持されている。ノズル交換装置７には、複数のノズル格納部７ｂが設けられ、複数種類の吸着ノズル９１を保持している。制御装置１０１は、第１ヘッドユニット３または第２ヘッドユニット４をノズル交換装置７の上方に位置させるとともに、実装ヘッド部９０に装着された吸着ノズル９１を下降させる。この状態でノズル交換装置７は、吸着ノズル９１が格納されていないノズル格納部７ｂに吸着ノズル９１を格納することが可能なように構成されている。また、制御装置１０１は、実装ヘッド部９０の先端に吸着ノズル９１が装着されていない状態で、吸着ノズル９１が格納されたノズル格納部７ｂに実装ヘッド部９０の先端部を下降させる。この状態でノズル交換装置７は、実装ヘッド部９０の先端部に別の吸着ノズル９１を装着することが可能なように構成されている。

ノズル清掃装置８は、ノズル交換装置７と基板搬送装置３０との間の位置に配置されている。ノズル清掃装置８は、第１ヘッドユニット３（第２ヘッドユニット４）の各実装ヘッド部９０に装着された吸着ノズル９１に対応するように、複数の孔部８ａが設けられている。この孔部８ａに吸着ノズル９１が配置された状態で、ノズル清掃装置８は、負圧発生器により吸着ノズル９１に正圧を供給することによって、吸着ノズル９１に接続する空気経路（図示せず）および吸着ノズル９１内の異物が排出され、この異物を収納保持するように構成されている。

これらのノズル交換装置７およびノズル清掃装置８は、第１ヘッドユニット３および第２ヘッドユニット４の双方の移動範囲内に配置されており、第１ヘッドユニット３および第２ヘッドユニット４で共用されるように構成されている。

部品廃棄箱９ａは、ノズル交換装置７と矢印Ｙ１方向側のテープフィーダ６との間に配置されている。また、部品廃棄箱９ｂは、基板搬送装置３０の矢印Ｙ２方向側に配置されている。これらの部品廃棄箱９ａおよび９ｂは、部品撮像装置９２により撮像された部品の撮像画像に基づいて部品の吸着良否判定が行われた結果、主制御部１０２により吸着不良と判定された部品が吸着ノズル９１から廃棄されるように構成されている。

次に、図５、図６、図１０、図１２および図１３を参照して、本発明の第１実施形態による表面実装機１００のプリント基板１の搬送動作および実装動作について詳細に説明する。なお、以下では、小型のプリント基板１ｂを搬送し、個々のプリント基板１ｂについて第１ヘッドユニット３および第２ヘッドユニット４の両方を用いて部品搭載を行う例について説明する。つまり、１つのプリント基板１ｂについて、第１ヘッドユニット３が前半の部品搭載を行うとともに、第２ヘッドユニット４が後半の部品搭載を行う。

図１２に示すように、基板検出センサ２８ａ，３８３，３８４の全てにおいてプリント基板１（１ｂ）が検出されない状態のタイミングＴ１において、主制御部１０２により、搬入されるプリント基板１ｂのＹ方向側の幅に一致するように、入口搬送装置１０、基板搬送装置２０および基板搬送装置３０のコンベア間隔Ｄの調整が行われる。具体的には、主制御部１０２により記憶部１０６から読み出された基板データ１０６ａに基づき、搬送されるプリント基板１ｂのＹ方向側の幅Ｗ２が取得される。このプリント基板１ｂのＹ方向側の幅Ｗ２に基づいて、駆動モータ３４が駆動されてボールネジ軸１３ａ、１３ｂ、３３ａおよび３３ｂが回転されることにより、入口搬送装置１０および基板搬送装置３０の矢印Ｙ１方向側のコンベア部１１および３１が同期して移動する。また、回転モータ２６が駆動されて基板搬送装置２０の矢印Ｙ１方向側のコンベア部２１のボールナット２１６が回転されることにより、コンベア部２１が移動する。これにより、入口搬送装置１０、基板搬送装置２０および基板搬送装置３０のコンベア間隔Ｄが全てプリント基板１ｂの幅Ｗ２に一致する。すなわち、各コンベア部１１、２１および３１がＹ方向に全て同じ位置（Ｘ方向に直線状に並ぶ位置）となり、各コンベア部１２、２２および３２がＹに方向全て同じ位置（Ｘ方向に直線状に並ぶ位置）となって幅Ｗ２のプリント基板１ｂをＸ方向に搬送可能となる。

タイミングＴ２において、主制御部１０２により、１枚目のプリント基板１ｂが基板搬送装置２０に搬入される。具体的には、入口搬送装置１０の図示しない搬送モータが駆動され、コンベア部１１の搬送ベルト１１１およびコンベア部１２の搬送ベルトが送られるとともに、基板搬送装置２０の搬送モータ２７が駆動され、搬送ベルト２１１および２２１が送られることにより、プリント基板１ｂが基板搬送装置２０上の所定位置まで矢印Ｘ２方向に搬送（搬入）される。搬入されたプリント基板１ｂは、基板搬送装置２０のストッパ２８によって所定位置で停止されるとともに、プリント基板１ｂが所定位置に到達したことが、基板検出センサ２８ａによって検出（基板有）される。なお、基板搬送コンベア２によるプリント基板１ｂの搬入が行われている間（タイミングＴ２〜Ｔ４）に、実装プログラムに基づいて、第１ヘッドユニット３および第２ヘッドユニット４の各実装ヘッド部９０の吸着ノズル９１がノズル交換装置７を用いて必要な吸着ノズル９１に交換される。ノズル交換が終了すると、第１ヘッドユニット３および第２ヘッドユニット４はプリント基板１ｂがそれぞれの実装作業位置Ｐ２およびＰ３に配置されるまで待機する。

タイミングＴ３において、基板搬送装置２０上の所定位置に配置されたプリント基板１ｂが、基板搬送装置２０に保持される。主制御部１０２により、基板搬送装置２０のクランプ機構２９が駆動され、プリント基板１ｂが係止部材２１２ａ（２２２ａ）とクランプ機構２９とによって挟み込むようにして保持される。また、入口搬送装置１０の搬送ベルト（１１１など）が送られ、２枚目のプリント基板１ｂが入口搬送装置１０に搬入される。

