JP5358139B2 - 含ハロゲン化合物の分解処理方法 - Google Patents
含ハロゲン化合物の分解処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5358139B2 JP5358139B2 JP2008203026A JP2008203026A JP5358139B2 JP 5358139 B2 JP5358139 B2 JP 5358139B2 JP 2008203026 A JP2008203026 A JP 2008203026A JP 2008203026 A JP2008203026 A JP 2008203026A JP 5358139 B2 JP5358139 B2 JP 5358139B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- halogen
- treatment material
- containing compound
- reaction treatment
- reaction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Description
請求項1に記載の含ハロゲン化合物の分解処理方法では、含ハロゲン化合物としてのブロモフルオロカーボンに反応処理材を接触させると共に、500〜1000℃に加熱し、前記ブロモフルオロカーボンを分解した後、反応処理材を搬送しながら350℃以下に冷却保持し、搬送後に反応処理材と排ガスとを分けて排出する。このため、分解後に反応処理材中に残存する臭素、臭素化合物、フッ化水素等の分解生成物は反応処理材中に十分に保持され、離脱が抑えられる。従って、分解処理後の反応処理材から分解生成物の離脱を抑制し、排ガス中の分解生成物の濃度を低減させることができる。
本実施形態における含ハロゲン化合物の分解処理方法は、含ハロゲン化合物に反応処理材を接触させると共に、所定温度に加熱し、含ハロゲン化合物を分解した後、反応処理材を冷却保持するものである。加熱温度は、含ハロゲン化合物がブロモフルオロカーボンの場合には500〜1000℃、クロロフルオロカーボンの場合には250〜1000℃及びパーフルオロカーボンの場合には600〜1000℃である。含ハロゲン化合物としては、ブロモフルオロカーボン(ハロン)、クロロフルオロカーボン(フロン)又はパーフルオロカーボン(PFC)が用いられる。
但し、1<α<1.5である。
含ハロゲン化合物の分解処理装置は、例えば図1に示すように構成されている。すなわち、該装置は反応処理材11を収容する上ホッパー12と、上ホッパー12から下方へ延びる反応管13と、上ホッパー12及び反応管13の間に設けられる含ハロゲン化合物14の供給管15と、反応管13の下部に接続される下ホッパー16と、下ホッパー16の下部に連結されるスクリューコンベヤ17とより構成されている。
・ 本実施形態における含ハロゲン化合物14の分解処理方法では、含ハロゲン化合物14としてのハロンに反応処理材11を接触させると共に、500〜1000℃に加熱し、ハロンを分解した後、反応処理材11を搬送しながら350℃以下に冷却保持し、搬送後に反応処理材と排ガスとを分けて排出する。このため、分解後に反応処理材11中に残存する臭素、臭素化合物、フッ化水素等の分解生成物は反応処理材11中に十分に保持され、離脱が抑えられる。従って、分解処理後の反応処理材11から分解生成物の離脱を抑制し、排ガス中の分解生成物の濃度を従来より一層低減させることができる。
(参考例1)
前記図1に示す含ハロゲン化合物の分解処理装置に準じた装置を用い、含ハロゲン化合物14の分解処理を実施した。含ハロゲン化合物14としては、ハロン2402(ジブロモテトラフルオロエタン、C2Br2F4、常温で液体)を使用し、3.0(kg/h)の供給速度で供給した。反応処理材11としては、軽焼ドロマイト(CaO60〜65質量%、MgO30〜35質量%)を使用し、30(kg/h)の供給速度で供給した。反応管13内の温度を850℃に設定した。そして、ハロン2402の分解処理を行ない、排ガス中の成分分析を行った。
(参考例2)
参考例1において、含ハロゲン化合物14としてハロン1301(ブロモトリフルオロメタン、CF3Br、常温で気体)を用い、その供給速度を3.5(kg/h)に設定した以外は参考例1と同様に実施した。そして、排ガス中の各成分の濃度などを表1に示した。
(実施例1)
前記参考例1に準じてハロンを分解処理した後、前記スクリューコンベヤ17内に相当する管炉内の温度が300℃となるように冷却を行った。そして、その管炉から排気される排ガス中の臭化水素(HBr)及びフッ化水素(HF)の濃度(ppm)を測定した。測定された臭化水素及びフッ化水素の濃度が、5ppm未満の場合には良好(○)と評価し、5ppm以上の場合には不良(×)と評価した。それらの結果を表2に示した。
(実施例2)
実施例1において、ハロンの分解処理後に管炉内の温度が200℃となるように冷却を行った以外は実施例1と同様に実施した。そして、その管炉から排気される排ガス中の臭化水素(HBr)及びフッ化水素(HF)の濃度(ppm)を測定し、それらの結果を表2に示した。
(比較例1)
実施例1において、ハロンの分解処理後における管炉内の温度を400℃に設定した以外は実施例1と同様に実施した。そして、管炉から排気される排ガス中の臭化水素(HBr)及びフッ化水素(HF)の濃度(ppm)を測定し、それらの結果を表2に示した。
