JP5358222B2 - エアフィルタ梱包体およびエアフィルタの梱包方法 - Google Patents

Description

本発明は、エアフィルタ梱包体およびエアフィルタの梱包方法に関する。さらに詳しくは、極めてエアフィルタのガス汚染を少なくしたエアフィルタ梱包体およびエアフィルタの梱包方法に関する。

一般に、エアフィルタは、特許文献１あるいは特許文献２の通りポリエチレンなどの合成樹脂フィルムからなる袋で梱包されており、輸送中、衝撃などによる破損が懸念されている。

特開２００２−１５４５８４号公報 実用新案登録第３１１２５４６号公報

ところが、特許文献１あるいは特許文献２では密閉された状態でエアフィルタが少量の袋及び部材から発生するガスに汚染されることまでは考慮されていない。特に、半導体、食品、製薬、バイオなどの分野で使われるエアフィルタは、少量でもエアフィルタの汚染を防ぐ必要がある。
特に、一般梱包袋から発するＢＨＴなどは、梱包した間にエアフィルタに移り、クリーンルームなどに設置した後、エアフィルタから再放出され、およそ数週間〜数ヶ月に渡って下流側を汚染させる。これが、半導体製造工程の不良率を高くする原因と指摘されてきた。
そこで、本発明は、吸着材と脱気梱包を利用してフィルタのガス汚染などを防げるエアフィルタ梱包体およびエアフィルタの梱包方法を提供することを目的とする。

本発明者等はかかる問題点を解決するべく鋭意検討の結果、エアフィルタ梱包体の内部にガス吸着材を同封することにより前記問題点を解決できることを知見した。
本発明のエアフィルタ梱包体とエアフィルタの梱包方法は、かかる知見に基づきなされたもので、本発明のエアフィルタ梱包体は、請求項１記載の通り、エアフィルタを梱包袋に収納したエアフィルタ梱包体において、前記エアフィルタの前後面と梱包袋の間にそれぞれガス吸着材を挿入したことを特徴とする。
また、請求項２記載のエアフィルタ梱包体は、請求項１記載のエアフィルタ梱包体において、前記ガス吸着材は、通気性シートで粒状吸着剤を挟持した板状ろ材を通気性袋体に収容してなるガス状汚染物質除去シートであることを特徴とする。
また、請求項３記載のエアフィルタ梱包体は、請求項２記載のエアフィルタ梱包体において、前記通気性袋体は、多孔膜を重ねてヒートシールして区画壁を形成したものであることを特徴とする。
また、請求項４記載のエアフィルタ梱包体は、請求項１乃至３の何れかに記載のエアフィルタ梱包体において、前記梱包袋は、ヒートシールが可能な合成樹脂フィルムからなることを特徴とする。
また、本発明のエアフィルタの梱包方法は、請求項５に記載の通り、エアフィルタの前後面と梱包袋の間にそれぞれガス吸着材を挿入してエアフィルタ梱包体とし、前記梱包体を脱気梱包したことを特徴とする。

本発明のエアフィルタ梱包体によれば、梱包体内への吸着材の同封で、フィルタ製品の発ガス量を極めて軽減することが可能であり、エアフィルタによる半導体製造工程等におけるガス汚染を防ぐことができる。
特に、前記吸着材を、通気性シートで粒状吸着剤を挟持した板状ろ材を通気性袋体に収容してなるガス状汚染物質除去シートとして構成した場合は、厚さ寸法を比較的均一に保つことができる。
また、前記通気性袋体を、多孔膜を重ねてヒートシールして区画壁を形成した場合は、複数種類の吸着剤を収容することができる。
また、前記梱包袋を、ヒートシールが可能な合成樹脂フィルムとした場合は、密封梱包が簡単に行え、特に、脱気した状態での密封梱包が簡単、且つ、確実に行なえる。
また、本発明のエアフィルタの梱包方法によれば、エアフィルタの前後面と梱包袋の間にガス吸着材を挿入してエアフィルタ梱包体とし、前記梱包体を脱気梱包するようにしたため、フィルタ製品の発ガス量を極めて軽減することが可能であり、エアフィルタによる半導体製造工程等におけるガス汚染を防ぐことができる。

本発明に用いるガス状汚染物質除去シートの一実施の形態の完成状体を示す説明正面図 同ガス状汚染物質除去シートにおける板状ろ材の収容前の状態を示す説明正面図 本発明エアフィルタ梱包体の一実施の形態の分解状態を示す斜視図

以下、本発明のエアフィルタ梱包体およびエアフィルタの梱包方法を実施するための最良の形態について説明する。
本発明のエアフィルタ梱包体は、エアフィルタ、ガス吸着材、梱包袋から構成される。