タイミングＴ４において、主制御部１０２により、基板搬送装置２０の両コンベア部２１および２２が同期して矢印Ｙ１方向に移動され、プリント基板１ｂを矢印Ｙ１方向側の第１ヘッドユニット３による実装作業位置Ｐ２（図５参照）に移動させる。具体的には、基板搬送装置２０の駆動モータ２５が駆動され、ボールネジ軸２３ａ（２３ｂ）が回転されることによって、コンベア部２１および２２の両方がプリント基板１ｂを保持したまま矢印Ｙ１方向に移動される。これにより、矢印Ｙ１方向側のコンベア部２１（プリント基板１ｂ）が矢印Ｙ１方向側のテープフィーダ６に最も近づく実装作業位置Ｐ２に配置される。

タイミングＴ５において、主制御部１０２により、実装作業位置Ｐ２に配置されたプリント基板１ｂの第１ヘッドユニット３による部品実装作業が実施される。部品実装作業に先立って、基板支持装置４０ａの図示しない昇降用モータが駆動され、支持板４１ａが上昇されることにより、バックアップピン６２がプリント基板１ｂの下面を支持する。また、第１ヘッドユニット３がプリント基板１ｂの上方に移動して、プリント基板１ｂの図示しない基板マークを、基板撮像装置９３により撮像する。これにより、部品の装着位置の基準点を取得する。

さらに、第１ヘッドユニット３が所定のテープフィーダ６の部品取出部６ａの上方に移動されて、実装対象の部品がテープフィーダ６から取り出される。具体的には、部品取出部６ａの上方から吸着ノズル９１を下降させるとともに、所定のタイミングで吸着ノズル９１の先端に負圧が供給される。これにより、テープフィーダ６上の部品が吸着ノズル９１により吸着および保持される。また、この後テープフィーダ６は、次の部品が部品取出部６ａに配置されるまで、テープ送りを実施する。部品の吸着後、部品を保持した吸着ノズル９１が上昇し、第１ヘッドユニット３はプリント基板１ｂの上方の、基板マークを基準とした部品装着位置に移動を開始する。この時、第１ヘッドユニット３を移動させながら、部品撮像装置９２をＸ方向に移動させることにより、吸着ノズル９１に保持された部品の撮像が行われる。撮像された部品の画像データに基づいて、主制御部１０２により部品認識が行われ、各吸着ノズル９１に吸着された部品の吸着良否判定が行われるとともに、吸着位置ずれ量（ＸＹ方向ずれ量、およびＲ方向ずれ量）が取得されて部品装着位置の補正が行われる。これにより、第１ヘッドユニット３が補正された部品装着位置に移動を開始するとともに、吸着ノズル９１がノズル回転装置により回転して、部品の装着角度の補正が行われる。そして、第１ヘッドユニット３がプリント基板１ｂの補正後の装着位置に移動された後、吸着ノズル９１が下降されて部品がプリント基板１ｂに装着される。

一方、吸着不良と判定された場合には、第１ヘッドユニット３が部品廃棄箱９ａの上方に移動して、吸着ノズル９１から部品が廃棄される。タイミングＴ５では、以上の処理が繰り返し行われることにより、実装作業位置Ｐ２において部品のプリント基板１ｂへの実装作業が行われる。

タイミングＴ５で第１ヘッドユニット３による部品実装作業が終了すると、タイミングＴ６では、主制御部１０２により、基板搬送装置２０の両コンベア部２１および２２が同期して移動され、プリント基板１ｂを矢印Ｙ２方向側の搬送位置Ｐ４（図１０参照）に移動させる。具体的には、基板搬送装置２０の駆動モータ２５がタイミングＴ４とは逆方向に駆動され、ボールネジ軸２３ａ（２３ｂ）が回転されることによって、コンベア部２１および２２の両方がプリント基板１ｂを保持したまま矢印Ｙ２方向に移動される。これにより、矢印Ｙ２方向側のコンベア部２２（プリント基板１ｂ）が矢印Ｙ２方向側のテープフィーダ６に最も近づく搬送位置Ｐ４に配置される。このとき、基板搬送装置２０の両コンベア部２１および２２が搬送位置Ｐ４に配置されることにより、基板搬送装置２０から基板搬送装置３０へのプリント基板１ｂの搬送が可能になるとともに、入口搬送装置１０から基板搬送装置２０への２枚目のプリント基板１ｂの搬送（搬入）が可能となる。

タイミングＴ７において、基板搬送装置２０上の搬送位置に配置されたプリント基板１ｂのクランプが解除される。具体的には、主制御部１０２により、基板搬送装置２０のクランプ機構２９がタイミングＴ３とは逆方向に駆動され、プリント基板１ｂが係止部材２１２ａ（２２２ａ）およびクランプ機構２９から解放されて、コンベア部２１の搬送ベルト２１１およびコンベア部２２の搬送ベルト２２１によって支持される。

タイミングＴ８において、１枚目のプリント基板１ｂが基板搬送装置２０から基板搬送装置３０に搬送される。具体的には、基板搬送装置２０の搬送モータ２７が駆動され、搬送ベルト２１１および２２１が送られるとともに、基板搬送装置３０の搬送モータ３６が駆動され、搬送ベルト３１１および３２１が送られることにより、プリント基板１ｂが基板搬送装置３０上の実装作業位置Ｐ３に向かって矢印Ｘ２方向に搬送される。また、基板搬送装置２０からプリント基板１ｂが搬出されることにより、搬送モータ２７の駆動が停止されるとともに、基板検出センサ２８ａの出力が「基板無」に変わる。

タイミングＴ９において、基板搬送装置３０ではプリント基板１ｂの矢印Ｘ２方向への搬送が継続される。タイミングＴ１０では、２枚目のプリント基板１ｂが基板搬送装置２０に搬入される。具体的には、入口搬送装置１０の図示しない搬送モータが駆動され、入口搬送装置１０上の２枚目のプリント基板１ｂが矢印Ｘ２方向に送られるとともに、基板搬送装置２０の搬送モータ２７が駆動されることにより、２枚目のプリント基板１ｂが基板搬送装置２０上の所定位置まで矢印Ｘ２方向に搬送（搬入）される。図１０に示すように、搬入されたプリント基板１ｂは、基板搬送装置２０のストッパ２８によって所定位置で停止されるとともに、プリント基板１ｂが所定位置に到達したことが、基板検出センサ２８ａによって検出（基板有）される。また、基板搬送装置３０上の１枚目のプリント基板１ｂも、基板搬送装置３０のストッパ３８２によって停止されるとともに、プリント基板１ｂが実装作業位置Ｐ３に到達したことが、基板検出センサ３８４によって検出（基板有）される。

