JP5351812B2 - チャック - Google Patents

Description

本発明は、チャックに関する。さらに詳しくは、ラップ盤等に用いられ、爪でワークを締め付けて保持するチャックに関する。

ラップ盤は、定盤とワークとの間にラップ剤を入れ、両者に圧力を加えながら滑り動かし、ワークの加工面を滑らかに仕上げる工作機械である。従来のラップ盤は定盤を低速回転させてラップ加工を施すように構成されていたため、ワークの寸法に対して装置全体が大型となり、また、加工が遅く生産性の悪いものであった。

そこで、本願発明者は定盤を固定しワークを高速回転させることで、装置全体を小型化し、かつ、生産性を向上させることを考案した。
ワークを定盤に対して高速回転させることは、回転駆動される主軸にチャックを設け、そのチャックにワークを保持することで実現できる。しかしこの場合、ワークの回転中心付近は他の部分に比べて運動軌跡が短くなるため、十分な研磨を行うことができない。そのため、ワークの回転中心を偏心させてチャックに保持し直し、ラップ加工を行う必要がある。

従来のチャックは、ワークを掴む爪に連結された歯車をチャックハンドルで回すことによって爪の位置を調整し、ワークを締め付けて保持していた（非特許文献１）。すなわち、ラップ盤等による加工作業を中断した状態で、手動でワークを保持し直す必要があった。
そのため、ラップ加工中にワークを偏心させるには、ラップ加工を中断しチャックに保持し直す作業を行う必要があり、平面精度の高いラップ加工を行うにはこの作業を何度も行う必要があった。つまり、非常に作業効率が悪いものであった。

図説機械用語事典 実教出版株式会社発行 ｐ241

本発明は上記事情に鑑み、加工中でもワークを掴み替え偏心させることができるチャックを提供することを目的とする。

第１発明のチャックは、ワーク載置台と、該ワーク載置台の周囲に配置されたワーク把持用の複数の爪を備え、把持したワークを回転させるチャックであって、前記複数の爪を前記ワーク載置台の径方向に動かす複数のアクチュエータを備え、該複数のアクチュエータは、回転中に前記複数の爪を組毎に動かして、前記ワークをある組の爪から他の組の爪に掴み替えて偏心させるよう制御されることを特徴とする。
第２発明のチャックは、ワーク載置台と、該ワーク載置台の周囲に配置されたワーク把持用の複数の爪を備え、把持したワークを回転させるチャックであって、前記複数の爪を前記ワーク載置台の径方向に動かす複数のアクチュエータを備え、該複数のアクチュエータは、回転中に前記複数の爪で前記ワークを保持したまま各爪を個別に動かして、該ワークを偏心させるよう制御されることを特徴とする。
第３発明のチャックは、第１または第２発明において、前記アクチュエータはエアシリンダであり、該エアシリンダのロッドには雄ネジが形成されており、該ロッドに回転自在な回転部材が螺合されており、該回転部材にアームが連結されており該アームに前記爪が設けられていることを特徴とする。
第４発明のチャックは、第３発明において、前記エアシリンダのシリンダケースとピストンとはメタルタッチで当接していることを特徴とする。
第５発明のチャックは、第３または第４発明において、前記エアシリンダを収縮する方向に付勢するバネを備えることを特徴とする。
第６発明のチャックは、第１発明において、前記複数の爪のうち、同期させて動かす組を構成する爪同士が歯車列で連結されていることを特徴とする。

第１発明によれば、回転中に複数の爪を組毎に動かして、ワークをある組の爪から他の組の爪に掴み替えて偏心させるため、加工を中断することなくワークを偏心させることができ、作業効率が向上する。
第２発明によれば、回転中に複数の爪でワークを保持したまま各爪を個別に動かして、ワークを偏心させるため、加工を中断することなくワークを偏心させることができ、作業効率が向上する。
第３発明によれば、アクチュエータがエアシリンダであるので、軽量でありチャックが回転しやすい。また、簡単な機構によりエアシリンダの伸縮動作を爪の移動に変換することができる。
第４発明によれば、エアシリンダがメタルタッチであるので、チャックの回転による遠心力がピストンに働いても、ゴムシールとする場合に比べてシリンダケースとの摩擦が大きくなることがなく、スムーズに伸縮動作を行うことができる。
第５発明によれば、エアシリンダを収縮する方向に付勢するバネを備えるので、バネを圧縮した反力により、爪の把持力を一定とすることができる。
第６発明によれば、組を構成する爪同士が歯車列で連結されているので、動作を正確に同期させることができる。