本発明におけるエアフィルタは、プレ・中性能・高性能の粒子除去フィルタ、ケミカルフィルタなどガス汚染が問題視されるエアフィルタ全てが対象となる。

本発明におけるガス吸着材は、通気性シートで粒状吸着剤を挟持した板状ろ材を通気性袋体に収容してなるガス状汚染物質除去シートに構成することが好ましい。
前記板状ろ材を構成するには、有機ガス除去用粒状活性炭、酸性ガス除去用イオン交換体、アルカリガス除去用イオン交換体等の粒状吸着剤を、通気性シートで挟持し、前記球状吸着剤の固定に使用した、粉末状ホットメルト樹脂や熱融着繊維等によって、前記シートを固定して、発生するガス量、ガス種等合わせて適切な大きさに裁断形成すればよい。

前記通気性シートとしては、熱可塑性樹脂等の合成繊維からなる不織布が好ましく、例えば、乾式法、湿式法、スパンレース法、スパンボンド法、メルトブロー法等の方法により製造されるもの等が挙げられ、前記通気性シートは起毛を施されたものが特に好ましい。尚、通気性シートを構成する不織布に起毛が施されていると、起毛によって粒状吸着剤の散布時の分散性が向上し、また、粒状吸着剤と不織布の固着強度が増し、粒状吸着剤が空間的に接着され、除去対象となるガスとの接触がよくなるため、粒状吸着剤の除去効率が向上する。尚、前記不織布への粒状吸着剤の固定は粉末状ホットメルト樹脂による固定が好ましいが、不織布を熱融着繊維で構成したり、熱融着繊維を含ませて、この熱融着繊維で固定する等、固定手段は特に限定されるものではない。

前記粒状吸着剤としては、有機ガス用、酸性ガス用、アルカリ性ガス用のものを用いるのが好ましく、有機ガス用としては、粒状活性炭が挙げられる。酸性ガス用としては、アニオン交換樹脂及びカチオン交換樹脂の併用使用としたものが好ましい。アルカリ性ガス用としては、カチオン交換樹脂を用いることが好ましい。

前記通気性袋体を構成するシートとしては、圧損が低く、捕集効率も高く、ボロン、リン等を発生せず、弗酸等の酸性ガスに対する耐性を持ち、しかも長寿命のエアフィルタ用濾材等が挙げられ、ポリテトラフルオロエチレン多孔膜の少なくとも一方の面に補強用支持体層を積層して複合膜としたエアフィルタ用濾材等のＨＥＰＡ用ろ材、ＵＬＰＡ用ろ材等の多孔膜の使用が好ましい。この場合、多孔膜の密面を外側に、粗面を内側に向けて重ねるようにするのが好ましい。
前記通気性シートを袋体にする方法は特に制限はなく、２枚のシートを重ね合わせ、周囲をシールしてもよく、或いは、１枚のシートを折り返して重ね合わせたものの周囲をシールするようにしてもよい。
前記通気性袋体は、例えば、ヒートシールによって、区画壁で仕切られた複数の区画室を備えるようにしてもよい。このように区画室を設けることにより、有機ガス用、酸性ガス用、アルカリ性ガス用の三種の板状ろ材から適宜選択して収容させることができる。

本発明の梱包袋は、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステルなど樹脂フィルムが使用できるが、できるだけ発ガスの少ないものが好ましい。特に、ヒートシール性の高い熱可塑性樹脂で汎用なポリエチレンが好ましい。また、発ガスの少ないものが更に好ましい。

本発明のエアフィルタの梱包方法は、特に脱気せず単に梱包する一般梱包と脱気して梱包する脱気梱包があり、梱包時に単に端部を折り返して畳む非密封の場合と端部をヒートシールする密封の場合がある。脱気方法としては、エアフィルタの前後面と梱包袋の間にガス吸着材を挿入してエアフィルタ梱包体とし、吸引圧力−３０〜−１００ｋＰａ、例えば−６０ｋＰａで前記梱包体の内部の空気を脱気して梱包する。

以下、本発明に基づく実施例及び比較例を説明する。
（エアフィルタ）
ＵＬＰＡろ材をプリーツ形にしてアルミニウム製の枠内に挿入し、高性能ＵＬＰＡフィルタ（巾１５０ｍｍ、高さ１５０ｍｍ、奥行３５ｍｍ）１０を作製した。
（ガス状汚染物質除去シート）
活性炭からなる粒状吸着剤を有機繊維製不織布からなる通気性シートで挟持して、粉末状ホットメルト樹脂で通気性シートと粒状吸着剤、通気性シート同士を固定して目付５００〜１０００ｇ／ｍ^２の吸着ろ材を用意した。次に、この吸着ろ材を、縦９０ｍｍ×横９０ｍｍ×厚み１．２ｍｍの大きさに裁断して板状ろ材１を得た。
このようにして得られた板状ろ材１を、ＵＬＰＡ用ろ材（ＰＴＦＥ膜）からなる袋体２に収容した。尚、この袋体２は、粗面を内側にして２枚のＵＬＰＡ用ろ材２ａ，２ａを重ね合わせ、その周囲の一辺を残し三辺をヒートシールし、この一辺に形成された開口２ｂを介して前記板状ろ材１を袋体２内に収容させ、その後、前記開口２ｂもヒートシールしてガス状汚染物質除去シート３を作成した。