タイミングＴ１１において、基板搬送装置３０上の実装作業位置Ｐ３に配置されたプリント基板１ｂが、基板搬送装置３０に保持されるとともに、基板搬送装置２０上の所定位置に配置されたプリント基板１ｂが、基板搬送装置２０に保持される。主制御部１０２により、基板搬送装置３０のクランプ機構３９が駆動され、１枚目のプリント基板１ｂが係止部材３１２ａ（３２２ａ）とクランプ機構３９とによって保持されるとともに、基板搬送装置２０のクランプ機構２９が駆動され、２枚目のプリント基板１ｂが係止部材２１２ａ（２２２ａ）とクランプ機構２９とによって保持される。

タイミングＴ１２において、実装作業位置Ｐ３に配置された１枚目のプリント基板１ｂの第２ヘッドユニット４による部品実装作業（後半）が実施される。部品実装作業に先立って、基板支持装置４０ｂの図示しない昇降用モータが駆動され、支持板４１ｂが上昇されることにより、バックアップピン６２がプリント基板１ｂの下面を支持する。なお、第２ヘッドユニット４による部品実装作業の詳細は、タイミングＴ５の第１ヘッドユニット３による部品実装作業と同様である。なお、第１ヘッドユニット３による部品実装作業と第２ヘッドユニット４による部品実装作業とを同時並行的に実施することにより、実装効率が向上する。しかし、２枚目のプリント基板１ｂを実装作業位置Ｐ２まで移動させるのに時間が掛かるので、第２ヘッドユニット４による部品実装作業の開始を先行させるとともに、搭載部品点数を多くし、その分第１ヘッドユニット３による搭載部品点数を少なくし部品実装作業時間を短くしている。これにより、１枚目のプリント基板１ｂおよび２枚目のプリント基板１ｂの両方が同時に矢印Ｘ２方向に搬送可能となるタイミングまでに要する時間を短くできている。すなわち、基板搬送装置２０によるプリント基板１ｂのＹ方向の移動（タイミングＴ４およびＴ６）に要する時間に対応して、第１ヘッドユニット３による搭載部品点数を少なくすることにより、第２ヘッドユニット４側での待機時間を短縮し、実装効率を高めることが可能である。

上述したように、タイミングＴ１２では、第２ヘッドユニット４による１枚目のプリント基板１ｂの部品搭載と並行して、基板搬送装置２０の両コンベア部２１および２２が同期して移動され、２枚目のプリント基板１ｂが矢印Ｙ１方向側の第１ヘッドユニット３による実装作業位置Ｐ２に移動される。

タイミングＴ１３では、図５および図６に示すように、実装作業位置Ｐ２に配置された２枚目のプリント基板１ｂの第１ヘッドユニット３による部品実装作業が開始される。一方、１枚目のプリント基板１ｂの第２ヘッドユニット４による部品実装作業（後半）が完了する。

タイミングＴ１４において、基板搬送装置３０上の実装作業位置Ｐ３に配置されたプリント基板１ｂのクランプが解除される。主制御部１０２により、基板搬送装置３０のクランプ機構３９がタイミングＴ１１とは逆方向に駆動され、プリント基板１ｂが係止部材３１２ａ（３２２ａ）およびクランプ機構３９から解放されて、コンベア部３１の搬送ベルト３１１およびコンベア部３２の搬送ベルト３２１によって支持される。これにより、基板搬送装置３０から１枚目のプリント基板１ｂを矢印Ｘ２方向に搬出することが可能となる。また、第１ヘッドユニット３による２枚目のプリント基板１ｂの実装作業は継続される。

タイミングＴ１５では、基板搬送装置３０の搬送モータ３６が駆動され、搬送ベルト３１１および３２１が送られることにより、１枚目のプリント基板１ｂが矢印Ｘ２方向に搬送され基板搬送装置３０からの搬出が開始される。また、第１ヘッドユニット３による２枚目のプリント基板１ｂの実装作業（前半）が完了する。

タイミングＴ１６では、基板搬送装置２０の両コンベア部２１および２２が同期して移動され、２枚目のプリント基板１ｂを矢印Ｙ２方向側の搬送位置Ｐ４に移動させる。これにより、基板搬送装置２０から基板搬送装置３０へのプリント基板１ｂの搬送が可能になる。また、１枚目のプリント基板１ｂの基板搬送装置３０からの搬出が継続される。

タイミングＴ１７では、基板搬送装置２０上の搬送位置に配置された２枚目のプリント基板１ｂのクランプが解除される。これにより、プリント基板１ｂが係止部材２１２ａ（２２２ａ）およびクランプ機構２９から解放されて、コンベア部２１の搬送ベルト２１１およびコンベア部２２の搬送ベルト２２１によって支持される。また、１枚目のプリント基板１ｂの基板搬送装置３０からの搬出が完了し、基板検出センサ３８４の出力が「基板無」に変わる。

タイミングＴ１８では、２枚目のプリント基板１ｂが基板搬送装置２０から基板搬送装置３０に搬送される。具体的には、基板搬送装置２０の搬送モータ２７が駆動されるとともに、基板搬送装置３０の搬送モータ３６が駆動され、プリント基板１ｂが基板搬送装置３０上の実装作業位置Ｐ３に向かって矢印Ｘ２方向に搬送される。また、基板搬送装置２０からプリント基板１ｂが搬出されることにより、搬送モータ２７の駆動が停止されるとともに、基板検出センサ２８ａの出力が「基板無」に変わる。

これ以降、タイミングＴ９〜Ｔ１８が繰り返されることにより、プリント基板１ｂの搬入と、第１ヘッドユニット３による実装作業（前半）と、第２ヘッドユニット４による実装作業（後半）と、プリント基板１ｂの搬出とが繰り返される。

その後、図１３に示すように、最終のプリント基板１ｂの第１ヘッドユニット３による実装作業が完了すると、タイミングＴ１９において、最終のプリント基板１ｂが基板搬送装置２０から基板搬送装置３０に搬送される。具体的には、基板搬送装置２０の搬送モータ２７が駆動され、プリント基板１ｂが基板搬送装置３０上の実装作業位置Ｐ３に向かって矢印Ｘ２方向に搬送される。また、基板搬送装置２０からプリント基板１ｂが搬出されることにより、搬送モータ２７の駆動が停止されるとともに、基板検出センサ２８ａの出力が「基板無」に変わる。

