JP5373571B2 - プローブカード - Google Patents
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Description
2 プローブ
3、3’ プローブ基板
4 位置決めポスト
5 配線層
6 メイン基板
7 両面テープ
7’ フィルム接着剤
8 固定用樹脂
9 中継配線基板
10、10’ プローブユニット
11、15、17 フォトレジスト
12、16 開口
13 導電体
14 犠牲層
18 Auパターン
19 ステージ
20 ST基板
21 ガイド板
22 電極パッド
23 配線
24 ガイド
25 補強板
26 外部端子
27 内部配線
28 ワイヤ配線
29 貫通孔
30 位置決め治具
31 基板
32 位置決め穴
33 凸部
34 剥離剤
35 治具
Claims (1)
- プローブ基板に複数のプローブを配置したプローブユニットと、前記プローブユニットが固定される基板と、前記基板に接続され、外部信号が入力されるメイン基板とを備えるプローブカードであって、
前記プローブユニットのプローブ基板と前記基板との間には硬化した接着剤が挟まれていて、前記プローブ基板には、前記接着剤へと通じ、前記プローブ基板を取り外す際に、前記接着剤の粘着強度を弱くするために、前記接着剤に剥離剤を供給し得る貫通孔が設けられていることを特徴とするプローブカード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009271618A JP5373571B2 (ja) | 2009-11-30 | 2009-11-30 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009271618A JP5373571B2 (ja) | 2009-11-30 | 2009-11-30 | プローブカード |
Publications (3)
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---|---|
JP2011112606A JP2011112606A (ja) | 2011-06-09 |
JP2011112606A5 JP2011112606A5 (ja) | 2012-10-11 |
JP5373571B2 true JP5373571B2 (ja) | 2013-12-18 |
Family
ID=44235038
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2009271618A Active JP5373571B2 (ja) | 2009-11-30 | 2009-11-30 | プローブカード |
Country Status (1)
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Family Cites Families (3)
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JP2007171140A (ja) * | 2005-12-26 | 2007-07-05 | Apex Inc | プローブカード、インターポーザおよびインターポーザの製造方法 |
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-
2009
- 2009-11-30 JP JP2009271618A patent/JP5373571B2/ja active Active
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