JP5352046B2 - 半導体装置の作製方法 - Google Patents
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Description
ここではpチャネルTFT用のゲート電極及びnチャネルTFT用のゲート電極を形成する際に用いた第1のレジストマスク及び第2のレジストマスクを残し、pチャネルTFT形成領域およびnチャネルTFT形成領域の一方の上に第3のレジストマスクを形成してから、第2のレジストマスク及び第3のレジストマスクを用いて第1の不純物イオンを添加して、一方の半導体膜にソース領域及びドレイン領域を形成し、その後、第1のレジストマスク、第2のレジストマスク及び第3のレジストマスクを除去し、pチャネルTFT形成領域およびnチャネルTFT形成領域の他方(前記第1の不純物イオンを添加したTFT)の上に第4のレジストマスクを形成してから、ゲート電極および第4のレジストマスクを用いて第2の不純物イオンを添加して、他方の半導体膜(前記第1の不純物イオンが添加されていない半導体膜)にソース領域及びドレイン領域を形成する方法について説明する。
ここではpチャネルTFT用のゲート電極及びnチャネルTFT用のゲート電極を形成する際に用いた第1のレジストマスク及び第2のレジストマスクを残し、pチャネルTFT形成領域およびnチャネルTFT形成領域の一方の上に第3のレジストマスクを形成してから、第2のレジストマスク及び第3のレジストマスクを用いて第1の不純物イオンを添加して、一方の半導体膜にソース領域及びドレイン領域を形成し、その後、第1のレジストマスク、第2のレジストマスク及び第3のレジストマスクを除去し、pチャネルTFT用のゲート電極及びnチャネルTFT用のゲート電極上に第4のレジストマスク及び第5のレジストマスクを形成し、pチャネルTFT形成領域およびnチャネルTFT形成領域の他方の上に第6のレジストマスクを形成してから、第4のレジストマスク、第5のレジストマスクおよび第6のレジストマスクを用いて第2の不純物イオンを添加して、他方の半導体膜にソース領域及びドレイン領域を形成する方法について説明する。
ここでは本発明を用いて非接触でデータのやりとりが可能である半導体装置、例えばICタグ、RFIDを作製する方法について説明する。なお、上記実施形態と同じものは同じ符号で表す。
本発明を用いて液晶表示装置(Liquid Crystal Display(LCD))を作製する例を示す。
ここでは本発明を用いて発光装置を作製する例を示す。
本実施の形態では、本発明の発光装置であるパネルの外観について図22を用いて説明する。図22(A)は基板上に形成されたトランジスタおよび発光素子を対向基板4006との間に形成したシール材によって封止したパネルの上面図であり、図22(B)は図22(A)の断面図に相応する。また、このパネルに搭載されている発光素子の有する構成は、上記実施形態に示したような構成である。
本実施の形態では、上記第6実施形態で示したパネル、モジュールが有する画素回路、保護回路及びそれらの動作について説明する。なお、図19〜図22に示してきた断面図は図23における駆動用TFT1403又はスイッチング用TFT1401と発光素子1405の断面図となっている。
上記実施の形態にその一例を示したようなモジュールを搭載した本発明の発光装置を有する電子機器として、ビデオカメラ、デジタルカメラ、ゴーグル型ディスプレイ(ヘッドマウントディスプレイ)、ナビゲーションシステム、音響再生装置(カーオーディオコンポ等)、コンピュータ、ゲーム機器、携帯情報端末(モバイルコンピュータ、携帯電話、携帯型ゲーム機または電子書籍等)、記録媒体を備えた画像再生装置(具体的にはDigitAl Versatile Disc(DVD)等の記録媒体を再生し、その画像を表示しうるディスプレイを備えた装置)などが挙げられる。それらの電子機器の具体例を図25、図26に示す。
2 絶縁膜
3 島状の半導体膜
4 島状の半導体膜
5 ゲート絶縁膜
6 導電膜
7a 第1のレジストマスク
7b 第2のレジストマスク
8a ゲート電極
8b ゲート電極
9 第3のレジストマスク
10 p型不純物イオン
11 ソース領域又はドレイン領域
12 ソース領域又はドレイン領域
13 第4のレジストマスク
14 n型不純物イオン
15 ソース領域又はドレイン領域
16 ソース領域又はドレイン領域
17 層間絶縁膜
18 電極又は配線
19 第2の層間絶縁膜
20 導電膜
21 チャネル形成領域
22 チャネル形成領域
30a 第4のレジストマスク
30b 第5のレジストマスク
31 第6のレジストマスク
40 半導体膜
41 レーザー光
42 金属元素
43 バリア層
44 ゲッタリング層
49 結晶性珪素膜
50 基板
51 窒化酸化珪素膜
52 酸化窒化珪素膜
53 非晶質珪素膜
54 金属含有層
55 レーザー光
56 バリア層
57 ゲッタリング層
58 島状の結晶性珪素膜
59 島状の結晶性珪素膜
60 窒化タンタル(TaN)膜
61 タングステン(W)膜
62a 第1のレジストマスク
62b 第2のレジストマスク
63a ゲート電極
63b ゲート電極
64 第3のレジストマスク
65 p型不純物イオン
66 ソース領域
67 ドレイン領域
68 第4のレジストマスク
69 n型不純物イオン
70 ソース領域又はドレイン領域
71 ソース領域又はドレイン領域
72 窒化珪素膜
73 電極又は配線
74 ゲート絶縁膜
75 チャネル形成領域
76 チャネル形成領域
80 RFID
81 電源回路
82 クロック発生回路
83 データ復調回路
84 データ変調回路
85 制御回路
86 記憶回路
87 アンテナ
88 リーダ/ライタ
100 剥離層
101 薄膜集積回路
102 開口部
103 開口部
104 絶縁層
105 第1の基体
106 第2の基体
160 第1の層間絶縁層
161a 接続部
161b 配線
163 第3の層間絶縁層
164 第1の電極