最終のプリント基板１ｂが基板搬送装置２０から基板搬送装置３０へと搬送されると、タイミングＴ２０において、主制御部１０２により記憶部１０６から読み出された基板データ１０６ａに基づき、次の実装対象となるプリント基板１のＹ方向側の幅が取得される。また、回転モータ２６が駆動されて、基板搬送装置２０の矢印Ｙ１方向側のコンベア部２１のボールナット２１６が回転されることにより、コンベア部２１が移動する。これにより、基板搬送装置２０のコンベア間隔Ｄが次の実装対象となるプリント基板１の幅に一致するように調整される。

その後、最終のプリント基板１ｂの第２ヘッドユニット４による実装作業が完了すると、タイミングＴ２１において、最終のプリント基板１ｂが基板搬送装置３０から搬出される。具体的には、基板搬送装置３０の搬送モータ３６が駆動され、最終のプリント基板１ｂが基板搬送装置３０上の実装作業位置Ｐ３から矢印Ｘ２方向に搬出される。また、基板搬送装置３０からプリント基板１ｂが搬出されると、基板検出センサ３８４の出力が「基板無」に変わる。

その後、タイミングＴ２２において、駆動モータ３４が駆動されてボールネジ軸１３ａ、１３ｂ、３３ａおよび３３ｂが回転されることにより、入口搬送装置１０および基板搬送装置３０の矢印Ｙ１方向側のコンベア部１１および３１が同期して移動する。これにより、入口搬送装置１０および基板搬送装置３０のコンベア間隔Ｄが、次の実装対象となるプリント基板１のＹ方向側の幅に一致するように調整される。以上のようにして、表面実装機１００のプリント基板１の搬送動作および実装動作が行われる。

上記特許文献１の基板搬送装置においては、所定位置において第１レールおよび第２レールの間隔を所定幅状態とするためには、基準位置まで第１レールおよび第２レールを移動させ、第１レールを固定した後に第１レールに対する第２レールの間隔を調整し、しかる後第１レールおよび第２レールを同期して所定位置まで移動する必要がある。このため基準位置まで一旦移動させるための時間が掛かる。また、第１レールおよび第２レールが基準位置にあり、第１レールが固定された状態にある場合でも、第１レールに対して第２レールの間隔を調整するに際しての加減速時間と、第１レールの固定を解除するための時間と、基準位置から所定位置まで第１レールおよび第２レールを同期して移動する時間とが必要となる。これに対して、第１実施形態では、上記のように、Ｘ方向にプリント基板１（１ａ、１ｂ）を搬送する基板搬送装置２０のコンベア部２１およびコンベア部２２を、平面的に見て、それぞれＹ方向に独立して移動可能に構成することによって、コンベア部２２を基準位置まで移動させて固定しなくても、任意の位置においてコンベア部２１とコンベア部２２とのコンベア間隔Ｄを搬送されるプリント基板１（１ａ、１ｂ）の幅Ｗ（Ｗ１、Ｗ２）に一致させるように調整することができる。これにより、基準位置まで第１レールおよび第２レールを移動させ、第１レールを固定した後に第１レールおよび第２レールの間隔を調整する場合と比較して、基準位置へ移動させる分だけ基板幅の変更時の準備作業に要する時間を短縮することができる。

また、第１レールおよび第２レールが基準位置にあり第１レールおよび第２レールの間隔が所定幅にある状態から、所定位置において第１レールおよび第２レールの間隔を異なる幅状態に変更する場合においても、第１実施形態では、コンベア部２１とコンベア部２２とをそれぞれＹ方向に移動させながらコンベア間隔Ｄを調整することができるので、コンベア間隔Ｄの調整と所定位置への移動との両方が、コンベア部２１およびコンベア部２２のうちの移動距離の長い方の基準位置から所定位置までの移動に要する時間のみで済む。これにより、実装対象のプリント基板１の幅が変更される場合の準備作業に要する時間を短縮することができる。特に、プリント基板１ｂの基板搬送装置２０による搬出後、段取り替えのためバックアップピン６２の配置替えをする場合、コンベア部２１およびコンベア部２２は、新たなコンベア間隔Ｄで支持板４１ａのＹ方向位置上方に位置することが求められる。この場合、段取り替えの準備に要する時間を短縮することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、基板搬送装置２０に、コンベア部２１およびコンベア部２２の両方をＹ方向に移動させる駆動モータ２５と、コンベア部２１をＹ方向に移動させる回転モータ２６とを設けることによって、駆動モータ２５と回転モータ２６とによって、容易にコンベア部２２とコンベア部２１とをそれぞれＹ方向に独立して移動可能とすることができる。

また、第１実施形態では、上記のように、主制御部１０２を、入口搬送装置１０からプリント基板１を搬入可能な搬送位置Ｐ４にコンベア部２２を配置した状態で、コンベア部２１をＹ方向に移動させることにより、コンベア部２２とコンベア部２１とのコンベア間隔Ｄを調整することが可能なように、駆動モータ２５および回転モータ２６を制御可能に構成することによって、コンベア間隔Ｄの調整時に、搬送位置Ｐ４にコンベア部２２を配置した状態で、コンベア部２１を移動させてコンベア間隔Ｄを調整することによって、コンベア部２１およびコンベア部２２の移動距離を少なくすることができる。これにより、定位置へ移動させてコンベア間隔を調整した後、搬送路からのプリント基板１の搬入位置までコンベア部２１とコンベア部２２とを移動させる構成と比べて、不必要な移動を抑制してプリント基板１の幅の変更時の準備作業に要する時間をさらに短縮することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、主制御部１０２を、基板搬送装置２０にプリント基板１が搭載されていない状態で、コンベア部２２およびコンベア部２１のＹ方向への移動速度をそれぞれ異ならせることによりコンベア部２２とコンベア部２１とのコンベア間隔Ｄを調整するように移動するように、駆動モータ２５および回転モータ２６を制御可能に構成することによって、プリント基板１の幅の変更時の準備作業のためにコンベア部２２およびコンベア部２１を実装作業位置Ｐ２に移動させる場合などに、コンベア部２２およびコンベア部２１の移動速度をそれぞれ異ならせることによってコンベア間隔Ｄを調整しながら実装作業位置Ｐ２に移動させることができる。これにより、コンベア部２２およびコンベア部２１の実装作業位置Ｐ２への移動とコンベア間隔Ｄの調整とを同時に行うことができるので、コンベア間隔の調整と作業位置への移動とを個別に行う場合と比較して、プリント基板１の幅の変更時の準備作業に要する時間をさらに短縮することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、基板搬送装置２０のボールナット２２６を、コンベア部２２に固定的に取り付け、ボールナット２１６を、コンベア部２１に回転可能に取り付けるとともに、回転モータ２６によりボールネジ軸２３ａ（２３ｂ）に対して回転駆動されるように構成することによって、駆動モータ２５によってボールネジ軸２３ａ（２３ｂ）を回転駆動することによってコンベア部２２およびコンベア部２１の両方を移動させることができるので、コンベア部２２とコンベア部２１とを容易に同期させて移動させることができる。また、回転モータ２６によってボールナット２１６を回転駆動することによってコンベア部２１のみを移動させることができるので、駆動モータ２５と回転モータ２６とによる駆動を組み合わせてコンベア部２２およびコンベア部２１をそれぞれ独立して移動させることができるとともに、駆動モータ２５を用いた場合にコンベア部２２およびコンベア部２１の両方をＹ方向に移動させることができる。

