JP5361464B2 - 圧力センサ用容器の製造方法 - Google Patents
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Description
図1(a)は、本実施形態に係る圧力センサ用容器および圧力センサの一例を示す平面図である。図1(b)は、図1(a)中に示した切断線X−X´に沿って切断した断面図である。図1(c)は、図1(b)に示す圧力センサ用容器および圧力センサの一部を拡大した断面図である。
図3は、本実施形態に係る圧力センサ用容器および圧力センサの一例を示す断面図である。なお、図3において、図1と同様の機能を有する構成については、同じ参照符号を付記し、その詳細な説明を省略する。
図4は、本実施形態に係る圧力センサ用容器および圧力センサの一例を示す断面図である。なお、図4において、図1と同様の機能を有する構成については、同じ参照符号を付記し、その詳細な説明を省略する。
図5は、本実施形態に係る圧力センサ用容器および圧力センサの一例を示す断面図である。なお、図5において、図1と同様の機能を有する構成については、同じ参照符号を付記し、その詳細な説明を省略する。
図6は、本実施形態に係る圧力センサ用容器および圧力センサの一例を示す断面図である。なお、図6において、図1と同様の機能を有する構成については、同じ参照符号を付記し、その詳細な説明を省略する。
図7は、本実施形態に係る圧力センサ用容器および圧力センサの一例を示す断面図である。なお、図7において、図1と同様の機能を有する構成については、同じ参照符号を付記し、その詳細な説明を省略する。
図8は、本実施形態に係る圧力センサ用容器および圧力センサにおけるダイアフラム2の一例を示す断面図である。すなわち、本実施形態に係るダイアフラム2は、図8(a)に示すように、外周部が肉厚で、中央部が薄肉部2aとなっている。すなわち、本実施形態に係るダイアフラム2は、外周部から中央部に向かうに従って厚みが薄くなっている。この構成により、ダイアフラム2に圧力が作用した際にダイアフラム2の略中央部の応力が分散し、かつ弾性変形し易くなる。このため、ダイアフラム2に大きな圧力が作用した場合であっても、ダイアフラム2が破損するのを抑制できる。
図9は、本実施形態に係る圧力センサ用容器および圧力センサの一例を示す断面図である。なお、図9において、図1と同様の機能を有する構成については、同じ参照符号を付記し、その詳細な説明を省略する。
図10は、本実施形態に係る圧力センサ用容器および圧力センサの一例を示す断面図である。なお、図10において、図1と同様の機能を有する構成については、同じ参照符号を付記し、その詳細な説明を省略する。
1a 感圧室
1b 傾斜面
1c スペーサ
1d 圧力調整用孔
1h 底面
1j 底板
2 ダイアフラム
3 接合部
3a ガラス質成分
4 電子部品
11 第1電極
12 基体のセラミック粒子
13 基体の粒界層
21 第2電極
22 ダイアフラムのセラミック粒子
23 ダイアフラムの粒界層
Claims (1)
- 酸化珪素を含むセラミックスの焼結体からなり、上面に開口した凹部を有する基体を準備する工程と、
酸化珪素を含むセラミックスの焼結体からなり、圧力が作用することによって変位するダイアフラムを準備する工程と、
前記基体の前記上面に前記凹部を覆って前記ダイアフラムを設置する工程と、
前記基体と前記ダイアフラムとをガラス質成分が溶出する温度で加熱することによって、前記基体と前記ダイアフラムとを前記基体および前記ダイアフラムの少なくとも1つから溶出されたガラス質成分を介して前記基体の前記凹部の周囲において全周にわたって連続的に接合して、前記基体と前記ダイアフラムとの間に感圧室を形成する工程と
を備える圧力センサ用容器の製造方法。
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