(比較例2)
実施例1において、ハロンの分解処理後における管炉内の温度を500℃に設定した以外は実施例1と同様に実施した。そして、管炉から排気される排ガス中の臭化水素(HBr)及びフッ化水素(HF)の濃度(ppm)を測定し、それらの結果を表2に示した。
(実施例3〜5及び比較例3〜5)
実施例1において、含ハロゲン化合物としてクロロジフルオロメタン(CHClF2)を用い、クロロジフルオロメタンを分解処理した後に管炉内の温度が300℃(実施例3)、400℃(実施例4)及び500℃(実施例5)となるように冷却した以外は実施例1と同様に実施した。そして、管炉から排気される排ガス中のフッ化水素(HF)及び塩化水素(HCl)の濃度(ppm)を測定した。それらの結果を表3に示した。
(実施例6〜9及び比較例6、7)
実施例1において、含ハロゲン化合物としてパーフルオロメタン(CF4)を用い、パーフルオロメタンを分解処理した後に管炉内の温度が200℃(実施例6)、300℃(実施例7)、400℃(実施例8)及び500℃(実施例9)となるように冷却した以外は実施例1と同様に実施した。そして、管炉から排気される排ガス中のフッ化水素(HF)の濃度(ppm)を測定した。それらの結果を表4に示した。
(実施例10〜13及び比較例8、9)
実施例1において、含ハロゲン化合物としてパーフルオロメタン(CF4)を用いると共に、反応処理材として生石灰(CaO)を使用し、パーフルオロメタンを分解処理した後に管炉内の温度が200℃(実施例10)、300℃(実施例11)、400℃(実施例12)及び500℃(実施例13)となるように冷却した以外は実施例1と同様に実施した。そして、管炉から排気される排ガス中のフッ化水素(HF)の濃度(ppm)を測定した。それらの結果を表5に示した。
・ 反応管13に対して、反応処理材11を上方から供給し、含ハロゲン化合物(ガス)14を下方から供給し、向流にて両者を接触させ、含ハロゲン化合物14を分解処理することもできる。
・ 反応管13内の温度を、例えば下方ほど低くなるように温度勾配をもたせることもできる。
・ 反応処理材11及び含ハロゲン化合物14の少なくとも一方を反応管13内で反応させる前に予熱しておいて、含ハロゲン化合物14の分解反応を促進させるように構成することもできる。
次に、前記実施形態から把握できる技術的思想について以下に記載する。
Claims (7)
- 含ハロゲン化合物としてのブロモフルオロカーボンに反応処理材を接触させると共に、500〜1000℃に加熱し、前記ブロモフルオロカーボンを分解する含ハロゲン化合物の分解処理方法であって、
前記ブロモフルオロカーボンを分解した後、反応処理材を搬送しながら350℃以下に冷却保持し、搬送後に反応処理材と排ガスとを分けて排出することを特徴とする含ハロゲン化合物の分解処理方法。 - 含ハロゲン化合物としてのクロロフルオロカーボンに反応処理材を接触させると共に、250〜1000℃に加熱し、前記クロロフルオロカーボンを分解する含ハロゲン化合物の分解処理方法であって、
前記クロロフルオロカーボンを分解した後、反応処理材を搬送しながら550℃以下に保持し、搬送後に反応処理材と排ガスとを分けて排出することを特徴とする含ハロゲン化合物の分解処理方法。 - 含ハロゲン化合物としてのパーフルオロカーボンに反応処理材を接触させると共に、600〜1000℃に加熱し、前記パーフルオロカーボンを分解する含ハロゲン化合物の分解処理方法であって、
前記パーフルオロカーボンを分解した後、反応処理材を搬送しながら550℃以下に冷却保持し、搬送後に反応処理材と排ガスとを分けて排出することを特徴とする含ハロゲン化合物の分解処理方法。 - 前記反応処理材は、酸化カルシウム及び酸化マグネシウムの少なくとも1種であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の含ハロゲン化合物の分解処理方法。
- 前記反応処理材を350℃以下に冷却保持した後に放出される排ガス中のフッ化水素の濃度は5ppm未満であり、かつ臭素及び臭化水素の濃度は5ppm未満であることを特徴とする請求項1に記載の含ハロゲン化合物の分解処理方法。
- 前記反応処理材を550℃以下に保持した後に放出される排ガス中のフッ化水素の濃度は5ppm未満であり、かつ塩化水素の濃度は100ppm未満であることを特徴とする請求項2に記載の含ハロゲン化合物の分解処理方法。
- 前記反応処理材を550℃以下に冷却保持した後に放出される排ガス中のフッ化水素の濃度は5ppm未満であることを特徴とする請求項3に記載の含ハロゲン化合物の分解処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008203026A JP5358139B2 (ja) | 2008-08-06 | 2008-08-06 | 含ハロゲン化合物の分解処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008203026A JP5358139B2 (ja) | 2008-08-06 | 2008-08-06 | 含ハロゲン化合物の分解処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010037285A JP2010037285A (ja) | 2010-02-18 |
JP5358139B2 true JP5358139B2 (ja) | 2013-12-04 |