本発明のチャックが適用されるラップ盤の基本構造説明図である。 本発明の第１実施形態に係るチャックの側面視断面図である。 図２におけるIII-III線矢視断面図である。 （Ａ）は図２におけるIVa-IVa線矢視断面図、（Ｂ）は図２におけるIVb-IVb線矢視断面図である。 （Ａ）は図２におけるVa-Va線矢視断面図、（Ｂ）は図２におけるVb-Vb線矢視断面図である。 本発明の第１実施形態に係るチャックの平面図である。 同チャックの平面図であって、（Ａ）は偏心前、（Ｂ）は偏心後を示す図である。 本発明の第２実施形態に係るチャックの側面視断面図である。 同チャックの平面図であって、（Ａ）は偏心前、（Ｂ）は偏心後を示す図である。 本発明の第３実施形態に係るチャックの側面視断面図である。

つぎに、本発明の実施形態を図面に基づき説明する。
まず、本発明に係るチャックが取り付けられるラップ盤の基本構造について説明する。
図１に示すように、ラップ盤はフレームＦに回転自在に軸支されている主軸Ｓを備えており、その主軸ＳはモータＭにより回転駆動できるようになっている。主軸Ｓの先端には本発明に係るチャックＡが固定されており、チャックＡによってワークＷが保持されている。また、フレームＦに固定された加圧シリンダＰの先端には定盤Ｌが取り付けられており、定盤ＬをワークＷに当接し加圧できるようになっている。定盤ＬとフレームＦとの間にはガイドロッドＧが設けられており、定盤Ｌが主軸Ｓに対して垂直となるように維持し、定盤ＬがワークＷに対して水平に当接するようになっている。
このラップ盤において、定盤ＬをワークＷに当接し加圧した状態で、主軸Ｓを回転させれば、ワークＷが定盤Ｌに接した状態で回転するのでラップ加工を施すことができる。

（第１実施形態）
つぎに、本発明の第１実施形態に係るチャックＡについて説明する。
図２および図３に示すように、チャックＡの本体１０はおよそ円柱形をしており、その底面が主軸Ｓの先端に形成されたフランジにボルト等で固定されている。主軸Ｓおよび本体１０の底面はベアリング等を介してフレームＦに支持されているため回転自在となっており、主軸Ｓを回転させることにより本体１０を回転できるようになっている。

本体１０には円周方向に並んだ６つのシリンダケース２１，・・・，２１が縦に形成されている。６つのシリンダケース２１，・・・，２１にはそれぞれピストン２２とロッド２３が挿入されており、６つのエアシリンダ２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆを構成している。これらエアシリンダ２０ａ，・・・，２０ｆはピストン側にエアを供給すればロッド２３が上方に突出する単動エアシリンダとなっている。
また、シリンダケース２１にはシリンダボトム２４が固定されており、ピストン２２とシリンダボトム２４との間にはコイルバネ２５が挿入されている。このコイルバネ２５によりエアシリンダ２０ａ，・・・，２０ｆは収縮する方向に付勢されている。

なお、シリンダケース２１とピストン２２とはメタルタッチとすることが好ましい。ゴムシールとした場合、本体１０の回転による遠心力がピストン２２に働くと、シリンダケース２１とピストン２２との間の摩擦力が上昇しエアシリンダの伸縮動作が妨げられるが、メタルタッチとした場合には、摩擦が大きくなることがなく、スムーズに伸縮動作を行うことができるからである。

エアシリンダ２０ａ，・・・，２０ｆにエアを供給するため、図示しないエア供給源と本体１０とがロータリージョイント３０を介して接続されている。図４に示すように、本体１０の外周面には２つの周回溝３１ａ，３１ｂが上下２段に形成されている。これら周回溝３１ａ，３１ｂの周囲を囲むようにロータリージョイント３０が設けられている。ロータリージョイント３０はフレームＦに固定されており、本体１０とは空気が漏れないように接しつつ、摩擦を低くして本体１０の回転に影響しないようなっている。

