JP2011028549A - X−y直交2軸駆動機構 - Google Patents
X−y直交2軸駆動機構 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011028549A JP2011028549A JP2009174312A JP2009174312A JP2011028549A JP 2011028549 A JP2011028549 A JP 2011028549A JP 2009174312 A JP2009174312 A JP 2009174312A JP 2009174312 A JP2009174312 A JP 2009174312A JP 2011028549 A JP2011028549 A JP 2011028549A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drive unit
- ball screw
- axis
- orthogonal
- lost motion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】一側駆動ユニット13と、ワーク部材30であるコンタクトピン31を備えて一側駆動ユニット13に搭載される他側駆動ユニット23とからなり、一側駆動ユニット13が備える一対の一側リニアガイド18,19のうち、ロストモーションが最も顕現化する側にある一側リニアガイド19の内側近傍位置には、予め定めてある原点位置との関係でコンタクトピン31の実座標位置を理論座標位置に一致させるためのパルス指令を発するリニアスケール33を設置し、該パルス指令により一側駆動ユニット13が備える一側サーボモータ15の回転を制御することで、コンタクトピン31の位置をロストモーションを加味して調整可能とした。
【選択図】図1
Description
12 X−Y直交2軸駆動機構
13 一側駆動ユニット
14 Y軸駆動ユニット
15 一側サーボモータ
16 一側カップリング
17 一側ボールネジ
18,19 一側リニアガイド
20 一側起動ベース
23 他側駆動ユニット
24 X軸駆動ユニット
25 他側サーボモータ
26 他側カップリング
27 他側ボールネジ
28 他側リニアガイド
29 他側起動ベース
30 ワーク部材
31 コンタクトピン
31a 接触端
33 リニアスケール
34 標準尺
35 検出素子
A 原点位置
E 可動エリア
P 被検査基板
Claims (3)
- 一側サーボモータを介して回転制御される一側ボールネジと、該一側ボールネジを間においてその長さ方向での両側に配列させた一対の一側リニアガイドとを装置本体側に配設し、前記一側ボールネジの回転運動を受けながら前記一側リニアガイドに沿っての進退移動を可能に一側起動ベースを配設してなる一側駆動ユニットと、他側サーボモータを介して回転制御される他側ボールネジと、該他側ボールネジの長さ方向に沿わせて配列される1本の他側リニアガイドとを前記一側起動ベース上に搭載させ、正確な位置決めを要するワーク部材を備える他側起動ベースを前記他側ボールネジの回転運動を受けながら前記他側リニアガイドに沿っての進退移動を可能に配設してなる他側駆動ユニットとからなるX−Y直交2軸駆動機構において、
一対の前記一側リニアガイドのうち、ロストモーションの発生が顕現化する前記一側ボールネジからより離間させた側にある前記一側リニアガイドの内側近傍位置には、予め定めてある原点位置との関係で前記他側起動ベース側の実座標位置を理論座標位置に一致させるためのパルス指令を発するリニアスケールを設置し、前記パルス指令により前記一側サーボモータの回転を制御して前記ロストモーションを加味しての前記ワーク部材の位置調整を可能としたことを特徴とするX−Y直交2軸駆動ユニット。 - 前記リニアスケールは、前記一側リニアガイドの内側近傍位置にその長さ方向が平行となるようにして前記装置本体側に設置される標準尺と、該標準尺の設置位置との関係で定まる前記一側起動ベースの対応部位に設置される検出素子とで構成した請求項1に記載のX−Y直交2軸駆動ユニット。
- 前記ワーク部材は、Z軸方向での移動が可能なコンタクトピンである請求項1または2に記載のX−Y直交2軸駆動ユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009174312A JP5348766B2 (ja) | 2009-07-27 | 2009-07-27 | X−y直交2軸駆動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009174312A JP5348766B2 (ja) | 2009-07-27 | 2009-07-27 | X−y直交2軸駆動機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011028549A true JP2011028549A (ja) | 2011-02-10 |
JP5348766B2 JP5348766B2 (ja) | 2013-11-20 |
Family
ID=43637216
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009174312A Expired - Fee Related JP5348766B2 (ja) | 2009-07-27 | 2009-07-27 | X−y直交2軸駆動機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5348766B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03224003A (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-03 | Brother Ind Ltd | 数値制御送り装置 |
JPH11237920A (ja) * | 1998-02-19 | 1999-08-31 | Toshiba Mach Co Ltd | Nc工作機械の制御装置および位置決め制御方法 |
JP2001030136A (ja) * | 1999-05-18 | 2001-02-06 | Mitsubishi Electric Corp | 移動装置 |
JP2003271214A (ja) * | 2002-03-13 | 2003-09-26 | Yaskawa Electric Corp | 数値制御装置およびそのピッチエラー補正方法 |
-
2009
- 2009-07-27 JP JP2009174312A patent/JP5348766B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03224003A (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-03 | Brother Ind Ltd | 数値制御送り装置 |
JPH11237920A (ja) * | 1998-02-19 | 1999-08-31 | Toshiba Mach Co Ltd | Nc工作機械の制御装置および位置決め制御方法 |
JP2001030136A (ja) * | 1999-05-18 | 2001-02-06 | Mitsubishi Electric Corp | 移動装置 |
JP2003271214A (ja) * | 2002-03-13 | 2003-09-26 | Yaskawa Electric Corp | 数値制御装置およびそのピッチエラー補正方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5348766B2 (ja) | 2013-11-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10209107B2 (en) | Geometric error identification method of multi-axis machine tool and multi-axis machine tool | |
US8131385B2 (en) | Positioning device and positioning method with non-contact measurement | |
JP6667376B2 (ja) | 部品圧入方法および部品圧入システム | |
WO2002032620A1 (fr) | Dispositif et procede de mesure, machine-outil dotee dudit dispositif, et procede de traitement de piece | |
JP2006212765A (ja) | 工作機械の熱変位補正方法 | |
US9658610B2 (en) | Displacement and position measurement in machine tool | |
CN111338291B (zh) | 一种基于机床定位精度测量的阿贝误差补偿方法及系统 | |
JP2008073813A (ja) | マシニングセンタによる加工方法 | |
TWI604290B (zh) | 具有空間位置誤差補償的數值控制工具機 | |
TWI648516B (zh) | 雙光學量測補償系統 | |
JP2008241608A (ja) | ワーク基準点機上検出方法及びその方法を用いた加工装置 | |
JP2008268118A (ja) | 形状測定方法及び装置 | |
JP6803043B2 (ja) | 工作機械の幾何誤差測定方法 | |
JP2002273642A (ja) | ボールネジ送り駆動補正方法及びボールネジ送り駆動装置 | |
JP6168396B2 (ja) | 工作機械 | |
JP2007245342A (ja) | 工具の刃先位置の測定方法及び装置、ワークの加工方法並びに工作機械 | |
JP2002005653A (ja) | ねじ寸法測定方法及び装置 | |
JP5348766B2 (ja) | X−y直交2軸駆動機構 | |
JP4986880B2 (ja) | マイクロマシンやマイクロフライスマシンの工具長補正方法 | |
JP2009080616A (ja) | 数値制御装置 | |
JP5072743B2 (ja) | マイクロマシンおよびマイクロフライスマシン | |
JP2011102767A (ja) | 非接触型位置・姿勢測定方法及び非接触型位置・姿勢測定装置並びにこれを備えた半導体実装装置 | |
JP5846400B2 (ja) | 工作機械とその熱変形の補正方法 | |
JP2004322255A (ja) | 直線位置計測器付き工作機械 | |
CN115516389A (zh) | 加工方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120725 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130718 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130724 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130819 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |