JP5380395B2 - インクジェットヘッド及びその製造方法 - Google Patents
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Description
絶縁基板と、前記絶縁基板の上面に配置された枠体と、前記絶縁基板の上面において前記枠体で囲まれた内側にインク圧力室を形成する圧電部材と、前記インク圧力室に対向するノズル穴を有するノズルプレートと、前記ノズルプレートの少なくとも上面にコーティングされ、前記ノズル穴を囲む領域を含む撥インク性の第1領域と、前記第1領域よりもインクの接触角が小さい親インク性の第2領域と、含む被膜と、を具備することを特徴とするインクジェットヘッドが提供される。
絶縁基板と、前記絶縁基板の上面に配置された枠体と、前記絶縁基板の上面において前記枠体で囲まれた内側にインク圧力室を形成する圧電部材と、前記インク圧力室に対向するノズル穴を有するノズルプレートと、を具備するインクジェットヘッドの製造方法であって、前記ノズルプレートの少なくとも上面に撥インク性の被膜をコーティングし、前記被膜の一部を基材で押さえ、前記被膜を形成する材料のガラス転移点以上の温度で前記ノズルプレート及び前記被膜を加熱し、前記基材を剥離し、前記基材で押さえなかった領域に撥インク性の第1領域を形成するとともに、前記基材で押さえた領域に前記第1領域よりもインクの接触角が小さい親インク性の第2領域を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法が提供される。
10…主要部
11…絶縁基板 12…枠体 13…圧電部材 14…インク圧力室
20…ノズルプレート 21(A、B、C)…ノズル穴
30…マスクプレート
40…ホルダ 41…インク導入路 42…インク回収路
50…被膜 51…第1領域 52…第2領域
60…ブレード
70…基材
Claims (12)
- 絶縁基板と、
前記絶縁基板の上面に配置された枠体と、
前記絶縁基板の上面において前記枠体で囲まれた内側にインク圧力室を形成する圧電部材と、
前記インク圧力室に対向するノズル穴を有するノズルプレートと、
前記ノズルプレートの少なくとも上面にコーティングされ、前記ノズル穴を囲む領域を含む撥インク性の第1領域と、前記第1領域よりもインクの接触角が小さい親インク性の第2領域と、含む被膜と、
を具備し、
前記ノズルプレートの下面と前記枠体及び前記圧電部材とは、前記被膜を形成する材料のガラス転移点以下の温度で硬化する熱硬化型樹脂によって接着されたことを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記絶縁基板は、前記枠体で囲まれた内側に、前記インク圧力室にインクを供給するインク供給口、及び、前記インク圧力室を通過したインクを排出するインク排出口を有することを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド。
- さらに、前記インク供給口に向けてインクを導入するためのインク導入路、及び、前記インク排出口から排出されたインクを回収するインク回収路を有するホルダを備え、
前記絶縁基板の下面と前記ホルダの上面とは、前記被膜を形成する材料のガラス転移点以下の温度で硬化する熱硬化型樹脂によって接着されたことを特徴とする請求項2に記載のインクジェットヘッド。 - さらに、前記ノズルプレートを囲む枠状のマスクプレートを備え、
前記マスクプレートと前記枠体とは、前記被膜を形成する材料のガラス転移点以下の温度で硬化する熱硬化型樹脂によって接着されたことを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド。 - 絶縁基板と、前記絶縁基板の上面に配置された枠体と、前記絶縁基板の上面において前記枠体で囲まれた内側にインク圧力室を形成する圧電部材と、前記インク圧力室に対向するノズル穴を有するノズルプレートと、を具備するインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記ノズルプレートの少なくとも上面に撥インク性の被膜をコーティングし、
前記被膜の一部を基材で押さえ、
前記被膜を形成する材料のガラス転移点以上の温度で前記ノズルプレート及び前記被膜を加熱し、
前記基材を剥離し、
前記基材で押さえなかった領域に撥インク性の第1領域を形成するとともに、前記基材で押さえた領域に前記第1領域よりもインクの接触角が小さい親インク性の第2領域を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記ノズルプレートには、前記インク圧力室に対向するノズル穴が形成され、
前記第1領域は、前記ノズル穴を囲む領域を含むことを特徴とする請求項5に記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記第2領域は、前記ノズルプレートの上面における周縁部をコーティングする領域に形成されたことを特徴とする請求項5に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記被膜は、フッ素樹脂によって形成されたことを特徴とする請求項5に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記第1領域を形成する材料は前記フッ素樹脂であり、前記第2領域を形成する材料は前記フッ素樹脂が変質したものであることを特徴とする請求項8に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記ノズルプレート及び前記被膜を加熱する工程は、前記ノズルプレートの下面と前記枠体及び前記圧電部材とを接着する熱硬化型樹脂を硬化する加熱工程と同一であることを特徴とする請求項5に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記ノズルプレート及び前記被膜を加熱する工程は、インク導入路及びインク回収路を有するホルダの上面と前記絶縁基板の下面とを接着する熱硬化型樹脂を硬化する加熱工程と同一であることを特徴とする請求項5に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記ノズルプレート及び前記被膜を加熱する工程は、前記ノズルプレートを囲む枠状のマスクプレートと前記枠体とを接着する熱硬化型樹脂を硬化する加熱工程と同一であることを特徴とする請求項5に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
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