また、第１実施形態では、上記のように、一対のボールネジ軸２３ａおよび２３ｂに螺合する一対のボールナット２１６にプーリ２１６ｃをそれぞれ一体的に回転可能に設け、回転モータ２６にプーリ２６１が回転駆動されるように設け、一対のボールナット２１６のそれぞれに設けられたプーリ２１６ｃと、回転モータ２６に回転駆動されるプーリ２６１とをベルト２６２を介して連結することによって、回転モータ２６により一対のボールナット２１６が同期して回転駆動するように構成することによって、ボールネジ軸２３ａおよび２３ｂをＸ方向に一対設けることによって、一対のボールネジ軸２３ａおよび２３ｂのそれぞれに（一対の）ボールナット２１６を設けた場合にも、回転モータ２６によるボールナット２１６の回転駆動を、プーリ２１６ｃ、プーリ２６１およびベルト２６２を用いて容易に同期させることができる。

また、第１実施形態では、上記のように、基板支持装置４０ａの支持板４１ａを、基板搬送装置２０の一対のボールネジ軸２３ａおよび２３ｂの上方（矢印Ｚ１方向）に配置するとともに、平面的に見て、一対のボールネジ軸２３ａおよび２３ｂの互いに対向する側とは反対側の外縁部の両外側（ボールネジ軸２３ａのＸ２方向側およびボールネジ軸２３ｂのＸ１方向側）まで一対のボールネジ軸２３ａおよび２３ｂの両方を覆うように形成することによって、ボールネジ軸２３ａ（２３ｂ）の上方に配置された支持板４１ａにより一対のボールネジ軸２３ａおよび２３ｂの両方をボールネジ軸２３ａおよび２３ｂの外縁部の外側まで覆うことによって、回転駆動されるボールネジ軸２３ａ（２３ｂ）に上方から異物が付着するのを抑制することができる。また、この支持板４１ａにより、ボールネジ軸２３ａ（２３ｂ）の回転によってグリスなどが上方に飛散するのを抑制することができる。これにより、ボールネジ軸２３ａおよび２３ｂに異物が付着することに起因する故障等を抑制することができるとともに、ボールネジ軸２３ａおよび２３ｂ回転時に飛散するグリスがプリント基板１等に付着するのも抑制することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、駆動モータ２５および回転モータ２６をそれぞれ、サーボモータにより構成することによって、サーボモータをそれぞれ駆動モータ２５および回転モータ２６として用いることにより、コンベア部２２とコンベア部２１とを独立して移動させる構成を容易に得ることができる。

（第２実施形態）
次に、図１４を参照して、本発明の第２実施形態による表面実装機１００の基板搬送装置４２０について説明する。この第２実施形態では、矢印Ｙ１方向側のコンベア部２１のボールナット２１６を回転モータ２６（サーボモータ）と、プーリ２６１、プーリ２１６ｃおよびベルト２６２を用いて回転させることにより、コンベア部２１をＹ方向に移動可能に構成した上記第１実施形態と異なり、ボールネジ軸２３ｂ（２３ａ）が貫通する中空モータ４２６により、ボールナット２１６を直接回転駆動させるように構成した例について説明する。なお、基板搬送装置４２０は、本発明の「基板搬送装置」の一例である。また、中空モータ４２６は、本発明の「第２駆動部」の一例である。

図１４に示すように、第２実施形態では、基板搬送装置４２０の矢印Ｙ１方向側のコンベア部４２１には、ブラケット４２６ｂを介して中空モータ４２６が設けられている。中空モータ４２６は、中空筒状のロータ４２６ａを有し、ボールネジ軸２３ｂ（２３ａ）がそれぞれ中空モータ４２６のロータ４２６ａを非接触の状態で貫通するようにして取り付けられている。中空モータ４２６のロータ４２６ａは、ボールネジ軸２３ｂ（２３ａ）と螺合するボールナット２１６に連結されるとともに、ベアリング２１６ｂに回転可能に支持されている。また、中空モータ４２６には、エンコーダ４２６ｃが設けられている。中空モータ４２６は、ステータに供給される電流を制御することによって、ロータ４２６ａを回転させてボールナット２１６をボールネジ軸２３ｂ（２３ａ）に対して回転させることが可能なように構成されている。なお、コンベア部４２１は、本発明の「第２コンベア部」の一例である。

第２実施形態では、上記第１実施形態と同様に駆動モータ２５により一対のボールネジ軸２３ａおよび２３ｂを回転させることによって、コンベア部４２１および２２を同期させてＹ方向に移動させることができるとともに、中空モータ４２６によりコンベア部４２１のボールナット２１６を回転させることによって、コンベア部４２１のみをＹ方向に移動させることが可能である。そして、駆動モータ２５による駆動と、中空モータ４２６による駆動とを組み合わせることにより、コンベア部４２１および２２の各々を、Ｙ方向にそれぞれ独立して移動させることが可能である。