ロータリージョイント３０には周回溝３１ａ，３１ｂのそれぞれに通ずる２つのエア導入路３２ａ，３２ｂが形成されており、エア導入路３２ａ，３２ｂはそれぞれ別個のエア供給源に接続されている。
また、上段の周回溝３１ａは本体１０内に形成された通路３３ａ，３３ｃ，３３ｅを介してエアシリンダ２０ａ，２０ｃ，２０ｅに通じており、下段の周回溝３１ｂは本体１０内に形成された通路３３ｂ，３３ｄ，３３ｆを介してエアシリンダ２０ｂ，２０ｄ，２０ｆに通じている。したがって、上段のエア導入路３２ａにエアを供給すると、第１組のエアシリンダ２０ａ，２０ｃ，２０ｅが伸長し、下段のエア導入路３２ｂにエアを供給すると、第２組のエアシリンダ２０ｂ，２０ｄ，２０ｆが伸長するようになっている。

なお、第１組のエアシリンダ２０ａ，２０ｃ，２０ｅは、円周方向に並んだ６つのエアシリンダのうち、正三角形をなす位置に配置された３つのエアシリンダであり、第２組のエアシリンダ２０ｂ，２０ｄ，２０ｆは、残りの３つのエアシリンダであって、これらも正三角形をなす位置に配置されたものである。

図２に示すように、各エアシリンダ２０ａ，・・・，２０ｆのロッド２３には雄ネジが形成されており、それぞれに、雌ネジが形成された回転部材４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ，４０ｅ，４０ｆが螺合されている。回転部材４０ａ，・・・，４０ｆは本体１０に対して上下方向の移動は制限され、回転自在となるように取り付けられている。したがって、エアシリンダ２０ａ，・・・，２０ｆが伸縮し、ロッド２３が上下動することにより、回転部材４０ａ，・・・，４０ｆは本体１０に対して正・逆回転する。
なお、本実施形態では回転部材４０ａ，・・・，４０ｆは一回転する必要がないため、またエアシリンダ２０ａ，・・・，２０ｆにかかる負荷を低減するため、ロッド２３に形成された雄ネジおよび回転部材４０ａ，・・・，４０ｆに形成された雌ネジのリード角を大きくすることが好ましい。

本体１０の上面中心には、太陽歯車４２ａが本体１０に対してベアリング等で回転自在に取り付けられており、太陽歯車４２ａの上面には別の太陽歯車４２ｂがベアリング等で回転自在に取り付けられている。すなわち、上下２段に太陽歯車４２ａ，４２ｂが取り付けられている。回転部材４０ａ，・・・，４０ｆの周囲には歯車が形成されており、その歯車の高さの違いによって、それぞれ太陽歯車４２ａもしくは太陽歯車４２ｂに噛み合うようになっている。
より詳細には、図５に示すように、第１組のエアシリンダ２０ａ，２０ｃ，２０ｅに接続されている第１組の回転部材４０ａ，４０ｃ，４０ｅは、下段の太陽歯車４２ａに噛み合い、同期して回転するようになっており、第２組のエアシリンダ２０ｂ，２０ｄ，２０ｆに接続されている第２組の回転部材４０ｂ，４０ｄ，４０ｆは、上段の太陽歯車４２ｂに噛み合い、同期して回転するようになっている。

図２および図６に示すように、回転部材４０ａ，・・・，４０ｆの上面には、それぞれアーム５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，５０ｅ，５０ｆが取り付けられており、アーム５０ａ，・・・，５０ｆの先端には、それぞれ円柱状の爪５１ａ，５１ｂ，５１ｃ，５１ｄ，５１ｅ，５１ｆが立設している。また、上段の太陽歯車４２ｂの上面にはワーク載置台６０がボルト等で取り付けられている。したがって、ワーク載置台６０の周囲に爪５１ａ，・・・，５１ｆが配置されるようになっている。

アーム５０ａ，・・・，５０ｆの取り付けは、アーム５０ａ，・・・，５０ｆに形成された環状の長孔５２にボルト等を通して回転部材４０ａ，・・・，４０ｆに螺合することによりなされている。したがって、アーム５０ａ，・・・，５０ｆの取り付け角度を調節することができ、これによりワーク載置台６０の中心と爪５１ａ，・・・，５１ｆとの距離を調節することができるようになっている。

このような構成であるから、第１組のエアシリンダ２０ａ，２０ｃ，２０ｅが伸縮動作すると、第１組の回転部材４０ａ，４０ｃ，４０ｅが正・逆回転し、第１組の爪５１ａ，５１ｃ，５１ｅがワーク載置台６０に対して近づいたり離れたりすることができる。同様に、第２組のエアシリンダ２０ｂ，２０ｄ，２０ｆが伸縮動作すると、第２組の回転部材４０ｂ，４０ｄ，４０ｆが正・逆回転し、第２組の爪５１ｂ，５１ｄ，５１ｆがワーク載置台６０に対して近づいたり離れたりすることができる。
また、第１組を構成する爪５１ａ，５１ｃ，５１ｅ同士は太陽歯車４２ａで連結されているので、これらの動作を正確に同期することができ、同様に第２組を構成する爪５１ｂ，５１ｄ，５１ｆ同士は太陽歯車４２ｂで連結されているので、これらの動作を正確に同期することができる。

