JP5365243B2 - ベルト搬送研磨機 - Google Patents
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Description
ワーク中心部を同等の均一性で研磨することが出来る。上記効果により、ワークの端まで使用することが可能となり、1つのワークから製品を多面取りするような場合においても収率を上げることが可能となる
本発明のベルト搬送研磨装置が対象とするのは、ガラス基板上に形成された着色画素のように、樹脂膜を研磨すべきワークである。そのため、前記した樹脂膜、すなわち、粘弾性のある膜を研磨するため、矩形の剛体板(2)と弾性体の研磨パッド(3)との複合構造の研磨ヘッドが用いられる。しかしながら、従来のベルト搬送研磨装置では、弾性体の研磨パッドをワークに押し当てた後研磨を実施するが、この場合、搬送ベルトに対する研磨ヘッドの高さを規定値に設定するクリアランス調整が難しく、図3に示すように、研磨パッド(11)とワーク(1)の端部で研磨パッド(11)の面ダレが発生し、ワーク表面の不均一性や基板端部に位置する製品が不良になる問題点があった。
5・・・回動軸 10・・・研磨ヘッド 11・・・研磨パッド
12・・・搬送ベルト 13・・・コロ・コンベア 14・・研磨液供給ノズル
16・・・支持台 17・・・フリーボールベアリング 18・・・ボールネジ
19・・・下定盤 20・・・研磨部 30・・・研磨液供給部
BM・・・ブラックマトリックス
R・・・赤色画素 G・・・緑色画素 B・・・青色画素
Claims (1)
- 少なくとも、研磨対象のカラーフィルタ(ワーク)面を上向きにして搬送ベルト上に載置された状態で水平に搬送するベルト搬送機構と、矩形の剛体板とその下面に配置された弾性体の研磨パッドからなる研磨ヘッドと、前記研磨ヘッドの上部で一体的に連結されている回動軸を備え、前記回動軸により回動する前記研磨パッドを水平搬送されている前記ワーク表面に押し付けながら研磨するベルト搬送式研磨装置において、
搬送ベルトの幅方向の外側で前記剛体板を支持する支持台と、
前記支持台を規定の高さに昇降する機構と、
を有し、前記搬送ベルトに対する前記研磨ヘッドの高さを規定値に設定するクリアランス調整手段を備えることを特徴とするベルト搬送式研磨装置。
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