なお、第２実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。

第２実施形態では、上記のように、駆動モータ２５と中空モータ４２６とを用いることによって、コンベア部２２とコンベア部４２１とを独立して移動させる構成を容易に得ることができる。また、中空モータ４２６を用いる場合には、複数のプーリやベルトを用いることなく、中空筒状のロータ４２６ａを直接ボールナット２１６に連結することができるので、少ない部品点数で、より容易にコンベア部２２とコンベア部４２１とをＹ方向に移動させることができる。

なお、第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。

（第３実施形態）
次に、図１５を参照して、本発明の第３実施形態による表面実装機１００の基板搬送装置５２０について説明する。この第３実施形態では、矢印Ｙ１方向側のコンベア部４２１のボールナット２１６を中空モータ４２６を用いて回転させるとともに、駆動モータ２５を用いてボールネジ軸２３ａ（２３ｂ）を回転させるように構成した上記第２実施形態と異なり、ボールネジ軸５２３ｂ（５２３ａ）を固定的に設けるとともに、コンベア部４２１および５２２の両方を、それぞれ中空モータ４２６および５２５によって移動させるように構成した例について説明する。なお、基板搬送装置５２０は、本発明の「基板搬送装置」の一例である。中空モータ５２５は、本発明の「第１駆動部」の一例である。また、コンベア部５２２は、本発明の「第１コンベア部」の一例である。

図１５に示すように、第３実施形態では、基板搬送装置５２０の一対のボールネジ軸５２３ｂ（５２３ａ）は、それぞれＹ方向に延びるように設けられるとともに、両端を支持部材５２４により固定的に支持されている。

また、矢印Ｙ２方向側のコンベア部５２２には、ボールネジ軸５２３ｂ（５２３ａ）にそれぞれ螺合するボールナット５２６が設けられている。また、コンベア部５２２には、ブラケット５２５ｂを介して中空モータ５２５が設けられている。中空モータ５２５は、中空筒状のロータ５２５ａを有し、ボールネジ軸５２３ｂ（５２３ａ）がそれぞれ中空モータ５２５のロータ５２５ａを非接触の状態で貫通するようにして取り付けられている。中空モータ５２５のロータ５２５ａは、ボールネジ軸５２３ｂ（５２３ａ）と螺合するボールナット５２６に連結されるとともに、ベアリング５２６ｂに回転可能に支持されている。これにより、ボールネジ軸５２３ｂ（５２３ａ）と螺合するボールナット５２６は、中空モータ５２５のロータ５２５ａとともに一体的に回転するように構成されている。また、中空モータ５２５には、エンコーダ５２５ｃが設けられている。中空モータ５２５は、ステータに供給される電流を制御することによって、ロータ５２５ａを回転させてボールナット５２６をボールネジ軸５２３ｂ（５２３ａ）に対して回転させることが可能なように構成されている。

第３実施形態では、中空モータ５２５によりコンベア部５２２のボールナット５２６を回転させることによって、コンベア部５２２のみを独立してＹ方向に移動させることができる。また、中空モータ４２６によりコンベア部４２１のボールナット２１６を回転させることによって、コンベア部４２１のみを独立してＹ方向に移動させることが可能である。なお、矢印Ｙ１方向側のコンベア部４２１の構成は、上記第２実施形態と同様である。これにより、中空モータ５２５による駆動と、中空モータ４２６による駆動とにより、コンベア部５２２および４２１の各々を、Ｙ方向にそれぞれ独立して移動させることが可能なように構成されている。

なお、第３実施形態のその他の構成は、上記第２実施形態と同様である。

第３実施形態では、上記のように、中空モータ５２５と中空モータ４２６とを用いることによって、コンベア部５２２とコンベア部４２１とを完全にＹ方向に独立して移動させることができる。これにより、基板搬送装置５２０のコンベア間隔の調整や、コンベア部５２２およびコンベア部４２１の移動をより容易に行うことが可能である。また、中空モータ５２５を用いる場合には、複数のプーリやベルトを用いることなく、中空筒状のロータ５２５ａを直接ボールナット５２６に連結することができるので、少ない部品点数で、より容易にコンベア部５２２とコンベア部４２１とをＹ方向に移動させることができる。

なお、第３実施形態のその他の効果は、上記第２実施形態と同様である。

（第４実施形態）
次に、図１６を参照して、本発明の第４実施形態による表面実装機１００の基板搬送装置６２０について説明する。この第４実施形態では、各コンベア部５２２および４２１を、それぞれボールネジ軸５２３ｂ（５２３ａ）に螺合するボールナット５２６および２１６を回転させることによりＹ方向に移動させるように構成した上記第３実施形態と異なり、ボールネジ軸５２３ｂ（５２３ａ）の代わり磁石を複数充填した中空軸からなる固定子６２３ｂ（６２３ａ）を固定的に設けるとともに、コンベア部６２１および６２２の各々に、それぞれ界磁コイルからなる可動子６２５および６２６を設けることによって移動させるように構成した例について説明する。なお、基板搬送装置６２０は、本発明の「基板搬送装置」の一例である。

図１６に示すように、第４実施形態では、基板搬送装置６２０の一対の固定子６２３ｂ（６２３ａ）は、それぞれＹ方向に延びるように設けられるとともに、両端を支持部材６２４により固定的に支持されている。この固定子６２３ｂ（６２３ａ）は、それぞれ、中空軸６２３ｃの内部に、Ｙ方向に複数配列された磁石６２３ｄを有している。これらの複数の磁石６２３ｄは、Ｙ方向に沿って、磁極を所定のパターンで異ならせるように配列されている。

また、矢印Ｙ１方向側のコンベア部６２１には、中空筒状の可動子６２６が設けられている。この可動子６２６は、固定子６２３ｂ（６２３ａ）が中心を僅かに隙間を開けて貫通するようにして、コンベア部６２１に固定的に取り付けられている。可動子６２６は、ケース６２６ｂの内部に界磁コイル６２６ａを有している。これにより、可動子６２６の界磁コイル６２６ａは、固定子６２３ｂ（６２３ａ）の磁石６２３ｄに近接するように配置されるように構成されている。可動子６２６は、界磁コイル６２６ａに供給される電流を制御することによって固定子６２３ｂ（６２３ａ）に沿って、コンベア部６２１をＹ方向に移動させるように構成されている。なお、コンベア部６２１は、本発明の「第２コンベア部」の一例である。