以上の様な構成であるから、ワーク載置台６０にワークＷを載置し、爪５１ａ，・・・，５１ｆでワークＷを保持した状態で主軸Ｓを回転させると、チャックＡとともにワークＷを回転させることができ、ラップ加工等を行うことができる。

つぎに、チャックＡのワークＷ保持動作および偏心動作を図７に基づき説明する。
予めアーム５０ａ，・・・，５０ｆの取り付け角度を調節し、第１組の爪５１ａ，５１ｃ，５１ｅでワークＷを掴んだときと、第２組の爪５１ｂ，５１ｄ，５１ｆでワークＷを掴んだときとで、ワークＷの中心Ｏがずれるようにしておく。

まず、図７（ａ）に示すように、ワークＷをワーク載置台６０に載置し、第１組の爪５１ａ，５１ｃ，５１ｅでワークＷを掴む。このとき、上段のエア導入路３２ａに接続されたエア供給源から第１組のエアシリンダ２０ａ，２０ｃ，２０ｅにエアを供給し、第１組の爪５１ａ，５１ｃ，５１ｅをワーク載置台６０に近づけてワークＷの側面を把持するようにする。この状態で主軸Ｓを回転させワークＷを回転させて、ラップ加工等を行う。

ある程度加工を行った後に、図７（ｂ）に示すように、ワークＷを第２組の爪５１ｂ，５１ｄ，５１ｆで掴み替える。このときには、第１組のエアシリンダ２０ａ，２０ｃ，２０ｅへのエア供給を停止し、下段のエア導入路３２ｂに接続されたエア供給源から第２組のエアシリンダ２０ｂ，２０ｄ，２０ｆにエアを供給し、第２組の爪５１ｂ，５１ｄ，５１ｆをワーク載置台６０に近づけてワークＷの側面を把持するようにする。

そうすると、ワークＷの中心Ｏを偏心させることができ、平面精度の良いラップ加工を行うことができる。また、再びワークＷを第１組の爪５１ａ，５１ｃ，５１ｅで掴み替えて以上の動作を繰り返せば、さらに平面精度の高いラップ加工を行うことができる。
このワークＷの偏心動作は、爪５１ａ，・・・，５１ｆがエアシリンダ２０ａ，・・・，２０ｆで動作するから、チャックＡの回転中でも行うことができる。そのため、加工を中断することなくワークＷを偏心させることができ、手作業を行う必要がないので、作業効率が向上する。

なお、第１組の爪５１ａ，５１ｃ，５１ｅは、円周方向に並んだ６つの爪のうち、正三角形をなす位置に配置された３つの爪であり、第２組の爪５１ｂ，５１ｄ，５１ｆは、残りの３つの爪であって、これらも正三角形をなす位置に配置されたものであるから、ワークＷを３方向から均等に保持することができる。

さらになお、爪５１ａ，・・・，５１ｆの把持力はエアシリンダ２０ａ，・・・，２０ｆへのエア供給圧により調整することができる。また、コイルバネ２５を圧縮した反力により、爪５１ａ，・・・，５１ｆの把持力を一定とすることができる。

本実施形態に係るチャックＡでは、爪５１ａ，・・・，５１ｆを動かすアクチュエータとしてエアシリンダ２０ａ，・・・，２０ｆを用いたが、これに代えてサーボモータ等を用いる実施形態としてもよい。
しかし、エアシリンダは比較的大きな把持力を発揮できる上に軽量であるので、チャックＡの慣性モーメントを小さくすることができ、回転しやすいので好適である。また、電動モータに必要な電線を回転するチャックＡに配線する場合に比べて構造が単純である等、エアシリンダを用いればチャックＡの構造を単純にすることができる。さらに、ロータリージョイント３０等においてエア漏れが生じても、圧油を使用する場合に比べて安全で清浄である。そして、エアシリンダは制御が単純である。

