JP5348007B2 - フレキシブルプリント配線板の製造方法 - Google Patents
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セミアディティブ法を用いたフレキシブルプリント配線板の形成では、絶縁基板上にスパッタ法等で薄い下地金属層を形成する工程、次に下地金属層の表面にレジスト層を積層する工程、次にレジスト層にめっき用のレジストパターンを形成する工程、次に電解めっきで配線パターンを形成する工程、次にレジストパターンを除去する工程、次にエッチングで下地金属層の不要な部分を除去する工程を備えるものが一般的である。
更にめっき用のレジストパターンを形成する工程は、レジスト層を露光、現像した後、レジスト層を水洗し、その後乾燥、熱硬化させるものが一般的である。
このようなレジストパターンを形成する工程において、特にアルカリ現像型のレジスト層を用いる場合、レジスト層の露光、現像後に、下地金属層上に残渣(いわゆるすそ引き)が発生することで、電解めっき時のめっき付着性が低下し、配線パターンの剥離が生じ易いという問題があった。
従ってレジスト層の露光、現像後に、下地金属層上に発生する残渣の抑制、除去が課題となっている。
フレキシブルプリント配線板の製造工程におけるレジストの剥離に関する従来技術として、例えば下記特許文献1がある。
しかしながら、あくまでレジスト自体の除去を目的としたものであり、レジスト層の露光、現像後に、下地金属層上に発生する残渣の抑制、除去を目的とするものではなかった。
また従来、プラズマ処理を用いて下地金属層上に発生する残渣の除去を行うものがあるが、プロセス数が多くなることで処理時間がかかり、製造効率が悪いという問題があった。
従ってポリイミドからなる絶縁基板を用いる場合であっても、良好な配線回路を形成でき、高い信頼性、生産性を得ることが可能なフレキシブルプリント配線板の製造方法とすることができる。
より具体的には、図1に示すように、絶縁基板10上にスパッタ法で下地金属層11を形成する。
なお絶縁基板10としては、ポリイミドを用いることができる。勿論、ポリイミドに限るものではなく、エポキシ樹脂、フェノール樹脂等、フレキシブルプリント配線板を形成する絶縁基板として通常用いられるものであれば如何なるものであってもよいが、ポリイミドを用いることが望ましい。
また下地金属層11としては、銅、ニッケル、銀等、セミアディティブ法を用いたフレキシブルプリント配線板の形成において、下地金属層を構成する金属として通常用いられるものであれば如何なるものであってもよい。しかし、銅を用いることが望ましい。
また本実施形態においては、スパッタ法により下地金属層11を形成する構成としたが、必ずしもこのような構成に限るものではない。例えば無電解めっき法、イオンプレーティング法、蒸着法等により下地金属層11を形成する構成とすることができる。
より具体的には、図1に示すように、下地金属層11の表面にアルカリ現像型のレジスト層20を積層する。
レジスト層20としては、市販のネガ型のアクリル系ドライフィルムレジスト(セミアディティブ法用)を用いることができる。例えば旭化成イーマテリアルズのドライフィルムレジスト「サンフォートTM」、日立化成「フォテックTM」、ニチゴー・モートン「ALPHOTM」等を用いることができる。
またレジスト層20の厚みは、20μm〜30μm程度とすることが望ましい。
より具体的には、まず図1最下段の黒矢印で示すように、パターンマスク30を介してレジスト層20の表面を紫外線で露光処理する。その後、アルカリ現像液を用いた現像処理を行い、レジスト層20の不要な部分を除去する。これにより、図2に示すように、レジスト層20に、配線パターンを形成したい部分となる溝31aが形成される。
その後、図示しない酸電解水処理装置を用いて、酸電解水により溝31aを洗浄する酸電解水処理を行う。より具体的には、下地金属層11、レジスト層20が積層された基板10を酸電解水に浸漬させるディップ処理により溝31aを洗浄する。
その後、再び図示しない水洗処理装置を用いて、水洗水により溝31aを水洗する水洗処理を行う。
その後、図示しない乾燥処理装置を用いて、レジスト層20の乾燥処理を行う。
以上により、図2に示すように、レジスト層20に、配線パターンを形成したい部分を溝31aとするレジストパターン31が形成される。
また水洗水としては、水道水、イオン交換水等、フレキシブルプリント配線板の製造工程において通常用いられるものであれば如何なるものであってもよい。
また酸電解水としては、次亜塩素酸を主成分とする水溶液を用いることができる。更に水溶液における次亜塩素酸の有効塩素濃度は、5ppm〜500ppmであることが望ましく、より好適には20ppm〜100ppmであることが望ましい。
またディップ処理における処理時間は、5秒〜500秒であることが望ましく、より好適には15秒〜200秒であることが望ましい。