また、矢印Ｙ２方向側のコンベア部６２２も同様に、中空筒状の可動子６２５が設けられている。可動子６２５の構成は、可動子６２６と同様である。これにより、可動子６２５に供給される電流を制御することによって、コンベア部６２２をＹ方向に移動させるように構成されている。これらの各コンベア部６２１および６２２には、図示しないリニアスケールによって、それぞれの位置制御が行われるように構成されている。なお、コンベア部６２２は、本発明の「第１コンベア部」の一例である。

第４実施形態では、共通の固定子６２３ｂ（６２３ａ）と、可動子６２５および６２６とを用いることにより、コンベア部６２２および６２１のそれぞれを独立してＹ方向に移動させることができるように構成されている。

なお、第４実施形態のその他の構成は、上記第３実施形態と同様である。

第４実施形態では、上記のように、共通の固定子６２３ｂ（６２３ａ）と、可動子６２５および６２６とを用いることにより、コンベア部６２２および６２１のそれぞれを独立してＹ方向に移動させることができる。これにより、基板搬送装置６２０のコンベア間隔の調整や、コンベア部６２２およびコンベア部６２１の移動を容易に行うことが可能である。また、上記のように固定子６２３ｂ（６２３ａ）と可動子６２５および６２６とからなるリニアモータを用いて各コンベア部６２１および６２２を移動させる場合には、複数のプーリやベルトを用いることなく、各コンベア部６２１および６２２を独立して移動させることができるので、少ない部品点数で、より容易にコンベア部６２２とコンベア部６２１とをＹ方向に移動させることができる。

なお、第４実施形態のその他の効果は、上記第３実施形態と同様である。

なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

たとえば、上記第１実施形態では、基板搬送装置２０を矢印Ｘ１方向側に配置するとともに、基板搬送装置３０を矢印Ｘ２方向側に配置した例を示したが、本発明はこれに限らず、基板搬送装置２０を矢印Ｘ２方向側に配置するとともに、基板搬送装置３０を矢印Ｘ１方向側に配置してもよい。

また、上記第１実施形態では、プリント基板１をＹ方向に移動可能に構成した基板搬送装置２０とコンベア間隔Ｄの調整のみが可能な基板搬送装置３０とをそれぞれ設けた例を示したが、本発明はこれに限らず、図１７に示す変形例のように、プリント基板１をＹ方向に移動可能な２つの基板搬送装置２０ａおよび２０ｂを設けてもよい。なお、基板搬送装置２０ａおよび２０ｂは、それぞれ、本発明の「基板搬送装置」の一例である。

図１７に示す表面実装機１００の変形例では、基板搬送コンベア２は、矢印Ｘ１方向側から順に搬送方向に沿って並ぶように配列された、入口搬送装置１０ａと、基板搬送装置２０ａと、基板搬送装置２０ｂと、出口搬送装置１０ｂとの４つの搬送装置により構成されている。２つの基板搬送装置２０ａおよび２０ｂは、それぞれプリント基板１（１ｂ）をＹ方向に移動可能に構成されるとともに、コンベア間隔を変更可能に構成されている。そして、第１ヘッドユニット３および第２ヘッドユニット４によりプリント基板１ｂに部品を搭載する際には、基板搬送装置２０ａまたは基板搬送装置２０ｂのうちの一方が矢印Ｙ１方向に移動して、第１ヘッドユニット３による実装作業位置へプリント基板１ｂを配置するとともに、動搬送装置２０ａまたは基板搬送装置２０ｂのうちの他方が矢印Ｙ２方向に移動して、第２ヘッドユニット４による実装作業位置へプリント基板１ｂを配置することが可能なように構成されている。この変形例に示すように、表面実装機１００にプリント基板１をＹ方向に移動可能に構成した２つの基板搬送装置２０ａおよび２０ｂを設けてもよい。

また、上記第１実施形態では、入口搬送装置１０および基板搬送装置３０の固定側のコンベア部１２および３２を、それぞれ矢印Ｙ２方向側のテープフィーダ６の近傍に配置して基板搬送コンベア２を矢印Ｙ２方向に寄せるように構成した例を示したが、本発明はこれに限らず、図１７に示す変形例のように、入口搬送装置１０ａと、基板搬送装置２０ａと、基板搬送装置２０ｂと、出口搬送装置１０ｂとからなる基板搬送コンベア２を、Ｙ方向の中央に配置してもよい。このように構成する場合には、矢印Ｙ１方向側のテープフィーダ６に近傍に実装対象のプリント基板１ｂを寄せる場合、および、矢印Ｙ２方向側のテープフィーダ６の近傍にプリント基板１ｂを寄せる場合のいずれの場合にも、基板搬送装置２０ａ（２０ｂ）の移動距離を略等しくすることが可能である。ただし、このように構成する場合には、プリント基板をＹ方向に移動できない基板搬送装置３０は適さないので、プリント基板をＹ方向に移動可能な基板搬送装置を２台用いるのが好ましい。

また、上記第１実施形態では、基板搬送装置２０の矢印Ｙ２方向側のコンベア部２２には、ボールナット２２６を固定的に設け、ボールネジ軸２３ａ（２３ｂ）によってのみＹ方向に移動可能に構成し、矢印Ｙ１方向側のコンベア部２１には、ボールナット２１６を回転可能に設け、回転モータ２６を用いて独立してＹ方向に移動できるように構成した例を示したが、本発明はこれに限らず、矢印Ｙ１方向側のコンベア部２１のボールナットを固定的に設けるとともに、矢印Ｙ２方向側のコンベア部２２のボールナットを回転可能に設けて回転モータにより駆動されるように構成してもよい。

また、上記第１実施形態では、図５に示すように、基板支持装置４０ａの支持板４１ａを、一対のボールネジ軸２３ａおよび２３ｂの互いに対向する側とは反対側の外縁部の両外側までボールネジ軸２３ａおよび２３ｂの両方を覆うように構成した一方、Ｙ方向については、支持板４１ａがボールネジ軸２３ａおよび２３ｂの一部のみを覆うように構成した例を示したが、本発明はこれに限らず、平面的に見て、基板支持装置の支持板を、一対のボールネジ軸のＸ方向側およびＹ方向側の両方を完全に覆うように構成してもよい。