本実施形態に係るチャックＡでは、各爪５１ａ，・・・，５１ｆに対して一つずつのエアシリンダ２０ａ，・・・，２０ｆを用いたが、これに代えて、第１組の爪５１ａ，５１ｃ，５１ｅに対して一つのエアシリンダ、第２組の爪５１ｂ，５１ｄ，５１ｆに対して他の一つのエアシリンダを用いる実施形態としてもよい。
このようにしても、第１組の爪５１ａ，５１ｃ，５１ｅ同士は太陽歯車４２ａで連結されており、第２組の爪５１ｂ，５１ｄ，５１ｆ同士は太陽歯車４２ｂで連結されているので、問題なくワークＷ保持動作および偏心動作を行うことができる。
この場合、エアシリンダを本体１０の中心を挟んで対称の位置に設けて、チャックＡの重心が偏らないようにした方が、重心と回転中心がずれることがないので好適である。

本実施形態に係るチャックＡでは、６つの爪５１ａ，・・・，５１ｆを設ける実施形態としたが、爪の数はこれより少なくても多くてもよい。例えば、９つの爪を設ける実施形態とし、そのうちの３つずつを第１組の爪、第２組の爪、第３組の爪とすれば、ワークＷの偏心を３つのパターンに増やすことができるので、より平面精度の高いラップ加工を行うことができる。

本実施形態に係るチャックＡを用いることにより、本実施形態に係るラップ盤は定盤ＬがフレームＦに固定されワークＷを高速回転させるものとなっている（図１参照）。そのため、従来のラップ盤に比べて装置全体を小型化し、かつ、生産性を向上させることができる。また、装置全体に比べて寸法の大きなワークでもラップ加工を施すことができる。

（第２実施形態）
つぎに、本発明の第２実施形態に係るチャックＢを図８に基づき説明する。
第１実施形態に係るチャックＡは、６つの爪５１ａ，・・・，５１ｆを第１組と第２組に分けて、それぞれ同期させて動作するようにしたが、本実施形態に係るチャックＢは、６つの爪５１ａ，・・・，５１ｆがそれぞれ個別に動作するところに特徴がある。

６つの爪５１ａ，・・・，５１ｆを個別に動作させるため、６つのエアシリンダ２０ａ，・・・，２０ｆに別々にエア供給できるように、エア供給源と本体１０とがロータリージョイント３０を介して接続されている。
より詳細には、図８に示す本体１０の外周面には６つの周回溝３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ，３１ｅ，３１ｆが６段形成されている。これら周回溝３１ａ，・・・，３１ｆの周囲を囲むようにロータリージョイント３０が設けられている。ロータリージョイント３０はフレームＦに固定されており、本体１０とは空気が漏れないように接しつつ、摩擦を低くして本体１０の回転に影響しないようなっている。

ロータリージョイント３０には周回溝３１ａ，・・・，３１ｆのそれぞれに通ずる６つのエア導入路３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄ，３２ｅ，３２ｆが形成されており、エア導入路３２ａ，・・・，３２ｆはそれぞれ別個のエア供給源に接続されている。
また、周回溝３１ａ，・・・，３１ｆはそれぞれ本体１０内に形成された通路を介してエアシリンダ２０ａ，・・・，２０ｆに通じている。したがって、エア導入路３２ａにエアを供給するとエアシリンダ２０ａのみが伸長するようになっており、６つのエアシリンダ２０ａ，・・・，２０ｆを別々に動作させることができるようになっている。

本実施形態では、回転部材４０ａ，・・・，４０ｆの周囲に歯車が形成されておらず、太陽歯車４２ａ，４２ｂが取り付けられていない。本体１０の上面には直接ワーク載置台６０がボルト等で取り付けられている。
その余の構成は第１実施形態にかかるチャックＡと同様であるので、同一部材に同一符号を付して説明を省略する。

つぎに、チャックＢのワークＷ保持動作および偏心動作について説明する。
チャックＢにおいても、エア供給源を同期的に制御することにより、６つの爪５１ａ，・・・，５１ｆを第１組と第２組に分けて、それぞれ同期させて動作するようにし、チャックＡと同様のワークＷ保持動作および偏心動作を実現することができる（図７参照）。

さらに、チャックＢは各爪５１ａ，・・・，５１ｆの移動量を個別に変えることができるので、図９に示すように、６つの爪５１ａ，・・・，５１ｆでワークＷを保持したままワークＷを偏心することができる。このとき、偏心量および偏心方向も任意に変えることができるので、加工中に様々なパターンで偏心させることにより、平面精度の高いラップ加工を行うことができる。

また、爪５１ａ，・・・，５１ｆが個別に動作するので、外形が円筒形ではないワークＷでも、爪５１ａ，・・・，５１ｆをワークの形状に応じた位置に移動させて、保持することができる。

（第３実施形態）
つぎに、本発明の第３実施形態に係るチャックＤについて説明する。
図１０に示すように、チャックＤは第１実施形態に係るチャックＡにおいて、回転部材４０ａ，・・・，４０ｆの上面にアーム５０ａ，・・・，５０ｆが取り付けられておらず、回転部材４０ａ，・・・，４０ｆの周囲に形成された歯車に噛み合う歯車部材４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４３ｄ，４３ｅ，４３ｆが設けられている。そして、歯車部材４３ａ，・・・，４３ｆの上面にアーム５０ａ，・・・，５０ｆが取り付けられている。
歯車部材４３ａ，・・・，４３ｆは本体１０に回転自在に取り付けられており、本体１０の中心から離れた位置に配置されている。そのため、チャックＡに比べて、爪５１ａ，・・・，５１ｆが本体１０の中心から離れた位置に配置されるようになっている。
その余の構成は第１実施形態にかかるチャックＡと同様であるので、同一部材に同一符号を付して説明を省略する。

このような構成であるから、爪５１ａ，・・・，５１ｆの間隔が広がり、寸法の大きいワークＷであっても保持することができる。また、エアシリンダ２０ａ，・・・，２０ｆ等はチャックＡの場合と変わらない位置に配置されるのでチャックＤの慣性モーメントが大きくなることがなく、回転がしやすい。

また、回転部材４０ａ，・・・，４０ｆと歯車部材４３ａ，・・・，４３ｆの歯車比を変えれば、アーム５０ａ，・・・，５０ｆに伝わるトルクを変えることができ、爪５１ａ，・・・，５１ｆの把持力を調整することができる。

さらに、アーム５０ａ，・・・，５０ｆの寸法を長くし、アーム５０ａ，・・・，５０ｆの回転中心から爪５１ａ，・・・，５１ｆまでの距離を長くすれば、爪５１ａ，・・・，５１ｆのワーク載置台６０に対する移動量を長くすることができるので、様々な寸法のワークＷの保持に対応することができる。

なお、上記実施形態においては、ワークＷを編心させながら加工を施すこととしたが、爪５１ａ，・・・，５１ｆでワークＷをしっかりと固定して、編心させずに加工を施すこともできる。

本発明に係るチャックは、主としてラップ盤に用いられるが、他の工作機械、例えば旋盤やフライス盤等、回転させて加工、処理するあらゆる装置に利用することができる。

１０ 本体
２０ エアシリンダ
３０ ロータリージョイント
４０ 回転部材
４２ 太陽歯車
４３ 歯車部材
５０ アーム
５１ 爪
６０ ワーク載置台
Ａ，Ｂ，Ｄ チャック
Ｓ 主軸
Ｗ ワーク

Claims (6)

1. ワーク載置台と、該ワーク載置台の周囲に配置されたワーク把持用の複数の爪を備え、把持したワークを回転させるチャックであって、
   前記複数の爪を前記ワーク載置台の径方向に動かす複数のアクチュエータを備え、
   該複数のアクチュエータは、回転中に前記複数の爪を組毎に動かして、前記ワークをある組の爪から他の組の爪に掴み替えて偏心させるよう制御される
   ことを特徴とするチャック。
2. ワーク載置台と、該ワーク載置台の周囲に配置されたワーク把持用の複数の爪を備え、把持したワークを回転させるチャックであって、
   前記複数の爪を前記ワーク載置台の径方向に動かす複数のアクチュエータを備え、
   該複数のアクチュエータは、回転中に前記複数の爪で前記ワークを保持したまま各爪を個別に動かして、該ワークを偏心させるよう制御される
   ことを特徴とするチャック。
3. 前記アクチュエータはエアシリンダであり、
   該エアシリンダのロッドには雄ネジが形成されており、
   該ロッドに回転自在な回転部材が螺合されており、
   該回転部材にアームが連結されており
   該アームに前記爪が設けられている
   ことを特徴とする請求項１または２記載のチャック。
4. 前記エアシリンダのシリンダケースとピストンとはメタルタッチで当接している
   ことを特徴とする請求項３記載のチャック。
5. 前記エアシリンダを収縮する方向に付勢するバネを備える
   ことを特徴とする請求項３または４記載のチャック。
6. 前記複数の爪のうち、同期させて動かす組を構成する爪同士が歯車列で連結されている
   ことを特徴とする請求項１記載のチャック。

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