（実施例１）
図３の通り、前記の高性能エアフィルタ１０の前後面にガス状汚染物質除去シート３，３を挿入してポリエチレン袋（２００ｍｍ×３００ｍｍ）１１で梱包し、ポリエチレン袋折返部１１ａの口を介して図略のオート脱気シーラの脱気ノズル２０で脱気して、その後、ヒートシールしてポリエチレン袋１１にヒートシール部１１ｂを設けてエアフィルタ梱包体３０とし、５０日間保管した。

（実施例２）
前記のエアフィルタの前後面にガス状汚染物質除去シートを挿入してポリエチレン袋（２００ｍｍ×３００ｍｍ）で梱包し、その後、脱気することなく、ポリエチレン袋の口をヒートシールしたものを５０日間保管した。

（実施例３）
前記のエアフィルタの前後面にガス状汚染物質除去シートを挿入してポリエチレン袋（２００ｍｍ×３００ｍｍ）で梱包し、ポリエチレン袋の口をシールせずにテープで止めたものを５０日間保管した。

（比較例１）
前記のエアフィルタを挿入してポリエチレン袋（２００ｍｍ×３００ｍｍ）で梱包し、ポリエチレン袋の口をオート脱気シーラ（富士インパルス製Ｖ３０１）で脱気ヒートシールしたものを５０日間保管した。

（比較例２）
前記のエアフィルタを挿入してポリエチレン袋（２００ｍｍ×３００ｍｍ）で梱包し、その後、脱気することなく、ポリエチレン袋の口をヒートシールしたものを５０日間保管した。

（発ガス試験）
各梱包方法が異なるフィルタを５０日間保管した後、フィルタから６０ｍｍ×３０ｍｍの大きさでろ材サンプルを切り出して、ダイナミックヘッドスペース及びＧＣ−ＭＳにより発ガス量を測定した。測定方法は、サンプルをチャンバーに入れ、Ｈｅガスを２００ｍｌ／ｍｉｎで流通させ、ＴＥＮＡＸ−ＧＲ管に捕集し、ＧＣ−ＭＳで分析した。この時、サンプリング時間は６０分、サンプリング温度は８０℃にした。

（発ガス試験結果）
表１で各梱包方法によるろ材の発ガス量を示した。

発ガス量の評価基準は次の通りである。全発ガス量が２５０００μｇ／ｍ^２未満のものは○、２５０００μｇ／ｍ^２超３００００μｇ／ｍ^２未満のものは△、３００００μｇ／ｍ^２超のものは×とした。また、ＢＨＴ発ガス量が１５μｇ／ｍ^２未満（検出限界）のものは○、１６μｇ／ｍ^２超１００μｇ／ｍ^２未満のものは△、１００μｇ／ｍ^２超のものは×とした。総合評価としては、全て○であれば◎、一つでも△があれば○、一つでも×があれば×とした。

実施例１は、全発ガス量もＢＨＴ発ガス量も最も少なく、比較例１のＢＨＴ発ガス量の９０％以上低減でき、脱気梱包とガス状汚染物質除去シートの相乗効果が得られる。実施例２及び３は、全発ガス量もＢＨＴ発ガス量も実施例１に比べると多くなるが、比較例２のＢＨＴ発ガス量の９０％以上低減でき、ガス状汚染物質除去シートの発ガス低減効果が得られる。

本発明によれば、エアフィルタと梱包袋との間に薄手のシート状のガス状汚染物質除去シートを設置したエアフィルタ梱包体が得られ、また前記エアフィルタを内蔵したファンフィルタユニット等のフィルタ機器を梱包する場合にも適用でき、産業上の利用可能性がある。

１ 板状ろ材
２ 袋体
２ａ ＵＬＰＡ用ろ材
２ｂ 開口
３ ガス状汚染物質除去シート
１０ 高性能ＵＬＰＡフィルタ
１１ ポリエチレン袋
１１ａ ポリエチレン袋折返部
１１ｂ ヒートシール部
２０ 脱気ノズル

Claims (5)

1. エアフィルタを梱包袋に収納したエアフィルタ梱包体において、
   前記エアフィルタの前後面と梱包袋の間にそれぞれガス吸着材を挿入したことを特徴とするエアフィルタ梱包体。
2. 前記ガス吸着材は、通気性シートで粒状吸着剤を挟持した板状ろ材を通気性袋体に収容してなるガス状汚染物質除去シートであることを特徴とする請求項１記載のエアフィルタ梱包体。
3. 前記通気性袋体は、多孔膜を重ねてヒートシールして区画壁を形成したものであることを特徴とする請求項２記載のエアフィルタ梱包体。
4. 前記梱包袋は、ヒートシールが可能な合成樹脂フィルムからなることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載のエアフィルタ梱包体。
5. エアフィルタの前後面と梱包袋の間にそれぞれガス吸着材を挿入してエアフィルタ梱包体とし、前記梱包体を脱気梱包したことを特徴とするエアフィルタの梱包方法。