165 隔壁
166 発光物質を含む層
167 第2の電極
170 薄膜トランジスタ
188 樹脂
189 乾燥剤
190 偏光板
191 保護フィルム
193 発光素子
194 対向基板
201 絶縁性基板
203 半導体層
204 ゲート絶縁膜
205 ゲート電極
206 ソース領域又はドレイン領域
207 ソース領域又はドレイン領域
208 層間絶縁膜
210 ソース電極又はドレイン電極
211 フォトレジスト
212 n型の不純物イオン又はp型の不純物イオン
213 p型の不純物イオン又はn型の不純物イオン
320 リーダ/ライタ
321 表示部
322 品物
323 RFID
324 リーダ/ライタ
325 RFID
326 商品
500 基板
540 電極又は配線
541 電極又は配線
542 電極又は配線
543 電極又は配線
544 電極又は配線
550 TFT
551 TFT
552 画素TFT
553 CMOS回路
600 シール材
600a 第1シール材
600b 第2シール材
610 第3層間絶縁膜
623 画素電極
624a 配向膜
624b 配向膜
625 対向基板
626a 着色層
626b 遮光層(ブラックマトリクス)
627 オーバーコート層
628 対向電極
629 液晶組成物
650 画素部
801 FPC
802 駆動回路部
803 駆動回路部
1401 スイッチング用TFT
1402 容量素子
1403 駆動用TFT
1404 電流制御用TFT
1405 発光素子
1406 TFT
1410 信号線
1411 電源線
1412 電源線
1414 走査線
1415 走査線
1500 画素部
1554 共通電位線
1555 共通電位線
1561 ダイオード
1562 ダイオード
1563 ダイオード
1564 ダイオード
2000 RFID
3001 筐体
3003 表示部
3004 スピーカー部
3101 本体
3102 筐体
3103 表示部
3104 音声入力部
3105 音声出力部
3106 操作キー
3107 赤外線通信ポート
3108 アンテナ
3110 本体
3111 画素部
3112 ドライバIC
3113 受信装置
3114 フィルムバッテリー
3201 本体
3202 筐体
3203 表示部
3204 キーボード
3205 外部接続ポート
3206 ポインティングマウス
3301 本体
3302 表示部
3303 スイッチ
3304 操作キー
3305 赤外線ポート
3401 筐体
3402 表示部
3403 スピーカー部
3404 操作キー
3405 記録媒体挿入部
4001 基板
4002 画素部
4003 信号線駆動回路
4004 走査線駆動回路
4005 シール材
4006 対向基板
4007 充填材
4008 薄膜トランジスタ
4010 薄膜トランジスタ
4011 発光素子
4014 配線
4015 配線
4015a 配線
4015b 配線
4016 接続端子
4018 FPC
4019 異方性導電膜
4020 信号線駆動回路
4030 第1の電極
4031 混合層
4032 発光層
4033 液晶層
4034 第2の電極
4802 ゲート信号線
4804 容量素子
4806 半導体層
4807 コンタクトホール
4801 ソース信号線
4808 コンタクトホール
4810 コンタクトホール
4811 容量配線
Claims (3)
- 第1の半導体膜及び第2の半導体膜を形成し、
前記第1の半導体膜及び前記第2の半導体膜上にゲート絶縁膜を形成し、
前記ゲート絶縁膜上に導電膜を形成し、
前記導電膜上に第1のレジストマスク及び第2のレジストマスクを形成し、
前記第1のレジストマスクを用いて前記導電膜を加工して前記第1の半導体膜と重畳する前記ゲート絶縁膜上に第1のゲート電極を形成するとともに、前記第2のレジストマスクを用いて前記導電膜を加工して前記第2の半導体膜と重畳する前記ゲート絶縁膜上に第2のゲート電極を形成し、
前記第1のレジストマスク及び前記第2のレジストマスクを残した状態で前記第1の半導体膜、前記第1のゲート電極及び前記第1のレジストマスクを覆って第3のレジストマスクを形成し、
前記第2のレジストマスク及び前記第3のレジストマスクを用いて前記第2の半導体膜中に一導電型の不純物イオンをイオンシャワードーピング法により添加してソース領域及びドレイン領域を形成し、
前記第1のレジストマスク、前記第2のレジストマスク及び前記第3のレジストマスクを除去し、
前記第1のゲート電極上に第4のレジストマスクを形成するとともに前記第2のゲート電極上に第5のレジストマスクを形成し、
前記第2の半導体膜、前記第2のゲート電極及び前記第5のレジストマスクを覆って第6のレジストマスクを形成し、
前記第4のレジストマスク及び前記第6のレジストマスクを用いて前記第1の半導体膜中に前記一導電型の不純物イオンとは逆の導電型の不純物イオンをイオンシャワードーピング法により添加してソース領域及びドレイン領域を形成し、
前記一導電型の不純物イオンとは逆の導電型の不純物イオンのドーズ量は、前記一導電型の不純物イオンのドーズ量よりも小さい半導体装置の作製方法であって、
前記第1のゲート電極は、100nm以上、500nm以下の厚さを有し、
前記第2のゲート電極は、100nm以上、500nm以下の厚さを有する
ことを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1において、
前記第2の半導体膜中に添加される不純物イオンは、n型を有し、
前記第1の半導体膜中に添加される不純物イオンは、p型を有することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1において、
前記第2の半導体膜中に添加される不純物イオンは、p型を有し、
前記第1の半導体膜中に添加される不純物イオンは、n型を有することを特徴とする半導体装置の作製方法。
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