また、上記実施形態では、制御装置１０１の主制御部１０２によって、表面実装機１００の各部（基板搬送コンベア２の入口搬送装置１０、基板搬送装置２０および基板搬送装置３０の各々）の制御を行うように構成したが、本発明はこれに限らず、表面実装機に制御装置を設けることなく、ネットワークを介して表面実装機と接続されたホストコンピュータにより表面実装機の各部を制御するように構成してもよい。この場合には、表面実装機には、ホストコンピュータからの制御信号に基づいて各サーボモータなどを制御する駆動制御部を少なくとも設けておけばよい。また、表面実装機の制御装置の記憶部を、ホストコンピュータ側に設けるように構成してもよい。

１、１ａ、１ｂ プリント基板（基板）
３ 第１ヘッドユニット（ヘッドユニット）
４ 第２ヘッドユニット（ヘッドユニット）
２０、２０ａ、２０ｂ、４２０、５２０、６２０ 基板搬送装置
２１、４２１、５２１、６２１ コンベア部（第２コンベア部）
２２、５２２、６２２ コンベア部（第１コンベア部）
２３ａ、２３ｂ ボールネジ軸（ネジ軸）
２５ 駆動モータ（第１駆動部、サーボモータ）
２６ 回転モータ（第２駆動部、サーボモータ）
４０ａ 基板支持装置
４１ａ 支持板
９０ 実装ヘッド部
１００ 表面実装機（部品実装装置）
１０２ 主制御部（制御部）
２１６ ボールナット（第２ナット）
２１６ｃ プーリ（第１プーリ）
２２６ ボールナット（第１ナット）
２６１ プーリ（第２プーリ）
２６２ ベルト
４２６ 中空モータ（第２駆動部）
５２５ 中空モータ（第１駆動部）
６２３ａ、６２３ｂ 固定子
６２５、６２６ 可動子

Claims (5)

1. 基板に部品を装着する実装ヘッド部を含むヘッドユニットと、
   搬送路から搬入される前記基板を所定の搬送方向に搬送する基板搬送装置とを備え、
   前記基板搬送装置は、平面的に見て、前記基板の前記搬送方向と直交する方向に対向するように配置され、前記搬送方向に前記基板を搬送する第１コンベア部および第２コンベア部を含み、
   前記第１コンベア部および前記第２コンベア部は、平面的に見て、それぞれ前記搬送方向と直交する方向に独立して移動可能に構成されており、
   前記基板搬送装置は、少なくとも前記第１コンベア部を前記搬送方向と直交する方向に移動させる第１駆動部と、前記第２コンベア部を前記搬送方向と直交する方向に移動させる第２駆動部とを含み、
   前記基板搬送装置の動作を制御する制御部をさらに備え、
   前記制御部は、搬送路から前記基板を搬入可能な位置に前記第１コンベア部または前記第２コンベア部の一方を配置した状態で、前記第１コンベア部または前記第２コンベア部の他方を前記搬送方向と直交する方向に移動させることにより、前記第１コンベア部と前記第２コンベア部との前記搬送方向と直交する方向の間隔を調整するように、前記第１駆動部および前記第２駆動部を制御可能に構成されており、
   前記制御部は、前記基板搬送装置に前記基板が搭載されていない状態で、前記第１コンベア部および前記第２コンベア部の前記搬送方向に直交する方向への移動速度をそれぞれ異ならせることにより前記第１コンベア部と前記第２コンベア部との前記搬送方向と直交する方向の間隔を調整するように移動するように、前記第１駆動部および前記第２駆動部を制御可能に構成されており、
   前記基板搬送装置は、前記搬送方向と直交する方向に延びるように設けられ、前記第１駆動部により回転駆動されるネジ軸と、前記ネジ軸に螺合される第１ナットおよび第２ナットとをさらに含み、
   前記第１ナットは、前記第１コンベア部に固定され、
   前記第２ナットは、前記第２コンベア部に回転可能に取り付けられるとともに、前記第２駆動部により前記ネジ軸に対して回転駆動されるように構成されている、部品実装装置。
2. 基板に部品を装着する実装ヘッド部を含むヘッドユニットと、
   搬送路から搬入される前記基板を所定の搬送方向に搬送する基板搬送装置とを備え、
   前記基板搬送装置は、平面的に見て、前記基板の前記搬送方向と直交する方向に対向するように配置され、前記搬送方向に前記基板を搬送する第１コンベア部および第２コンベア部を含み、
   前記第１コンベア部および前記第２コンベア部は、平面的に見て、それぞれ前記搬送方向と直交する方向に独立して移動可能に構成されており、
   前記基板搬送装置は、少なくとも前記第１コンベア部を前記搬送方向と直交する方向に移動させる第１駆動部と、前記第２コンベア部を前記搬送方向と直交する方向に移動させる第２駆動部とを含み、
   前記基板搬送装置は、前記搬送方向と直交する方向に延びるように設けられ、前記第１駆動部により回転駆動されるネジ軸と、前記ネジ軸に螺合される第１ナットおよび第２ナットとをさらに含み、
   前記第１ナットは、前記第１コンベア部に固定され、
   前記第２ナットは、前記第２コンベア部に回転可能に取り付けられるとともに、前記第２駆動部により前記ネジ軸に対して回転駆動されるように構成されている、部品実装装置。
3. 前記ネジ軸と前記ネジ軸に螺合する前記第１ナットおよび前記第２ナットとは、前記搬送方向に所定の間隔を隔てて一対ずつ設けられ、
   前記一対の第２ナットには、第１プーリがそれぞれ一体的に回転可能に設けられ、
   前記第２駆動部には、第２プーリが回転駆動されるように設けられ、
   前記一対の第２ナットのそれぞれに設けられた複数の前記第１プーリと、前記第２駆動部により回転駆動される前記第２プーリとがベルトを介して連結されることによって、前記第２駆動部により前記一対の第２ナットが同期して回転駆動されるように構成されている、請求項１または２に記載の部品実装装置。
4. 昇降可能に構成されるとともに、前記基板搬送装置に搭載された基板を下方から支持する支持板を含む基板支持装置をさらに備え、
   前記支持板は、前記基板搬送装置の前記一対のネジ軸の上方に配置されるとともに、平面的に見て、前記一対のネジ軸の互いに対向する側とは反対側の外縁部の両外側まで前記一対のネジ軸の両方を覆うように形成されている、請求項３に記載の部品実装装置。
5. 前記第２駆動部は、前記第２コンベア部に取り付けられる中空モータからなり、前記中空モータは、前記ネジ軸が貫通するとともに前記第２ナットに連結され、前記第２ナットを回転駆動する筒状のロータを有するように構成されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の部品実装装置。

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