Family
ID=42010185
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008203026A Expired - Fee Related JP5358139B2 (ja) | 2008-08-06 | 2008-08-06 | 含ハロゲン化合物の分解処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5358139B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016153764A (ja) * | 2015-02-20 | 2016-08-25 | 三菱重工業株式会社 | 有機ハロゲン化合物の分析方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4216622B2 (ja) * | 2003-03-03 | 2009-01-28 | 中部電力株式会社 | 含ハロゲン化学物質の分解処理方法及び分解処理装置 |
-
2008
- 2008-08-06 JP JP2008203026A patent/JP5358139B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010037285A (ja) | 2010-02-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4488545B2 (ja) | フッ化ハロゲンを含む排ガスの処理方法、処理剤及び処理装置 | |
JP4080336B2 (ja) | フッ素含有化合物の分解 | |
WO2003069228A1 (fr) | Procede de traitement de gaz d'echappement | |
JP5358139B2 (ja) | 含ハロゲン化合物の分解処理方法 | |
JP4357018B2 (ja) | ハロゲン化ガスの処理剤を用いた無害化方法 | |
JP3249986B2 (ja) | フロンの分解処理法および装置 | |
JPH06177B2 (ja) | C1f▲下3▼を含有する排ガスの処理方法 | |
KR100830843B1 (ko) | 알칼리용융염을 이용한 할로겐화 휘발성 유기화합물의처리방법 | |
JP3216868B2 (ja) | ハロゲン化物ガスの分解方法 | |
JP4037475B2 (ja) | ハロゲン系化合物を含有する排ガスの処理方法 | |
JP2007054720A (ja) | パーフルオロカーボンガスの除害方法及び除害装置 | |
JP2012055836A (ja) | ガス処理方法 | |
JP2681034B2 (ja) | フロンの無害化方法 | |
JP4482962B2 (ja) | 六フッ化硫黄の無害化処理方法 | |
JP2004255228A (ja) | ハロゲン化合物水溶液、酸性水溶液または酸性ガスの処理方法及びその装置 | |
TWI630950B (zh) | Formic acid treatment method and formic acid treatment device | |
JPH07132211A (ja) | 気体状フッ化物の分解方法 | |
JP2005052724A (ja) | フッ素系ガスの無害化処理方法および無害化処理装置 | |
JP4137052B2 (ja) | ハロゲン化合物水溶液、酸性水溶液または酸性ガスの処理方法及びその装置 | |
JP5074439B2 (ja) | ハロゲンガスの処理剤及びその製造方法並びにこれを用いた無害化方法 | |
JP5399051B2 (ja) | フロン破壊ガス、または、ドライエッチング排ガス中の塩素およびフッ素の選択的固定化と回収物のリサイクル | |
JPH10216479A (ja) | 三弗化窒素ガスの除害方法 | |
JP2006320889A (ja) | フロン分解ガスの無害化処理装置 | |
JP4016532B2 (ja) | フッ化窒素の分解用反応剤及び分解法 | |
JP2004344729A (ja) | Hf含有ガスの乾式処理装置及び処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110527 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120816 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120925 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130305 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130426 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130827 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130902 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5358139 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |