JP5348766B2 - X−y直交2軸駆動機構 - Google Patents
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Description
12 X−Y直交2軸駆動機構
13 一側駆動ユニット
14 Y軸駆動ユニット
15 一側サーボモータ
16 一側カップリング
17 一側ボールネジ
18,19 一側リニアガイド
20 一側起動ベース
23 他側駆動ユニット
24 X軸駆動ユニット
25 他側サーボモータ
26 他側カップリング
27 他側ボールネジ
28 他側リニアガイド
29 他側起動ベース
30 ワーク部材
31 コンタクトピン
31a 接触端
33 リニアスケール
34 標準尺
35 検出素子
A 原点位置
E 可動エリア
P 被検査基板
Claims (3)
- 一側サーボモータを介して回転制御される一側ボールネジと、該一側ボールネジを間においてその長さ方向での両側に配列させた一対の一側リニアガイドとを装置本体側に配設し、前記一側ボールネジの回転運動を受けながら前記一側リニアガイドに沿っての進退移動を可能に一側起動ベースを配設してなる一側駆動ユニットと、他側サーボモータを介して回転制御される他側ボールネジと、該他側ボールネジの長さ方向に沿わせて配列される1本の他側リニアガイドとを前記一側起動ベース上に搭載させ、正確な位置決めを要するワーク部材を備える他側起動ベースを前記他側ボールネジの回転運動を受けながら前記他側リニアガイドに沿っての進退移動を可能に配設してなる他側駆動ユニットとからなるX−Y直交2軸駆動機構において、
一対の前記一側リニアガイドのうち、ロストモーションの発生が顕現化する前記一側ボールネジからより離間させた側にある前記一側リニアガイドの内側近傍位置には、予め定めてある原点位置との関係で前記他側起動ベース側の実座標位置を理論座標位置に一致させるためのパルス指令を発するリニアスケールを設置し、前記パルス指令により前記一側サーボモータの回転を制御して前記ロストモーションを加味しての前記ワーク部材の位置調整を可能としたことを特徴とするX−Y直交2軸駆動ユニット。 - 前記リニアスケールは、前記一側リニアガイドの内側近傍位置にその長さ方向が平行となるようにして前記装置本体側に設置される標準尺と、該標準尺の設置位置との関係で定まる前記一側起動ベースの対応部位に設置される検出素子とで構成した請求項1に記載のX−Y直交2軸駆動ユニット。
- 前記ワーク部材は、Z軸方向での移動が可能なコンタクトピンである請求項1または2に記載のX−Y直交2軸駆動ユニット。
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