よって水洗処理と組み合わせて、次亜塩素酸を主成分とする水溶液を用いる酸電解水処理を備えることで、アルカリ成分の中和除去と、有機物であるレジスト残渣の分解除去を効率的、効果的に行うことができる。また同時に、溝31aに露出された下地金属層11上に発生する酸化膜を効率的、効果的に除去することができる。
従って残渣や酸化膜の発生に伴う、電解めっき時のめっき付着性の低下を防止することができ、良好な配線回路を形成することができる。従って高い信頼性、生産性を得ることが可能なフレキシブルプリント配線板の製造方法とすることができる。
また酸電解水処理を水洗処理と組み合わせるだけの簡易な構成であるので、製造効率の良いフレキシブルプリント配線板の製造方法とすることができる。
より具体的には、図2に示すように、溝31aに露出された下地金属層11上に、電解銅めっきによって配線パターン40を形成する。
より具体的には、図2に示すように、下地金属層11の表面に積層されているレジスト層20を除去する。
より具体的には、図2に示すように、配線パターン40が形成されていない下地金属層11をエッチングにより除去する。これにより、配線パターン40間が絶縁される。
以上の工程を経ることで、フレキシブルプリント配線板1が製造される。
例えば溝31aに酸電解水を分散噴射させることで、溝31aを洗浄するシャワー処理とすることができる。
このような構成とすることで、ディップ処理を用いる場合に比べ、処理時間を短縮させることができると共に、酸電解水の使用量を減少させることができる。よって一段と製造効率の良いフレキシブルプリント配線板の製造方法とすることができる。
またシャワー処理における処理時間は、5秒〜200秒であることが望ましく、より好適には15秒〜100秒であることが望ましい。
・プラズマ処理
30mW/cm2
処理時間:10分
・UV処理
20mW/cm2
処理時間:30秒、1分、2分
・酸電解水処理(ディップ)
電解水の有効塩素濃度:50ppm
処理時間:10秒、20秒、1分、5分
・酸電解水処理(シャワー)
電解水の有効塩素濃度:50ppm
シャワーの圧力:0.2MPa
処理時間:10秒、20秒、40秒
絶縁基板面が露出したものを○、絶縁基板面が露出しなかったものを×として評価した。
・プラズマ処理
30mW/cm2
処理時間:10分
・UV処理
20mW/cm2
処理時間:30秒、1分、2分
・酸電解水処理(ディップ)
電解水の有効塩素濃度:50ppm
処理時間:10秒、20秒、1分、5分
・酸電解水処理(シャワー)
電解水の有効塩素濃度:50ppm
シャワーの圧力:0.2MPa
処理時間:10秒、20秒、40秒
残渣の幅(図3におけるQ)が0.5μm以下のものを○、残渣の幅(図3におけるQ)が0.5μm〜1.0μmのものを△、残渣の幅(図3におけるQ)が1.0μm以上のものを×として評価した。
10 絶縁基板
11 下地金属層
20 レジスト層
30 パターンマスク
31 レジストパターン
31a 溝
40 配線パターン
100 下地金属層形成工程
200 レジスト層積層工程
300 レジストパターン形成工程
400 配線パターン形成工程
500 レジスト層除去工程
600 下地金属層除去工程
P 残渣
Q 残渣の幅
Claims (3)
- 絶縁基板上に配線回路を形成するフレキシブルプリント配線板の製造方法であって、絶縁基板上に下地金属層を形成する下地金属層形成工程と、該下地金属層形成工程で形成された下地金属層の表面に、アルカリ現像型のレジスト層を積層するレジスト層積層工程と、該レジスト層積層工程で積層されたレジスト層に、アルカリ現像液を用いてレジストパターンを形成するレジストパターン形成工程と、該レジストパターン形成工程により形成されたレジストパターンの溝に露出された下地金属層上に、電解めっきによって配線パターンを形成する配線パターン形成工程と、前記レジスト層を除去するレジスト層除去工程と、該レジスト層除去工程によって露出された下地金属層を除去する下地金属層除去工程とからなり、且つ前記レジストパターン形成工程には、少なくとも前記アルカリ現像液を用いた現像処理の後に、前記レジストパターンの溝を、水洗水で水洗する水洗処理と、酸電解水で洗浄する酸電解水処理とを組み合わせて備えており、前記酸電解水は、次亜塩素酸を主成分とする水溶液からなると共に、該水溶液における前記次亜塩素酸の有効塩素濃度が、5ppm〜500ppmであることを特徴とするフレキシブルプリント配線板の製造方法。
- 前記酸電解水処理は、前記レジストパターンの溝を前記酸電解水に浸漬させて洗浄するディップ処理、又は前記レジストパターンの溝に前記酸電解水を分散噴射させて洗浄するシャワー処理からなることを特徴とする請求項1に記載のフレキシブルプリント配線板の製造方法。
- 前記絶縁基板は、ポリイミドからなることを特徴とする請求項1又は2に記載のフレキシブルプリント配線板の製造方法。
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